JP2011181766A - 液処理装置、液処理方法及び記憶媒体 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】基板保持部に保持された基板に、ポンプから配管及びノズルを介して薬液を供給して液処理を行う装置において、前記配管からノズルの先端部に至るまでの流路構成部材に歪みゲージが設けられた歪みセンサと、この歪みセンサの出力電圧を微分する微分回路と、この微分回路の出力に応じて薬液の供給状態を判定する判定部と、を備えるように装置を構成する。光学的な検出を行う場合よりも基板の表面状態や薬液の性質による影響が抑えられるので、精度高い判定を行うことができる。
【選択図】図3
Description
前記配管からノズルの先端部に至るまでの流路構成部材に歪みゲージが設けられた歪みセンサと、
この歪みセンサの出力電圧を微分する微分回路と、
この微分回路の出力に応じて薬液の供給状態を判定する判定部と、を備えたことを特徴とする。
前記判定部は、前記微分回路の出力電圧が前記一方の符号であって、絶対値が予め定めたしきい値よりも大きくなったときに薬液が流れたと判定するように構成されていてもよい。
ポンプから配管及びノズルを介して基板に薬液を供給して液処理を行う工程と、
前記配管からノズルの先端部に至るまでの流路構成部材に設けられた歪みゲージを含む歪みセンサの出力電圧を、微分回路により微分する工程と、
前記微分回路の出力に応じて薬液の供給状態を判定する工程と、
を備えたことを特徴とする。
前記微分回路の出力電圧が前記一方の符号であって、絶対値が予め定めたしきい値よりも大きくなったときに薬液が流れたと判定する工程と、
を備えていてもよい。前記微分回路の出力電圧が前記一方の符号とは反対の符号であって、絶対値が予め定めたしきい値よりも大きくなったときに薬液の流れが停止したと判定する工程を備えていてもよい。また、例えば薬液が流れたと判定してからの経過時間が予め定めた設定時間よりも短いときに、出力電圧が前記一方の符号とは反対の符号であって、絶対値が予め定めたしきい値よりも大きくなったときに薬液中に気泡が含まれていると判定する工程が含まれる。
前記プログラムは、上述の液処理方法を実行するようにステップ群が組まれていることを特徴とする。
ステップS7で、歪み量が低下していないと判定した場合、制御部80はタイマー89がアップしたか否かを判定し(ステップS8)、タイマー89がアップしていないと判定した場合は、ステップS7に戻って繰り返し判定を行う。ステップS8でタイマー89がアップしたと判定した場合、制御部80は吐出停止信号を出力し、この吐出停止信号の出力時刻を記憶部83に記憶する(ステップS9)。そして、吐出停止信号出力後、予め設定された時間内に比較回路76A、77Aからの出力が夫々1,0となるか否か、即ちレジストの吐出が停止されているか否かを判定する(ステップS10)
レジスト供給ノズル41からレジストを吐出し、電圧検出部74Bからの出力に基づいてその歪み量を測定した。レジスト供給ノズル41は樹脂により構成した。各試験では電圧検出部74Bの出力電圧の微分を行っていない。試験ごとにレジスト供給系43からのレジストの供給時間を変更し、試験1、2、3で夫々0.5秒、1.0秒、2.0秒とした。また、試験4では配管42においてノズル41近くに空気を混入させ、レジスト供給系43から1.0秒間レジストを供給した。
14 搬送手段
22 回転駆動部
3 カップ
41 レジスト供給ノズル
42 配管
43 レジスト供給系
70A、70B 歪みセンサ
71A、71B 歪みゲージ
75A、75B 微分回路
79 回路ユニット
80 制御部
88 判定プログラム
Claims (11)
- 基板保持部に保持された基板に、ポンプから配管及びノズルを介して薬液を供給して液処理を行う装置において、
前記配管からノズルの先端部に至るまでの流路構成部材に歪みゲージが設けられた歪みセンサと、
この歪みセンサの出力電圧を微分する微分回路と、
この微分回路の出力に応じて薬液の供給状態を判定する判定部と、を備えたことを特徴とする液処理装置。 - 前記歪みゲージは、樹脂からなる配管に設けられたことを特徴とする請求項1に記載の液処理装置。
- 前記歪みゲージは、樹脂からなるノズルに設けられたことを特徴とする請求項1または2に記載の液処理装置。
- 前記歪みセンサは、前記歪みゲージが伸びたときに出力電圧が正、負のうちの一方の符号になるように構成され、
前記判定部は、前記微分回路の出力電圧が前記一方の符号であって、絶対値が予め定めたしきい値よりも大きくなったときに薬液が流れたと判定するように構成されたことを特徴とする1ないし3のいずれか一項に記載の液処理装置。 - 前記判定部は、前記微分回路の出力電圧が前記一方の符号とは反対の符号であって、絶対値が予め定めたしきい値よりも大きくなったときに薬液の流れが停止したと判定するように構成されたことを特徴とする請求項4に記載の液処理装置。
- 前記判定部は、薬液が流れたと判定してからの経過時間が予め定めた設定時間よりも短いときに、出力電圧が前記一方の符号とは反対の符号であって、絶対値が予め定めたしきい値よりも大きくなったときに薬液中に気泡が含まれていると判定するように構成されたことを特徴とする請求項4記載の液処理装置。
- 基板保持部に基板を保持する工程と、
ポンプから配管及びノズルを介して基板に薬液を供給して液処理を行う工程と、
前記配管からノズルの先端部に至るまでの流路構成部材に設けられた歪みゲージを含む歪みセンサの出力電圧を、微分回路により微分する工程と、
前記微分回路の出力に応じて薬液の供給状態を判定する工程と、
を備えたことを特徴とする液処理方法。 - 前記歪みゲージが伸びたときに前記歪みセンサから正、負のうちの一方の符号の電圧を出力する工程と、
前記微分回路の出力電圧が前記一方の符号であって、絶対値が予め定めたしきい値よりも大きくなったときに薬液が流れたと判定する工程と、
を備えたことを特徴とする請求項7記載の液処理方法。 - 前記微分回路の出力電圧が前記一方の符号とは反対の符号であって、絶対値が予め定めたしきい値よりも大きくなったときに薬液の流れが停止したと判定する工程を備えたことを特徴とする請求項8に記載の液処理方法。
- 薬液が流れたと判定してからの経過時間が予め定めた設定時間よりも短いときに、出力電圧が前記一方の符号とは反対の符号であって、絶対値が予め定めたしきい値よりも大きくなったときに薬液中に気泡が含まれていると判定する工程を含むことを特徴とする請求項8記載の液処理方法。
- 基板保持部に保持された基板に、ポンプから配管及びノズルを介して薬液を供給する液処理装置に用いられるプログラムを格納する記憶媒体において、
前記プログラムは、請求項7ないし10のいずれか一項に記載の液処理方法を実行するようにステップ群が組まれていることを特徴とする記憶媒体。
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