JP5399191B2 - 基板処理装置、基板処理装置のための検査装置、ならびに検査用コンピュータプログラムおよびそれを記録した記録媒体 - Google Patents
基板処理装置、基板処理装置のための検査装置、ならびに検査用コンピュータプログラムおよびそれを記録した記録媒体 Download PDFInfo
- Publication number
- JP5399191B2 JP5399191B2 JP2009226262A JP2009226262A JP5399191B2 JP 5399191 B2 JP5399191 B2 JP 5399191B2 JP 2009226262 A JP2009226262 A JP 2009226262A JP 2009226262 A JP2009226262 A JP 2009226262A JP 5399191 B2 JP5399191 B2 JP 5399191B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- inspection
- control
- recipe
- nozzle
- substrate processing
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
Images
Landscapes
- Weting (AREA)
- Exposure Of Semiconductors, Excluding Electron Or Ion Beam Exposure (AREA)
- Cleaning Or Drying Semiconductors (AREA)
- Liquid Crystal (AREA)
- Manufacturing Of Magnetic Record Carriers (AREA)
- Manufacturing Of Printed Wiring (AREA)
Description
基板処理装置のハードウェア仕様は、目的とする処理内容により異なり、現実には、個々のユーザが実行しようとする処理内容に応じたカスタムメードとなっている。また、基板処理の内容は複雑であり、それに応じてハードウェア構成が複雑になっている。したがって、ハードウェアを制御するためのソフトウェアも複雑になっている。
使用者の意図に適合するようにハードウェアが動作しなければ、目的とする基板処理を行うことができない。そこで、レシピに従って実際に基板処理装置を動作させ、その動作の確認を行う必要がある。動作の確認方法は、概ね2つの方法に大別される。第1の方法は、ソフトウェア処理の記録とレシピとを照合する方法である。具体的には、制御ユニットが実行したソフトウェア動作を表す制御ログが記録されて、記憶装置に蓄積される。この蓄積された制御ログとレシピとを作業員が照合することで、制御ユニットによる制御動作の妥当性が検査される。ただし、ソフトウェア動作の全部が制御ログとして記録されるわけではないので、記録される動作のみが検査対象となる。第2の方法は、基板処理装置の実際の動作を作業員が目視して、レシピと照合する方法である。第1の方法では、ソフトウェア処理の妥当性が検査される。これに対して、第2の方法では、基板処理装置の現実の動作の妥当性が検査される。
一方、基板処理装置の構成部品の経年劣化等に起因する不良により、基板処理工程が不良となる場合がある。この場合、当該工程で問題が生じているので、その後の処理工程の実行は無駄になる。ところが、処理不良は処理完了後の基板または基板から取り出された最終製品(たとえば半導体製品)を検査する段階で明らかになる。そのため、不良な処理工程の後の工程が無駄に行われることになり、生産性が損なわれている。
そこで、この発明の第1の目的は、制御動作の妥当性(レシピに適合するか否か)を確実にかつ短時間に検査することができる基板処理装置を提供することである。
この発明の第3の目的は、基板処理装置の制御動作の妥当性(レシピに適合するか否か)を確実にかつ短時間に検査することができる、基板処理装置のための検査装置を提供することである。
この発明の第5の目的は、コンピュータを上記のような検査装置として機能させるためのコンピュータプログラムを提供することである。
前記レシピ記憶手段、検査基準記憶手段および制御動作記憶手段は、個別の記憶媒体(19,74)で構成されてもよいし、同一記憶媒体(19)の異なる記憶領域(193,196,194)を用いて構成されてもよい。
たとえば、第1ステップにおいて、特定のノズルから処理流体の吐出を開始させ、次の第2ステップにおいて当該ノズルからの処理流体の吐出を停止させる場合を想定する。この場合、制御手段が本来的に有する制御動作の遅れや、制御動作データの収集または記録のタイミングずれ等の影響のために、第1ステップにおける処理流体の吐出指示に遅れが生じるおそれがある。また、制御動作データの収集または記録のタイミングおよび方法によっては、第1ステップから第2ステップへの移行が記録されるタイミングよりも、処理流体吐出停止指示が記録されるタイミングが早くなるかもしれない。すなわち、ステップが移行する前後の期間に記録された制御動作は、その信頼性が低い。そこで、ステップ開始から第1所定時間経過後、当該ステップ終了より第2所定時間前までの期間を当該ステップの制御検査区間として設定することによって、信頼性の高い情報(制御動作の記録)に基づいて、制御動作の妥当性を適正に判定することができる。
