JP2007258658A - 塗布液の吐出検知方法及びその装置並びに塗布液の吐出検知用プログラム - Google Patents
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Abstract
【解決手段】レーザーセンサ40を用いて、レジスト液Rが吐出されるウエハW表面のレーザー反射光量を測定してノイズマージンの閾値を設定し、次いで、レジストノズル20からウエハ表面にレジスト液が吐出される前のウエハ表面のレーザー反射光量を検出すると共に、レジスト液が吐出中のウエハ表面の最低レーザー反射光量を検出する。そして、レジスト液の吐出前と吐出中のレーザー反射光量の差と、ノイズマージンの閾値とを比較してレジスト液の吐出状態を検知する。
【選択図】 図4
Description
上記レーザー光量検出手段は、上記塗布液供給手段を上記基板の上方位置と基板の外方の待機位置へ移動する移動アームに設けられている、ことを特徴とする。この場合、レーザー光量検知手段は、レーザー投光部と、該レーザー投光部から照射されたレーザー光を反射する反射板と、該反射板によって反射されたレーザー光を受光するレーザー受光部とを具備し、上記レーザー投光部及びレーザー受光部と上記反射板を、上記移動アームにおける塗布液供給手段を挟んで対向する位置に配設する方が好ましい(請求項10)。
図1は、上記レジスト塗布装置の第1実施形態を示す概略断面図である。
吐出検知方法(1)では、まず、レーザーセンサ40がOFF状態のゼロレベルの受光量(A)と、レジスト液Rが吐出される直前のレーザー反射光量(B)を測定して、その差をノイズマージンの閾値として設定する。この場合、レーザーセンサ40がOFFのため、値は最低値の1V出力となり、吐出検知用ボード50側のアナログ分解能は、0−4Vの4ビットなので、200の値となる。また、レジスト液Rが吐出される直前のレーザー反射光量(B)は、ウエハ表面の反射によるレーザーの減衰があるため、例えばアナログ値が2Vの場合、レーザー反射光量(B)の値は408となる。
吐出検知方法(2)では、レジスト液の吐出中のレーザーセンサ40によってレーザー反射光量のアナログ値のサンプリング数をカウントし、レーザーセンサ40の吐出検知用ボード50側で設定される設定閾値{ウエハ毎に取得される基準レベルからボード設定閾値を引いた個別閾値}を下回ったカウントの割合で吐出不良を判定する。
図6は、この発明に係る吐出検知方法の第2実施形態を示す概略斜視図である。
上記実施形態では、この発明に係る吐出検知方法を半導体ウエハのレジスト塗布装置に適用した場合について説明したが、この発明はこれに限定されるものではなく、半導体ウエハ以外の基板例えばLCDガラス基板のレジスト塗布や、レジスト以外の塗布液例えば現像液等の吐出検知方法にも適用することができる。
12 モータ
13 ノズル移動アーム
20 レジストノズル(塗布液供給手段)
40 レーザーセンサ(レーザー光量検出手段)
40a レーザー投光部
40b レーザー受光部
40A 第2のレーザーセンサ(第2のレーザー光量検出手段)
41 反射板
60 CPU
61 ディップ・スイッチ
70 表示手段
80 コンピュータ
81 表示部
82 入出力部
83 記録媒体
W 半導体ウエハ(基板)
R レジスト液
L レーザー光
Claims (15)
- レーザー光量検出手段を用いて、塗布液が吐出される基板表面のレーザー反射光量を測定してノイズマージンの閾値を設定し、
上記レーザー光量検出手段を用いて、塗布液供給手段から基板表面に塗布液が吐出される前の基板表面のレーザー反射光量を検出すると共に、塗布液が吐出中の基板表面の最低レーザー反射光量を検出し、
上記塗布液の吐出前と吐出中のレーザー反射光量の差と、上記ノイズマージンの閾値とを比較して塗布液の吐出状態を検知する、
ことを特徴とする塗布液の吐出検知方法。 - 請求項1記載の塗布液の吐出検知方法において、
上記レーザー反射光量の差がノイズマージンの閾値より小さい場合に、警報を発するようにした、ことを特徴とする塗布液の吐出検知方法。 - レーザー光量検出手段を用いて、塗布液供給手段から基板表面に塗布液が吐出される期間における基板表面のレーザー反射光量のサンプリング数を検出する基準カウント値と、塗布液が吐出される期間におけるレーザー反射光量が上記レーザー光量検出手段の設定閾値を下回った数を検出する検知カウント値とを比較して、塗布液の吐出状態を判定する、ことを特徴とする塗布液の吐出検知方法。
- 請求項3記載の塗布液の吐出検知方法において、
上記基準カウント値の検出期間が、塗布液の吐出信号の開始及び終了から一定時間遅らせた時間である、ことを特徴とする塗布液の吐出検知方法。 - 請求項4記載の塗布液の吐出検知方法において、
上記一定時間が、塗布液の吐出状態及びレーザー光量検出手段のレーザー光量検出状態が安定するまでの時間である、ことを特徴とする塗布液の吐出検知方法。 - 請求項3ないし5のいずれかに記載の塗布液の吐出検知方法において、
