JPH1057850A - 薬液供給装置の駆動方法 - Google Patents
薬液供給装置の駆動方法Info
- Publication number
- JPH1057850A JPH1057850A JP8213473A JP21347396A JPH1057850A JP H1057850 A JPH1057850 A JP H1057850A JP 8213473 A JP8213473 A JP 8213473A JP 21347396 A JP21347396 A JP 21347396A JP H1057850 A JPH1057850 A JP H1057850A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- discharge
- valve
- pump chamber
- chemical liquid
- side valve
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
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- Exposure Of Semiconductors, Excluding Electron Or Ion Beam Exposure (AREA)
- Details Of Reciprocating Pumps (AREA)
- Nozzles (AREA)
- Feeding, Discharge, Calcimining, Fusing, And Gas-Generation Devices (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 ポンプ室内の残圧の影響を防止して薬液吐出
部から所定量の薬液を高精度で吐出し得るようにする。 【解決手段】 吸入側バルブ３４を閉じかつ吐出側バル
ブ３５を開いた状態のもとで薬液吐出部から薬液を吐出
する吐出工程と、吐出工程終了後にポンプ室内の残圧を
除去する残圧除去工程と、残圧が除去された後に吸入側
バルブ３４を閉じかつ吐出側バルブ３５を開いた状態の
もとで薬液吐出部内の薬液を戻すサックバック工程と、
サックバック工程終了後に吐出側バルブ３５を閉じかつ
吸入側バルブ３４を開いた状態のもとで薬液貯留室内の
薬液をポンプ室に案内する吸入工程とを有する。
部から所定量の薬液を高精度で吐出し得るようにする。 【解決手段】 吸入側バルブ３４を閉じかつ吐出側バル
ブ３５を開いた状態のもとで薬液吐出部から薬液を吐出
する吐出工程と、吐出工程終了後にポンプ室内の残圧を
除去する残圧除去工程と、残圧が除去された後に吸入側
バルブ３４を閉じかつ吐出側バルブ３５を開いた状態の
もとで薬液吐出部内の薬液を戻すサックバック工程と、
サックバック工程終了後に吐出側バルブ３５を閉じかつ
吸入側バルブ３４を開いた状態のもとで薬液貯留室内の
薬液をポンプ室に案内する吸入工程とを有する。
Description
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明はフォトレジスト液な
どの薬液を塗布する薬液供給装置の駆動方法に関する。
どの薬液を塗布する薬液供給装置の駆動方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】半導体ウエハの製造技術分野を始め、液
晶基板製造技術分野や多層配線基板製造技術などの分野
では、フォトレジスト液、アルカリ性や酸性の処理液な
ど薬液が使用されている。それぞれの薬液は薬液貯蔵槽
内からポンプの作動により薬液吐出部に流路を介して案
内される。
晶基板製造技術分野や多層配線基板製造技術などの分野
では、フォトレジスト液、アルカリ性や酸性の処理液な
ど薬液が使用されている。それぞれの薬液は薬液貯蔵槽
内からポンプの作動により薬液吐出部に流路を介して案
内される。
【０００３】このような薬液供給ポンプを有する薬液供
給装置としては、たとえば、米国特許第５，０６１，１
５６号公報に開示されているように、ベローズタイプの
ポンプを用いたものが開発されている。
給装置としては、たとえば、米国特許第５，０６１，１
５６号公報に開示されているように、ベローズタイプの
ポンプを用いたものが開発されている。
【０００４】図１は開発対象となった薬液供給装置を示
す図であり、この装置は容器（薬液貯留槽）１に収容さ
れたレジスト液等の薬液Ｌを半導体ウエハＷに塗布する
ために使用されている。図示するように、ハウジング２
に往復動自在に設けられたべローズ３を駆動するために
ハウジング２には駆動部材４が設けられており、ベロー
ズ３の往復動によって吸入側と吐出側の２つの逆止弁５
ａ，５ｂを介して薬液Ｌはノズル（薬液吐出部）６に供
給される。ノズル６と吐出側の逆止弁５ｂの間に設けら
れた吐出側流路には、薬液Ｌ内の異物を除去するフィル
タ７と、供給路を開閉するダイヤフラムバルブ８と、サ
ックバックバルブ９とがそれぞれ設けられている。
す図であり、この装置は容器（薬液貯留槽）１に収容さ
れたレジスト液等の薬液Ｌを半導体ウエハＷに塗布する
ために使用されている。図示するように、ハウジング２
に往復動自在に設けられたべローズ３を駆動するために
ハウジング２には駆動部材４が設けられており、ベロー
ズ３の往復動によって吸入側と吐出側の２つの逆止弁５
ａ，５ｂを介して薬液Ｌはノズル（薬液吐出部）６に供
給される。ノズル６と吐出側の逆止弁５ｂの間に設けら
れた吐出側流路には、薬液Ｌ内の異物を除去するフィル
タ７と、供給路を開閉するダイヤフラムバルブ８と、サ
ックバックバルブ９とがそれぞれ設けられている。
【０００５】図示する薬液供給装置を用いて薬液Ｌを半
導体ウエハＷに塗布する場合には、ベローズ３を後退移
動させることにより、吸入側の逆止弁５ａを介して薬液
Ｌをポンプ室内に流入し、次いでベローズ３を前進移動
させることにより、逆止弁５ｂを介してノズル６に薬液
Ｌが供給される。所定の量の薬液Ｌをノズル６から吐出
した後には、ノズル６からの液垂れを防止するために、
ダイヤフラムバルブ８を閉じてサックバックバルブ９を
作動させて、ノズル６の先端部内に薬液を吸引するよう
にしている。
導体ウエハＷに塗布する場合には、ベローズ３を後退移
動させることにより、吸入側の逆止弁５ａを介して薬液
Ｌをポンプ室内に流入し、次いでベローズ３を前進移動
させることにより、逆止弁５ｂを介してノズル６に薬液
Ｌが供給される。所定の量の薬液Ｌをノズル６から吐出
した後には、ノズル６からの液垂れを防止するために、
ダイヤフラムバルブ８を閉じてサックバックバルブ９を