前記レシピ記憶手段、検査基準記憶手段および装置動作記憶手段は、個別の記憶媒体(19,74)で構成されてもよいし、同一記憶媒体(19)の異なる記憶領域(193,196,195)を用いて構成されてもよい。
請求項2または3の発明では、前記レシピ記憶手段は、ノズル(N1,N2,N3)から基板に対して処理流体を吐出させる処理手順を含むレシピを記憶することができるものであり、前記検査基準生成手段は、ノズルからの処理流体吐出動作に関する検査を行うための検査基準を含む検査基準ファイルを生成するものであるので、ノズルからの処理流体吐出動作に関する検査を自動で行える。
たとえば、第1ステップにおいて、特定のノズルから処理流体の吐出を開始させ、次の第2ステップにおいて当該ノズルからの処理流体の吐出を停止させる場合を想定する。この場合、制御手段が本来的に有する制御動作の遅れや、装置動作データの収集または記録のタイミングずれ等の影響のために、第1ステップにおける処理流体の吐出開始に遅れが生じるおそれがある。さらに、処理流体の吐出を開始しても、目標流量に達するには或る程度の時間がかかる。また、装置動作データの収集または記録のタイミングによっては、第1ステップから第2ステップへの移行が記録されるタイミングよりも、処理流体吐出停止が記録されるタイミングが早くなるかもしれない。さらに、たとえば処理流体吐出開始から設定時間経過後に処理流体の吐出を停止しても、処理流体の流量が零になるまでには或る程度の時間がかかる。したがって、ステップが移行する前後の期間に記録された装置動作は、装置動作の適否を確認する目的に使用するには、その信頼性が低い。そこで、ステップ開始から第3所定時間経過後、当該ステップ終了より第4所定時間前までの期間を当該ステップの装置検査区間として設定することによって、信頼性の高い情報(装置動作の記録)に基づいて、装置動作の妥当性を適正に判定することができる。
請求項8記載の発明は、請求項7記載のコンピュータプログラムを記録したコンピュータ読取可能な記録媒体(19,74,80,90)である。記録媒体の例としては、固体メモリ、データ記録ディスクなどが挙げられ、固定メディアおよびリムーバブルメディアのいずれも該当する。固体メモリとしては、一般的なメモリであるROMおよびRAMのほか、フラッシュデバイスを例示できる。フラッシュデバイスとしては、USB(Universal Serial Bus)メモリ、メモリカード(SDメモリカードなど)を例示できる。データ記録ディスクは、固定ディスク(ハードディスク装置等)であってもよいし、リムーバブルディスクであってもよい。リムーバブルディスクの例は、CD−ROMディスク、DVD−ROMディスクなどである。
図1は、この発明の一実施形態に係る基板処理装置の構成を示す図である。この基板処理装置は、半導体ウエハ等の基板Wを一枚ずつ処理する枚葉型の装置である。この基板処理装置は、スピンチャック1と、複数(この実施形態では3個)の処理液ノズルN1,N2,N3と、処理カップ2とを備えている。
回転駆動機構7、揺動駆動機構37、昇降駆動機構38および処理液バルブ21,22,23の動作を制御するために、マイクロコンピュータ等を含む制御装置15が備えられている。制御装置15には、さらに、処理液流路31,32,33にそれぞれ介装された流量計46,47,48から、流量検出結果を表す信号が入力されている。また、制御装置15には、前述の上センサ39および下センサ40の出力信号が入力されている。
図2は、前記基板処理装置の電気的構成を説明するためのブロック図であり、主として、制御装置15の構成が示されている。制御装置15は、コンピュータ16と、入力装置17と、表示装置18と、記憶装置19と、ハードウェアインタフェース20とを備えている。
制御動作検査プログラム(記憶領域191)は、レシピに従うコンピュータ16の制御動作の妥当性を検査するためのプログラムである。コンピュータ16は、このプログラムを読み取って実行することにより、記憶領域193に記憶されたレシピと、記憶領域194に記憶された制御動作ログデータとを照合し、これにより、制御動作の妥当性を検査する。この機能を実現するために、コンピュータ16は、制御動作検査プログラムを実行することによって、記憶領域193に記憶されたレシピに対応した制御検査基準を記述した検査基準ファイルを作成して記憶領域196に書き込む。制御動作ログメモリ20aから制御動作ログデータを定期的に取得して記憶領域194に書き込む機能も、制御動作検査プログラムを実行するコンピュータ16の機能の一つである。
図3の例では、ステップ番号「1」の内容は、「スピンベースを1000rpmで回転開始」することである。したがって、コンピュータ16は、回転駆動機構7を制御して、1000rpmでスピンチャック1を回転させる。このステップは、スピンチャック1の回転速度が1000rpmに達するまで継続される。スピンチャック1の回転速度は、たとえば、回転駆動機構7がモータを含む場合、そのモータの回転速度を検出することによって検出できる。コンピュータ16は、スピンチャック1の回転速度が1000rpmに達すると、次のステップに進む。