上記検知カウント値の検出期間の終了時点が、塗布液の吐出が終了した後であって、設定閾値を下回った値を検出した時点である、ことを特徴とする塗布液の吐出検知方法。 - 請求項3ないし6のいずれかに記載の塗布液の吐出検知方法において、
上記基準カウント値に対する検知カウント値の割合が80%未満の場合に、警報を発するようにした、ことを特徴とする塗布液の吐出検知方法。 - 請求項3ないし7のいずれかに記載の塗布液の吐出検知方法において、
上記基板を水平方向に回転させると共に、レーザー光量を検出する第2のレーザー光量検出手段を用いて、上記基板の周縁部表面のレーザー反射光量を検出することにより、基板全面への塗布液の塗布を検知する、ことを特徴とする塗布液の吐出検知方法。 - 基板を水平方向に回転可能に保持する保持手段と、上記保持手段にて保持された基板の表面に塗布液を吐出する塗布液供給手段と、塗布液が吐出される上記基板表面のレーザー反射光量を測定するレーザー光量検出手段と、を具備し、
上記レーザー光量検出手段は、上記塗布液供給手段を上記基板の上方位置と基板の外方の待機位置へ移動する移動アームに設けられている、ことを特徴とする塗布液の吐出検知装置。 - 請求項9記載の塗布液の吐出検知装置において、
上記レーザー光量検知手段は、レーザー投光部と、該レーザー投光部から照射されたレーザー光を反射する反射板と、該反射板によって反射されたレーザー光を受光するレーザー受光部とを具備し、上記レーザー投光部及びレーザー受光部と上記反射板を、上記移動アームにおける塗布液供給手段を挟んで対向する位置に配設してなる、ことを特徴とする塗布液の吐出検知装置。 - 塗布液供給手段から基板表面に塗布液を吐出して処理を施す塗布処理における塗布液の吐出検知用プログラムであって、
コンピュータに、
レーザー光量検出手段を用いて、塗布液が吐出される基板表面のレーザー反射光量を測定してノイズマージンの閾値を設定する手順と、
上記レーザー光量検出手段を用いて、上記塗布液供給手段から基板表面に塗布液が吐出される前の基板表面のレーザー反射光量を検出する手順と、
上記レーザー光量検出手段を用いて、上記塗布液供給手段から基板表面に塗布液を吐出中の基板表面の最低レーザー反射光量を検出する手順と、
上記塗布液の吐出前と吐出中のレーザー反射光量の差と、上記ノイズマージンの閾値とを比較して塗布液の吐出状態を検知する手順と、
を実行させることを特徴とする塗布液の吐出検知用プログラム。 - 請求項11記載の塗布液の吐出検知用プログラムにおいて、
上記コンピュータに、上記レーザー反射光量の差がノイズマージンの閾値より小さい場合に、警報を発する手順を更に実行させるようにした、ことを特徴とする塗布液の吐出検知用プログラム。 - 塗布液供給手段から基板表面に塗布液を吐出して処理を施す塗布処理における塗布液の吐出検知用プログラムであって、
コンピュータに、
塗布液供給手段から基板表面に塗布液を吐出する手順と、
レーザー光量検出手段を用いて、塗布液供給手段から基板表面に塗布液が吐出される期間における基板表面のレーザー反射光量のサンプリング数を検出して基準カウント値を得る手順と、
塗布液が吐出される期間におけるレーザー反射光量が上記レーザー光量検出手段の設定閾値を下回った数を検出して検知カウント値を得る手順と、
上記基準カウント値と検知カウント値とを比較して、塗布液の吐出状態を判定する手順と、
を実行させることを特徴とする塗布液の吐出検知用プログラム。 - 請求項13記載の塗布液の吐出検知用プログラムにおいて、
上記コンピュータに、基準カウント値に対する検知カウント値の割合が80%未満の場合に、警報を発する手順を更に実行させるようにした、ことを特徴とする塗布液の吐出検知用プログラム。 - 請求項11ないし14のいずれかに記載の塗布液の吐出検知用プログラムにおいて、
上記コンピュータに、
上記基板を水平方向に回転させる手順と、
レーザー光量を検出する第2のレーザー光量検出手段を用いて、上記基板の周縁部表面のレーザー反射光量を検出することにより、基板全面への塗布液の塗布を検知する手順と、
を更に実行させるようにした、ことを特徴とする塗布液の吐出検知用プログラム。
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JP2006191068A JP2007258658A (ja) | 2006-02-24 | 2006-07-12 | 塗布液の吐出検知方法及びその装置並びに塗布液の吐出検知用プログラム |
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2006
- 2006-07-12 JP JP2006191068A patent/JP2007258658A/ja active Pending
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