JP2018133437A - 基板処理装置 - Google Patents
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Abstract
Description
10 スピンチャック
20 吐出ノズル
30 送給ポンプ
40 配管
50 帯電検出部
51 検知端
52 測定器
60 制御部
Claims (6)
- 基板に処理液を吐出して処理を行う基板処理装置であって、
基板に処理液を吐出する吐出部と、
前記吐出部に処理液を送給する送給部と、
前記送給部から送出された処理液を前記吐出部に導く樹脂の配管と、
前記配管の外壁面に接触して取り付けられた導電性の検知端と、
前記検知端の電位を測定する電位測定部と、
前記電位測定部によって測定された前記検知端の電位上昇に基づいて前記配管中の処理液の流動を検出する制御部と、
を備えることを特徴とする基板処理装置。 - 請求項1記載の基板処理装置において、
前記制御部は、前記検知端の電位が一定の上昇レートにて継続して上昇しているときには前記配管中を処理液が流れていると判定することを特徴とする基板処理装置。 - 請求項2記載の基板処理装置において、
前記制御部は、前記検知端の電位が上昇を開始した時刻および上昇を停止した時刻から前記配管中を処理液が流れていた時間を算定することを特徴とする基板処理装置。 - 請求項2または請求項3に記載の基板処理装置において、
前記制御部は、前記検知端の電位の上昇レートが所定の閾値以下となったときには前記配管中を流れている処理液に気体が混入したと判定することを特徴とする基板処理装置。 - 請求項4記載の基板処理装置において、
前記制御部は、前記処理液に気体が混入したと判定したときに警告を発報することを特徴とする基板処理装置。 - 請求項1から請求項5のいずれかに記載の基板処理装置において、
前記制御部は、前記吐出部からの処理液の吐出が停止した後に、前記検知端を接地して前記配管に蓄積した電荷を放電するように前記電位測定部を制御することを特徴とする基板処理装置。
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