ステップ番号「5」の内容は、「スピンチャックの回転を停止」することである。したがって、コンピュータ16は、回転駆動機構7を制御して、スピンチャック1の回転を停止させる。このステップは、スピンチャック1の回転停止が検出されるまで継続される。スピンチャック1の回転停止は、たとえば、回転駆動機構7がモータを含む場合に、このモータの停止を確認することによって検出できる。
図5は、装置動作ログメモリ20bに記録される装置動作ログデータの記録態様の一例を示す図である。この例では、所定の記録周期(たとえば1秒)ごとに、実行中のステップ番号と、処理液ノズルN3に対応した流量計48が検出する流量値とを時系列に従って記録した例が示されている。すなわち、ステップ番号と流量値とが時系列に従って記録されている。より具体的には、ステップ「3」の開始によって流量が増加し、所定時間の経過後には、流量が減少していく。そして、流量がゼロになった時点で、ステップ「4」に遷移している。
図7は、検査基準(制御検査基準)の他の例を説明するための図であり、制御動作の一例が示されている。図7の上段には装置動作ログデータから把握されるステップ番号の時間変化を示し、図7の下段には制御動作ログデータから把握される処理液ノズルN3に対する吐出指示の時間変化を示す。
図10は、コンピュータ16が制御動作検査プログラムを実行することによって実現される機能の一つである制御検査基準自動生成動作を説明するためのフローチャートである。操作者は、入力装置17の操作によって、検査対象の処理レシピを選択する(ステップA1)。また、操作者は、前記第1所定時間T1および第2所定時間T2を設定する(ステップA1)。ただし、これらの時間T1,T2は、制御動作検査プログラムにおいて予め設定しておき、操作者による入力を要しないようにしてもよい。
たとえば、基板処理制御プログラム(記憶領域190)は、最大でn個の処理液ノズルの制御に対応しており、それらn個の処理液ノズルに異なるノズル番号を付して識別するように設計されていてもよい。この場合、基板処理装置に実際に備えられている処理液ノズルに対して異なるノズル番号が割り当てられ、基板処理制御プログラムは、ノズル番号に基づいて各処理液ノズルの制御を実行する。基板処理装置が必ずしもn個のノズルを備えているとは限らないから、いずれの処理液ノズルも割り当てられないノズル番号が存在する場合もある。そこで、各ノズル番号に対して、予め、有効(対応処理液ノズルあり)または無効(対応処理液ノズルなし)のフラグが付与される。この場合、前記ステップA3における処理は、有効なノズル番号を全て取得する処理となる。
具体的には、コンピュータ16は、該当ステップにおいて、吐出開始する処理液ノズルおよび吐出継続している処理液ノズルが全て抽出される(ステップA4)。さらに、コンピュータ16は、当該ステップに対する制御検査区間を設定する。すなわち、検査区間開始条件を、「ステップ番号が当該ステップの番号になってから第1所定時間T1が経過したこと」、とする(ステップA5)。さらに、検査区間終了条件を、「ステップ番号が当該ステップ番号でなくなるよりも第2所定時間T2だけ前であること」、とする(ステップA6)。これにより、図8、図9Aおよび図9Bを参照して説明した態様で制御検査区間が設定されることになる。さらに、コンピュータ16は、該当ステップにおける制御合格基準を作成する(ステップA7)。具体的には、コンピュータ16は、当該ステップに対する制御合格基準を、「吐出指示状態となっている全ての処理液ノズルに対して吐出指示がでており、かつ吐出指示状態となっていない全ての処理液ノズルに対して吐出指示が出ていないこと」、とする。「吐出指示状態となっている全ての処理液ノズル」とは、ステップA4で抽出された全ての処理液ノズルであり、それ以外の全ての処理液ノズルが「吐出指示状態となっていない全ての処理液ノズル」である。コンピュータ16は、検査区間開始条件、検査区間終了条件および制御合格基準を含む制御検査基準を作成し、この制御検査基準を検査基準ファイルに格納して記憶装置19(記憶領域196)に書き込む(ステップA8)。
図11は、コンピュータ16が制御動作検査プログラムを実行することによって実現される制御動作検査機能を説明するためのフローチャートである。この図11には、基板処理装置の製造段階で実行される検査手順が示されているが、むろん、実際の基板処理の段階で同様の検査を行うこともできる。
検査用レシピの実行が終了すると(ステップB5)、コンピュータ16は、収集された制御動作ログデータおよび装置動作ログデータを記憶装置19から読み出し、さらに、検査基準ファイルを記憶装置19から読み出す(ステップB6)。そして、コンピュータ16は、装置動作ログデータから、ステップ番号の時間変化(図8等の上段の図を参照)を把握し、制御検査基準に従って、各ステップの制御検査区間を特定する(ステップB7)。そして、各ステップの検査区間において、制御検査基準に含まれる制御合格基準を満たしているかどうかを判断する(ステップB8)。