作動させて、ノズル６の先端部内に薬液を吸引するよう
にしている。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】ダイヤフラムバルブ８
を用いて流路を閉じると、ダイヤフラムバルブの変形に
よる流路内の容積の変化によりノズル６から薬液が吐出
してしまうことがあるので、サックバックバルブを用い
ることなく、ポンプ動作によってサックバックを行う方
式が考慮された。
を用いて流路を閉じると、ダイヤフラムバルブの変形に
よる流路内の容積の変化によりノズル６から薬液が吐出
してしまうことがあるので、サックバックバルブを用い
ることなく、ポンプ動作によってサックバックを行う方
式が考慮された。
【０００７】その場合には、図１におけるダイヤフラム
バルブ８とサックバックバルブ９を用いることなく、そ
れぞれの逆止弁５ａ，５ｂに代えてそれぞれ外部からの
信号により流路を開閉する開閉バルブが使用される。こ
の場合には、まず、吸入側の開閉バルブを開いてベロー
ズ３を後退移動させてポンプ室内に薬液を注入した後
に、吸入側の開閉バルブを閉じる。薬液を吐出するに
は、吐出側の開閉バルブを開いてベローズ３を前進移動
させることにより、ポンプ室内の薬液がノズル６から吐
出される。次いで、サックバック動作を行うには、吐出
側の開閉バルブを開いてベローズ３を僅かに後退させ
て、ノズル６の先端部内の薬液を吸引する。
バルブ８とサックバックバルブ９を用いることなく、そ
れぞれの逆止弁５ａ，５ｂに代えてそれぞれ外部からの
信号により流路を開閉する開閉バルブが使用される。こ
の場合には、まず、吸入側の開閉バルブを開いてベロー
ズ３を後退移動させてポンプ室内に薬液を注入した後
に、吸入側の開閉バルブを閉じる。薬液を吐出するに
は、吐出側の開閉バルブを開いてベローズ３を前進移動
させることにより、ポンプ室内の薬液がノズル６から吐
出される。次いで、サックバック動作を行うには、吐出
側の開閉バルブを開いてベローズ３を僅かに後退させ
て、ノズル６の先端部内の薬液を吸引する。
【０００８】このように、ポンプ動作によってサックバ
ックを行う場合には、薬液の吐出動作終了時の液切れを
良くするために、ベローズ３の前進移動終了と同時に吐
出側の開閉バルブを閉じることが望ましいということが
判明した。もしも、吐出側バルブを開いた状態のままと
すると、ベローズ３の前進移動終了後もベローズ３が定
常状態に戻るように変形するなどの現象によってポンプ
室の容積が収縮することがあり、これにより、薬液がノ
ズル６からだらだらと吐出されてしまうからである。
ックを行う場合には、薬液の吐出動作終了時の液切れを
良くするために、ベローズ３の前進移動終了と同時に吐
出側の開閉バルブを閉じることが望ましいということが
判明した。もしも、吐出側バルブを開いた状態のままと
すると、ベローズ３の前進移動終了後もベローズ３が定
常状態に戻るように変形するなどの現象によってポンプ
室の容積が収縮することがあり、これにより、薬液がノ
ズル６からだらだらと吐出されてしまうからである。
【０００９】したがって、液切れを良くするにはベロー
ズの前進移動終了後には吐出側のバルブを閉じることが
好ましいが、このバルブを閉じると、薬液吐出時のポン
プ室内の圧力が残圧としてポンプ室内に残ってしまい、
次のサックバックの段階において吐出側バルブを開いた
ときに残圧が開放され、これと同時にノズル６に向けて
薬液の流れが発生することがある。そして、その発生量
が多いとノズル６から薬液が吐出されてしまうことがあ
る。
ズの前進移動終了後には吐出側のバルブを閉じることが
好ましいが、このバルブを閉じると、薬液吐出時のポン
プ室内の圧力が残圧としてポンプ室内に残ってしまい、
次のサックバックの段階において吐出側バルブを開いた
ときに残圧が開放され、これと同時にノズル６に向けて
薬液の流れが発生することがある。そして、その発生量
が多いとノズル６から薬液が吐出されてしまうことがあ
る。
【００１０】このような流れが発生すると、ノズル６か
ら垂れないような僅かな量であっても、吐出量の精度や
サックバック後のノズル６内の液面位置のコントロール
に悪影響を及ぼすことが判明した。
ら垂れないような僅かな量であっても、吐出量の精度や
サックバック後のノズル６内の液面位置のコントロール
に悪影響を及ぼすことが判明した。
【００１１】一方、吸入動作においては、ベローズ３の
後退終了と同時に吸入側の開閉バルブを閉じると、吸入
時の薬液の流れの慣性力によってポンプ室内に正の圧力
がかかった状態となってしまい、これが残圧としてポン
プ室内に加わることになる。したがって、次の吐出動作
時に吐出側のバルブを開いたときに残圧が開放されると
同時に薬液がノズル６から吐出してしまうことがある。
これは吐出量の精度や吐出流量のむらを発生させるなど
の悪影響となる。
後退終了と同時に吸入側の開閉バルブを閉じると、吸入
時の薬液の流れの慣性力によってポンプ室内に正の圧力
がかかった状態となってしまい、これが残圧としてポン
プ室内に加わることになる。したがって、次の吐出動作
時に吐出側のバルブを開いたときに残圧が開放されると
同時に薬液がノズル６から吐出してしまうことがある。
これは吐出量の精度や吐出流量のむらを発生させるなど
の悪影響となる。
【００１２】また、たとえば、ポンプとノズル６との間
にフィルタ７を設けた場合には、薬液の吐出後にポンプ
室とフィルタ７の間に残圧が発生する。したがって、ポ
ンプの吐出動作以後に薬液がノズル６から吐出したり、
残圧によって次の吐出精度に影響が与えられることにな
る。
にフィルタ７を設けた場合には、薬液の吐出後にポンプ
室とフィルタ７の間に残圧が発生する。したがって、ポ
ンプの吐出動作以後に薬液がノズル６から吐出したり、
残圧によって次の吐出精度に影響が与えられることにな
る。
【００１３】さらに、図１に示す薬液供給装置におい
て、吸入側のバルブとして図示するように逆止弁５ａを
使用した場合には、吸入動作の終了時に薬液の慣性力に
よってポンプ室内に圧力が発生し、これも残圧としてプ
ラスされることがある。
て、吸入側のバルブとして図示するように逆止弁５ａを
使用した場合には、吸入動作の終了時に薬液の慣性力に
よってポンプ室内に圧力が発生し、これも残圧としてプ
ラスされることがある。
【００１４】本発明の目的は、ポンプ室内の残圧の影響
を防止して薬液吐出部から所定量の薬液を高精度で吐出
し得るようにすることにある。
を防止して薬液吐出部から所定量の薬液を高精度で吐出
し得るようにすることにある。
【００１５】本発明の前記ならびにその他の目的と新規
な特徴は、本明細書の記述および添付図面から明らかに
