JP2016103590A - 基板処理方法及び基板処理装置 - Google Patents
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Abstract
Description
10 レジスト膜形成装置
11 ボトル
16 フィルタ
17 コントローラ
19,20,21 供給パイプ
22,23 センサ
25 リターンパイプ
Claims (11)
- 薬液の供給系から前記薬液を基板に向けて吐出する基板処理装置における基板処理方法であって、
前記供給系中の気泡を検出する検出器を設け、
前記検出器が前記供給系中の気泡を検出した際、前記薬液を前記供給系の上流部へ循環させることを特徴とする基板処理方法。 - 前記気泡を検出した際、サイズが第1の所定値を超える前記気泡の個数が第1の閾値よりも大きいとき、前記薬液の前記基板へ向けての吐出を中断し、前記薬液を前記供給系の上流部へ循環させ、サイズが第1の所定値を超える前記気泡の個数が第1の閾値以下であるとき、前記薬液の前記基板へ向けての吐出を継続することを特徴とする請求項1記載の基板処理方法。
- 前記気泡を検出した際、前記供給系の上流部に設置された薬液を貯留する貯留部へ循環させることを特徴とする請求項1又は2に記載の基板処理方法。
- 前記供給系中の異物を検出する検出器をさらに設け、
前記供給系は前記異物を除去するフィルタを有し、
前記異物を検出する検出器が前記供給系中の異物を検出した場合、サイズが第2の所定値を超える前記異物の個数が第2の閾値よりも大きいとき、前記薬液の前記基板へ向けての吐出を中断し、前記供給系に存在する薬液を廃棄することなく前記供給系における前記フィルタよりも上流へ前記薬液を循環させ、サイズが第2の所定値を超える前記異物の個数が第2の閾値以下であるとき、前記薬液の前記基板へ向けての吐出を継続することを特徴とする請求項1記載の基板処理方法。 - 前記検出器は前記薬液へ向けてレーザ光を照射して前記供給系中の前記異物及び前記気泡を分別して検出し、
前記検出器は、前記薬液が前記基板へ向けて吐出されるタイミングに合わせて前記薬液へ向けて前記レーザ光を照射することを特徴とする請求項1乃至4のいずれか1項に記載の基板処理方法。 - 前記供給系は前記基板へ向けて前記薬液を吐出する複数のノズルを備え、
前記検出器は、前記レーザ光の照射先を、前記複数のノズルへ分流して供給される前記薬液の流れの各々へ順次切り換えることを特徴とする請求項5記載の基板処理方法。 - 薬液を基板に向けて吐出する基板処理装置であって、
前記薬液の供給系と、
前記供給系に設けられ、前記供給系中の気泡を検出する検出器と、
前記供給系の前記検出器の下流部に設けられた分岐点と、
前記分岐点と前記検出器の上流部とを接続する還流路と、
前記検出器が前記供給系中の気泡を検出した際、前記薬液を前記供給系において前記還流路を介して循環させる制御部とを備えることを特徴とする基板処理装置。 - 前記供給系は前記薬液を貯蔵する貯蔵部を有し、
前記貯留部は前記還流路と接続され、
前記制御部は、前記検出器が前記供給系中の前記気泡を検出した場合、前記薬液を前記還流路によって前記貯蔵部へ還流させることを特徴とする請求項7記載の基板処理装置。 - 前記制御部は、前記検出器が前記供給系中の前記気泡を検出した場合、サイズが第1の所定値を超える前記気泡の個数が第1の閾値よりも大きいとき、前記薬液の前記基板へ向けての吐出を中断し、前記薬液を前記還流路を介して前記検出器の上流側へ還流させ、サイズが第1の所定値を超える前記気泡の個数が第1の閾値以下であるとき、前記薬液の前記基板へ向けての吐出を継続させることを特徴とする請求項7又は8に記載の基板処理装置。
- 前記供給系は、前記供給系中の異物を検出する検出器をさらに備え、
前記異物を検出する検出器の上流側に前記異物を除去するフィルタを有し、
前記異物を検出する検出器が前記供給系中の異物を検出した場合、サイズが第2の所定値を超える前記異物の個数が第2の閾値よりも大きいとき、前記薬液の前記基板へ向けての吐出を中断し、前記供給系に存在する薬液を廃棄することなく前記供給系における前記フィルタよりも上流へ前記薬液を循環させ、サイズが第2の所定値を超える前記異物の個数が第2の閾値以下であるとき、前記薬液の前記基板へ向けての吐出を継続する制御部とを備えることを特徴とする請求項7記載の基板処理装置。 - 複数の前記検出器をさらに備え、
前記供給系における異物又は気泡の複数の発生源の各々の下流に前記複数の検出器の各々が設けられることを特徴とする請求項7乃至10のいずれか1項記載の基板処理装置。
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