図12は、ハードウェアインタフェース20の制御動作ログメモリ20aに格納される制御動作ログデータおよび装置動作ログメモリ20bに格納される装置動作ログデータの一例をグラフ化して示す図である。より具体的には、図12(a)はステップ番号の時間変化を表している。ステップ番号の時間変化は、装置動作ログデータ(図5参照)から得られる。図12(b)は処理液ノズルN1に対する吐出指示を表している。この吐出指示(制御指令)の時間変化は、制御動作ログデータ(図4参照)から得られる。図12(c)は処理液ノズルN1からの処理液吐出流量の時間変化を表している。この吐出流量時間変化は、装置動作ログデータ(図5参照)における流量計46の計測値から得られる。図12(d)は処理液ノズルN3に対する吐出指示を表している。この吐出指示(制御指令)の時間変化は、制御動作ログデータ(図4参照)から得られる。図12(e)は処理液ノズルN3からの処理液吐出流量の時間変化を表している。この吐出流量時間変化は、装置動作ログデータ(図5参照)における流量計48の計測値から得られる。この図12は、ステップ番号「2」において処理液ノズルN1から処理液を吐出し、ステップ番号「3」において処理液ノズルN3から処理液を吐出することを記述した処理レシピに対応している。
図13Bは、図12の処理におけるステップ番号「3」のためにコンピュータ16が自動生成する検査基準(装置検査基準)の例を示す。検査区間開始条件は「ステップ番号が2になってから0.2秒後」である。検査区間終了条件は「ステップ番号が3でなくなる0.3秒前」である。したがって、ステップ番号が「3」になった後第3所定時間T3(たとえば0.2秒)経過した時点から、ステップ番号が「3」でなくなる(「3」から「4」に変わる)よりも第4所定時間T4(たとえば0.3秒)前の時点までが、装置検査区間(図12の「検査区間2」)として設定されることになる。装置合格基準は、「処理液ノズルN3への吐出指示が出ており、かつ、処理液ノズルN3の吐出流量が2200ml/分(下限流量値)を超えていること」である。このような内容の装置検査基準が作成され、検査基準ファイルとして、記憶装置19(記憶領域196)に登録される。検査時において、コンピュータ16は、「検査区間2」において当該装置合格条件を満たすかどうかを判断することになる。
次に、コンピュータ16は、検査対象の処理レシピを構成するステップを先頭ステップから順に調べ、各ステップに対応する装置検査基準を作成する。
図15は、コンピュータ16が装置動作検査プログラムを実行することによって実現される装置動作検査機能を説明するためのフローチャートである。この図15には、基板処理装置の製造段階で実行される検査手順が示されている。
検査用レシピの実行が終了すると(ステップD5)、コンピュータ16は、収集された制御動作ログデータおよび装置動作ログデータを記憶装置19から読み出し、さらに、検査基準ファイルを記憶装置19から読み出す(ステップD6)。そして、コンピュータ16は、装置動作ログデータから、ステップ番号の時間変化(図12(a)参照)を把握し、装置検査基準に従って、各ステップの装置検査区間を特定する(ステップD7)。そして、各ステップの装置検査区間において、装置検査基準に含まれる装置合格基準を満たしているかどうかを判断する(ステップD8)。
一方、コンピュータ16は、装置動作検査プログラムを実行し、実行中の処理レシピに対応した装置検査基準を作成して記憶装置19(記憶領域196)に登録する(ステップE4)。この処理の詳細は、前述の図14に示したとおりである。
1枚の基板Wに対して処理レシピの実行が終了すると(ステップE6)、コンピュータ16は、収集された制御動作ログデータおよび装置動作ログデータを記憶装置19から読み出し、さらに、検査基準ファイルを記憶装置19から読み出す(ステップE7)。そして、コンピュータ16は、装置動作ログデータから、ステップ番号の時間変化(図12(a)参照)を把握し、装置検査基準に従って、各ステップの装置検査区間を特定する(ステップE8)。そして、各ステップの装置検査区間において、装置検査基準に含まれる装置合格基準を満たしているかどうかを判断する(ステップE9)。
この実施形態では、パーソナルコンピュータ等のコンピュータで構成された検査装置70が基板処理装置に対して接続可能とされている。すなわち、基板処理装置は、検査装置70を接続するためのインタフェース60を有している。このインタフェース60を介して、基板処理装置は、制御装置15のコンピュータ16との間でデータ通信を行うことができる。検査装置70は、コンピュータ71と、入力装置72と、表示装置73と、記憶装置74とを備えている。
入力装置72は、コンピュータ71に接続されており、操作者によって操作されるキーボード、ポインティングデバイス、タッチパネルその他の入力インタフェースからなる。表示装置73は、コンピュータ71に接続されており、入力装置72とともに操作者に対するインタフェースを提供する。表示装置73は、たとえば、液晶表示装置等の二次元表示装置からなる。操作者は、表示装置73の表示を参照しながら入力装置72を操作することにより、コンピュータ71に対して指令を与えることができる。