なるであろう。
な特徴は、本明細書の記述および添付図面から明らかに
なるであろう。
【００１６】
【課題を解決するための手段】本願において開示される
発明のうち、代表的なものの概要を簡単に説明すれば、
以下のとおりである。
発明のうち、代表的なものの概要を簡単に説明すれば、
以下のとおりである。
【００１７】すなわち、本発明の薬液供給装置の駆動方
法は吸入側バルブを閉じかつ吐出側バルブを開いた状態
のもとで薬液吐出部から薬液を吐出する吐出工程と、吐
出工程終了後にポンプ室内の残圧を除去する残圧除去工
程と、残圧が除去された後に吸入側バルブを閉じかつ吐
出側バルブを開いた状態のもとで薬液吐出部内の薬液を
戻すサックバック工程と、サックバック工程終了後に吐
出側バルブを閉じかつ吸入側バルブを開いた状態のもと
で薬液貯留室内の薬液をポンプ室に案内する吸入工程と
を有することを特徴とする。また、本発明の薬液供給装
置の駆動方法にあっては、吸入工程終了後にポンプ室内
の残圧を除去する第２の残圧除去工程を有することを特
徴とする。
法は吸入側バルブを閉じかつ吐出側バルブを開いた状態
のもとで薬液吐出部から薬液を吐出する吐出工程と、吐
出工程終了後にポンプ室内の残圧を除去する残圧除去工
程と、残圧が除去された後に吸入側バルブを閉じかつ吐
出側バルブを開いた状態のもとで薬液吐出部内の薬液を
戻すサックバック工程と、サックバック工程終了後に吐
出側バルブを閉じかつ吸入側バルブを開いた状態のもと
で薬液貯留室内の薬液をポンプ室に案内する吸入工程と
を有することを特徴とする。また、本発明の薬液供給装
置の駆動方法にあっては、吸入工程終了後にポンプ室内
の残圧を除去する第２の残圧除去工程を有することを特
徴とする。
【００１８】それぞれの残圧除去工程にあっては、吸入
側バルブを開いてポンプ室内の残圧を除去するようにす
るようにしても良い。
側バルブを開いてポンプ室内の残圧を除去するようにす
るようにしても良い。
【００１９】本発明にあっては、薬液の吐出動作終了後
にポンプ室内の残圧を除去することができ、サックバッ
ク動作の段階で吐出側バルブを開放状態としても薬液吐
出部先端の液面位置の変動を防止することができる。ま
た、薬液をポンプ室に吸入した後にポンプ室の残圧を除
去することができ、薬液吸入時における薬液の慣性力に
起因したポンプ室における残圧の発生が防止される。
にポンプ室内の残圧を除去することができ、サックバッ
ク動作の段階で吐出側バルブを開放状態としても薬液吐
出部先端の液面位置の変動を防止することができる。ま
た、薬液をポンプ室に吸入した後にポンプ室の残圧を除
去することができ、薬液吸入時における薬液の慣性力に
起因したポンプ室における残圧の発生が防止される。
【００２０】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を図面
に基づいて詳細に説明する。
に基づいて詳細に説明する。
【００２１】図２は薬液供給装置の基本構造を示す図で
ある。図３および図４は図２に示された薬液供給装置の
具体的構造を示す図であり、図３は図４におけるIII −
III線に沿う断面図であり、図４は図３におけるIV−IV
線に沿う断面図である。
ある。図３および図４は図２に示された薬液供給装置の
具体的構造を示す図であり、図３は図４におけるIII −
III線に沿う断面図であり、図４は図３におけるIV−IV
線に沿う断面図である。
【００２２】この薬液供給装置のハウジング１１内に
は、駆動部５０により往復動される往復動部材としての
ダイヤフラム２８が設けられており、このダイヤフラム
２８によりポンプ室２７が形成されている。薬液Ｌが収
容された容器（液体貯留槽）１とポンプ室２７とを結ぶ
流入側流路３１を形成する流入ホース３０ａにはフィル
タ７が設けられ、流路３１を開閉するために吸入側バル
ブ３４が設けられている。一方、ポンプ室２７とノズル
６とを結ぶ吐出側流路３２を形成する流出ホース３０ｂ
を有し、流路３２を開閉するために吐出側バルブ３５が
設けられている。
は、駆動部５０により往復動される往復動部材としての
ダイヤフラム２８が設けられており、このダイヤフラム
２８によりポンプ室２７が形成されている。薬液Ｌが収
容された容器（液体貯留槽）１とポンプ室２７とを結ぶ
流入側流路３１を形成する流入ホース３０ａにはフィル
タ７が設けられ、流路３１を開閉するために吸入側バル
ブ３４が設けられている。一方、ポンプ室２７とノズル
６とを結ぶ吐出側流路３２を形成する流出ホース３０ｂ
を有し、流路３２を開閉するために吐出側バルブ３５が
設けられている。
【００２３】それぞれのバルブ３４，３５には従動側の
永久磁石が内蔵されており、これを作動させるための駆
動側の永久磁石が設けられた駆動ロッド４２ａ，４２ｂ
をそれぞれ駆動部材４０ａ，４０ｂで作動させることに
より、バルブ３４，３５が開閉駆動される。
永久磁石が内蔵されており、これを作動させるための駆
動側の永久磁石が設けられた駆動ロッド４２ａ，４２ｂ
をそれぞれ駆動部材４０ａ，４０ｂで作動させることに
より、バルブ３４，３５が開閉駆動される。
【００２４】図３および図４に示すように、ハウジング
１１は、バルブハウジング１１ａとポンプハウジング１
１ｂとにより形成されており、これらは相互に分離自在
となっている。バルブハウジング１１ａは、中央ブロッ
ク１２と２つの外側ブロック１３，１４と端板１５，１
６とを有し、３つのブロック１２〜１４はそれぞれフッ
素樹脂であるポリテトラフルオロエチレン（ＰＴＦＥ）
などの樹脂により形成され、図４に示す２本のボルト１
７によって組み立てられている。このバルブハウジング
１１ａの一方面には鉄などの磁性体からなる締結プレー
ト１８が設けられ、他方面には止め板１９が設けられ、
これらはボルト２０により固定されている。
１１は、バルブハウジング１１ａとポンプハウジング１
１ｂとにより形成されており、これらは相互に分離自在
となっている。バルブハウジング１１ａは、中央ブロッ
ク１２と２つの外側ブロック１３，１４と端板１５，１
６とを有し、３つのブロック１２〜１４はそれぞれフッ
素樹脂であるポリテトラフルオロエチレン（ＰＴＦＥ）
などの樹脂により形成され、図４に示す２本のボルト１
７によって組み立てられている。このバルブハウジング
１１ａの一方面には鉄などの磁性体からなる締結プレー
ト１８が設けられ、他方面には止め板１９が設けられ、
これらはボルト２０により固定されている。
【００２５】ポンプハウジング１１ｂはバルブハウジン
グ１１ａの内面に接触する締結プレート２１とこれに固
定されたカバー２２とにより形成されており、図５に示
すように、締結プレート２１に形成された４つの凹部２
