JP4566989B2 - 薬液供給装置 - Google Patents
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Description
【０００１】
【技術分野】
本発明は薬液を所定量ずつ吐出するようにした薬液供給装置に関する。
【０００２】
【背景技術】
半導体ウエハ製造技術を始めとして、液晶基板製造技術、磁気ディスク製造技術及び多層配線基板製造技術などの技術分野における製造プロセスにおいては、フォトレジスト液、スピニオンガラス液、ポリイミド樹脂液、純水、現像液、エッチング液、有機溶剤などの薬液(Liquid Chemicals)が使用されており、これらの薬液の塗布には薬液供給装置が用いられている。
【０００３】
たとえば、半導体ウエハの表面にフォトレジスト液を塗布する場合には、半導体ウエハを水平面上において回転させた状態のもとで、半導体ウエハの表面にフォトレジスト液を滴下するようにしている。このようなレジスト液の塗布のために使用される薬液供給装置としては、薬液給入口と薬液吐出口とに連通するポンプ室を可撓性チューブによって形成したものがある（例えば、特開平１０−６１５５８号公報参照）。このような薬液供給装置にあっては、可撓性チューブを弾性変形させることによりポンプ室を膨張させると薬液給入口からポンプ室内に薬液が吸引され、ポンプ室を収縮させると薬液吐出口から薬液が吐出されることになる。
【０００４】
従来、モータや空気圧シリンダーなどにより駆動される駆動部の機械的往復運動をポンプ室の膨張収縮運動に変換するために、非圧縮性媒体を間接液として封入する膨張収縮室をポンプ室の外周を取り囲むように設け、膨張収縮室を駆動部の機械的往復運動により弾性変形させることによって非圧縮性媒体を介して間接的にポンプ室を膨張収縮させるようにした技術が知られている。たとえば、上記特許公報に開示される技術においては、それぞれ膨張収縮室を形成する弾性部材である小型ベローズ部と軸方向の単位変位量当たりの容積変化が大きい大型ベローズ部との間に作動ディスク部を装着し、駆動部により当該作動ディスク部を軸方向に往復動させることにより膨張収縮室内で一定の容積を占めようとする間接液を介してポンプ室を膨張収縮させている。
【０００５】
【発明の開示】
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、特許文献１に開示される薬液供給装置のように、モータや空気圧シリンダーを駆動源として作動ディスク部を往復動させるようにすると、薬液を所定量ずつ正確に吐出することができる一方で、薬液供給装置全体の構造が複雑化してしまう。
【０００７】
本発明の目的は、簡潔な構造の流体供給手段により薬液を吸引し吐出することが可能な薬液供給装置を提供することにある。
【０００８】
【課題を解決するための手段】
本発明の薬液供給装置は、ポンプ室の容積を膨張させて当該ポンプ室内に薬液を吸引し、当該ポンプ室の容積を収縮させて当該ポンプ室外に薬液を吐出する薬液供給装置であって、内側ピストン部と当該内側ピストン部の一方側に一体に設けられ内部が前記内側ピストン部の内部に連通する軸方向に弾性変形自在の小型ベローズ部と前記内側ピストン部の他方側に一体に設けられ内部が前記内側ピストン部の内部に連通し軸方向の単位変位量当たりの容積変化が前記小型ベローズ部よりも大きい軸方向に弾性変形自在の大型ベローズ部とを有し、内方に前記ポンプ室が形成されるベローズと、大径部および当該大径部の軸方向両側の小径部が一体となった円筒形状をなし、前記内側ピストン部の外側に固定されて前記内側ピストン部とにより中空ピストンを形成する金属製の外側ピストン部と、前記ベローズを収容するとともに前記外側ピストン部の外周面に接触する内周面が設けられ、前記外側ピストン部の一方の小径部側の第１の作動室と他方の小径部側の第２の作動室とを区画形成するシリンダチューブと、一方の前記ベローズ部に一体に設けられ、前記シリンダチューブに固定される第１の固定端部と、他方の前記ベローズ部に一体に設けられ、前記シリンダチューブに固定される第２の固定端部とを有し、前記第１の作動室と前記第２の作動室とに選択的に流体を供給して前記中空ピストンを軸方向に往復動し、前記ポンプ室を膨張収縮することを特徴とする。
【０００９】
本発明の薬液供給装置は、ポンプ室の容積を膨張させて当該ポンプ室内に薬液を吸引し、当該ポンプ室の容積を収縮させて当該ポンプ室外に薬液を吐出する薬液供給装置であって、内側ピストン部と当該内側ピストン部の一方側に一体に設けられ内部が前記内側ピストン部の内部に連通する軸方向に弾性変形自在の小型ベローズ部と前記内側ピストン部の他方側に一体に設けられ内部が前記内側ピストン部の内部に連通し軸方向の単位変位量当たりの容積変化が前記小型ベローズ部よりも大きい軸方向に弾性変形自在の大型ベローズ部とを有し、内方に前記ポンプ室が形成されるベローズと、大径部および当該大径部の軸方向両側の小径部が一体となった円筒形状をなし、前記内側ピストン部の外側に固定されて前記内側ピストン部とにより中空ピストンを形成する金属製の外側ピストン部と、前記ベローズを収容するとともに前記外側ピストン部の外周面に接触する内周面が設けられ、前記外側ピストン部の一方の小径部側の第１の作動室と他方の小径部側の第２の作動室とを区画形成するシリンダチューブと、前記第１の作動室に装着され前記中空ピストンに対して一方側に向かうバネ力を加えるバネ部材と、一方の前記ベローズ部に一体に設けられ、前記シリンダチューブに固定される第１の固定端部と、他方の前記ベローズ部に一体に設けられ、前記シリンダチューブに固定される第２の固定端部とを有し、前記第２の作動室に対する流体の供給と排出とにより前記中空ピストンを軸方向に往復動し、前記ポンプ室を膨張収縮することを特徴とする。
【００１０】
本発明の薬液供給装置は、それぞれの前記作動室内に前記中空ピストンの往復動ストロークを規制するストッパが配置されることを特徴とする。本発明の薬液供給装置は、前記シリンダチューブの内側に前記中空ピストンの端面に当接するストッパとして回転自在にスリーブを装着し、前記スリーブの外周面に前記シリンダチューブの内周面に形成された雌ねじにねじ結合する雄ねじを形成し、前記スリーブの回転により中空ピストンの移動ストロークを可変とすることを特徴とする。
【００１１】
薬液供給装置は、ポンプ室の容積を膨張させて当該ポンプ室内に薬液を吸引し、当該ポンプ室の容積を収縮させて当該ポンプ室外に薬液を吐出する薬液供給装置であって、内側ピストン部と当該内側ピストン部の一方側に一体に設けられ内部が前記内側ピストン部の内部に連通する軸方向に弾性変形自在の小型ベローズ部と前記内側ピストン部の他方側に一体に設けられ内部が前記内側ピストン部の内部に連通し軸方向の単位変位量当たりの容積変化が前記小型ベローズ部よりも大きい軸方向に弾性変形自在の大型ベローズ部とを有し、内方に前記ポンプ室が形成されるベローズと、大径部および当該大径部の軸方向両側の小径部が一体となった円筒形状をなし、前記内側ピストン部の外側に固定されて前記内側ピストン部とにより中空ピストンを形成する金属製の外側ピストン部と、前記外側ピストン部の外周面に接触する内周面が設けられ、前記ベローズを収容するシリンダチューブと、前記大径部の一方側の端面に対向して前記シリンダチューブに設けられ、前記シリンダチューブ内に第１の作動室を形成する第１の対向面と、前記大径部の他方側の端面に対向して前記シリンダチューブに設けられ、前記シリンダチューブ内に第２の作動室を形成する第２の対向面と、一方の前記ベローズ部に一体に設けられ、前記シリンダチューブに固定される第１の固定端部と、他方の前記ベローズ部に一体に設けられ、前記シリンダチューブに固定される第２の固定端部とを有し、前記第１の作動室と前記第２の作動室とに選択的に流体を供給して前記中空ピストンを軸方向に往復動し、前記ポンプ室を膨張収縮することを特徴とする。
【００１２】
本発明の薬液供給装置は、ポンプ室の容積を膨張させて当該ポンプ室内に薬液を吸引し、当該ポンプ室の容積を収縮させて当該ポンプ室外に薬液を吐出する薬液供給装置であって、内側ピストン部と当該内側ピストン部の一方側に一体に設けられ内部が前記内側ピストン部の内部に連通する軸方向に弾性変形自在の小型ベローズ部と前記内側ピストン部の他方側に一体に設けられ内部が前記内側ピストン部の内部に連通し軸方向の単位変位量当たりの容積変化が前記小型ベローズ部よりも大きい軸方向に弾性変形自在の大型ベローズ部とを有し、内方に前記ポンプ室が形成されるベローズと、大径部および当該大径部の軸方向両側の小径部が一体となった円筒形状をなし、前記内側ピストン部の外側に固定されて前記内側ピストン部とにより中空ピストンを形成する金属製の外側ピストン部と、前記ベローズを収容するとともに前記外側ピストン部の外周面に接触する内周面が設けられ、前記外側ピストン部の一方の小径部側の第１の作動室と他方の小径部側の第２の作動室とを区画形成するシリンダチューブと、前記中空ピストンの一方側の端面に対向して前記シリンダチューブに設けられ、前記シリンダチューブ内に第１の作動室を形成する第１の対向面と、前記中空ピストンの他方側の端面に対向して前記シリンダチューブに設けられ、前記シリンダチューブ内に第２の作動室を形成する第２の対向面と、前記第１の作動室に装着され前記中空ピストンに対して一方側に向かうバネ力を加えるバネ部材と、一方の前記ベローズ部に一体に設けられ、前記シリンダチューブに固定される第１の固定端部と、他方の前記ベローズ部に一体に設けられ、前記シリンダチューブに固定される第２の固定端部とを有し、前記第２の作動室に対する流体の供給と排出とにより前記中空ピストンを軸方向に往復動し、前記ポンプ室を膨張収縮することを特徴とする。
【００１３】
本発明の薬液供給装置は、前記シリンダチューブと前記ベローズとの間に回転自在にスリーブを装着し、当該スリーブにより前記第１と第２の対向面の少なくとも一方を形成し、前記スリーブの外周面に前記シリンダチューブの内周面に形成された雌ねじにねじ結合する雄ねじを形成し、前記スリーブの回転により前記中空ピストンの移動ストロークを可変とすることを特徴とする。
【００１４】
本発明の薬液供給装置は、両端が前記固定端部に保持されるとともに内部に前記ポンプ室を形成する可撓性チューブが前記ベローズの内側に配置され、前記ベローズと前記可撓性チューブとの間に非圧縮性媒体が封入される膨張収縮室を形成することを特徴とする。
【００１５】
本発明にあっては、大型ベローズ部と小型ベローズ部とが一体に設けられた内側ピストン部を有するベローズがシリンダチューブの中に収容されており、内側ピストン部とこの外側に固定される金属製の外側ピストン部とにより中空ピストンが形成される。シリンダチューブとベローズとの間であって中空ピストンの両側に作動室が区画形成される。２つの作動室のうち少なくとも一方に流体を供給することによって中空ピストンが軸方向に往復動すると、２つのベローズ部が軸方向に変位してベローズ内方のポンプ室が膨張収縮する。この膨張収縮によってポンプ室内に薬液を吸引したりポンプ室外に薬液を吐出したりすることができる。ベローズに中空ピストンが一体に設けられており、流体によりベローズを直接軸方向に駆動することができるので、少ない部品点数で薬液供給装置の小型化が達成される。
【００１６】
それぞれのベローズ部とシリンダチューブとの間に作動室を形成することができる。また、シリンダチューブの内側にスリーブを組み込んでピストンの端面とスリーブの対向面との間に作動室を形成することができる。
【００１７】
中空ピストンは両方の作動室に交互に選択的に流体を供給することによって軸方向に往復動される。また、一方の作動室にバネ部材を装着し、他方の作動室にバネ力に抗して中空ピストンを駆動する流体を供給することによって、他方の作動室に対する流体の供給と排出とにより中空ピストンは軸方向に往復動される。
【００１８】
内側をポンプ室とする可撓性チューブをベローズの内側に配置し、ベローズ内側の容積の変化を間接媒体を介して可撓性チューブに伝達することにより、可撓性チューブの内側のポンプ室に薬液をスムーズに吸引し吐出することができるとともに、変質物を付着させにくくすることができる。
【００１９】
中空ピストンに当接するストッパをそれぞれの作動室内に配置することにより、中空ピストンの往復動ストロークを規制することができる。中空ピストンに当接する対向面を有しシリンダチューブにネジ結合される回転スリーブを少なくとも一方の作動室内に組み込み、回転スリーブの回転により中空ピストンの移動ストローク端の位置を変化させることにより、ポンプ室内に吸引又はポンプ室外へ吐出される薬液量を無段階に変化させることができる。
【００２０】
中空ピストンに永久磁石を組み込んで、中空ピストンの位置を検出することにより、吸引又は吐出される薬液量をより正確に検出することができる。薬液供給装置はポンプとして使用され、サックバックバルブとしても使用される。
【００２１】
【発明を実施するための最良の形態】
以下、複数の実施の形態を図面に基づいて本発明を詳細に説明する。それぞれの実施の形態を示す図面においては、共通する部材には同一の符号が付されている。図１は本発明の一実施の形態である薬液供給装置１０ａを示す斜視図であり、図２は図１における２−２線に沿う断面図であり、図３は図１における３−３線に沿う断面図である。
【００２２】
薬液供給装置１０ａは図１に示すように外周面がほぼ四角形のシリンダチューブ１１を有し、このシリンダチューブ１１内には、図２および図３に示すように、軸方向に弾性変形自在のベローズ１２が組み込まれており、ベローズ１２はシリンダチューブ１１内に収容されている。ベローズ１２は吸引側の固定端部１３と、吐出側の固定端部１４と、これらの固定端部１３，１４の間の中空ピストン１５とを有しており、固定端部１３と中空ピストン１５との間には大型ベローズ部１６が設けられ、固定端部１４と中空ピストン１５との間には小型ベローズ部１７が設けられている。このように、固定端部１３，１４、中空ピストン１５、大型ベローズ部１６、および小型ベローズ部１７は弾性変形材料により一体に連なって形成されている。
【００２３】
大型ベローズ部１６の有効径をＤとし小型ベローズ部１７の有効径をｄとすると、有効径Ｄは有効径ｄよりも大きく設定されており、大型ベローズ部１６が軸方向に弾性変形した場合の単位変位量当たりの容積変化は小型ベローズ部１７の容積変化よりも大きくなっている。ここで、それぞれの有効径ｄ，Ｄは、小型ベローズ部１７と大型ベローズ部１６の軸方向の膨張収縮過程におけるそれぞれのベローズ部１６，１７の平均内径を意味する。なお、図示する場合にあっては、吐出側に小型ベローズ部１７が配置され吸引側に大型ベローズ部１６が配置されているが、吐出側に大型ベローズ部１６を配置するとともに吸引側に小型ベローズ部１７を配置するようにしても良い。
【００２４】
ベローズ１２の内側には弾性材料からなり径方向に膨張収縮自在の可撓性チューブ１８が配置されており、可撓性チューブ１８の内側はポンプ室２０となっている。可撓性チューブ１８とベローズ１２との間には膨張収縮室１９が形成され、この膨張収縮室１９内には液体等の非圧縮性媒体が間接液として封入されている。したがって、中空ピストン１５を大型ベローズ部１６に向けて軸方向に移動させると、大型ベローズ部１６と小型ベローズ部１７がそれぞれ軸方向に変位して、有効径Ｄの大型ベローズ部１６の長さが短くなり、有効径ｄの小型ベローズ部１７の長さが長くなるので、ベローズ１２の内方の容積が小さくなって非圧縮性媒体を介して可撓性チューブ１８が径方向内方に弾性変形し、ポンプ室２０が収縮する。逆に、中空ピストン１５を小型ベローズ部１７に向けて軸方向に移動させると、有効径Ｄの大型ベローズ部１６の長さが長くなり、有効径ｄの小型ベローズ部１７の長さが短くなるので、ベローズ１２の内方の容積が大きくなって非圧縮性媒体を介して可撓性チューブ１８が径方向外方に弾性変形し、ポンプ室２０が膨張する。可撓性チューブ１８の一端部はこれの内部に嵌合される連結部材２１により固定端部１３に固定され、可撓性チューブ１８の他端部はこれの内部に嵌合される連結部材２２により固定端部１４に固定されている。
【００２５】
連結部材２１には吸引側流路２３が接続され、この吸引側流路２３は薬液収容部としての薬液タンク２４に取り付けられており、他方の連結部材２２には吐出側流路２５が接続され、この吐出側流路２５は薬液吐出部としての塗布ノズル２６に接続されている。吐出側流路２５には塗布ノズル２６に供給される薬液内の異物を除去するためにフィルタを設けるようにしても良い。吸引側流路２３にはこの流路を開閉するための吸引側開閉弁２７が組み込まれ、吐出側流路２５にはこの流路を開閉するための吐出側開閉弁２８が組み込まれている。吸引側流路２３と吐出側流路２５は樹脂製のパイプにより形成されている。吸引側開閉弁２７及び吐出側開閉弁２８としては、電気信号により作動するソレノイドバルブ、空気圧により作動するエアオペレートバルブを用いても良く、更には、逆止弁つまりチェック弁を用いるようにしても良い。
【００２６】
可撓性チューブ１８、連結部材２１，２２、吸引側流路２３および吐出側流路２５は、薬液タンク２４内に収容される薬液がフォトレジスト液である場合には、薬液と反応しないように、フッ素樹脂であるポリテトラフルオロエチレン（ＰＴＦＥ）や四フッ化エチレン・パーフルオロアルコキシエチレン共重合樹脂（ＰＦＡ）により製造されている。また、ベローズ１２もＰＴＦＥやＰＦＡにより製造される。ベローズ１２を製造するには棒状の樹脂材料を図示する形状に切削加工しても良く、樹脂金型を用いて成形するようにしても良い。ベローズ１２を切削加工又は樹脂金型を用いて成形すると、ベローズ１２の内面が平滑化され、内部で薬液の滞留が生じないので変質やそれによる汚染の発生も防止される。ただし、樹脂材料としてはＰＴＦＥやＰＦＡに限られず、弾性変形する材料であれば他の樹脂材料や金属材料を使用するようにしても良い。
【００２７】
ベローズ１２をこれの外側に設けられるシリンダチューブ１１に固定するために、固定端部１３に形成された係合溝３１に係合する固定プレート３２がカバー３３を介してボルト３４によりシリンダチューブ１１の一方の端面に固定され、固定プレート３２を介して固定端部１３はシリンダチューブ１１に固定されている。同様に、固定端部１４に形成された係合溝３５に係合する固定プレート３２がカバー３３を介してボルト３４によりシリンダチューブ１１の他方の端面に固定され、固定プレート３２を介して固定端部１４はシリンダチューブ１１に固定されている。
【００２８】
中空ピストン１５は大径部３６とこれの両側に設けられた小径部３７，３８とを有しており、大径部３６はシリンダチューブ１１の内周面１１ａに案内されて軸方向に摺動する。シリンダチューブ１１の一端部内には小径部３７の外周面を覆う第１のスリーブ４１が固定され、シリンダチューブ１１の他端部内には小径部３８を覆う第２のスリーブ４２が固定されている。スリーブ４１は小径部３７の外周面に接触して小径部３７を軸方向に摺動自在に案内し、スリーブ４２は小径部３８の外周面に接触して小径部３８を軸方向に摺動自在に案内する。中空ピストン１５の一方側の端面３６ａとこれに対向するスリーブ４１の対向面４１ａとによりシリンダチューブ１１内には第１の作動室４３が区画形成され、中空ピストン１５の他方の端面３６ｂとこれに対向するスリーブ４２の対向面４２ａとによりシリンダチューブ１１内には第２の作動室４４が区画形成されている。このように、中空ピストン１５の一方側には第１の作動室４３が形成され、他方側には第２の作動室４４が形成されている。
【００２９】
大径部３６にはシリンダチューブ１１の内周面と中空ピストン１５との間をシールするシール部材４５が取り付けられ、それぞれの小径部３７，３８には、それぞれの小径部３７，３８とスリーブ４１，４２と間をシールするシール部材４６が取り付けられ、さらにそれぞれのスリーブ４１，４２にはそれぞれのスリーブ４１，４２とシリンダチューブ１１との間をシールするシール部材４７が取り付けられている。
【００３０】
中空ピストン１５が軸方向に往復動する際に、大型ベローズ部１６とこれを覆うスリーブ４１とにより形成される空間の容積が変化し、小型ベローズ部１７とこれを覆うスリーブ４２とにより形成される空間の容積が変化するので、それぞれの空間を外部に連通させるためにシリンダチューブ１１にはブリーザポート４８ａ、４９ａが形成され、ブリーザポート４８ａはスリーブ４１に形成された連通孔４８ｂを介して大型ベローズ部１６とスリーブ４１との間の空間に連通し、ブリーザポート４９ａはスリーブ４２に形成された連通孔４９ｂを介して小型ベローズ部１７とスリーブ４２との間の空間に連通している。
【００３１】
シリンダチューブ１１には、作動室４３に連通する給排ポート５１ａと作動室４４に連通する給排ポート５１ｂとがシリンダチューブ１１の外周面に開口して形成されており、給排ポート５１ａはシリンダチューブ１１とスリーブ４１との間の隙間を介して作動室４３に連通し、給排ポート５１ｂはシリンダチューブ１１とスリーブ４２との間の隙間を介して作動室４４に連通している。両方の作動室４３，４４に対して交互に選択的に圧縮空気を供給するために空気圧供給ユニット５２の流路５３ａ，５３ｂが給排ポート５１ａ，５１ｂに接続されるようになっており、それぞれの流路５３ａ，５３ｂには電磁弁５４を介して空気圧供給源５５が接続されている。電磁弁５４は空気圧供給源５５に連通する給入ポート５６、流路５３ａに連通する出力ポート５７、流路５３ｂに連通する出力ポート５８、及び外部に連通する排出ポート５９，６０を有する５ポート２位置切換弁である。ソレノイド６１への通電により給入ポート５６と出力ポート５８とを連通させるとともに排出ポート５９と出力ポート５７とを連通させる吐出位置と、ソレノイド６１への通電遮断により給入ポート５６と出力ポート５７とを連通させるとともに排出ポート６０と出力ポート５８とを連通させる吸引位置とに作動する。したがって、ソレノイド６１に通電すると、作動室４４に流体が供給されるとともに作動室４３内の流体は排出されて中空ピストン１５は大型ベローズ部１６に向けて移動し、ポンプ室２０は収縮する。一方、ソレノイド６１への通電を遮断すると、作動室４３に流体が供給されるとともに作動室４４内の流体は排出されて中空ピストン１５は逆方向に移動し、ポンプ室２０は膨張することになる。
【００３２】
小型ベローズ部１７の外側のスリーブ４２の肉厚は、大型ベローズ部１６の外側のスリーブ４１よりも大きく設定されており、この対向面４２ａが対向する中空ピストン１５の受圧面つまり端面３６ｂの面積は対向面４１ａが対向する中空ピストン１５の受圧面つまり端面３６ａよりも大きく設定されている。したがって、作動室４４に流体を供給してポンプ室２０を収縮させて薬液を吐出させる際には中空ピストン１５に大きな推力を加えることができ、吸引側流路２５にフィルタを設けても、フィルタの流通抵抗に抗して確実に薬液を吐出させることができる。
【００３３】
それぞれの作動室４３，４４には圧縮空気が供給されるようになっているが、負圧空気をそれぞれの作動室４３，４４に選択的に供給して中空ピストン１５を軸方向に往復動するようにしても良く、液体により中空ピストン１５を往復動するようにしても良い。
【００３４】
中空ピストン１５は大径部３６の端面３６ａがスリーブ４１の対向面４１ａに当接する位置と、端面３６ｂがスリーブ４２の対向面４２ａに当接する位置との間を軸方向に往復動することになる。中空ピストン１５がそれぞれの往復動端の所定の位置まで移動したことを検出するために、図３に示すように中空ピストン１５には永久磁石６２が装着され、シリンダチューブ１１の外周面に軸方向に延びて形成されたセンサ取付溝６３ａ，６３ｂには、図１に示すように、磁力に感応するセンサ６４ａ，６４ｂが装着されるようになっている。一方のセンサ６４ａは中空ピストン１５が対向面４２ａに向けて所定の位置まで接近したことを検出し、他方のセンサ６４ｂは中空ピストン１５が対向面４１ａに向けて所定の位置まで接近したことを検出することができる。これにより、ポンプ室２０内に吸引され、またはポンプ室２０内から吐出される薬液量を正確に検出することができる。ただし、シリンダチューブ１１に１つのセンサのみを設け、中空ピストン１５が吐出側のストローク端である対向面４１ａに所定の位置まで接近したことをセンサにより検出するようにし、中空ピストン１５が吸入側のストローク端である対向面４２ａに当接するまで移動させるようにしても良い。また、センサの取付位置を任意に変更して吐出量を任意に変更するようにしても良い。
【００３５】
次に、薬液供給装置１０ａの作動について説明する。図２および図３に示されるように、中空ピストン１５がベローズ１２の軸方向のほぼ中央の位置にある状態を中立状態とすると、ソレノイド６１の通電を遮断した状態では作動室４３には流体が供給され、中空ピストン１５は中立状態から小型ベローズ部１７側へ中空ピストン１５の大径部３６がスリーブ４２に当接するまで移動することになる。このとき、ベローズ１２全体では、小型ベローズ部１７が短くなるように変位し、有効径Ｄが大きい大型ベローズ部１６が長くなるように変位することから、ベローズ１２内方のポンプ室２０の容積が大きくなる。これにより、ポンプ室２０内は負圧状態となって、薬液タンク２４内の薬液はポンプ室２０内に吸引される。このとき、吸引側開閉弁２７の作動により吸引側流路２３の流路は開かれ、吐出側開閉弁２８の作動により吐出側流路２５の流路は閉じられている。
【００３６】
一方、ソレノイド６１に通電すると電磁弁５４は吸引位置から吐出位置に切り換わり、作動室４４には流体が供給されるとともに作動室４３内の流体は排出ポート５９を通って外部に排出される。これにより、中空ピストン１５は大型ベローズ部１６側へ中空ピストン１５の大径部３６がスリーブ４１に当接するまで移動することになり、ベローズ１２全体では、大径部が短くなるように変位し、有効径ｄが小さい小型ベローズ部１７が長くなるように変位することから、ベローズ１２内方のポンプ室２０の容積が小さくなる。これにより、上述の吸引過程で吸引されたポンプ室２０内の薬液は塗布ノズル２６に向けて吐出されることになる。このとき、吸引側開閉弁２７の作動により吸引側流路２３の流路は閉じられ、吐出側開閉弁２８の作動により吐出側流路２５の流路は開かれている。
【００３７】
薬液供給装置１０ａにあっては、ソレノイド６１に対する通電制御により電磁弁５４を所定のタイミングで吐出位置と吸引位置とに切り換えるとともに、開閉弁２７，２８を切り換えることにより、ポンプ室２０を所定のタイミングで膨張収縮させ、塗布ノズル２６から薬液を塗布することができる。
【００３８】
塗布ノズル２６から所定量の薬液を吐出した後に、塗布ノズル２６から薬液が液垂れするのを防止するために、サックバック動作を行なうことが必要となる場合がある。その場合には、吸引側開閉弁２７を閉じ、吐出側開閉弁２８を開いた状態のもとで中空ピストン１５を小型ベローズ部１７側に移動させてポンプ室２０を膨張させる。そのようなサックバック動作を行なう場合には、それぞれの開閉弁２７，２８としては逆止弁を使用することなく、外部からの信号により開閉するタイプの電磁弁やエアオペレートバルブを使用することになる。
【００３９】
図４は本発明の他の実施の形態である薬液供給装置１０ｂを示す断面図であり、図４は前述した薬液供給装置１０ａにおける図２に対応する部分を示す。この薬液供給装置１０ｂにおいては、図４に示すベローズ１２の中空ピストン１５が内側ピストン部１５ａと外側ピストン部１５ｂとにより形成されており、内側ピストン部１５ａはそれぞれの固定端部１３，１４、大型ベローズ部１６および小型ベローズ部１７とともに樹脂により一体的に形成されている。外側ピストン部１５ｂは金属により全体的に円筒形状に形成され、大径部３６と小径部３７，３８とを有しており、外側ピストン部１５ｂを内側ピストン部１５ａに嵌合してこれに固定することによってベローズ１２が組み立てられる。このようにベローズ１２の構造は、図２および図３に示す場合と相違しているが、他の構造は同様である。
【００４０】
図５は本発明の他の実施の形態である薬液供給装置１０ｃを示す断面図であり、図５は薬液供給装置１０ｂにおける図４に対応した部分を示す。図５に示す薬液供給装置１０ｃにおいては、ベローズ１２内には前述した可撓性チューブ１８が設けられておらず、ベローズ１２の内側がポンプ室２０となっている。
【００４１】
図５に示される薬液供給装置１０ｃによって薬液タンク２４内に収容されたフォトレジスト液を塗布ノズル２６に吐出する場合には、ベローズ１２は薬液と反応しないように、ＰＴＦＥやＰＦＡにより製造される。この薬液供給装置１０ｃも、中空ピストン１５を図４に示した内側ピストン部１５ａと外側ピストン部１５ｂとにより形成するようにしても良い。
【００４２】
図４に示す薬液供給装置１０ｂおよび図５に示す薬液供給装置１０ｃにおいても、図２に示した空気圧供給ユニット５２がシリンダチューブ１１に装着され、電磁弁５４を作動させてベローズ１２の中空ピストン１５を軸方向に往復動することによって、ポンプ室２０が膨張されるとポンプ室２０内に薬液が吸引され、ポンプ室２０が収縮されるとポンプ室２０内から薬液が吐出される。
【００４３】
図６は本発明の他の実施の形態である薬液供給装置１０ｄを示す断面図であり、図６は薬液供給装置１０ａにおける図２に対応する部分を示す。図６に示す薬液供給装置１０ｄにおいては、一方のスリーブ４１は大径の基端部３９ａと小径の先端部３９ｂとを有し、先端部３９ｂの外側には圧縮コイルバネがバネ部材６５として組み込まれている。このように、図６に示す場合には、中空ピストン１５の一方側の作動室４３内にはバネ部材６５が装着されているのに対し、他方の作動室４４には上述した薬液供給装置１０ａ〜１０ｃと同様に圧縮空気が供給されるようになっている。
【００４４】
給排ポート５１ｂには空気圧供給ユニット５２ａの空気圧流路５３ｂが接続されており、空気圧流路５３ｂには電磁弁５４ａを介して空気圧供給源５５が接続されている。電磁弁５４ａは空気圧供給源５５に連通する給入ポート５６、空気圧流路５３ｂに連通する出力ポート５７、及び外部に連通する排出ポート５９を有する３ポート２位置切換弁であり、ソレノイド６１への通電により排出ポート５９と出力ポート５７とを連通させる吸引位置と、ソレノイド６１への通電を遮断することにより給入ポート５６と出力ポート５７とを連通させる吐出位置とに作動する。
【００４５】
この薬液供給装置１０ｄにおいては、作動室４４に圧縮空気を供給すると、中空ピストン１５は大型ベローズ部１６に向けて軸方向に移動し、大型ベローズ部１６を縮めて小型ベローズ部１７を軸方向に伸ばしてポンプ室２０を収縮させる。これにより、ポンプ室２０の容積が小さくなってポンプ室２０内の薬液は塗布ノズル２６に向けて吐出される。一方、作動室４４内の圧縮空気を排気すると、バネ部材６５のバネ力によって中空ピストン１５はスリーブ４２の先端に当接するまで移動し、大型ベローズ部１６が軸方向に伸ばされ、小型ベローズ部１７が軸方向に縮められてポンプ室２０は膨張する。これにより、ポンプ室２０の容積が大きくなって薬液タンク２４内の薬液はポンプ室２０内に吸引される。
【００４６】
このように、作動室４４に対する流体の供給と排出とを選択することによって、バネ部材６５のばね力によるポンプ室２０の膨張と、作動室４４に供給される圧縮空気の圧力によるポンプ室２０の収縮とが行われる。なお、バネ部材６５を作動室４４内に組み込むようにしても良く、その場合には作動室４３に圧縮空気を供給することになる。この薬液供給装置１０ｄにおいては、ベローズ１２内には可撓性チューブ１８が組み込まれているが、図５に示した薬液供給装置１０ｃと同様に可撓性チューブ１８を取り除いてベローズ１２の内側にポンプ室２０を形成するようにしても良い。また、薬液供給装置１０ｂのベローズ１２と同様に中空ピストン１５を内側ピストン部１５ａと外側ピストン部１５ｂとにより形成するようにしても良い。さらに、図４〜図６に示す薬液供給装置１０ｂ〜１０ｄにおいても、中空ピストン１５に図３に示した永久磁石６２を装着し、シリンダチューブ１１にセンサ６４ａ，６４ｂを装着することによって中空ピストン１５が所定のストローク端の位置まで移動したことを検出することができ、吸引又は吐出される薬液量を正確に検出することもできる。ただし、シリンダチューブ１１に１つのセンサのみを設け、中空ピストン１５が吐出側のストローク端である対向面４１ａに所定の位置まで接近したことをセンサにより検出するようにし、中空ピストン１５が吸入側のストローク端である対向面４２ａに当接するまで移動させるようにしても良い。また、センサの取付位置を任意に変更して吐出量を任意に変更するようにしても良い。
【００４７】
図７は本発明の他の実施の形態である薬液供給装置１０ｅを示す斜視図であり、図８は図７における８−８線に沿う断面図である。図７および図８に示す薬液供給装置１０ｅにおいては、スリーブ４２が前述した薬液供給装置１０ａ〜１０ｄと同様にシリンダチューブ１１に固定されているのに対して、ベローズ１２とシリンダチューブ１１との間には回転スリーブ６６が回転自在に組み込まれている。この回転スリーブ６６の外周面には雄ネジ６７が形成され、シリンダチューブ１１の内周面１１ａには雄ネジ６７にねじ結合する雌ネジ６８が形成されている。
【００４８】
回転スリーブ６６の基端部には大径部６９が設けられ、シリンダチューブ１１には、図７に示すように、大径部６９の一部を外部に露出させる窓部７０が形成されており、回転スリーブ６６は作業者により窓部７０を介して回転操作されるようになっている。回転スリーブ６６が回転されると、回転スリーブ６６の対向面６６ａと大径部３６のピストン端面３６ａとが接触する位置が変化し、中空ピストン１５の大型ベローズ部１６に向かう方向のストロークを調整することができる。窓部７０はシリンダチューブ１１の４つの外面にそれぞれ設けられているが、いずれかの外面のみに設けるようにしても良い。スリーブ４２はシリンダチューブ１１に固定されているが、スリーブ４２を回転スリーブとして中空ピストン１５が小型ベローズ部１７に向かう方向の移動ストロークを変化させるようにしても良く、両方のスリーブを回転スリーブとして中空ピストン１５の軸方向両方向の移動ストロークを変化させるようにしても良い。
【００４９】
この薬液供給装置１０ｅにおいても、図５に示した薬液供給装置１０ｃと同様に可撓性チューブ１８を取り除いてベローズ１２の内側にポンプ室２０を形成するようにしても良い。また、薬液供給装置１０ｂのベローズ１２と同様に中空ピストン１５を内側ピストン部１５ａと外側ピストン部１５ｂとにより形成するようにしても良い。
【００５０】
図９は本発明の他の実施の形態である薬液供給装置１０ｆを示す斜視図であり、図１０は図９における１０−１０線に沿う断面図である。この薬液供給装置１０ｆはベローズ１２が上述したものと同様であるのに対し、シリンダチューブ１１は上述したものよりも短くなっており中空ピストン１５を収容する長さとなっている。固定端部１３の係合溝３１に係合する固定プレート３２は、シリンダチューブ１１にボルト３４により固定される４本の連結ロッド７１を介してシリンダチューブ１１の一端に連結され、固定端部１４の係合溝３５に係合する固定プレート３２は、シリンダチューブ１１にボルト３４により固定される４本の連結ロッド７２を介してシリンダチューブの他端に連結されている。
【００５１】
シリンダチューブ１１の一端部には上述したスリーブ４１に対応する部分が一体になっており、ピストン端面３６ａと対向する対向面４１ａがシリンダチューブ１１の内面に設けられ、対向面４１ａとピストン端面３６ａとの間に作動室４３が形成されている。シリンダチューブ１１の他端部にはスリーブ４２が圧入により固定され、このスリーブ４２の対向面４２ａはピストン端面３６ｂに対向しており、対向面４２ａとピストン端面３６ｂとの間に作動室４４が形成されている。
【００５２】
それぞれの作動室４３，４４には図２に示した空気圧供給ユニット５２が接続されるようになっており、それぞれの作動室４３，４４に供給される流体によって中空ピストン１５は直線方向に往復動し、上述したそれぞれの薬液供給装置と同様にポンプ室２０を膨張収縮する。
【００５３】
この薬液供給装置１０ｆにおいても、図５に示すように可撓性チューブ１８を取り除いてベローズ１２の内側にポンプ室２０を設けるようにしても良く、図６に示すように一方の作動室内にバネ部材を組み込むようにしても良く、ベローズ１２を図４に示すように内側ピストン部１５ａと外側ピストン部１５ｂとにより形成するようにしても良い。
【００５４】
図１１は本発明の他の実施の形態である薬液供給装置１０ｇを示す断面図である。この薬液供給装置１０ｇにおいては、中空ピストン１５には前述した小径部３７，３８と、それぞれの小径部３７，３８を案内するスリーブ４１，４２とが設けられておらず、大型ベローズ部１６とシリンダチューブ１１との間に作動室４３が形成され、小型ベローズ部１７とシリンダチューブ１１との間に作動室４４が形成されている。それぞれの作動室４３，４４には、図２に示した空気圧供給ユニット５２から圧縮空気が供給されて中空ピストン１５が軸方向に往復動し、ポンプ室２０が横方向に膨張収縮する。
【００５５】
図１１に示すように、シリンダチューブ１１の内側にはそれぞれの作動室４３，４４内に位置させて中空ピストン１５の往復動ストロークを規制する円筒形状のスリーブからなるストッパ７３，７４が圧入により固定されている。ただし、それぞれのストッパ７３，７４を図示しないネジ部材によりシリンダチューブ１１に固定するようにしても良い。
【００５６】
図１２は本発明の他の実施の形態である薬液供給装置を示す断面図であり、この薬液供給装置１０ｈにおいては、図１１に示された作動室４４内にはバネ部材７５が組み込まれており、このバネ部材７５の一端はピストン端面に当接し、他端は固定端部１４の端面に当接している。給排ポート５１ａには図６に示した空気圧供給ユニット５２ａが接続されるようになっており、作動室４３に対する流体の供給と排出とを選択することによって中空ピストン１５が軸方向に往復動し、ポンプ室２０が膨張収縮する。
【００５７】
図１３は本発明の他の実施の形態である薬液供給装置１０ｉを示す断面図であり、この薬液供給装置１０ｉは図１１に示したベローズ１２に可撓性チューブ１８が組み込まれた構造となっており、他の構造は図１１に示した薬液供給装置１０ｇと同様である。
【００５８】
図１４は本発明の他の実施の形態である薬液供給装置１０ｊを示す断面図であり、この薬液供給装置１０ｊは図１１に示される薬液供給装置１０ｇがサックバックバルブとして使用される。
【００５９】
この薬液供給装置１０ｊにおいては、吸引側流路２３には薬液タンク２４から薬液を吸引するためのポンプ７６が接続されている。このポンプ７６は塗布ノズル２６に向けて一定量の薬液を吸引吐出するための装置であり、上述の薬液供給装置１０ａ〜１０ｉを使用することができるが、これらに限られず、他のタイプの薬液ポンプを使用することもできる。なお、ポンプ７６として薬液供給装置１０ａ〜１０ｉが使用される場合には、ポンプ７６の上流側の流路には開閉弁が設けられることになる。薬液供給装置１０ｊとポンプ７６との間の吸引側流路２３には開閉弁７７が設けられており、開閉弁７７は外部からの電気信号により作動するソレノイドバルブや空気圧により作動するエアーオペレートバルブが使用される。
【００６０】
薬液供給装置１０ｊのサックバックバルブとしての作動について説明する。サックバックバルブとしての薬液供給装置１０ｊは、塗布ノズル２６から所定量の薬液を吐出した後に、塗布ノズル２６から薬液が液垂れするのを防止するために行なわれるサックバック動作を行なうために、ポンプ７６から塗布ノズル２６に向けて薬液が供給されている間はソレノイド６１に通電が行なわれ、ポンプ室２０の容積は小さくなった収縮状態で保持されている。このときには、開閉弁７７の作動により吸引側流路２３は開かれており、ポンプ７６により吸引された薬液は吸引側流路２３、ポンプ室２０、及び吐出側流路２５を通って塗布ノズル２６から吐出されるようになっている。ポンプ室２０は収縮した状態で保持されているので、ポンプ７６から塗布ノズル２６に向かう薬液の流れは薬液供給装置１０ｊによって阻止されることはない。
【００６１】
塗布ノズル２６から所定量の薬液が吐出された後は、薬液の液垂れを防止するために、ソレノイド６１に対する通電を遮断してポンプ室２０を膨張させるとともに、開閉弁７７の作動により吸引側流路２３を閉じておく。これにより、塗布ノズル２６及び吐出側流路２５に残留した薬液はポンプ室２０内に吸引され、塗布ノズル２６からの薬液の液垂れを防止することができる。
【００６２】
図８〜図１４に示す薬液供給装置においても、中空ピストン１５に図３に示した永久磁石６２を装着し、シリンダチューブ１１にセンサ６４ａ，６４ｂを装着するようにしても良い。図９〜図１４に示す薬液供給装置においても、図８に示すように、ストッパとしてのスリーブをシリンダチューブ１１の内側で回転自在とし、シリンダチューブ１１に形成された雌ねじにねじ結合する雄ねじをスリーブの外周面に形成し、中空ピストン１５のストローク端の位置を変化させるようにしても良い。
【００６３】
本発明は前記実施の形態に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で種々変更可能である。たとえば、可撓性チューブ１８は断面円形状のものに限られることなく扁平形状のものを使用しても良い。膨張収縮室１９内に封入される非圧縮性媒体としては液体以外に粉体や粒体などを用いるようにしても良い。前記実施の形態においては、空気圧供給源５５から供給される圧縮空気を作動流体してより中空ピストン１５を駆動させるようにしているが、負圧空気または液体を作動流体として中空ピストン１５を駆動させるようにしても良い。
【００６４】
【産業上の利用可能性】
本発明の薬液供給装置は、フォトレジスト液等の薬液を塗布ノズルなどに塗布するために使用される。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の一実施の形態である薬液供給装置を示す斜視図である。
【図２】図１における２−２線に沿う断面図である。
【図３】図１における３−３線に沿う断面図である。
【図４】本発明の他の実施の形態である薬液供給装置を示す断面図である。
【図５】本発明の他の実施の形態である薬液供給装置を示す断面図である。
【図６】本発明の他の実施の形態である薬液供給装置を示す断面図である。
【図７】本発明の他の実施の形態である薬液供給装置を示す斜視図である。
【図８】図７における８−８線に沿う方向の断面図である。
【図９】本発明の他の実施の形態である薬液供給装置を示す斜視図である。
【図１０】図９における１０−１０線に沿う方向の断面図である。
【図１１】本発明の他の実施の形態である薬液供給装置を示す断面図である。
【図１２】本発明の他の実施の形態である薬液供給装置を示す断面図である。
【図１３】本発明の他の実施の形態である薬液供給装置を示す断面図である。
【図１４】本発明の他の実施の形態である薬液供給装置を示す断面図である。
【符号の説明】
１１ シリンダチューブ
１１ａ 内周面
１２ ベローズ
１３ 固定端部
１４ 固定端部
１５ 中空ピストン
１５ａ 内側ピストン部
１５ｂ 外側ピストン部
１６ 大型ベローズ部
１７ 小型ベローズ部
１８ 可撓性チューブ
１９ 膨張収縮室
２０ ポンプ室
３６ 大径部
３７ 小径部
３８ 小径部
３９ａ 基端部
４１ スリーブ
４１ａ 対向面
４２ スリーブ
４２ａ 対向面
４３ 第１の作動室
４４ 第２の作動室
６５ バネ部材
６６ 回転スリーブ
６６ａ 対向面
６７ 雄ネジ
６８ 雌ネジ
７３ ストッパ
【技術分野】
本発明は薬液を所定量ずつ吐出するようにした薬液供給装置に関する。
【０００２】
【背景技術】
半導体ウエハ製造技術を始めとして、液晶基板製造技術、磁気ディスク製造技術及び多層配線基板製造技術などの技術分野における製造プロセスにおいては、フォトレジスト液、スピニオンガラス液、ポリイミド樹脂液、純水、現像液、エッチング液、有機溶剤などの薬液(Liquid Chemicals)が使用されており、これらの薬液の塗布には薬液供給装置が用いられている。
【０００３】
たとえば、半導体ウエハの表面にフォトレジスト液を塗布する場合には、半導体ウエハを水平面上において回転させた状態のもとで、半導体ウエハの表面にフォトレジスト液を滴下するようにしている。このようなレジスト液の塗布のために使用される薬液供給装置としては、薬液給入口と薬液吐出口とに連通するポンプ室を可撓性チューブによって形成したものがある（例えば、特開平１０−６１５５８号公報参照）。このような薬液供給装置にあっては、可撓性チューブを弾性変形させることによりポンプ室を膨張させると薬液給入口からポンプ室内に薬液が吸引され、ポンプ室を収縮させると薬液吐出口から薬液が吐出されることになる。
【０００４】
従来、モータや空気圧シリンダーなどにより駆動される駆動部の機械的往復運動をポンプ室の膨張収縮運動に変換するために、非圧縮性媒体を間接液として封入する膨張収縮室をポンプ室の外周を取り囲むように設け、膨張収縮室を駆動部の機械的往復運動により弾性変形させることによって非圧縮性媒体を介して間接的にポンプ室を膨張収縮させるようにした技術が知られている。たとえば、上記特許公報に開示される技術においては、それぞれ膨張収縮室を形成する弾性部材である小型ベローズ部と軸方向の単位変位量当たりの容積変化が大きい大型ベローズ部との間に作動ディスク部を装着し、駆動部により当該作動ディスク部を軸方向に往復動させることにより膨張収縮室内で一定の容積を占めようとする間接液を介してポンプ室を膨張収縮させている。
【０００５】
【発明の開示】
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、特許文献１に開示される薬液供給装置のように、モータや空気圧シリンダーを駆動源として作動ディスク部を往復動させるようにすると、薬液を所定量ずつ正確に吐出することができる一方で、薬液供給装置全体の構造が複雑化してしまう。
【０００７】
本発明の目的は、簡潔な構造の流体供給手段により薬液を吸引し吐出することが可能な薬液供給装置を提供することにある。
【０００８】
【課題を解決するための手段】
本発明の薬液供給装置は、ポンプ室の容積を膨張させて当該ポンプ室内に薬液を吸引し、当該ポンプ室の容積を収縮させて当該ポンプ室外に薬液を吐出する薬液供給装置であって、内側ピストン部と当該内側ピストン部の一方側に一体に設けられ内部が前記内側ピストン部の内部に連通する軸方向に弾性変形自在の小型ベローズ部と前記内側ピストン部の他方側に一体に設けられ内部が前記内側ピストン部の内部に連通し軸方向の単位変位量当たりの容積変化が前記小型ベローズ部よりも大きい軸方向に弾性変形自在の大型ベローズ部とを有し、内方に前記ポンプ室が形成されるベローズと、大径部および当該大径部の軸方向両側の小径部が一体となった円筒形状をなし、前記内側ピストン部の外側に固定されて前記内側ピストン部とにより中空ピストンを形成する金属製の外側ピストン部と、前記ベローズを収容するとともに前記外側ピストン部の外周面に接触する内周面が設けられ、前記外側ピストン部の一方の小径部側の第１の作動室と他方の小径部側の第２の作動室とを区画形成するシリンダチューブと、一方の前記ベローズ部に一体に設けられ、前記シリンダチューブに固定される第１の固定端部と、他方の前記ベローズ部に一体に設けられ、前記シリンダチューブに固定される第２の固定端部とを有し、前記第１の作動室と前記第２の作動室とに選択的に流体を供給して前記中空ピストンを軸方向に往復動し、前記ポンプ室を膨張収縮することを特徴とする。
【０００９】
本発明の薬液供給装置は、ポンプ室の容積を膨張させて当該ポンプ室内に薬液を吸引し、当該ポンプ室の容積を収縮させて当該ポンプ室外に薬液を吐出する薬液供給装置であって、内側ピストン部と当該内側ピストン部の一方側に一体に設けられ内部が前記内側ピストン部の内部に連通する軸方向に弾性変形自在の小型ベローズ部と前記内側ピストン部の他方側に一体に設けられ内部が前記内側ピストン部の内部に連通し軸方向の単位変位量当たりの容積変化が前記小型ベローズ部よりも大きい軸方向に弾性変形自在の大型ベローズ部とを有し、内方に前記ポンプ室が形成されるベローズと、大径部および当該大径部の軸方向両側の小径部が一体となった円筒形状をなし、前記内側ピストン部の外側に固定されて前記内側ピストン部とにより中空ピストンを形成する金属製の外側ピストン部と、前記ベローズを収容するとともに前記外側ピストン部の外周面に接触する内周面が設けられ、前記外側ピストン部の一方の小径部側の第１の作動室と他方の小径部側の第２の作動室とを区画形成するシリンダチューブと、前記第１の作動室に装着され前記中空ピストンに対して一方側に向かうバネ力を加えるバネ部材と、一方の前記ベローズ部に一体に設けられ、前記シリンダチューブに固定される第１の固定端部と、他方の前記ベローズ部に一体に設けられ、前記シリンダチューブに固定される第２の固定端部とを有し、前記第２の作動室に対する流体の供給と排出とにより前記中空ピストンを軸方向に往復動し、前記ポンプ室を膨張収縮することを特徴とする。
【００１０】
本発明の薬液供給装置は、それぞれの前記作動室内に前記中空ピストンの往復動ストロークを規制するストッパが配置されることを特徴とする。本発明の薬液供給装置は、前記シリンダチューブの内側に前記中空ピストンの端面に当接するストッパとして回転自在にスリーブを装着し、前記スリーブの外周面に前記シリンダチューブの内周面に形成された雌ねじにねじ結合する雄ねじを形成し、前記スリーブの回転により中空ピストンの移動ストロークを可変とすることを特徴とする。
【００１１】
薬液供給装置は、ポンプ室の容積を膨張させて当該ポンプ室内に薬液を吸引し、当該ポンプ室の容積を収縮させて当該ポンプ室外に薬液を吐出する薬液供給装置であって、内側ピストン部と当該内側ピストン部の一方側に一体に設けられ内部が前記内側ピストン部の内部に連通する軸方向に弾性変形自在の小型ベローズ部と前記内側ピストン部の他方側に一体に設けられ内部が前記内側ピストン部の内部に連通し軸方向の単位変位量当たりの容積変化が前記小型ベローズ部よりも大きい軸方向に弾性変形自在の大型ベローズ部とを有し、内方に前記ポンプ室が形成されるベローズと、大径部および当該大径部の軸方向両側の小径部が一体となった円筒形状をなし、前記内側ピストン部の外側に固定されて前記内側ピストン部とにより中空ピストンを形成する金属製の外側ピストン部と、前記外側ピストン部の外周面に接触する内周面が設けられ、前記ベローズを収容するシリンダチューブと、前記大径部の一方側の端面に対向して前記シリンダチューブに設けられ、前記シリンダチューブ内に第１の作動室を形成する第１の対向面と、前記大径部の他方側の端面に対向して前記シリンダチューブに設けられ、前記シリンダチューブ内に第２の作動室を形成する第２の対向面と、一方の前記ベローズ部に一体に設けられ、前記シリンダチューブに固定される第１の固定端部と、他方の前記ベローズ部に一体に設けられ、前記シリンダチューブに固定される第２の固定端部とを有し、前記第１の作動室と前記第２の作動室とに選択的に流体を供給して前記中空ピストンを軸方向に往復動し、前記ポンプ室を膨張収縮することを特徴とする。
【００１２】
本発明の薬液供給装置は、ポンプ室の容積を膨張させて当該ポンプ室内に薬液を吸引し、当該ポンプ室の容積を収縮させて当該ポンプ室外に薬液を吐出する薬液供給装置であって、内側ピストン部と当該内側ピストン部の一方側に一体に設けられ内部が前記内側ピストン部の内部に連通する軸方向に弾性変形自在の小型ベローズ部と前記内側ピストン部の他方側に一体に設けられ内部が前記内側ピストン部の内部に連通し軸方向の単位変位量当たりの容積変化が前記小型ベローズ部よりも大きい軸方向に弾性変形自在の大型ベローズ部とを有し、内方に前記ポンプ室が形成されるベローズと、大径部および当該大径部の軸方向両側の小径部が一体となった円筒形状をなし、前記内側ピストン部の外側に固定されて前記内側ピストン部とにより中空ピストンを形成する金属製の外側ピストン部と、前記ベローズを収容するとともに前記外側ピストン部の外周面に接触する内周面が設けられ、前記外側ピストン部の一方の小径部側の第１の作動室と他方の小径部側の第２の作動室とを区画形成するシリンダチューブと、前記中空ピストンの一方側の端面に対向して前記シリンダチューブに設けられ、前記シリンダチューブ内に第１の作動室を形成する第１の対向面と、前記中空ピストンの他方側の端面に対向して前記シリンダチューブに設けられ、前記シリンダチューブ内に第２の作動室を形成する第２の対向面と、前記第１の作動室に装着され前記中空ピストンに対して一方側に向かうバネ力を加えるバネ部材と、一方の前記ベローズ部に一体に設けられ、前記シリンダチューブに固定される第１の固定端部と、他方の前記ベローズ部に一体に設けられ、前記シリンダチューブに固定される第２の固定端部とを有し、前記第２の作動室に対する流体の供給と排出とにより前記中空ピストンを軸方向に往復動し、前記ポンプ室を膨張収縮することを特徴とする。
【００１３】
本発明の薬液供給装置は、前記シリンダチューブと前記ベローズとの間に回転自在にスリーブを装着し、当該スリーブにより前記第１と第２の対向面の少なくとも一方を形成し、前記スリーブの外周面に前記シリンダチューブの内周面に形成された雌ねじにねじ結合する雄ねじを形成し、前記スリーブの回転により前記中空ピストンの移動ストロークを可変とすることを特徴とする。
【００１４】
本発明の薬液供給装置は、両端が前記固定端部に保持されるとともに内部に前記ポンプ室を形成する可撓性チューブが前記ベローズの内側に配置され、前記ベローズと前記可撓性チューブとの間に非圧縮性媒体が封入される膨張収縮室を形成することを特徴とする。
【００１５】
本発明にあっては、大型ベローズ部と小型ベローズ部とが一体に設けられた内側ピストン部を有するベローズがシリンダチューブの中に収容されており、内側ピストン部とこの外側に固定される金属製の外側ピストン部とにより中空ピストンが形成される。シリンダチューブとベローズとの間であって中空ピストンの両側に作動室が区画形成される。２つの作動室のうち少なくとも一方に流体を供給することによって中空ピストンが軸方向に往復動すると、２つのベローズ部が軸方向に変位してベローズ内方のポンプ室が膨張収縮する。この膨張収縮によってポンプ室内に薬液を吸引したりポンプ室外に薬液を吐出したりすることができる。ベローズに中空ピストンが一体に設けられており、流体によりベローズを直接軸方向に駆動することができるので、少ない部品点数で薬液供給装置の小型化が達成される。
【００１６】
それぞれのベローズ部とシリンダチューブとの間に作動室を形成することができる。また、シリンダチューブの内側にスリーブを組み込んでピストンの端面とスリーブの対向面との間に作動室を形成することができる。
【００１７】
中空ピストンは両方の作動室に交互に選択的に流体を供給することによって軸方向に往復動される。また、一方の作動室にバネ部材を装着し、他方の作動室にバネ力に抗して中空ピストンを駆動する流体を供給することによって、他方の作動室に対する流体の供給と排出とにより中空ピストンは軸方向に往復動される。
【００１８】
内側をポンプ室とする可撓性チューブをベローズの内側に配置し、ベローズ内側の容積の変化を間接媒体を介して可撓性チューブに伝達することにより、可撓性チューブの内側のポンプ室に薬液をスムーズに吸引し吐出することができるとともに、変質物を付着させにくくすることができる。
【００１９】
中空ピストンに当接するストッパをそれぞれの作動室内に配置することにより、中空ピストンの往復動ストロークを規制することができる。中空ピストンに当接する対向面を有しシリンダチューブにネジ結合される回転スリーブを少なくとも一方の作動室内に組み込み、回転スリーブの回転により中空ピストンの移動ストローク端の位置を変化させることにより、ポンプ室内に吸引又はポンプ室外へ吐出される薬液量を無段階に変化させることができる。
【００２０】
中空ピストンに永久磁石を組み込んで、中空ピストンの位置を検出することにより、吸引又は吐出される薬液量をより正確に検出することができる。薬液供給装置はポンプとして使用され、サックバックバルブとしても使用される。
【００２１】
【発明を実施するための最良の形態】
以下、複数の実施の形態を図面に基づいて本発明を詳細に説明する。それぞれの実施の形態を示す図面においては、共通する部材には同一の符号が付されている。図１は本発明の一実施の形態である薬液供給装置１０ａを示す斜視図であり、図２は図１における２−２線に沿う断面図であり、図３は図１における３−３線に沿う断面図である。
【００２２】
薬液供給装置１０ａは図１に示すように外周面がほぼ四角形のシリンダチューブ１１を有し、このシリンダチューブ１１内には、図２および図３に示すように、軸方向に弾性変形自在のベローズ１２が組み込まれており、ベローズ１２はシリンダチューブ１１内に収容されている。ベローズ１２は吸引側の固定端部１３と、吐出側の固定端部１４と、これらの固定端部１３，１４の間の中空ピストン１５とを有しており、固定端部１３と中空ピストン１５との間には大型ベローズ部１６が設けられ、固定端部１４と中空ピストン１５との間には小型ベローズ部１７が設けられている。このように、固定端部１３，１４、中空ピストン１５、大型ベローズ部１６、および小型ベローズ部１７は弾性変形材料により一体に連なって形成されている。
【００２３】
大型ベローズ部１６の有効径をＤとし小型ベローズ部１７の有効径をｄとすると、有効径Ｄは有効径ｄよりも大きく設定されており、大型ベローズ部１６が軸方向に弾性変形した場合の単位変位量当たりの容積変化は小型ベローズ部１７の容積変化よりも大きくなっている。ここで、それぞれの有効径ｄ，Ｄは、小型ベローズ部１７と大型ベローズ部１６の軸方向の膨張収縮過程におけるそれぞれのベローズ部１６，１７の平均内径を意味する。なお、図示する場合にあっては、吐出側に小型ベローズ部１７が配置され吸引側に大型ベローズ部１６が配置されているが、吐出側に大型ベローズ部１６を配置するとともに吸引側に小型ベローズ部１７を配置するようにしても良い。
【００２４】
ベローズ１２の内側には弾性材料からなり径方向に膨張収縮自在の可撓性チューブ１８が配置されており、可撓性チューブ１８の内側はポンプ室２０となっている。可撓性チューブ１８とベローズ１２との間には膨張収縮室１９が形成され、この膨張収縮室１９内には液体等の非圧縮性媒体が間接液として封入されている。したがって、中空ピストン１５を大型ベローズ部１６に向けて軸方向に移動させると、大型ベローズ部１６と小型ベローズ部１７がそれぞれ軸方向に変位して、有効径Ｄの大型ベローズ部１６の長さが短くなり、有効径ｄの小型ベローズ部１７の長さが長くなるので、ベローズ１２の内方の容積が小さくなって非圧縮性媒体を介して可撓性チューブ１８が径方向内方に弾性変形し、ポンプ室２０が収縮する。逆に、中空ピストン１５を小型ベローズ部１７に向けて軸方向に移動させると、有効径Ｄの大型ベローズ部１６の長さが長くなり、有効径ｄの小型ベローズ部１７の長さが短くなるので、ベローズ１２の内方の容積が大きくなって非圧縮性媒体を介して可撓性チューブ１８が径方向外方に弾性変形し、ポンプ室２０が膨張する。可撓性チューブ１８の一端部はこれの内部に嵌合される連結部材２１により固定端部１３に固定され、可撓性チューブ１８の他端部はこれの内部に嵌合される連結部材２２により固定端部１４に固定されている。
【００２５】
連結部材２１には吸引側流路２３が接続され、この吸引側流路２３は薬液収容部としての薬液タンク２４に取り付けられており、他方の連結部材２２には吐出側流路２５が接続され、この吐出側流路２５は薬液吐出部としての塗布ノズル２６に接続されている。吐出側流路２５には塗布ノズル２６に供給される薬液内の異物を除去するためにフィルタを設けるようにしても良い。吸引側流路２３にはこの流路を開閉するための吸引側開閉弁２７が組み込まれ、吐出側流路２５にはこの流路を開閉するための吐出側開閉弁２８が組み込まれている。吸引側流路２３と吐出側流路２５は樹脂製のパイプにより形成されている。吸引側開閉弁２７及び吐出側開閉弁２８としては、電気信号により作動するソレノイドバルブ、空気圧により作動するエアオペレートバルブを用いても良く、更には、逆止弁つまりチェック弁を用いるようにしても良い。
【００２６】
可撓性チューブ１８、連結部材２１，２２、吸引側流路２３および吐出側流路２５は、薬液タンク２４内に収容される薬液がフォトレジスト液である場合には、薬液と反応しないように、フッ素樹脂であるポリテトラフルオロエチレン（ＰＴＦＥ）や四フッ化エチレン・パーフルオロアルコキシエチレン共重合樹脂（ＰＦＡ）により製造されている。また、ベローズ１２もＰＴＦＥやＰＦＡにより製造される。ベローズ１２を製造するには棒状の樹脂材料を図示する形状に切削加工しても良く、樹脂金型を用いて成形するようにしても良い。ベローズ１２を切削加工又は樹脂金型を用いて成形すると、ベローズ１２の内面が平滑化され、内部で薬液の滞留が生じないので変質やそれによる汚染の発生も防止される。ただし、樹脂材料としてはＰＴＦＥやＰＦＡに限られず、弾性変形する材料であれば他の樹脂材料や金属材料を使用するようにしても良い。
【００２７】
ベローズ１２をこれの外側に設けられるシリンダチューブ１１に固定するために、固定端部１３に形成された係合溝３１に係合する固定プレート３２がカバー３３を介してボルト３４によりシリンダチューブ１１の一方の端面に固定され、固定プレート３２を介して固定端部１３はシリンダチューブ１１に固定されている。同様に、固定端部１４に形成された係合溝３５に係合する固定プレート３２がカバー３３を介してボルト３４によりシリンダチューブ１１の他方の端面に固定され、固定プレート３２を介して固定端部１４はシリンダチューブ１１に固定されている。
【００２８】
中空ピストン１５は大径部３６とこれの両側に設けられた小径部３７，３８とを有しており、大径部３６はシリンダチューブ１１の内周面１１ａに案内されて軸方向に摺動する。シリンダチューブ１１の一端部内には小径部３７の外周面を覆う第１のスリーブ４１が固定され、シリンダチューブ１１の他端部内には小径部３８を覆う第２のスリーブ４２が固定されている。スリーブ４１は小径部３７の外周面に接触して小径部３７を軸方向に摺動自在に案内し、スリーブ４２は小径部３８の外周面に接触して小径部３８を軸方向に摺動自在に案内する。中空ピストン１５の一方側の端面３６ａとこれに対向するスリーブ４１の対向面４１ａとによりシリンダチューブ１１内には第１の作動室４３が区画形成され、中空ピストン１５の他方の端面３６ｂとこれに対向するスリーブ４２の対向面４２ａとによりシリンダチューブ１１内には第２の作動室４４が区画形成されている。このように、中空ピストン１５の一方側には第１の作動室４３が形成され、他方側には第２の作動室４４が形成されている。
【００２９】
大径部３６にはシリンダチューブ１１の内周面と中空ピストン１５との間をシールするシール部材４５が取り付けられ、それぞれの小径部３７，３８には、それぞれの小径部３７，３８とスリーブ４１，４２と間をシールするシール部材４６が取り付けられ、さらにそれぞれのスリーブ４１，４２にはそれぞれのスリーブ４１，４２とシリンダチューブ１１との間をシールするシール部材４７が取り付けられている。
【００３０】
中空ピストン１５が軸方向に往復動する際に、大型ベローズ部１６とこれを覆うスリーブ４１とにより形成される空間の容積が変化し、小型ベローズ部１７とこれを覆うスリーブ４２とにより形成される空間の容積が変化するので、それぞれの空間を外部に連通させるためにシリンダチューブ１１にはブリーザポート４８ａ、４９ａが形成され、ブリーザポート４８ａはスリーブ４１に形成された連通孔４８ｂを介して大型ベローズ部１６とスリーブ４１との間の空間に連通し、ブリーザポート４９ａはスリーブ４２に形成された連通孔４９ｂを介して小型ベローズ部１７とスリーブ４２との間の空間に連通している。
【００３１】
シリンダチューブ１１には、作動室４３に連通する給排ポート５１ａと作動室４４に連通する給排ポート５１ｂとがシリンダチューブ１１の外周面に開口して形成されており、給排ポート５１ａはシリンダチューブ１１とスリーブ４１との間の隙間を介して作動室４３に連通し、給排ポート５１ｂはシリンダチューブ１１とスリーブ４２との間の隙間を介して作動室４４に連通している。両方の作動室４３，４４に対して交互に選択的に圧縮空気を供給するために空気圧供給ユニット５２の流路５３ａ，５３ｂが給排ポート５１ａ，５１ｂに接続されるようになっており、それぞれの流路５３ａ，５３ｂには電磁弁５４を介して空気圧供給源５５が接続されている。電磁弁５４は空気圧供給源５５に連通する給入ポート５６、流路５３ａに連通する出力ポート５７、流路５３ｂに連通する出力ポート５８、及び外部に連通する排出ポート５９，６０を有する５ポート２位置切換弁である。ソレノイド６１への通電により給入ポート５６と出力ポート５８とを連通させるとともに排出ポート５９と出力ポート５７とを連通させる吐出位置と、ソレノイド６１への通電遮断により給入ポート５６と出力ポート５７とを連通させるとともに排出ポート６０と出力ポート５８とを連通させる吸引位置とに作動する。したがって、ソレノイド６１に通電すると、作動室４４に流体が供給されるとともに作動室４３内の流体は排出されて中空ピストン１５は大型ベローズ部１６に向けて移動し、ポンプ室２０は収縮する。一方、ソレノイド６１への通電を遮断すると、作動室４３に流体が供給されるとともに作動室４４内の流体は排出されて中空ピストン１５は逆方向に移動し、ポンプ室２０は膨張することになる。
【００３２】
小型ベローズ部１７の外側のスリーブ４２の肉厚は、大型ベローズ部１６の外側のスリーブ４１よりも大きく設定されており、この対向面４２ａが対向する中空ピストン１５の受圧面つまり端面３６ｂの面積は対向面４１ａが対向する中空ピストン１５の受圧面つまり端面３６ａよりも大きく設定されている。したがって、作動室４４に流体を供給してポンプ室２０を収縮させて薬液を吐出させる際には中空ピストン１５に大きな推力を加えることができ、吸引側流路２５にフィルタを設けても、フィルタの流通抵抗に抗して確実に薬液を吐出させることができる。
【００３３】
それぞれの作動室４３，４４には圧縮空気が供給されるようになっているが、負圧空気をそれぞれの作動室４３，４４に選択的に供給して中空ピストン１５を軸方向に往復動するようにしても良く、液体により中空ピストン１５を往復動するようにしても良い。
【００３４】
中空ピストン１５は大径部３６の端面３６ａがスリーブ４１の対向面４１ａに当接する位置と、端面３６ｂがスリーブ４２の対向面４２ａに当接する位置との間を軸方向に往復動することになる。中空ピストン１５がそれぞれの往復動端の所定の位置まで移動したことを検出するために、図３に示すように中空ピストン１５には永久磁石６２が装着され、シリンダチューブ１１の外周面に軸方向に延びて形成されたセンサ取付溝６３ａ，６３ｂには、図１に示すように、磁力に感応するセンサ６４ａ，６４ｂが装着されるようになっている。一方のセンサ６４ａは中空ピストン１５が対向面４２ａに向けて所定の位置まで接近したことを検出し、他方のセンサ６４ｂは中空ピストン１５が対向面４１ａに向けて所定の位置まで接近したことを検出することができる。これにより、ポンプ室２０内に吸引され、またはポンプ室２０内から吐出される薬液量を正確に検出することができる。ただし、シリンダチューブ１１に１つのセンサのみを設け、中空ピストン１５が吐出側のストローク端である対向面４１ａに所定の位置まで接近したことをセンサにより検出するようにし、中空ピストン１５が吸入側のストローク端である対向面４２ａに当接するまで移動させるようにしても良い。また、センサの取付位置を任意に変更して吐出量を任意に変更するようにしても良い。
【００３５】
次に、薬液供給装置１０ａの作動について説明する。図２および図３に示されるように、中空ピストン１５がベローズ１２の軸方向のほぼ中央の位置にある状態を中立状態とすると、ソレノイド６１の通電を遮断した状態では作動室４３には流体が供給され、中空ピストン１５は中立状態から小型ベローズ部１７側へ中空ピストン１５の大径部３６がスリーブ４２に当接するまで移動することになる。このとき、ベローズ１２全体では、小型ベローズ部１７が短くなるように変位し、有効径Ｄが大きい大型ベローズ部１６が長くなるように変位することから、ベローズ１２内方のポンプ室２０の容積が大きくなる。これにより、ポンプ室２０内は負圧状態となって、薬液タンク２４内の薬液はポンプ室２０内に吸引される。このとき、吸引側開閉弁２７の作動により吸引側流路２３の流路は開かれ、吐出側開閉弁２８の作動により吐出側流路２５の流路は閉じられている。
【００３６】
一方、ソレノイド６１に通電すると電磁弁５４は吸引位置から吐出位置に切り換わり、作動室４４には流体が供給されるとともに作動室４３内の流体は排出ポート５９を通って外部に排出される。これにより、中空ピストン１５は大型ベローズ部１６側へ中空ピストン１５の大径部３６がスリーブ４１に当接するまで移動することになり、ベローズ１２全体では、大径部が短くなるように変位し、有効径ｄが小さい小型ベローズ部１７が長くなるように変位することから、ベローズ１２内方のポンプ室２０の容積が小さくなる。これにより、上述の吸引過程で吸引されたポンプ室２０内の薬液は塗布ノズル２６に向けて吐出されることになる。このとき、吸引側開閉弁２７の作動により吸引側流路２３の流路は閉じられ、吐出側開閉弁２８の作動により吐出側流路２５の流路は開かれている。
【００３７】
薬液供給装置１０ａにあっては、ソレノイド６１に対する通電制御により電磁弁５４を所定のタイミングで吐出位置と吸引位置とに切り換えるとともに、開閉弁２７，２８を切り換えることにより、ポンプ室２０を所定のタイミングで膨張収縮させ、塗布ノズル２６から薬液を塗布することができる。
【００３８】
塗布ノズル２６から所定量の薬液を吐出した後に、塗布ノズル２６から薬液が液垂れするのを防止するために、サックバック動作を行なうことが必要となる場合がある。その場合には、吸引側開閉弁２７を閉じ、吐出側開閉弁２８を開いた状態のもとで中空ピストン１５を小型ベローズ部１７側に移動させてポンプ室２０を膨張させる。そのようなサックバック動作を行なう場合には、それぞれの開閉弁２７，２８としては逆止弁を使用することなく、外部からの信号により開閉するタイプの電磁弁やエアオペレートバルブを使用することになる。
【００３９】
図４は本発明の他の実施の形態である薬液供給装置１０ｂを示す断面図であり、図４は前述した薬液供給装置１０ａにおける図２に対応する部分を示す。この薬液供給装置１０ｂにおいては、図４に示すベローズ１２の中空ピストン１５が内側ピストン部１５ａと外側ピストン部１５ｂとにより形成されており、内側ピストン部１５ａはそれぞれの固定端部１３，１４、大型ベローズ部１６および小型ベローズ部１７とともに樹脂により一体的に形成されている。外側ピストン部１５ｂは金属により全体的に円筒形状に形成され、大径部３６と小径部３７，３８とを有しており、外側ピストン部１５ｂを内側ピストン部１５ａに嵌合してこれに固定することによってベローズ１２が組み立てられる。このようにベローズ１２の構造は、図２および図３に示す場合と相違しているが、他の構造は同様である。
【００４０】
図５は本発明の他の実施の形態である薬液供給装置１０ｃを示す断面図であり、図５は薬液供給装置１０ｂにおける図４に対応した部分を示す。図５に示す薬液供給装置１０ｃにおいては、ベローズ１２内には前述した可撓性チューブ１８が設けられておらず、ベローズ１２の内側がポンプ室２０となっている。
【００４１】
図５に示される薬液供給装置１０ｃによって薬液タンク２４内に収容されたフォトレジスト液を塗布ノズル２６に吐出する場合には、ベローズ１２は薬液と反応しないように、ＰＴＦＥやＰＦＡにより製造される。この薬液供給装置１０ｃも、中空ピストン１５を図４に示した内側ピストン部１５ａと外側ピストン部１５ｂとにより形成するようにしても良い。
【００４２】
図４に示す薬液供給装置１０ｂおよび図５に示す薬液供給装置１０ｃにおいても、図２に示した空気圧供給ユニット５２がシリンダチューブ１１に装着され、電磁弁５４を作動させてベローズ１２の中空ピストン１５を軸方向に往復動することによって、ポンプ室２０が膨張されるとポンプ室２０内に薬液が吸引され、ポンプ室２０が収縮されるとポンプ室２０内から薬液が吐出される。
【００４３】
図６は本発明の他の実施の形態である薬液供給装置１０ｄを示す断面図であり、図６は薬液供給装置１０ａにおける図２に対応する部分を示す。図６に示す薬液供給装置１０ｄにおいては、一方のスリーブ４１は大径の基端部３９ａと小径の先端部３９ｂとを有し、先端部３９ｂの外側には圧縮コイルバネがバネ部材６５として組み込まれている。このように、図６に示す場合には、中空ピストン１５の一方側の作動室４３内にはバネ部材６５が装着されているのに対し、他方の作動室４４には上述した薬液供給装置１０ａ〜１０ｃと同様に圧縮空気が供給されるようになっている。
【００４４】
給排ポート５１ｂには空気圧供給ユニット５２ａの空気圧流路５３ｂが接続されており、空気圧流路５３ｂには電磁弁５４ａを介して空気圧供給源５５が接続されている。電磁弁５４ａは空気圧供給源５５に連通する給入ポート５６、空気圧流路５３ｂに連通する出力ポート５７、及び外部に連通する排出ポート５９を有する３ポート２位置切換弁であり、ソレノイド６１への通電により排出ポート５９と出力ポート５７とを連通させる吸引位置と、ソレノイド６１への通電を遮断することにより給入ポート５６と出力ポート５７とを連通させる吐出位置とに作動する。
【００４５】
この薬液供給装置１０ｄにおいては、作動室４４に圧縮空気を供給すると、中空ピストン１５は大型ベローズ部１６に向けて軸方向に移動し、大型ベローズ部１６を縮めて小型ベローズ部１７を軸方向に伸ばしてポンプ室２０を収縮させる。これにより、ポンプ室２０の容積が小さくなってポンプ室２０内の薬液は塗布ノズル２６に向けて吐出される。一方、作動室４４内の圧縮空気を排気すると、バネ部材６５のバネ力によって中空ピストン１５はスリーブ４２の先端に当接するまで移動し、大型ベローズ部１６が軸方向に伸ばされ、小型ベローズ部１７が軸方向に縮められてポンプ室２０は膨張する。これにより、ポンプ室２０の容積が大きくなって薬液タンク２４内の薬液はポンプ室２０内に吸引される。
【００４６】
このように、作動室４４に対する流体の供給と排出とを選択することによって、バネ部材６５のばね力によるポンプ室２０の膨張と、作動室４４に供給される圧縮空気の圧力によるポンプ室２０の収縮とが行われる。なお、バネ部材６５を作動室４４内に組み込むようにしても良く、その場合には作動室４３に圧縮空気を供給することになる。この薬液供給装置１０ｄにおいては、ベローズ１２内には可撓性チューブ１８が組み込まれているが、図５に示した薬液供給装置１０ｃと同様に可撓性チューブ１８を取り除いてベローズ１２の内側にポンプ室２０を形成するようにしても良い。また、薬液供給装置１０ｂのベローズ１２と同様に中空ピストン１５を内側ピストン部１５ａと外側ピストン部１５ｂとにより形成するようにしても良い。さらに、図４〜図６に示す薬液供給装置１０ｂ〜１０ｄにおいても、中空ピストン１５に図３に示した永久磁石６２を装着し、シリンダチューブ１１にセンサ６４ａ，６４ｂを装着することによって中空ピストン１５が所定のストローク端の位置まで移動したことを検出することができ、吸引又は吐出される薬液量を正確に検出することもできる。ただし、シリンダチューブ１１に１つのセンサのみを設け、中空ピストン１５が吐出側のストローク端である対向面４１ａに所定の位置まで接近したことをセンサにより検出するようにし、中空ピストン１５が吸入側のストローク端である対向面４２ａに当接するまで移動させるようにしても良い。また、センサの取付位置を任意に変更して吐出量を任意に変更するようにしても良い。
【００４７】
図７は本発明の他の実施の形態である薬液供給装置１０ｅを示す斜視図であり、図８は図７における８−８線に沿う断面図である。図７および図８に示す薬液供給装置１０ｅにおいては、スリーブ４２が前述した薬液供給装置１０ａ〜１０ｄと同様にシリンダチューブ１１に固定されているのに対して、ベローズ１２とシリンダチューブ１１との間には回転スリーブ６６が回転自在に組み込まれている。この回転スリーブ６６の外周面には雄ネジ６７が形成され、シリンダチューブ１１の内周面１１ａには雄ネジ６７にねじ結合する雌ネジ６８が形成されている。
【００４８】
回転スリーブ６６の基端部には大径部６９が設けられ、シリンダチューブ１１には、図７に示すように、大径部６９の一部を外部に露出させる窓部７０が形成されており、回転スリーブ６６は作業者により窓部７０を介して回転操作されるようになっている。回転スリーブ６６が回転されると、回転スリーブ６６の対向面６６ａと大径部３６のピストン端面３６ａとが接触する位置が変化し、中空ピストン１５の大型ベローズ部１６に向かう方向のストロークを調整することができる。窓部７０はシリンダチューブ１１の４つの外面にそれぞれ設けられているが、いずれかの外面のみに設けるようにしても良い。スリーブ４２はシリンダチューブ１１に固定されているが、スリーブ４２を回転スリーブとして中空ピストン１５が小型ベローズ部１７に向かう方向の移動ストロークを変化させるようにしても良く、両方のスリーブを回転スリーブとして中空ピストン１５の軸方向両方向の移動ストロークを変化させるようにしても良い。
【００４９】
この薬液供給装置１０ｅにおいても、図５に示した薬液供給装置１０ｃと同様に可撓性チューブ１８を取り除いてベローズ１２の内側にポンプ室２０を形成するようにしても良い。また、薬液供給装置１０ｂのベローズ１２と同様に中空ピストン１５を内側ピストン部１５ａと外側ピストン部１５ｂとにより形成するようにしても良い。
【００５０】
図９は本発明の他の実施の形態である薬液供給装置１０ｆを示す斜視図であり、図１０は図９における１０−１０線に沿う断面図である。この薬液供給装置１０ｆはベローズ１２が上述したものと同様であるのに対し、シリンダチューブ１１は上述したものよりも短くなっており中空ピストン１５を収容する長さとなっている。固定端部１３の係合溝３１に係合する固定プレート３２は、シリンダチューブ１１にボルト３４により固定される４本の連結ロッド７１を介してシリンダチューブ１１の一端に連結され、固定端部１４の係合溝３５に係合する固定プレート３２は、シリンダチューブ１１にボルト３４により固定される４本の連結ロッド７２を介してシリンダチューブの他端に連結されている。
【００５１】
シリンダチューブ１１の一端部には上述したスリーブ４１に対応する部分が一体になっており、ピストン端面３６ａと対向する対向面４１ａがシリンダチューブ１１の内面に設けられ、対向面４１ａとピストン端面３６ａとの間に作動室４３が形成されている。シリンダチューブ１１の他端部にはスリーブ４２が圧入により固定され、このスリーブ４２の対向面４２ａはピストン端面３６ｂに対向しており、対向面４２ａとピストン端面３６ｂとの間に作動室４４が形成されている。
【００５２】
それぞれの作動室４３，４４には図２に示した空気圧供給ユニット５２が接続されるようになっており、それぞれの作動室４３，４４に供給される流体によって中空ピストン１５は直線方向に往復動し、上述したそれぞれの薬液供給装置と同様にポンプ室２０を膨張収縮する。
【００５３】
この薬液供給装置１０ｆにおいても、図５に示すように可撓性チューブ１８を取り除いてベローズ１２の内側にポンプ室２０を設けるようにしても良く、図６に示すように一方の作動室内にバネ部材を組み込むようにしても良く、ベローズ１２を図４に示すように内側ピストン部１５ａと外側ピストン部１５ｂとにより形成するようにしても良い。
【００５４】
図１１は本発明の他の実施の形態である薬液供給装置１０ｇを示す断面図である。この薬液供給装置１０ｇにおいては、中空ピストン１５には前述した小径部３７，３８と、それぞれの小径部３７，３８を案内するスリーブ４１，４２とが設けられておらず、大型ベローズ部１６とシリンダチューブ１１との間に作動室４３が形成され、小型ベローズ部１７とシリンダチューブ１１との間に作動室４４が形成されている。それぞれの作動室４３，４４には、図２に示した空気圧供給ユニット５２から圧縮空気が供給されて中空ピストン１５が軸方向に往復動し、ポンプ室２０が横方向に膨張収縮する。
【００５５】
図１１に示すように、シリンダチューブ１１の内側にはそれぞれの作動室４３，４４内に位置させて中空ピストン１５の往復動ストロークを規制する円筒形状のスリーブからなるストッパ７３，７４が圧入により固定されている。ただし、それぞれのストッパ７３，７４を図示しないネジ部材によりシリンダチューブ１１に固定するようにしても良い。
【００５６】
図１２は本発明の他の実施の形態である薬液供給装置を示す断面図であり、この薬液供給装置１０ｈにおいては、図１１に示された作動室４４内にはバネ部材７５が組み込まれており、このバネ部材７５の一端はピストン端面に当接し、他端は固定端部１４の端面に当接している。給排ポート５１ａには図６に示した空気圧供給ユニット５２ａが接続されるようになっており、作動室４３に対する流体の供給と排出とを選択することによって中空ピストン１５が軸方向に往復動し、ポンプ室２０が膨張収縮する。
【００５７】
図１３は本発明の他の実施の形態である薬液供給装置１０ｉを示す断面図であり、この薬液供給装置１０ｉは図１１に示したベローズ１２に可撓性チューブ１８が組み込まれた構造となっており、他の構造は図１１に示した薬液供給装置１０ｇと同様である。
【００５８】
図１４は本発明の他の実施の形態である薬液供給装置１０ｊを示す断面図であり、この薬液供給装置１０ｊは図１１に示される薬液供給装置１０ｇがサックバックバルブとして使用される。
【００５９】
この薬液供給装置１０ｊにおいては、吸引側流路２３には薬液タンク２４から薬液を吸引するためのポンプ７６が接続されている。このポンプ７６は塗布ノズル２６に向けて一定量の薬液を吸引吐出するための装置であり、上述の薬液供給装置１０ａ〜１０ｉを使用することができるが、これらに限られず、他のタイプの薬液ポンプを使用することもできる。なお、ポンプ７６として薬液供給装置１０ａ〜１０ｉが使用される場合には、ポンプ７６の上流側の流路には開閉弁が設けられることになる。薬液供給装置１０ｊとポンプ７６との間の吸引側流路２３には開閉弁７７が設けられており、開閉弁７７は外部からの電気信号により作動するソレノイドバルブや空気圧により作動するエアーオペレートバルブが使用される。
【００６０】
薬液供給装置１０ｊのサックバックバルブとしての作動について説明する。サックバックバルブとしての薬液供給装置１０ｊは、塗布ノズル２６から所定量の薬液を吐出した後に、塗布ノズル２６から薬液が液垂れするのを防止するために行なわれるサックバック動作を行なうために、ポンプ７６から塗布ノズル２６に向けて薬液が供給されている間はソレノイド６１に通電が行なわれ、ポンプ室２０の容積は小さくなった収縮状態で保持されている。このときには、開閉弁７７の作動により吸引側流路２３は開かれており、ポンプ７６により吸引された薬液は吸引側流路２３、ポンプ室２０、及び吐出側流路２５を通って塗布ノズル２６から吐出されるようになっている。ポンプ室２０は収縮した状態で保持されているので、ポンプ７６から塗布ノズル２６に向かう薬液の流れは薬液供給装置１０ｊによって阻止されることはない。
【００６１】
塗布ノズル２６から所定量の薬液が吐出された後は、薬液の液垂れを防止するために、ソレノイド６１に対する通電を遮断してポンプ室２０を膨張させるとともに、開閉弁７７の作動により吸引側流路２３を閉じておく。これにより、塗布ノズル２６及び吐出側流路２５に残留した薬液はポンプ室２０内に吸引され、塗布ノズル２６からの薬液の液垂れを防止することができる。
【００６２】
図８〜図１４に示す薬液供給装置においても、中空ピストン１５に図３に示した永久磁石６２を装着し、シリンダチューブ１１にセンサ６４ａ，６４ｂを装着するようにしても良い。図９〜図１４に示す薬液供給装置においても、図８に示すように、ストッパとしてのスリーブをシリンダチューブ１１の内側で回転自在とし、シリンダチューブ１１に形成された雌ねじにねじ結合する雄ねじをスリーブの外周面に形成し、中空ピストン１５のストローク端の位置を変化させるようにしても良い。
【００６３】
本発明は前記実施の形態に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で種々変更可能である。たとえば、可撓性チューブ１８は断面円形状のものに限られることなく扁平形状のものを使用しても良い。膨張収縮室１９内に封入される非圧縮性媒体としては液体以外に粉体や粒体などを用いるようにしても良い。前記実施の形態においては、空気圧供給源５５から供給される圧縮空気を作動流体してより中空ピストン１５を駆動させるようにしているが、負圧空気または液体を作動流体として中空ピストン１５を駆動させるようにしても良い。
【００６４】
【産業上の利用可能性】
本発明の薬液供給装置は、フォトレジスト液等の薬液を塗布ノズルなどに塗布するために使用される。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の一実施の形態である薬液供給装置を示す斜視図である。
【図２】図１における２−２線に沿う断面図である。
【図３】図１における３−３線に沿う断面図である。
【図４】本発明の他の実施の形態である薬液供給装置を示す断面図である。
【図５】本発明の他の実施の形態である薬液供給装置を示す断面図である。
【図６】本発明の他の実施の形態である薬液供給装置を示す断面図である。
【図７】本発明の他の実施の形態である薬液供給装置を示す斜視図である。
【図８】図７における８−８線に沿う方向の断面図である。
【図９】本発明の他の実施の形態である薬液供給装置を示す斜視図である。
【図１０】図９における１０−１０線に沿う方向の断面図である。
【図１１】本発明の他の実施の形態である薬液供給装置を示す断面図である。
【図１２】本発明の他の実施の形態である薬液供給装置を示す断面図である。
【図１３】本発明の他の実施の形態である薬液供給装置を示す断面図である。
【図１４】本発明の他の実施の形態である薬液供給装置を示す断面図である。
【符号の説明】
１１ シリンダチューブ
１１ａ 内周面
１２ ベローズ
１３ 固定端部
１４ 固定端部
１５ 中空ピストン
１５ａ 内側ピストン部
１５ｂ 外側ピストン部
１６ 大型ベローズ部
１７ 小型ベローズ部
１８ 可撓性チューブ
１９ 膨張収縮室
２０ ポンプ室
３６ 大径部
３７ 小径部
３８ 小径部
３９ａ 基端部
４１ スリーブ
４１ａ 対向面
４２ スリーブ
４２ａ 対向面
４３ 第１の作動室
４４ 第２の作動室
６５ バネ部材
６６ 回転スリーブ
６６ａ 対向面
６７ 雄ネジ
６８ 雌ネジ
７３ ストッパ
Claims (14)
- ポンプ室の容積を膨張させて当該ポンプ室内に薬液を吸引し、当該ポンプ室の容積を収縮させて当該ポンプ室外に薬液を吐出する薬液供給装置であって、
内側ピストン部と当該内側ピストン部の一方側に一体に設けられ内部が前記内側ピストン部の内部に連通する軸方向に弾性変形自在の小型ベローズ部と前記内側ピストン部の他方側に一体に設けられ内部が前記内側ピストン部の内部に連通し軸方向の単位変位量当たりの容積変化が前記小型ベローズ部よりも大きい軸方向に弾性変形自在の大型ベローズ部とを有し、内方に前記ポンプ室が形成されるベローズと、
大径部および当該大径部の軸方向両側の小径部が一体となった円筒形状をなし、前記内側ピストン部の外側に固定されて前記内側ピストン部とにより中空ピストンを形成する金属製の外側ピストン部と、
前記ベローズを収容するとともに前記外側ピストン部の外周面に接触する内周面が設けられ、前記外側ピストン部の一方の小径部側の第１の作動室と他方の小径部側の第２の作動室とを区画形成するシリンダチューブと、
一方の前記ベローズ部に一体に設けられ、前記シリンダチューブに固定される第１の固定端部と、
他方の前記ベローズ部に一体に設けられ、前記シリンダチューブに固定される第２の固定端部とを有し、
前記第１の作動室と前記第２の作動室とに選択的に流体を供給して前記中空ピストンを軸方向に往復動し、前記ポンプ室を膨張収縮することを特徴とする薬液供給装置。 - 請求項１記載の薬液供給装置において、両端が前記固定端部に保持されるとともに内部に前記ポンプ室を形成する可撓性チューブが前記ベローズの内側に配置され、前記ベローズと前記可撓性チューブとの間に非圧縮性媒体が封入される膨張収縮室を形成することを特徴とする薬液供給装置。
- 請求項１記載の薬液供給装置において、それぞれの前記作動室内に前記中空ピストンの往復動ストロークを規制するストッパが配置されることを特徴とする薬液供給装置。
- 請求項１記載の薬液供給装置において、前記シリンダチューブの内側に前記中空ピストンの端面に当接するストッパとして回転自在にスリーブを装着し、前記スリーブの外周面に前記シリンダチューブの内周面に形成された雌ねじにねじ結合する雄ねじを形成し、前記スリーブの回転により中空ピストンの移動ストロークを可変とすることを特徴とする薬液供給装置。
- ポンプ室の容積を膨張させて当該ポンプ室内に薬液を吸引し、当該ポンプ室の容積を収縮させて当該ポンプ室外に薬液を吐出する薬液供給装置であって、
内側ピストン部と当該内側ピストン部の一方側に一体に設けられ内部が前記内側ピストン部の内部に連通する軸方向に弾性変形自在の小型ベローズ部と前記内側ピストン部の他方側に一体に設けられ内部が前記内側ピストン部の内部に連通し軸方向の単位変位量当たりの容積変化が前記小型ベローズ部よりも大きい軸方向に弾性変形自在の大型ベローズ部とを有し、内方に前記ポンプ室が形成されるベローズと、
大径部および当該大径部の軸方向両側の小径部が一体となった円筒形状をなし、前記内側ピストン部の外側に固定されて前記内側ピストン部とにより中空ピストンを形成する金属製の外側ピストン部と、
前記ベローズを収容するとともに前記外側ピストン部の外周面に接触する内周面が設けられ、前記外側ピストン部の一方の小径部側の第１の作動室と他方の小径部側の第２の作動室とを区画形成するシリンダチューブと、
前記第１の作動室に装着され前記中空ピストンに対して一方側に向かうバネ力を加えるバネ部材と、
一方の前記ベローズ部に一体に設けられ、前記シリンダチューブに固定される第１の固定端部と、
他方の前記ベローズ部に一体に設けられ、前記シリンダチューブに固定される第２の固定端部とを有し、
前記第２の作動室に対する流体の供給と排出とにより前記中空ピストンを軸方向に往復動し、前記ポンプ室を膨張収縮することを特徴とする薬液供給装置。 - 請求項５記載の薬液供給装置において、両端が前記固定端部に保持されるとともに内部に前記ポンプ室を形成する可撓性チューブが前記ベローズの内側に配置され、前記ベローズと前記可撓性チューブとの間に非圧縮性媒体が封入される膨張収縮室を形成することを特徴とする薬液供給装置。
- 請求項５記載の薬液供給装置において、それぞれの前記作動室内に前記中空ピストンの往復動ストロークを規制するストッパが配置されることを特徴とする薬液供給装置。
- 請求項５記載の薬液供給装置において、前記シリンダチューブの内側に前記中空ピストンの端面に当接するストッパとして回転自在にスリーブを装着し、前記スリーブの外周面に前記シリンダチューブの内周面に形成された雌ねじにねじ結合する雄ねじを形成し、前記スリーブの回転により中空ピストンの移動ストロークを可変とすることを特徴とする薬液供給装置。
- ポンプ室の容積を膨張させて当該ポンプ室内に薬液を吸引し、当該ポンプ室の容積を収縮させて当該ポンプ室外に薬液を吐出する薬液供給装置であって、
内側ピストン部と当該内側ピストン部の一方側に一体に設けられ内部が前記内側ピストン部の内部に連通する軸方向に弾性変形自在の小型ベローズ部と前記内側ピストン部の他方側に一体に設けられ内部が前記内側ピストン部の内部に連通し軸方向の単位変位量当たりの容積変化が前記小型ベローズ部よりも大きい軸方向に弾性変形自在の大型ベローズ部とを有し、内方に前記ポンプ室が形成されるベローズと、
大径部および当該大径部の軸方向両側の小径部が一体となった円筒形状をなし、前記内側ピストン部の外側に固定されて前記内側ピストン部とにより中空ピストンを形成する金属製の外側ピストン部と、
前記外側ピストン部の外周面に接触する内周面が設けられ、前記ベローズを収容するシリンダチューブと、
前記大径部の一方側の端面に対向して前記シリンダチューブに設けられ、前記シリンダチューブ内に第１の作動室を形成する第１の対向面と、
前記大径部の他方側の端面に対向して前記シリンダチューブに設けられ、前記シリンダチューブ内に第２の作動室を形成する第２の対向面と、
一方の前記ベローズ部に一体に設けられ、前記シリンダチューブに固定される第１の固定端部と、
他方の前記ベローズ部に一体に設けられ、前記シリンダチューブに固定される第２の固定端部とを有し、
前記第１の作動室と前記第２の作動室とに選択的に流体を供給して前記中空ピストンを軸方向に往復動し、前記ポンプ室を膨張収縮することを特徴とする薬液供給装置。 - 請求項９記載の薬液供給装置において、前記シリンダチューブと前記ベローズとの間に回転自在にスリーブを装着し、当該スリーブにより前記第１と第２の対向面の少なくとも一方を形成し、前記スリーブの外周面に前記シリンダチューブの内周面に形成された雌ねじにねじ結合する雄ねじを形成し、前記スリーブの回転により中空ピストンの移動ストロークを可変とすることを特徴とする薬液供給装置。
- 請求項９記載の薬液供給装置において、両端が前記固定端部に保持されるとともに内部に前記ポンプ室を形成する可撓性チューブが前記ベローズの内側に配置され、前記ベローズと前記可撓性チューブとの間に非圧縮性媒体が封入される膨張収縮室を形成することを特徴とする薬液供給装置。
- ポンプ室の容積を膨張させて当該ポンプ室内に薬液を吸引し、当該ポンプ室の容積を収縮させて当該ポンプ室外に薬液を吐出する薬液供給装置であって、
内側ピストン部と当該内側ピストン部の一方側に一体に設けられ内部が前記内側ピストン部の内部に連通する軸方向に弾性変形自在の小型ベローズ部と前記内側ピストン部の他方側に一体に設けられ内部が前記内側ピストン部の内部に連通し軸方向の単位変位量当たりの容積変化が前記小型ベローズ部よりも大きい軸方向に弾性変形自在の大型ベローズ部とを有し、内方に前記ポンプ室が形成されるベローズと、
大径部および当該大径部の軸方向両側の小径部が一体となった円筒形状をなし、前記内側ピストン部の外側に固定されて前記内側ピストン部とにより中空ピストンを形成する金属製の外側ピストン部と、
前記ベローズを収容するとともに前記外側ピストン部の外周面に接触する内周面が設けられ、前記外側ピストン部の一方の小径部側の第１の作動室と他方の小径部側の第２の作動室とを区画形成するシリンダチューブと、
前記中空ピストンの一方側の端面に対向して前記シリンダチューブに設けられ、前記シリンダチューブ内に第１の作動室を形成する第１の対向面と、
前記中空ピストンの他方側の端面に対向して前記シリンダチューブに設けられ、前記シリンダチューブ内に第２の作動室を形成する第２の対向面と、
前記第１の作動室に装着され前記中空ピストンに対して一方側に向かうバネ力を加えるバネ部材と、
一方の前記ベローズ部に一体に設けられ、前記シリンダチューブに固定される第１の固定端部と、
他方の前記ベローズ部に一体に設けられ、前記シリンダチューブに固定される第２の固定端部とを有し、
前記第２の作動室に対する流体の供給と排出とにより前記中空ピストンを軸方向に往復動し、前記ポンプ室を膨張収縮することを特徴とする薬液供給装置。 - 請求項１２記載の薬液供給装置において、前記シリンダチューブと前記ベローズとの間に回転自在にスリーブを装着し、当該スリーブにより前記バネ部材が当接する前記第１の対向面を形成し、前記スリーブの外周面に前記シリンダチューブの内周面に形成された雌ねじにねじ結合する雄ねじを形成し、前記スリーブの回転により中空ピストンの移動ストロークを可変とすることを特徴とする薬液供給装置。
- 請求項１２記載の薬液供給装置において、両端が前記固定端部に保持されるとともに内部に前記ポンプ室を形成する可撓性チューブが前記ベローズの内側に配置され、前記ベローズと前記可撓性チューブとの間に非圧縮性媒体が封入される膨張収縮室を形成することを特徴とする薬液供給装置。
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