その他、特許請求の範囲に記載された事項の範囲で種々の設計変更を施すことが可能である。
2 処理カップ
5 回転軸
6 スピンベース
7 回転駆動機構
8 保持部材
11,12,13 吐出部
15 制御装置
16 コンピュータ
17 入力装置
18 表示装置
19 記憶装置
190 記憶領域(基板処理制御プログラム)
191 記憶領域(制御動作検査プログラム)
192 記憶領域(装置動作検査プログラム)
193 記憶領域(レシピ)
194 記憶領域(制御動作ログデータ)
195 記憶領域(装置動作ログデータ)
196 記憶領域(検査基準ファイル)
197 記憶領域(検査基準生成プログラム)
20 ハードウェアインタフェース
20a 制御動作ログメモリ
20b 装置動作ログメモリ
21,22,23 処理液バルブ
31,32,33 処理液流路
35 揺動アーム
36 回転軸
37 揺動駆動機構
38 昇降駆動機構
39 上センサ
40 下センサ
41,42 処理液タンク
43 リンス液供給源
46,47,48 流量計
51,52 処理液ポンプ
60 インタフェース
70 基板処理装置
70 検査装置
71 コンピュータ
72 入力装置
73 表示装置
74 記憶装置
741 記憶領域(制御動作検査プログラム)
742 記憶領域(装置動作検査プログラム)
744 記憶領域(制御動作ログデータ)
745 記憶領域(装置動作ログデータ)
746 記憶領域(検査基準ファイル)
80 外部記憶装置
90 外部記憶装置
N1,N2,N3 処理液ノズル
T1 第1所定時間
T2 第2所定時間
T3 第3所定時間
T4 第4所定時間
W 基板
Claims (8)
- 基板の処理手順を記述したレシピを記憶するレシピ記憶手段と、
前記レシピ記憶手段から処理手順を読み出し、この処理手順に対応した検査基準を記述した検査基準ファイルを生成する検査基準生成手段と、
前記検査基準生成手段によって生成された検査基準ファイルを記憶する検査基準記憶手段と、
前記レシピ記憶手段に記憶されたレシピに従う制御動作を実行する制御手段と、
前記制御手段による制御動作を記録する制御動作記録手段と、
前記制御動作記録手段によって記録された制御動作と、前記検査基準記憶手段に記憶された検査基準ファイルに記述された検査基準とを照合することにより、前記制御動作の適否を判定する制御動作判定手段と
を含み、
前記レシピ記憶手段は、ノズルから基板に対して処理流体を吐出させる処理手順を含むレシピを記憶することができるものであって、ノズルからの処理流体の吐出および停止に関する記述を含み、かつ、複数のステップを含むレシピを記憶することができるものであり、
前記検査基準生成手段は、ノズルからの処理流体吐出制御に関する検査を行うための検査基準を含む検査基準ファイルを生成するものであって、ステップ毎の制御検査区間を設定する制御検査区間設定手段と、前記制御検査区間中における前記ノズルの吐出指示状態または停止指示状態を記述した制御合格基準を生成する制御合格基準生成手段とを含み、
前記制御動作判定手段は、前記制御検査区間における前記制御手段の前記ノズルに関する制御動作と前記制御合格基準とを照合するものであり、
前記制御検査区間設定手段は、ステップ開始から第1所定時間経過後、当該ステップ終了より第2所定時間前までの期間を当該ステップの制御検査区間として設定するものである、基板処理装置。 - 前記制御手段による制御によって基板処理装置が実行した装置動作を記録する装置動作記録手段と、
前記装置動作記録手段によって記録された装置動作と、前記検査基準記憶手段に記憶された検査基準ファイルに記述された検査基準とを照合することにより、前記基板処理装置の装置動作の適否を判定する装置動作判定手段とをさらに含む、請求項1に記載の基板処理装置。 - 基板の処理手順を記述したレシピを記憶するレシピ記憶手段と、
前記レシピ記憶手段から処理手順を読み出し、この処理手順に対応した検査基準を記述した検査基準ファイルを生成する検査基準生成手段と、
前記検査基準生成手段によって生成された検査基準ファイルを記憶する検査基準記憶手段と、
前記レシピ記憶手段に記憶されたレシピに従って基板処理装置によって実行された装置動作を記録する装置動作記録手段と、
前記装置動作記録手段によって記録された装置動作と、前記検査基準記憶手段に記憶された検査基準ファイルに記述された検査基準とを照合することにより、前記基板処理装置の装置動作の適否を判定する装置動作判定手段と
を含み、
前記レシピ記憶手段は、ノズルから基板に対して処理流体を吐出させる処理手順を含むレシピを記憶することができるものであって、ノズルからの処理流体の吐出および停止に関する記述を含み、かつ、複数のステップを含むレシピを記憶することができるものであり、
前記検査基準生成手段は、ノズルからの処理流体吐出動作に関する検査を行うための検査基準を含む検査基準ファイルを生成するものであって、ステップ毎の装置検査区間を設定する装置検査区間設定手段と、前記装置検査区間中における前記ノズルの吐出状態または停止状態を記述した装置合格基準を生成する装置合格基準生成手段とを含み、