３内には磁石２４が埋め込まれ、締結プレート１８に形
成された位置決め用の突部２５を磁石２４に対向させて
凹部２３内に嵌合することにより、両方のハウジング１
１ａ，１１ｂは相互に連結された状態となって組み付け
られる。磁石２４の磁力に抗して強くバルブハウジング
１１ａを引くと、これをポンプハウジング１１ｂから分
離することができる。なお、符号２６は磁気回路形成部
材を示す。
グ１１ａの内面に接触する締結プレート２１とこれに固
定されたカバー２２とにより形成されており、図５に示
すように、締結プレート２１に形成された４つの凹部２
３内には磁石２４が埋め込まれ、締結プレート１８に形
成された位置決め用の突部２５を磁石２４に対向させて
凹部２３内に嵌合することにより、両方のハウジング１
１ａ，１１ｂは相互に連結された状態となって組み付け
られる。磁石２４の磁力に抗して強くバルブハウジング
１１ａを引くと、これをポンプハウジング１１ｂから分
離することができる。なお、符号２６は磁気回路形成部
材を示す。
【００２６】磁石２４の磁力による２つのハウジング１
１ａ，１１ｂの締結に代えて、クランプ部材を用いて締
結するようにしても良く、磁力による締結に加えてクラ
ンプ部材を付加するようにしても良い。
１ａ，１１ｂの締結に代えて、クランプ部材を用いて締
結するようにしても良く、磁力による締結に加えてクラ
ンプ部材を付加するようにしても良い。
【００２７】バルブハウジング１１ａに形成されたポン
プ室２７は、中央ブロック１２とこれに固定された往復
動部材としてのダイヤフラム２８とにより形成されてい
る。ダイヤフラム２８は中心部の連結部２８ａと環状の
止め付け部２８ｂとこれらの間を繋ぐ弾性変形部２８ｃ
とを有し、ＰＴＦＥにより形成されている。連結部２８
ａを図３において左右方向に往復動させることにより、
弾性変形部２８ｃが変形してポンプ動作が達成される。
プ室２７は、中央ブロック１２とこれに固定された往復
動部材としてのダイヤフラム２８とにより形成されてい
る。ダイヤフラム２８は中心部の連結部２８ａと環状の
止め付け部２８ｂとこれらの間を繋ぐ弾性変形部２８ｃ
とを有し、ＰＴＦＥにより形成されている。連結部２８
ａを図３において左右方向に往復動させることにより、
弾性変形部２８ｃが変形してポンプ動作が達成される。
【００２８】バルブハウジング１１ａには流入ホース３
０ａの一端部が接続されており、このホース３０ａの他
端部はレジスト液などの薬液が収容された薬液貯留槽に
接続されている。この流入ホース３０ａの流路とポンプ
室２７とを接続するために、バルブハウジング１１ａに
は容器１内の薬液Ｌをポンプ室２７に案内する吸入側流
路３１が図４に示されるように形成されている。
０ａの一端部が接続されており、このホース３０ａの他
端部はレジスト液などの薬液が収容された薬液貯留槽に
接続されている。この流入ホース３０ａの流路とポンプ
室２７とを接続するために、バルブハウジング１１ａに
は容器１内の薬液Ｌをポンプ室２７に案内する吸入側流
路３１が図４に示されるように形成されている。
【００２９】バルブハウジング１１ａには流出ホース３
０ｂの一端部が接続され、このホース３０ｂの他端部に
は薬液吐出部としてのノズル６が接続されている。この
流出ホース３０ｂの流路とポンプ室２７とを接続するた
めに、バルブハウジング１１ａには、ポンプ室２７内の
薬液をノズルに案内する吐出側流路３２が図４に示され
るように形成されている。
０ｂの一端部が接続され、このホース３０ｂの他端部に
は薬液吐出部としてのノズル６が接続されている。この
流出ホース３０ｂの流路とポンプ室２７とを接続するた
めに、バルブハウジング１１ａには、ポンプ室２７内の
薬液をノズルに案内する吐出側流路３２が図４に示され
るように形成されている。
【００３０】流入ホース３０ａには図２に示されるよう
にフィルタ７が設けられているが、流出ホース３０ｂに
このフィルタ７を設けるようにしても良い。また、両方
のホース３０ａ，３０ｂをそれぞれＰＴＦＥなどの樹脂
製のものを使用するようにしても良い。
にフィルタ７が設けられているが、流出ホース３０ｂに
このフィルタ７を設けるようにしても良い。また、両方
のホース３０ａ，３０ｂをそれぞれＰＴＦＥなどの樹脂
製のものを使用するようにしても良い。
【００３１】吸入側流路３１には弁室３３ａが形成さ
れ、この弁室３３ａ内には吸入側流路３１を開閉する吸
入側バルブ３４が設けられている。また、吐出側流路３
２には弁室３３ｂが形成され、この弁室３３ｂ内には吐
出側流路３２を開閉する吐出側バルブ３５が設けられて
いる。このように、それぞれのバルブ３４，３５はそれ
ぞれ流路内に配置させているので、開閉動作がなされる
際には、流路内における薬液の流れが発生することを防
止することができる。
れ、この弁室３３ａ内には吸入側流路３１を開閉する吸
入側バルブ３４が設けられている。また、吐出側流路３
２には弁室３３ｂが形成され、この弁室３３ｂ内には吐
出側流路３２を開閉する吐出側バルブ３５が設けられて
いる。このように、それぞれのバルブ３４，３５はそれ
ぞれ流路内に配置させているので、開閉動作がなされる
際には、流路内における薬液の流れが発生することを防
止することができる。
【００３２】図６は吐出側バルブ３５の部分を拡大して
示す断面図であり、弁室３３ｂの下部には弁座３６ｂが
取り付けられ、吐出側流路３２はポンプ室２７から垂直
に延びて弁室３３ｂに至る部分と、この弁室３３ｂの側
部から傾斜して流出ホース３０ｂに至る部分とを有して
いる。吐出側バルブ３５は弁座３６ｂに接触するセラミ
ック製のボール３７を有しており、このボール３７には
ＰＴＦＥ製の弁本体３８によって従動側の磁石４１が組
み付けられている。図６は吐出側バルブ３５を示すが、
吸入側バルブ３４も同様の構造となっており、弁座３６
ａに接触して吸入側流路３１を開閉するセラミック製の
ボール３７を有している。
示す断面図であり、弁室３３ｂの下部には弁座３６ｂが
取り付けられ、吐出側流路３２はポンプ室２７から垂直
に延びて弁室３３ｂに至る部分と、この弁室３３ｂの側
部から傾斜して流出ホース３０ｂに至る部分とを有して
いる。吐出側バルブ３５は弁座３６ｂに接触するセラミ
ック製のボール３７を有しており、このボール３７には
ＰＴＦＥ製の弁本体３８によって従動側の磁石４１が組
み付けられている。図６は吐出側バルブ３５を示すが、
吸入側バルブ３４も同様の構造となっており、弁座３６
ａに接触して吸入側流路３１を開閉するセラミック製の
ボール３７を有している。
【００３３】図３に示すように、バルブハウジング１１
ａには弁室３３ａに隣接させて駆動ロッド４２ａが軸方
向に摺動自在に取り付けられており、この摺動方向は吸
入側バルブ３４の移動方向に対してほぼ直角の方向とな
っている。同様に、バルブハウジング１１ａには弁室３
３ｂに隣接させて駆動ロッド４２ｂが軸方向に摺動自在
に取り付けられており、この摺動方向は駆動ロッド４２
ａの摺動方向と平行となっている。
ａには弁室３３ａに隣接させて駆動ロッド４２ａが軸方
向に摺動自在に取り付けられており、この摺動方向は吸
入側バルブ３４の移動方向に対してほぼ直角の方向とな
っている。同様に、バルブハウジング１１ａには弁室３
３ｂに隣接させて駆動ロッド４２ｂが軸方向に摺動自在
に取り付けられており、この摺動方向は駆動ロッド４２
ａの摺動方向と平行となっている。
【００３４】駆動ロッド４２ａには２つの駆動側の磁石
４３ａ，４４ａが設けられており、駆動ロッド４２ａを
軸方向に摺動させることにより、一方の磁石が従動側の
磁石４１の位置に対応することになる。磁石４３ａは磁
石４１を反発させる磁界を作用させて吸入側バルブ３４
に対して吸入側流路３１を閉塞する方向の磁力を加え
る。他方の磁石４４ａは磁石４１を引き寄せる磁界を作
用させて吸入側バルブ３４に対して流路３１を開放する
方向の磁力を加える。
４３ａ，４４ａが設けられており、駆動ロッド４２ａを
軸方向に摺動させることにより、一方の磁石が従動側の
磁石４１の位置に対応することになる。磁石４３ａは磁
石４１を反発させる磁界を作用させて吸入側バルブ３４
に対して吸入側流路３１を閉塞する方向の磁力を加え
る。他方の磁石４４ａは磁石４１を引き寄せる磁界を作
用させて吸入側バルブ３４に対して流路３１を開放する
方向の磁力を加える。
【００３５】駆動ロッド４２ａは締結プレート２１に取
り付けられた環状スリーブ４５ａを貫通してポンプハウ
ジング１１ｂ内に突出している。
り付けられた環状スリーブ４５ａを貫通してポンプハウ
ジング１１ｂ内に突出している。
【００３６】ポンプハウジング１１ｂ内には駆動ロッド
４２ａを駆動するための空気圧シリンダ４６ａが設けら
れ、この空気圧シリンダ４６ａは締結プレート２１に固
定されている。この空気圧シリンダ４６ａ内に設けられ
たピストン４７ａには駆動ロッド４２ａが取り付けられ
ており、ピストン４７ａを原点位置に戻すために圧縮コ
イルばね４８ａがシリンダ４６ａ内に装着されている。
ピストン４７ａが原点位置となると、駆動側の磁石４３
ａが従動側の磁石４１の位置となる。
４２ａを駆動するための空気圧シリンダ４６ａが設けら
れ、この空気圧シリンダ４６ａは締結プレート２１に固
定されている。この空気圧シリンダ４６ａ内に設けられ
たピストン４７ａには駆動ロッド４２ａが取り付けられ
ており、ピストン４７ａを原点位置に戻すために圧縮コ
イルばね４８ａがシリンダ４６ａ内に装着されている。
ピストン４７ａが原点位置となると、駆動側の磁石４３
ａが従動側の磁石４１の位置となる。
【００３７】空気圧シリンダ４６ａには空気圧配管４９
ａが接続され、バルブユニット５１を介して図示しない
空気圧源からの圧縮空気がシリンダ４６ａに供給される
ようになっており、圧縮空気がシリンダ４６ａ内に供給
されると、ピストン４７ａは前進限位置となる。このと
きには、駆動側の磁石４４ａが従動側の磁石４１の位置
となる。
ａが接続され、バルブユニット５１を介して図示しない
空気圧源からの圧縮空気がシリンダ４６ａに供給される
ようになっており、圧縮空気がシリンダ４６ａ内に供給
されると、ピストン４７ａは前進限位置となる。このと
きには、駆動側の磁石４４ａが従動側の磁石４１の位置
となる。
【００３８】吐出側バルブ３５も吸入側バルブ３４と同
様の構造の駆動ロッド４２ｂおよび空気圧シリンダ４６
ｂによって駆動されるようになっており、図３において
は、吸入側バルブ３４を駆動する部材と共通する部材に
は同一の参照番号に符号ｂを付して吐出側バルブ３５を
駆動する部材の説明を省略している。
様の構造の駆動ロッド４２ｂおよび空気圧シリンダ４６
ｂによって駆動されるようになっており、図３において
は、吸入側バルブ３４を駆動する部材と共通する部材に
は同一の参照番号に符号ｂを付して吐出側バルブ３５を
駆動する部材の説明を省略している。
【００３９】ダイヤフラム２８を図３において左右方向
に往復動するために、駆動部材５２が締結プレート２１
に形成された貫通孔５３から突出してポンプハウジング
１１ｂに軸方向に往復動自在に設けられており、この駆
動部材５２に取り付けられたボールねじナット５４にね
じ結合されるボールねじ５５がベアリング５６によりポ
ンプハウジング１１ｂ内に回転自在に設けられている。
このボールねじ５５は継手５７を介してモータ５８の主
軸に連結されている。図３にあっては、駆動部材５２、
ベアリング５６、およびモータ５８を支持する部材が図
示省略されている。
に往復動するために、駆動部材５２が締結プレート２１
に形成された貫通孔５３から突出してポンプハウジング
１１ｂに軸方向に往復動自在に設けられており、この駆
動部材５２に取り付けられたボールねじナット５４にね
じ結合されるボールねじ５５がベアリング５６によりポ
ンプハウジング１１ｂ内に回転自在に設けられている。
このボールねじ５５は継手５７を介してモータ５８の主
軸に連結されている。図３にあっては、駆動部材５２、
ベアリング５６、およびモータ５８を支持する部材が図
示省略されている。
【００４０】駆動部材５２にダイヤフラム２８を連結す
るために、ダイヤフラム２８の連結部２８ａには磁性材
料からなる連結部材６１が設けられ、駆動部材５２には
磁性材料からなる磁気回路形成部材６２と磁石６３とが
設けられている。磁石６３は磁気回路形成部材６２に密
着しており、この磁気回路形成部材６２と連結部材６１
とが磁力により密着することにより、ダイヤフラム２８
は駆動部材５２に連結される。
るために、ダイヤフラム２８の連結部２８ａには磁性材
料からなる連結部材６１が設けられ、駆動部材５２には
磁性材料からなる磁気回路形成部材６２と磁石６３とが
設けられている。磁石６３は磁気回路形成部材６２に密
着しており、この磁気回路形成部材６２と連結部材６１
とが磁力により密着することにより、ダイヤフラム２８
は駆動部材５２に連結される。
【００４１】図７は図２〜図５に示す薬液供給装置の駆
動方法を示すタイムチャートであり、図７を参照しつつ
薬液Ｌをノズル６から吐出する手順について説明する。
動方法を示すタイムチャートであり、図７を参照しつつ
薬液Ｌをノズル６から吐出する手順について説明する。
【００４２】薬液Ｌをノズル６から半導体ウエハＷに塗
布するには、空気圧シリンダ４６ｂに圧縮空気を供給し
てピストン４７ｂを前進させ、駆動ロッド４２ｂを前進
させて駆動側の磁石４４ｂを吐出側バルブ３５の従動側
の磁石４１に対応する位置にする。これにより、従動側
の磁石４１が駆動側の磁石４４ｂによって吸引され、図
７において符号Ｔ1 で示すように、吐出側バルブ３５が
弁座３６ｂから離れて吐出側流路３２が開放状態とな
る。
布するには、空気圧シリンダ４６ｂに圧縮空気を供給し
てピストン４７ｂを前進させ、駆動ロッド４２ｂを前進
させて駆動側の磁石４４ｂを吐出側バルブ３５の従動側
の磁石４１に対応する位置にする。これにより、従動側
の磁石４１が駆動側の磁石４４ｂによって吸引され、図
７において符号Ｔ1 で示すように、吐出側バルブ３５が
弁座３６ｂから離れて吐出側流路３２が開放状態とな
る。
【００４３】これと同時に、図７に示すように、モータ
５８を吐出側に駆動すると、駆動部材５２が図３におい
て左側に移動し、ダイヤフラム２８がポンプ室２７を収
縮するように変形する。これにより、流出ホース３０ｂ
を介して薬液Ｌがノズル６に案内されてノズル６から吐
出される。図７において符号Ｔ2 で示すように、モータ
５８の駆動を停止すると薬液の吐出が停止され、モータ
５８の駆動停止とともに、駆動ロッド４２ｂを後退させ
て吐出側バルブ３５により吐出側流路３２を閉塞する。
５８を吐出側に駆動すると、駆動部材５２が図３におい
て左側に移動し、ダイヤフラム２８がポンプ室２７を収
縮するように変形する。これにより、流出ホース３０ｂ
を介して薬液Ｌがノズル６に案内されてノズル６から吐
出される。図７において符号Ｔ2 で示すように、モータ
５８の駆動を停止すると薬液の吐出が停止され、モータ
５８の駆動停止とともに、駆動ロッド４２ｂを後退させ
て吐出側バルブ３５により吐出側流路３２を閉塞する。
【００４４】このようにして、薬液の吐出動作が終了し
た後に、空気圧シリンダ４６ａに圧縮空気を供給してピ
ストン４７ａを前進させることにより、駆動ロッド４２
ａを前進させて駆動側の磁石４４ａを従動側の磁石４１
に対応する位置に設定する。これにより、図７において
符号Ｔ3 で示すように、吸入側バルブ３４が開放状態と
なり、ポンプ室２７内における残圧が除去される。所定
時間吸入側バルブ３４を開いた後に、駆動ロッド４２ａ
を後退させることにより、図７において符号Ｔ4 で示す
ように吸入側バルブ３４を閉塞する。このようにして、
図７に示すリリーフ時間Ｔ4 −Ｔ3 の間に残圧の除去が
なされる。
た後に、空気圧シリンダ４６ａに圧縮空気を供給してピ
ストン４７ａを前進させることにより、駆動ロッド４２
ａを前進させて駆動側の磁石４４ａを従動側の磁石４１
に対応する位置に設定する。これにより、図７において
符号Ｔ3 で示すように、吸入側バルブ３４が開放状態と
なり、ポンプ室２７内における残圧が除去される。所定
時間吸入側バルブ３４を開いた後に、駆動ロッド４２ａ
を後退させることにより、図７において符号Ｔ4 で示す
ように吸入側バルブ３４を閉塞する。このようにして、
図７に示すリリーフ時間Ｔ4 −Ｔ3 の間に残圧の除去が
なされる。
【００４５】残圧除去動作が完了した後に、空気圧シリ
ンダ４６ｂに圧縮空気を供給して吐出側バルブ３５の従
動側の磁石４１の位置に駆動側の磁石４４ｂを位置させ
て、符号Ｔ5 で示すように、吐出側バルブ３５を開放位
置とする。これと同時に、モータ５８を駆動させてポン
プ室２７を広げるようにダイヤフラム２８を図３におい
て右方向に僅かに後退させる。これにより、サックバッ
ク動作が行われてノズル６の先端部内の薬液が吸引され
て、液垂れが防止される。
ンダ４６ｂに圧縮空気を供給して吐出側バルブ３５の従
動側の磁石４１の位置に駆動側の磁石４４ｂを位置させ
て、符号Ｔ5 で示すように、吐出側バルブ３５を開放位
置とする。これと同時に、モータ５８を駆動させてポン
プ室２７を広げるようにダイヤフラム２８を図３におい
て右方向に僅かに後退させる。これにより、サックバッ
ク動作が行われてノズル６の先端部内の薬液が吸引され
て、液垂れが防止される。
【００４６】サックバック動作が符号Ｔ6 の時点で終了
した後、次の吐出に要する薬液をポンプ室２７内に吸入
するために、符号Ｔ7 で示すように、空気圧シリンダ４
６ａに圧縮空気を供給させて駆動ロッド４２ａを前進移
動させることにより吸入側バルブ３４を開放するととも
に、モータ５８を駆動させてポンプ室２７を広げるよう
にダイヤフラム２８を図３において右方向に後退移動さ
せる。符号Ｔ8 で示す時点でダイヤフラム２８が後退限
位置となると、薬液の吸入動作が終了し、吸入動作終了
とともに吸入側バルブ３４が閉塞される。
した後、次の吐出に要する薬液をポンプ室２７内に吸入
するために、符号Ｔ7 で示すように、空気圧シリンダ４
６ａに圧縮空気を供給させて駆動ロッド４２ａを前進移
動させることにより吸入側バルブ３４を開放するととも
に、モータ５８を駆動させてポンプ室２７を広げるよう
にダイヤフラム２８を図３において右方向に後退移動さ
せる。符号Ｔ8 で示す時点でダイヤフラム２８が後退限
位置となると、薬液の吸入動作が終了し、吸入動作終了
とともに吸入側バルブ３４が閉塞される。
【００４７】次いで、符号Ｔ9 で示すように、空気圧シ
リンダ４６ａに圧縮空気を供給して駆動ロッド４２ａを
前進させて駆動側の磁石４４ａを従動側の磁石４１に対
応する位置に設定する。これにより、吸入側バルブ３４
が開放状態となり、ポンプ室２７内における残圧が除去
される。所定時間吸入側バルブ３４を開いた後に、符号
Ｔ10で示すように、駆動ロッド４２ａを後退させること
により、吸入側バルブ３４を閉塞する。このようにし
て、図７に示すリリーフ時間Ｔ10−Ｔ9 の間にわたり残
圧の除去がなされる。
リンダ４６ａに圧縮空気を供給して駆動ロッド４２ａを
前進させて駆動側の磁石４４ａを従動側の磁石４１に対
応する位置に設定する。これにより、吸入側バルブ３４
が開放状態となり、ポンプ室２７内における残圧が除去
される。所定時間吸入側バルブ３４を開いた後に、符号
Ｔ10で示すように、駆動ロッド４２ａを後退させること
により、吸入側バルブ３４を閉塞する。このようにし
て、図７に示すリリーフ時間Ｔ10−Ｔ9 の間にわたり残
圧の除去がなされる。
【００４８】薬液の吸入動作によりポンプ室２７内に発
生した残圧が除去されて、次の薬液の吐出が準備され
る。
生した残圧が除去されて、次の薬液の吐出が準備され
る。
【００４９】図２に示すように、フィルタ７を吸入側流
路３１に設けているが、このフィル夕７を吐出側流路３
２に設けることも可能である。その場合には、薬液の吐
出動作時にポンプ室２７とフィルタ７の流入側との間に
残圧が発生することがある。それを除去する際には、図
７において二点鎖線で示すように、吸入側バルブ３４と
吐出側バルブ３５を交互に１回または複数回開閉させる
ことにより、この部分における残圧を除去することがで
きる。これにより、ポンプの吐出動作後に残圧に起因し
て薬液がノズル６から出てしまうということを防止する
ことができ、吐出量を高精度に制御することができる。
路３１に設けているが、このフィル夕７を吐出側流路３
２に設けることも可能である。その場合には、薬液の吐
出動作時にポンプ室２７とフィルタ７の流入側との間に
残圧が発生することがある。それを除去する際には、図
７において二点鎖線で示すように、吸入側バルブ３４と
吐出側バルブ３５を交互に１回または複数回開閉させる
ことにより、この部分における残圧を除去することがで
きる。これにより、ポンプの吐出動作後に残圧に起因し
て薬液がノズル６から出てしまうということを防止する
ことができ、吐出量を高精度に制御することができる。
【００５０】図７に示す場合には、ポンプ室２７内の残
圧除去を吸入側バルブ３４を開くことによって行うよう
にしているが、吐出側バルブ３５を開くことにより残圧
除去を行うようにしても良い。さらに、図７に示すタイ
ムチャートにおけるＴ2 とＴ3 を同時に行うようにして
も良く、同様にＴ4 とＴ5 をほぼ同時とするようにして
も良い。また、符号Ｔ8 〜Ｔ9 の間で吸入側バルブ３４
を開閉することなく、吸入動作終了後にも吸入側バルブ
３４を直ちに閉じることなく、Ｔ10の時点で吸入側バル
ブ３４を閉塞するようにしても良い。
圧除去を吸入側バルブ３４を開くことによって行うよう
にしているが、吐出側バルブ３５を開くことにより残圧
除去を行うようにしても良い。さらに、図７に示すタイ
ムチャートにおけるＴ2 とＴ3 を同時に行うようにして
も良く、同様にＴ4 とＴ5 をほぼ同時とするようにして
も良い。また、符号Ｔ8 〜Ｔ9 の間で吸入側バルブ３４
を開閉することなく、吸入動作終了後にも吸入側バルブ
３４を直ちに閉じることなく、Ｔ10の時点で吸入側バル
ブ３４を閉塞するようにしても良い。
【００５１】バルブハウジング１１ａとポンプハウジン
グ１１ｂとを分離するには、これらを強く引き離すだけ
で、ポンプハウジング１１ｂの締結プレート２１とバル
ブハウジング１１ａの締結プレート１８とを相互に離反
させ、連結部材６１と駆動部材５２とを相互に離反させ
ることができる。分離後には２本の駆動ロッド４２ａ，
４２ｂが締結プレート２１から突出した状態となる。こ
の状態のもとで、バルブハウジング１１ａ全体あるいは
これの構成部品を交換することができる。
グ１１ｂとを分離するには、これらを強く引き離すだけ
で、ポンプハウジング１１ｂの締結プレート２１とバル
ブハウジング１１ａの締結プレート１８とを相互に離反
させ、連結部材６１と駆動部材５２とを相互に離反させ
ることができる。分離後には２本の駆動ロッド４２ａ，
４２ｂが締結プレート２１から突出した状態となる。こ
の状態のもとで、バルブハウジング１１ａ全体あるいは
これの構成部品を交換することができる。
【００５２】バルブハウジング１１ａの全体を交換する
際には、バルブ３４，３５を駆動するための駆動ロッド
４２ａ，４２ｂがそれぞれバルブ３４，３５から離れて
おり、ポンプハウジング１１ｂに取り付けられているの
で、薬液が漏れることなく、交換作業を容易に行うこと
ができる。
際には、バルブ３４，３５を駆動するための駆動ロッド
４２ａ，４２ｂがそれぞれバルブ３４，３５から離れて
おり、ポンプハウジング１１ｂに取り付けられているの
で、薬液が漏れることなく、交換作業を容易に行うこと
ができる。
【００５３】吸入側と吐出側のそれぞれのバルブ３４，
３５の形態としては、たとえば、特願平７−８６７７２
号明細書および図面に記載されたように種々のタイプの
ものを使用することができ、駆動ロッドについても同様
に前記出願の明細書などに記載された構成とすることが
できる。
３５の形態としては、たとえば、特願平７−８６７７２
号明細書および図面に記載されたように種々のタイプの
ものを使用することができ、駆動ロッドについても同様
に前記出願の明細書などに記載された構成とすることが
できる。
【００５４】以上、本発明者によってなされた発明を実
施例に基づき具体的に説明したが、本発明は前記実施例
に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲
で種々変更可能であることはいうまでもない。たとえ
ば、図示する薬液供給装置にあっては、吸入側と吐出側
の２つのバルブを磁石によって開閉作動するようにして
いるが、一方のバルブのみを磁石によって作動させるよ
うにしても良い。また、それぞれのバルブとしては、磁
石により作動させることなく、ダイヤフラム式のバルブ
を使用するようにしても良い。さらに、往復動部材とし
ては、ダイヤフラム２８を用いることなく、図１に示す
ベローズ３を用いるようにしても良く、さらにはピスト
ンなどを用いるようにしても良い。それぞれの駆動ロッ
ド４２ａ，４２ｂについても空気圧シリンダを使用する
ことなく、ソレノイドによって駆動するようにしても良
く、あるいはモータにより駆動するようにしても良い。
施例に基づき具体的に説明したが、本発明は前記実施例
に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲
で種々変更可能であることはいうまでもない。たとえ
ば、図示する薬液供給装置にあっては、吸入側と吐出側
の２つのバルブを磁石によって開閉作動するようにして
いるが、一方のバルブのみを磁石によって作動させるよ
うにしても良い。また、それぞれのバルブとしては、磁
石により作動させることなく、ダイヤフラム式のバルブ
を使用するようにしても良い。さらに、往復動部材とし
ては、ダイヤフラム２８を用いることなく、図１に示す
ベローズ３を用いるようにしても良く、さらにはピスト
ンなどを用いるようにしても良い。それぞれの駆動ロッ
ド４２ａ，４２ｂについても空気圧シリンダを使用する
ことなく、ソレノイドによって駆動するようにしても良
く、あるいはモータにより駆動するようにしても良い。
【００５５】
【発明の効果】本願において開示される発明のうち、代
表的なものによって得られる効果を簡単に説明すれば、
以下のとおりである。
表的なものによって得られる効果を簡単に説明すれば、
以下のとおりである。
【００５６】(1).薬液の吐出動作終了後にポンプ室内の
残圧を除去することができ、これにより、サックバック
動作の段階で吐出側バルブを開放状態としても薬液吐出
部先端の液面位置の変動を防止することができる。
残圧を除去することができ、これにより、サックバック
動作の段階で吐出側バルブを開放状態としても薬液吐出
部先端の液面位置の変動を防止することができる。
【００５７】(2).薬液をポンプ室に吸入した後にポンプ
室の残圧を除去することができ、これにより、薬液吸入
時における薬液の慣性力に起因したポンプ室における残
圧の発生が防止される。
室の残圧を除去することができ、これにより、薬液吸入
時における薬液の慣性力に起因したポンプ室における残
圧の発生が防止される。
【００５８】(3).このように、ポンプ室内の残圧に起因
する薬液吐出部の液面変動がなくなることから、薬液の
吐出精度を大幅に向上することができる。
する薬液吐出部の液面変動がなくなることから、薬液の
吐出精度を大幅に向上することができる。
【図１】開発対象となった薬液供給装置を示す概略図で
ある。
ある。
【図２】本発明の一実施の形態である薬液供給装置の基
本構造を示す概略図である。
本構造を示す概略図である。
【図３】図２の薬液供給装置の図４におけるIII −III
線に沿う断面図である。
線に沿う断面図である。
【図４】図３におけるIV−IV線に沿う断面図である。
【図５】（ａ）は図３に示された締結プレートを示す斜
視図であり、（ｂ）は同図（ａ）におけるＶb −Ｖb 線
に沿う断面図である。
視図であり、（ｂ）は同図（ａ）におけるＶb −Ｖb 線
に沿う断面図である。
【図６】（ａ）は図３の要部拡大断面図であり、（ｂ）
は同図（ａ）に示された弁体の斜視図である。
は同図（ａ）に示された弁体の斜視図である。
【図７】本発明の一実施の形態である薬液供給装置の駆
動方法を示すタイムチャートである。
動方法を示すタイムチャートである。
１ 容器（液体貯留槽） ２ ハウジング ３ ベローズ ４ 駆動部材 ５ａ，５ｂ 逆止弁 ６ ノズル ７ フィルタ ８ ダイヤフラムバルブ ９ サックバックバルブ １１ ハウジング １１ａ バルブハウジング １１ｂ ポンプハウジング １２ 中央ブロック １３，１４ 外側ブロック １５，１６ 端板 １７ ボルト １８ 締結プレート １９ 止め板 ２０ ボルト ２１ 締結プレート ２２ カバー ２３ 凹部 ２４ 磁石 ２５ 突部 ２６ 磁気回路形成部材 ２７ ポンプ室 ２８ ダイヤフラム ２８ａ 連結部 ２８ｂ 止め付け部 ２８ｃ 弾性変形部 ３０ａ 流入ホース ３０ｂ 流出ホース ３１ 吸入側流路 ３２ 吐出側流路 ３３ａ，３３ｂ 弁室 ３４ 吸入側バルブ ３５ 吐出側バルブ ３６ａ，３６ｂ 弁座 ３７ ボール ３８ 弁本体 ４０ａ，４０ｂ 駆動部材 ４１ 磁石（従動側の磁石） ４２ａ，４２ｂ 駆動ロッド ４３ａ，４３ｂ 磁石（駆動側の磁石）４４ａ，４４ｂ
磁石（駆動側の磁石） ４５ａ，４５ｂ 環状スリーブ ４６ａ，４６ｂ 空気圧シリンダ ４７ａ，４７ｂ ピストン ４８ａ，４８ｂ ばね ４９ａ，４９ｂ 空気圧配管 ５０ 駆動部 ５１ バルブユニット ５２ 駆動部材 ５３ 貫通孔 ５４ ボールねじナット ５５ ボールねじ ５６ ベアリング ５７ 継手 ５８ モータ ６１ 連結部材 ６２ 磁気回路形成部材 ６３ 磁石 Ｌ 薬液 Ｗ 半導体ウエハ
磁石（駆動側の磁石） ４５ａ，４５ｂ 環状スリーブ ４６ａ，４６ｂ 空気圧シリンダ ４７ａ，４７ｂ ピストン ４８ａ，４８ｂ ばね ４９ａ，４９ｂ 空気圧配管 ５０ 駆動部 ５１ バルブユニット ５２ 駆動部材 ５３ 貫通孔 ５４ ボールねじナット ５５ ボールねじ ５６ ベアリング ５７ 継手 ５８ モータ ６１ 連結部材 ６２ 磁気回路形成部材 ６３ 磁石 Ｌ 薬液 Ｗ 半導体ウエハ
Claims (4)
- 【請求項１】 ポンプ室を有しこのポンプ室の容積を変
化させる往復動部材と、前記ポンプ室と薬液吐出部とを
結ぶ吐出側流路を開閉する吐出側バルブと、薬液貯留室
内の薬液を前記ポンプ室に案内する吸入側流路を開閉す
る吸入側バルブとを有する薬液供給装置の駆動方法であ
って、 前記吸入側バルブを閉じかつ前記吐出側バルブを開いた
状態のもとで前記往復動部材を吐出移動させて前記薬液
吐出部から薬液を吐出する吐出工程と、 吐出工程終了後に前記ポンプ室内の残圧を除去する残圧
除去工程と、 残圧が除去された後に前記吸入側バルブを閉じかつ前記
吐出側バルブを開いた状態のもとで前記往復動部材を吸
入移動させて前記薬液吐出部内の薬液を戻すサックバッ
ク工程と、 サックバック工程終了後に前記吐出側バルブを閉じかつ
前記吸入側バルブを開いた状態のもとで前記往復動部材
を吸入移動させて前記薬液貯留室内の薬液を前記ポンプ
室に案内する吸入工程とを有することを特徴とする薬液
供給装置の駆動方法。 - 【請求項２】 請求項１記載の薬液供給装置の駆動方法
であって、前記吸入工程終了後に前記ポンプ室内の残圧
を除去する第２の残圧除去工程を有することを特徴とす
る薬液供給装置の駆動方法。 - 【請求項３】 ポンプ室を有しこのポンプ室の容積を変
化させる往復動部材と、前記ポンプ室と薬液吐出部とを
結ぶ吐出側流路を開閉する吐出側バルブと、薬液貯留室
内の薬液を前記ポンプ室に案内する吸入側流路を開閉す
る吸入側バルブとを有する薬液供給装置の駆動方法であ
って、 前記吸入側バルブを閉じかつ前記吐出側バルブを開いた
状態のもとで前記往復動部材を吐出移動させて前記薬液
吐出部から薬液を吐出する吐出工程と、 吐出工程終了後に前記吸入側バルブを開いて前記ポンプ
室内の残圧を除去する残圧除去工程と、 残圧が除去された後に前記吸入側バルブを閉じかつ前記
吐出側バルブを開いた状態のもとで前記往復動部材を吸
入移動させて前記薬液吐出部内の薬液を戻すサックバッ
ク工程と、 サックバック工程終了後に前記吐出側バルブを閉じかつ
前記吸入側バルブを開いた状態のもとで前記往復動部材
を吸入移動させて前記薬液貯留室内の薬液を前記ポンプ
室に案内する吸入工程とを有することを特徴とする薬液
供給装置の駆動方法。 - 【請求項４】 請求項３記載の薬液供給装置の駆動方法
であって、前記吸入工程終了後に前記吸入側バルブを開
いて前記ポンプ室内の残圧を除去する第２の残圧除去工
程を有することを特徴とする薬液供給装置の駆動方法。
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|---|---|---|---|
| JP21347396A JP3619616B2 (ja) | 1996-08-13 | 1996-08-13 | 薬液供給装置の駆動方法 |
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-
1996
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