前記装置動作判定手段は、前記装置検査区間における前記ノズルに関する装置動作と前記装置合格基準とを照合するものであり、
前記装置検査区間設定手段は、ステップ開始から第3所定時間経過後、当該ステップ終了より第4所定時間前までの期間を当該ステップの装置検査区間として設定するものである、基板処理装置。 - 基板処理装置を検査するための検査装置であって、
前記基板処理装置は、基板の処理手順を記述したレシピを記憶するレシピ記憶手段と、前記レシピ記憶手段に記憶されたレシピに従う制御動作を実行する制御手段とを含み、
前記レシピ記憶手段から処理手順を読み出し、この処理手順に対応した検査基準を記述した検査基準ファイルを生成する検査基準生成手段が、前記基板処理装置または前記検査装置に備えられ、
前記検査装置は、前記制御手段による制御動作を記録する制御動作記録手段と、前記検査基準生成手段によって生成された検査基準ファイルを記憶する検査基準記憶手段と、前記制御動作記録手段によって記録された制御動作と、前記検査基準記憶手段に記憶された検査基準ファイルに記述された検査基準とを照合することにより、前記制御動作の適否を判定する制御動作判定手段とを含み、
前記レシピ記憶手段は、ノズルから基板に対して処理流体を吐出させる処理手順を含むレシピを記憶することができるものであって、ノズルからの処理流体の吐出および停止に関する記述を含み、かつ、複数のステップを含むレシピを記憶することができるものであり、
前記検査基準生成手段は、ノズルからの処理流体吐出制御に関する検査を行うための検査基準を含む検査基準ファイルを生成するものであって、ステップ毎の制御検査区間を設定する制御検査区間設定手段と、前記制御検査区間中における前記ノズルの吐出指示状態または停止指示状態を記述した制御合格基準を生成する制御合格基準生成手段とを含み、
前記制御動作判定手段は、前記制御検査区間における前記制御手段の前記ノズルに関する制御動作と前記制御合格基準とを照合するものであり、
前記制御検査区間設定手段は、ステップ開始から第1所定時間経過後、当該ステップ終了より第2所定時間前までの期間を当該ステップの制御検査区間として設定するものである、
基板処理装置のための検査装置。 - 前記制御手段による制御によって基板処理装置が実行した装置動作を記録する装置動作記録手段と、
前記装置動作記録手段によって記録された装置動作と、前記検査基準記憶手段に記憶された検査基準ファイルに記述された検査基準とを照合することにより、前記基板処理装置の装置動作の適否を判定する装置動作判定手段とをさらに含む、請求項4に記載の基板処理装置のための検査装置。 - 基板処理装置を検査するための検査装置であって、
前記基板処理装置は、基板の処理手順を記述したレシピを記憶するレシピ記憶手段を含み、
前記レシピ記憶手段から処理手順を読み出し、この処理手順に対応した検査基準を記述した検査基準ファイルを生成する検査基準生成手段が前記基板処理装置または前記検査装置に設けられ、
前記検査装置は、前記レシピ記憶手段に記憶されたレシピに従って基板処理装置によって実行された装置動作を記録する装置動作記録手段と、前記検査基準生成手段によって生成された検査基準ファイルを記憶する検査基準記憶手段と、前記装置動作記録手段によって記録された装置動作と、前記検査基準記憶手段に記憶された検査基準ファイルに記述された検査基準とを照合することにより、前記基板処理装置の装置動作の適否を判定する装置動作判定手段とを含み、
前記レシピ記憶手段は、ノズルから基板に対して処理流体を吐出させる処理手順を含むレシピを記憶することができるものであって、ノズルからの処理流体の吐出および停止に関する記述を含み、かつ、複数のステップを含むレシピを記憶することができるものであり、
前記検査基準生成手段は、ノズルからの処理流体吐出動作に関する検査を行うための検査基準を含む検査基準ファイルを生成するものであって、ステップ毎の装置検査区間を設定する装置検査区間設定手段と、前記装置検査区間中における前記ノズルの吐出状態または停止状態を記述した装置合格基準を生成する装置合格基準生成手段とを含み、
前記装置動作判定手段は、前記装置検査区間における前記ノズルに関する装置動作と前記装置合格基準とを照合するものであり、
前記装置検査区間設定手段は、ステップ開始から第3所定時間経過後、当該ステップ終了より第4所定時間前までの期間を当該ステップの装置検査区間として設定するものである、
基板処理装置のための検査装置。 - コンピュータを請求項4〜6のいずれか一項に記載の検査装置として機能させるためのコンピュータプログラム。
- 請求項7記載のコンピュータプログラムを記録したコンピュータ読取可能な記録媒体。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2009226262A JP5399191B2 (ja) | 2009-09-30 | 2009-09-30 | 基板処理装置、基板処理装置のための検査装置、ならびに検査用コンピュータプログラムおよびそれを記録した記録媒体 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2009226262A JP5399191B2 (ja) | 2009-09-30 | 2009-09-30 | 基板処理装置、基板処理装置のための検査装置、ならびに検査用コンピュータプログラムおよびそれを記録した記録媒体 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2011077243A JP2011077243A (ja) | 2011-04-14 |
JP5399191B2 true JP5399191B2 (ja) | 2014-01-29 |
Family
ID=44020930
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2009226262A Active JP5399191B2 (ja) | 2009-09-30 | 2009-09-30 | 基板処理装置、基板処理装置のための検査装置、ならびに検査用コンピュータプログラムおよびそれを記録した記録媒体 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5399191B2 (ja) |
Families Citing this family (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP5670277B2 (ja) * | 2011-07-29 | 2015-02-18 | 東京エレクトロン株式会社 | 基板処理装置、プログラム、コンピュータ記憶媒体、警報表示方法及び基板処理装置の点検方法 |
JP5459279B2 (ja) * | 2011-09-02 | 2014-04-02 | 東京エレクトロン株式会社 | 基板処理装置、基板処理方法及び記憶媒体 |
JP6271271B2 (ja) * | 2014-01-31 | 2018-01-31 | 東京エレクトロン株式会社 | 基板処理装置、流体吐出監視方法、ログ監視装置、基板処理制御装置、および記憶媒体 |
JP6710168B2 (ja) * | 2016-04-19 | 2020-06-17 | 株式会社Kokusai Electric | 基板処理装置、装置管理コントローラ及びプログラム並びに半導体装置の製造方法 |
JP7040870B2 (ja) * | 2017-07-28 | 2022-03-23 | 株式会社Screenホールディングス | 基板処理装置、及び基板処理装置の部品検査方法 |
JP7040869B2 (ja) * | 2017-07-28 | 2022-03-23 | 株式会社Screenホールディングス | 基板処理装置、及び基板処理装置の部品検査方法 |
JP2019047245A (ja) * | 2017-08-31 | 2019-03-22 | 京セラドキュメントソリューションズ株式会社 | 電子機器、ログ取得プログラムおよびログ取得方法 |
JP7184547B2 (ja) * | 2018-06-27 | 2022-12-06 | 株式会社Screenホールディングス | 補正方法、基板処理装置、及び基板処理システム |
JP7226949B2 (ja) | 2018-09-20 | 2023-02-21 | 株式会社Screenホールディングス | 基板処理装置および基板処理システム |
JP7330053B2 (ja) * | 2019-10-09 | 2023-08-21 | 東京エレクトロン株式会社 | 洗浄装置、基板処理装置および異常判断方法 |
Family Cites Families (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP3544801B2 (ja) * | 1996-01-29 | 2004-07-21 | 大日本スクリーン製造株式会社 | 処理液供給方法およびその装置 |
JP2003273003A (ja) * | 2002-03-15 | 2003-09-26 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | 基板処理装置 |
US6915177B2 (en) * | 2002-09-30 | 2005-07-05 | Advanced Micro Devices, Inc. | Comprehensive integrated lithographic process control system based on product design and yield feedback system |
US20070002295A1 (en) * | 2005-06-30 | 2007-01-04 | Asml Netherlands B.V. | System and method of monitoring and diagnosing system condition and performance |
JP4428710B2 (ja) * | 2005-09-09 | 2010-03-10 | 東京エレクトロン株式会社 | 基板処理システム、基板処理方法、検証プログラム及び検証プログラムを記録したコンピュータ読み取り可能な記録媒体 |
-
2009
- 2009-09-30 JP JP2009226262A patent/JP5399191B2/ja active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2011077243A (ja) | 2011-04-14 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5399191B2 (ja) | 基板処理装置、基板処理装置のための検査装置、ならびに検査用コンピュータプログラムおよびそれを記録した記録媒体 | |
TW554385B (en) | Maintenance method of processing apparatus | |
US9223305B2 (en) | Semiconductor manufacturing system | |
US10083845B2 (en) | Substrate processing apparatus, substrate processing method and storage medium | |
KR20230121027A (ko) | 처리 장치, 처리 방법 및 기억 매체 | |
WO2004095566A1 (ja) | 半導体製造システム | |
TWI663490B (zh) | 基板處理裝置及基板處理方法 | |
JP2011023669A (ja) | 処理液供給装置及び処理液供給方法 | |
JP4363860B2 (ja) | 真空処理装置の異物管理装置及び異物管理方法 | |
JP4957820B2 (ja) | 液処理装置、液処理方法及び記憶媒体 | |
US20060160256A1 (en) | Method of inspecting substrate processing apparatus, and storage medium storing inspection program for executing the method | |
JP5290837B2 (ja) | 基板処理装置及び基板処理方法 | |
JP2002025878A (ja) | 処理装置の自動検査方法および自動復帰方法 | |
JP4422000B2 (ja) | 基板処理方法、制御プログラム、およびコンピューター記憶媒体 | |
JP2007266211A (ja) | 半導体製造装置及び半導体製造方法 | |
JP7353190B2 (ja) | 載置台における異物の検出方法、及び、検出装置 | |
KR20070050569A (ko) | 반도체 소자 제조장비에서의 코팅액 노즐 팁 감지장치 | |
WO2023243438A1 (ja) | 基板処理装置および基板処理方法 | |
KR20210049329A (ko) | 웨이퍼 표면온도를 이용한 반도체 공정 상태 관리 장치 | |
JP6744793B2 (ja) | 基板処理装置、基板処理レシピ判定方法、および基板処理レシピ判定プログラム | |
TWI693104B (zh) | 基板處理裝置及基板處理裝置之零件檢查方法 | |
JP7340634B2 (ja) | 基板処理方法及び装置 | |
KR100607735B1 (ko) | 반도체 현상 장치에서의 현상액 누출 감지 및 경보 시스템 | |
JP2009130308A (ja) | 表面処理装置 | |
KR100979757B1 (ko) | 기판 처리 장치 및 방법 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20120326 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20130530 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20130627 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20130807 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20131003 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20131023 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5399191 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
S533 | Written request for registration of change of name |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313533 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |