JP2019096662A - 液体供給ユニット - Google Patents
液体供給ユニット Download PDFInfo
- Publication number
- JP2019096662A JP2019096662A JP2017222546A JP2017222546A JP2019096662A JP 2019096662 A JP2019096662 A JP 2019096662A JP 2017222546 A JP2017222546 A JP 2017222546A JP 2017222546 A JP2017222546 A JP 2017222546A JP 2019096662 A JP2019096662 A JP 2019096662A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- chamber
- liquid
- nozzle
- pump
- sphere
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000007788 liquid Substances 0.000 title claims abstract description 143
- 239000000463 material Substances 0.000 claims abstract description 15
- 230000002265 prevention Effects 0.000 claims description 2
- 230000001681 protective effect Effects 0.000 description 16
- XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N Iron Chemical compound [Fe] XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 10
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 6
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 6
- PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N Nickel Chemical compound [Ni] PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 229910052742 iron Inorganic materials 0.000 description 4
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 3
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 3
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 2
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 2
- 229910017052 cobalt Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000010941 cobalt Substances 0.000 description 2
- GUTLYIVDDKVIGB-UHFFFAOYSA-N cobalt atom Chemical compound [Co] GUTLYIVDDKVIGB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000005260 corrosion Methods 0.000 description 2
- 230000007797 corrosion Effects 0.000 description 2
- 230000005484 gravity Effects 0.000 description 2
- 229910052759 nickel Inorganic materials 0.000 description 2
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 2
- 238000004804 winding Methods 0.000 description 2
- 229910000859 α-Fe Inorganic materials 0.000 description 2
- 241001050985 Disco Species 0.000 description 1
- 239000004372 Polyvinyl alcohol Substances 0.000 description 1
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 1
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 1
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 1
- 230000000903 blocking effect Effects 0.000 description 1
- 239000003795 chemical substances by application Substances 0.000 description 1
- 238000004891 communication Methods 0.000 description 1
- 230000006835 compression Effects 0.000 description 1
- 238000007906 compression Methods 0.000 description 1
- 230000008602 contraction Effects 0.000 description 1
- 238000001035 drying Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 239000012530 fluid Substances 0.000 description 1
- 239000012528 membrane Substances 0.000 description 1
- 229920002451 polyvinyl alcohol Polymers 0.000 description 1
- 229920000036 polyvinylpyrrolidone Polymers 0.000 description 1
- 239000001267 polyvinylpyrrolidone Substances 0.000 description 1
- 235000013855 polyvinylpyrrolidone Nutrition 0.000 description 1
- 238000003672 processing method Methods 0.000 description 1
- 230000000630 rising effect Effects 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 1
- 238000001179 sorption measurement Methods 0.000 description 1
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
Images
Landscapes
- Dicing (AREA)
Abstract
【課題】液体供給ユニットにおいてノズルから液だれしないようにする。【解決手段】第1配管5に配設されポンプ4からタンク3への液体の流れを止める第1逆止手段50と、第2配管6に配設されノズル2からポンプ3への液体の流れを止める第2逆止手段60と、を備え、第1逆止手段50は、第1球体501を収容し立設する筒状の第1部屋500を備え、第2逆止手段60は、磁力で引きつけられる材質からなる第2球体601を収容し立設する筒状の第2部屋600と、第2部屋600外側に配設される第2電磁石602と、第2電磁石602に電力供給し第2部屋600内壁に磁着させる第2電力供給部603と、を備え、ノズル2から液体を滴下させ、第2電磁石602に電力供給し第2部屋600内壁に磁着させた第2球体601と第2部屋600内壁間に流路形成し、ポンプ3室内を拡張させ第2配管6経路を負圧にしノズル2から液だれを防止させる液体供給ユニット1である。【選択図】図8
Description
本発明は、ウェーハの上面に液体を滴下させる液体供給ユニットに関する。
表面の分割予定ラインによって区画された領域にICやLSI等のデバイスが形成されたウェーハは、例えば、分割予定ラインに沿ってウェーハに対して吸収性を有する波長のレーザービームが照射され、個々のデバイスチップに分割されて各種電子機器に利用される。
このようなレーザー加工方法においては、レーザービームの照射によりウェーハが溶解したデブリが発生する。そして、デブリを発生直後に吸引ノズルで吸い取っているが、全てのデブリは吸い取れない。そのため、レーザー加工を実施する前に、特許文献1に示すような液体供給ユニットを使ってウェーハの表面に水溶性保護膜を形成して、レーザー加工を実施した際のデブリのウェーハ表面への付着を防止している。
特許文献1に示すような液体供給ユニットにおいては、保持テーブルにより保持されたウェーハの上方に位置付けられたノズルからウェーハの中心に所定量の液状樹脂を滴下して供給した後、ウェーハを高速回転させ遠心力でウェーハの上面全面に液状樹脂を引き延ばして保護膜を形成している。ここで、液状樹脂をウェーハに供給後、ノズルをウェーハの中心からウェーハの外側へ移動させるときに、ノズルの供給口付近に残った液状樹脂が形成後の保護膜上に液だれすることがあり、その液だれにより保護膜の厚みが不均一になるという問題がある。
よって、ウェーハの上面に液体を滴下して例えば保護膜を形成する液体供給ユニットにおいては、形成された保護膜にノズルの先端から液体が液だれしないようにするという課題がある。
上記課題を解決するための本発明は、ウェーハに上方から液体を供給するとともに液だれ防止機能を備える液体供給ユニットであって、ウェーハに液体を滴下させるノズルと、液体を貯めるタンクと、室内を拡張および収縮させ該タンクから該ノズルに液体を送るポンプと、該ポンプと該タンクとを接続する第1の配管と、該第1の配管に配設され該ポンプから該タンクに向かう方向の液体の流れを止める第1の逆止手段と、該ノズルと該ポンプとを接続する第2の配管と、該第2の配管に配設され該ノズルから該ポンプに向かう方向の液体の流れを止める第2の逆止手段と、を備え、該第1の逆止手段は、第1の球体と、該第1の球体を移動自在に収容し立設する筒状の第1の部屋と、を備え、該第2の逆止手段は、磁力で引きつけられる材質からなる第2の球体と、該第2の球体を移動自在に収容し立設する筒状の第2の部屋と、該第2の部屋外側に配設される第2の電磁石と、該第2の電磁石に電力を供給し該第2の配管経路を遮断しないように該第2の球体を該第2の部屋内壁に磁着させる第2の電力供給部と、を備え、該ポンプの室内を拡張させ該タンクから液体を吸い出してから該ポンプの該室内を収縮させ該ノズルからウェーハに液体を滴下させ、該第2の逆止手段の該第2の電磁石に電力を供給し該第2の部屋の内壁に磁着させた該第2の球体と該第2の部屋の内壁との間に流路を形成させてから、該ポンプの該室内を拡張させ該第2の配管経路を負圧にさせて該ノズルからの液だれを防止させる、液体供給ユニットである。
前記第2の逆止手段は、前記第2の部屋の外側の上端部に配設される前記第2の電磁石に電力を供給して該第2の部屋の上端部の内壁に前記第2の球体を磁着させたときに、該第2の部屋内において流路を形成する流路形成部を備え、該流路形成部により該第2の部屋内に流路を形成し、前記ポンプの該室内を拡張させ前記第2の配管経路を負圧にさせて前記ノズルからの液だれを防止させるものとすると好ましい。
前記第1の逆止手段は、前記第1の部屋の上端部又は下端部の外側に配設される第1の電磁石と、該第1の電磁石に電力を供給する第1の電力供給部とを備え、前記第1の球体は磁力で引きつけられる材質からなり、前記ノズルからの液だれを防止させる際、該第1の電力供給部から該第1の電磁石に電力を供給させて前記第1の配管経路を遮断するものとすると好ましい。
前記第1の逆止手段は、前記ノズルからの液だれを防止させる際、前記第1の球体の自重により前記第1の配管経路を遮断するものとしてもよい。
前記第1の逆止手段は、前記第1の部屋内の上部に配設され前記第1の球体を該第1の部屋の下端部側に付勢させるスプリングを備え、前記ノズルからの液だれを防止させる際、該スプリングの反発力で該第1の球体を該第1の部屋の下端部に押し付けて前記第1の配管経路を遮断するものとしてもよい。
本発明に係る液体供給ユニットは、ポンプとタンクとを接続する第1の配管と、第1の配管に配設されポンプからタンクに向かう方向の液体の流れを止める第1の逆止手段と、ノズルとポンプとを接続する第2の配管と、第2の配管に配設されノズルからポンプに向かう方向の液体の流れを止める第2の逆止手段と、を備え、第1の逆止手段は、第1の球体と、第1の球体を移動自在に収容し立設する筒状の第1の部屋と、を備え、第2の逆止手段は、磁力で引きつけられる材質からなる第2の球体と、第2の球体を移動自在に収容し立設する筒状の第2の部屋と、第2の部屋外側に配設される第2の電磁石と、第2の電磁石に電力を供給し第2の配管経路を遮断しないように第2の球体を第2の部屋内壁に磁着させる第2の電力供給部と、を備えているため、ポンプの室内を拡張させタンクから液体を吸い出してからポンプの室内を収縮させノズルからウェーハに液体を滴下させ、第2の逆止手段の第2の電磁石に電力を供給し第2の部屋の内壁に磁着させた第2の球体と第2の部屋の内壁との間に流路を形成させてから、ポンプの室内を拡張させ第2の配管経路を負圧にさせてノズルからの液だれを防止させることが可能となる。
第2の逆止手段は、第2の部屋の外側の上端部に配設される第2の電磁石に電力を供給して第2の部屋の上端部の内壁に第2の球体を磁着させたときに、第2の部屋内において流路を形成する流路形成部を備えるものとすることで、第2の電力供給部から第2の電磁石に電力を供給させ第2の部屋に第2の球体を磁着させた際に、サックバックする分量の液体を流路形成部により形成された流路を通してポンプ側に確実に流せるようになるため、ポンプの室内を拡張させ第2の配管経路をより確実に負圧にさせてノズルからの液だれを防止させることが可能となる。
第1の逆止手段は、第1の部屋の上端部又は下端部の外側に配設される第1の電磁石と、第1の電磁石に電力を供給する第1の電力供給部とを備え、第1の球体は磁力で引きつけられる材質からなるため、ノズルからの液だれを防止させる際、第1の電力供給部から第1の電磁石に電力を供給させて第1の配管経路を遮断することで、第1の配管経路側の液体の流動を確実に止めてノズルからの液だれをより確実に防止させることが可能となる。
第1の逆止手段は、ノズルからの液だれを防止させる際、第1の球体の自重により第1の配管経路を遮断することで、第1の配管経路側の液体の流動を確実に止めてノズルからの液だれをより確実に防止させることが可能となる。
第1の逆止手段は、第1の部屋内の上部に配設され第1の球体を第1の部屋の下端部側に付勢させるスプリングを備え、ノズルからの液だれを防止させる際、スプリングの反発力で第1の球体を第1の部屋の下端部に押し付けて第1の配管経路を遮断するものとすることで、第1の配管経路側の液体の流動を確実に止めてノズルからの液だれをより確実に防止させることが可能となる。
図1に示す本発明に係る液体供給ユニット1は、例えば、液体供給ユニット1の各構成を収容するハウジング10と、ウェーハWを吸引保持する保持テーブル11と、ウェーハWに上方から液体を滴下させるノズル2と、液体を溜めるタンク3と、タンク3からノズル2に室内40を拡張および収縮させて液体を送るポンプ4と、ポンプ4とタンク3とを接続する第1の配管5と、第1の配管5に配設されポンプ4からタンク3に向かう方向の液体の流れを止める第1の逆止手段50と、ノズル2とポンプ4とを接続する第2の配管6と、第2の配管6に配設されノズル2からポンプ4に向かう方向の液体の流れを止める第2の逆止手段60と、を備えている。液体供給ユニット1は、これ単独で用いることができ、また、レーザー加工装置等に組み込んで使用することもできる。
図1に示すウェーハWは、例えば、シリコン等を母材とする円形の半導体ウェーハであり、ウェーハWの上面Waには複数の分割予定ラインSがそれぞれ直交差するように設定されており、分割予定ラインSによって区画された格子状の領域には、デバイスDがそれぞれ形成されている。ウェーハWの下面Wbには、ウェーハWより大径の保護テープTが貼着されている。保護テープTの粘着面の外周部は円形の開口を備える環状フレームFに貼着されており、ウェーハWは保護テープTを介して環状フレームFにより支持されている。
ハウジング10は、上部に円形の開口を備えたテーブル収容部100を備えており、テーブル収容部100内に保持テーブル11が配設されている。なお、図1において、ハウジング10の側壁の一部を切欠いて内部が把握できるように示している。
図1に示す保持テーブル11は、例えば、その外形が円形状であり、ポーラス部材等からなりウェーハWを吸着する吸着部110と、吸着部110を支持する枠体111とを備える。吸着部110は図示しない吸引源に連通し、吸引源が吸引することで生み出された吸引力が、吸着部110の露出面であり枠体111と面一に形成された水平な保持面110aに伝達されることで、保持テーブル11は保持面110a上でウェーハWを吸引保持する。
保持テーブル11の下側には、保持テーブル11をZ軸方向の軸心周りに回転させる回転手段113が配設されている。また、保持テーブル11の外周部には、環状フレームFを固定する4つの固定クランプ112が周方向に均等に配設されている。
ノズル2は、例えば、テーブル収容部100の底部から立設しており、外形が側面視略L字状となっている。ノズル2の先端部分に形成された供給口20は、保持テーブル11の保持面110aに向かって開口している。ノズル2の根元側には第2の配管6の他端6bが接続されている。第2の配管6の一端6aはポンプ4の室内40に連通している。ノズル2は、Z軸方向の軸心周りに旋回可能となっており、保持テーブル11の上方から退避位置まで供給口20を移動することができる。
タンク3は、例えば、ハウジング10内部の下方に設置されており、例えばその側面には液体を供給する供給口30が形成されている。そして、供給口30には、第1の配管5の一端5aが接続されている。タンク3に溜められた液体は、例えば、水溶性樹脂(ポリビニルピロリドンやポリビニルアルコール)からなる保護膜形成剤であり、一例としては、株式会社ディスコ製のHogoMaxである。
第1の配管5の他端5bには、ポンプ4が接続されている。図1、2に示す例においては、ポンプ4は、シリンダーポンプであり、内部にピストン41を備える円筒状のシリンダ42と、シリンダ42に挿入され一端がピストン41に取り付けられたピストンロッド43(図2参照)とを備える。ピストンロッド43は、図示しない移動手段又は作業者から力が加えられることでY軸方向に移動可能となっている。ピストン41が+Y方向に移動し室内40が拡張されることで、タンク3から第1の配管5を介して液体を吸引でき、ピストン41が−Y方向に移動し室内40が収縮されることで、ポンプ4から第2の配管6を介して液体をノズル2へと供給できる。
ポンプ4は、例えば筒状に蛇腹が形成された蛇腹ポンプであってもよい。この場合には、蛇腹を収縮した後拡張させることで、タンク3から第1の配管5へと液体を吸引するための吸引力を生み出すことができる。
ポンプ4は、例えば筒状に蛇腹が形成された蛇腹ポンプであってもよい。この場合には、蛇腹を収縮した後拡張させることで、タンク3から第1の配管5へと液体を吸引するための吸引力を生み出すことができる。
図2に示すように、SUS、樹脂等からなる第1の配管5に配設された第1の逆止手段50は、例えば、磁力で引きつけられる材質(例えば、鉄、コバルト、ニッケル等の金属又はフェライト等のセラミックス)からなる第1の球体501と、第1の球体501を移動自在に収容し立設する筒状の第1の部屋500と、を備えている。
第1の部屋500は、第1の配管5の内径よりも大きな内径を備えており、タンク3側方向へ向かうにつれ内径が第1の球体501の直径以下に縮径し第1の球体501が閉弁時に着座する逆錐状の着座面500cを備えている。例えば、ポンプ4によりタンク3から第1の配管5を介して液体が吸引されると、第1の球体501が開弁する(第1の部屋500内に浮遊する)。ポンプ4の室内40から液体が押し出されると、第1の球体501が閉弁する(着座面500cに着座する)。本実施形態において、第1の球体501は、表面に液体による腐食を防止するためのコーティングが施された鉄球である。
第1の部屋500は、第1の配管5の内径よりも大きな内径を備えており、タンク3側方向へ向かうにつれ内径が第1の球体501の直径以下に縮径し第1の球体501が閉弁時に着座する逆錐状の着座面500cを備えている。例えば、ポンプ4によりタンク3から第1の配管5を介して液体が吸引されると、第1の球体501が開弁する(第1の部屋500内に浮遊する)。ポンプ4の室内40から液体が押し出されると、第1の球体501が閉弁する(着座面500cに着座する)。本実施形態において、第1の球体501は、表面に液体による腐食を防止するためのコーティングが施された鉄球である。
第1の逆止手段50は、例えば、第1の部屋500の下端部の外側に配設される第1の電磁石502と、第1の電磁石502に電力を供給する第1の電力供給部503とを備えている。第1の電磁石502は、例えば、軟鉄心にコイルを巻きつけて構成され、第1の部屋500の下端部を外側から囲繞するように取り付けられている。ノズル2からの液だれを防止させる際、第1の電力供給部503から第1の電磁石502に電力を供給させて第1の電磁石502に磁力を発生させる。そして、磁力で引きつけられる材質からなる第1の球体501を第1の部屋500の着座面500cに磁着させて第1の部屋500の下端部側を閉じた状態にして第1の配管5経路を遮断させる。
図2に示すように、第2の逆止手段60は、磁力で引きつけられる材質(例えば、鉄、コバルト、ニッケル等の金属又はフェライト等のセラミックス)からなる第2の球体601と、第2の球体601を移動自在に収容し立設する筒状の第2の部屋600と、第2の部屋600の外側に配設される第2の電磁石602と、第2の電磁石602に電力を供給し第2の配管6経路を遮断しないように第2の球体601を第2の部屋600内壁に磁着させる第2の電力供給部603と、を備えている。図2に示す例においては、第2の電磁石602は、例えば、軟鉄心にコイルを巻きつけて構成され、第2の部屋600の上端部を外側から囲繞するように取り付けられている。本実施形態において、第2の球体601は、表面に液体による腐食を防止するためのコーティングが施された鉄球である。
第2の部屋600は、第2の配管6の内径よりも大きな内径を備えており、ポンプ4側方向へ向かうにつれ内径が第2の球体601の直径以下に縮径し第2の球体601が閉弁時に着座する逆錐状の着座面600cを備えている。ポンプ4によりタンク3から第1の配管5を介して液体が吸引されると、第2の球体601が閉弁し(着座面600cに着座する)、ポンプ4の室内40から液体がノズル2に向かって送り出されると、第2の球体601が開弁する(第2の部屋600内に浮遊する)。
以下に、液体供給ユニット1を用いて、ウェーハWの上面Waに保護膜を形成する場合について説明する。
まず、図2に示すように、ウェーハWが保持テーブル11上に搬送され、上面Waが上側になるように保持面110a上に載置される。そして、図示しない吸引源により生み出される吸引力が保持面110aに伝達されることにより、保持テーブル11が保持面110a上でウェーハWを吸引保持する。また、固定クランプ112によって、環状フレームFが挟持固定される。
まず、図2に示すように、ウェーハWが保持テーブル11上に搬送され、上面Waが上側になるように保持面110a上に載置される。そして、図示しない吸引源により生み出される吸引力が保持面110aに伝達されることにより、保持テーブル11が保持面110a上でウェーハWを吸引保持する。また、固定クランプ112によって、環状フレームFが挟持固定される。
ノズル2が旋回し、供給口20がウェーハWの上面Waの中央上方に位置付けられる。ピストン41が+Y方向に移動し室内40が拡張されることで、タンク3から第1の配管5を介して液体が吸引されていき、第1の球体501が第1の部屋500に流れ込んだ液体によって第1の部屋500内に浮遊することで第1の逆止手段50は開かれ、ポンプ4の室内40に液体が流入していく。一方、第2の逆止手段60は、第2の球体601が自重により第2の部屋600の着座面600cに着座しているため、室内40が拡張されポンプ4がタンク3から液体を吸引しているときポンプ4と第2の逆止手段60との間の第2の配管6には負圧が生じているので第2の配管6が閉じられた状態で維持される。
例えば、ピストン41がシリンダ42の+Y方向側の端まで移動して停止すると室内40に液体が十分に溜められた状態になる。また、第1の配管5経路内のポンプ4側に向かう液体の流れが無くなるため、第1の逆止手段50の第1の球体501は自重により下降して着座面500cに着座するので、第1の逆止手段50は閉じた状態となる。
例えば、ピストン41がシリンダ42の+Y方向側の端まで移動して停止すると室内40に液体が十分に溜められた状態になる。また、第1の配管5経路内のポンプ4側に向かう液体の流れが無くなるため、第1の逆止手段50の第1の球体501は自重により下降して着座面500cに着座するので、第1の逆止手段50は閉じた状態となる。
図3に示すように、ピストン41が−Y方向に移動し室内40が収縮されることで、ポンプ4から第2の部屋600内に液体が流れ込み、第2の球体601が第2の部屋600内に浮遊することで第2の逆止手段60が開かれ、ノズル2に液体が流入していく。一方で、第1の配管5経路内の液体の流れは、第1の球体501が自重により着座面500cに着座している状態で第1の部屋500内の内圧が上がることで閉じた状態が維持されている第1の逆止手段50によって止められる。そして、保持テーブル11上で吸引保持されたウェーハWの上面Waの略中心部にノズル2の供給口20から液体が滴下されつつ、保持テーブル11が所定の回転速度で回転する。
滴下された液体が遠心力によりウェーハWの上面Waの中心側から外周側に向けて広がっていき、上面Waの略全面に液体が塗布された状態になる。即ち、図3に示すように、ほぼ一様な所定の厚さの保護膜JがウェーハWの上面Waに形成される。
例えば、ピストン41がシリンダ42の−Y方向側の端まで移動して停止すると、ポンプ4の室内40から液体がほとんど排出された状態になり、ポンプ4からノズル2への液体の供給が停止される。その結果、第2の配管6経路内のノズル2側に向かう液体の流れが無くなるため、第2の逆止手段60の第2の球体601は自重により第2の部屋600内を下降するが、例えば、ピストン41がシリンダ42の−Y方向に動作開始から−Y方向の端に到達する少し前までに、第2の電力供給部603から第2の電磁石602に電力を供給させることで第2の電磁石602から磁力を発生させて、第2の球体601を第2の部屋600の上端部側の内壁に引きつけて磁着させる。
ここで、図4に示すように、例えば、本実施形態における第2の逆止手段60の第2の部屋600内部の上端部側は、第2の球体601の直径以下に縮径した錐状のテーパー面を備えており、該テーパー面には流路形成部604が配設されている。ブロック状の流路形成部604は、例えば、錐状のテーパー面に周方向に所定の隙間を空けて複数配設されている。先に説明したように第2の電磁石602により第2の部屋600の上端部の内壁に第2の球体601を磁着させたときに、第2の部屋600の上端部の内壁と第2の球体601との間に各流路形成部604が挟まれた状態になり、各流路形成部604間の隙間が第2の部屋600から液体を流動させる流路となる。なお、ピストン41がシリンダ42の−Y方向に動作開始から−Y方向の端に到達する少し前まで、即ち、ノズル2に液体を供給している段階において、第2の球体601は第2の部屋600内を浮遊して部屋内の上部側に位置しているため、第2の電磁石602の磁力によって第2の部屋600の上端部側の内壁に第2の球体601を引きつけやすくなっており、該内壁に第2の球体601は直ぐに磁着し、また、流路形成部604によって流路が形成される。
第2の逆止手段60の構成は図2〜4に示す実施形態に限定されるものではない。例えば、図5(A)又は図5(B)に示すように、第2の逆止手段60は流路形成部604を備えない構成であってもよい。図5(A)に示す第2の逆止手段60において、第2の電磁石602は、第2の部屋600の中間部を外側から囲繞するように取り付けられている。
図5(B)に示す第2の逆止手段60において、第2の部屋600内の上端部は平坦面となっており、第2の電磁石602は、第2の部屋600の上端部の外側に配設されている。
例えば、図3に示すピストン41がシリンダ42の−Y方向側の端に到達する少し前の段階、即ち、ノズル2に液体を供給している段階で、第2の電力供給部603から第2の電磁石602に電力を供給させることで、図5(A)に示す第2の逆止手段60の第2の電磁石602の磁力によって第2の部屋600の中間部の内壁に第2の球体601が磁着し、かつ、第2の部屋600の上端部側に流路が形成される。又は、図5(B)に示す第2の逆止手段60の第2の電磁石602の磁力によって第2の部屋600の上端部の平坦面に第2の球体601が磁着し、かつ、第2の部屋600の上端部側に流路が形成される。
図5(B)に示す第2の逆止手段60において、第2の部屋600内の上端部は平坦面となっており、第2の電磁石602は、第2の部屋600の上端部の外側に配設されている。
例えば、図3に示すピストン41がシリンダ42の−Y方向側の端に到達する少し前の段階、即ち、ノズル2に液体を供給している段階で、第2の電力供給部603から第2の電磁石602に電力を供給させることで、図5(A)に示す第2の逆止手段60の第2の電磁石602の磁力によって第2の部屋600の中間部の内壁に第2の球体601が磁着し、かつ、第2の部屋600の上端部側に流路が形成される。又は、図5(B)に示す第2の逆止手段60の第2の電磁石602の磁力によって第2の部屋600の上端部の平坦面に第2の球体601が磁着し、かつ、第2の部屋600の上端部側に流路が形成される。
図4に示すように、第2の球体601と第2の部屋600の内壁との間に流路を形成させてから、図示しない移動手段又は作業者によってピストンロッド43が+Y方向側に少しだけ移動されて室内40が拡張されることで、第2の配管6経路内が負圧になる、即ち、ノズル2の供給口20から第2の配管6経路内を大気圧が押して第2の配管6経路内にポンプ4側に向かう力が発生する。その結果、ノズル2の供給口20内付近に残留している液体がノズル2の供給口20内付近からをポンプ4側方向に引き込まれて後退する(サックバックされる)ため、ノズル2からの液だれを防止させることができる。なお、サックバックできる液体の体積は、室内40を拡張する体積で調整できる。
上記のようにノズル2からの液だれを防止させる際に、室内40が拡張されることで第1の配管5経路側からも液体が吸引される可能性があるが、これを防ぐために、図4に示す第1の電力供給部503から第1の電磁石502に電力を供給させて第1の電磁石502に磁力を発生させる。そして、磁力で引きつけられる材質からなる第1の球体501を第1の部屋500の下端部側の逆錐状の着座面500cに磁着させて第1の部屋500の下端部側を閉じた状態にして第1の配管5経路を遮断させる。その結果、第1の配管5経路側のタンク3からポンプ4ヘ向かう液体の流動をより確実に停止させることができ、ノズル2からの液だれをより確実に防止させることが可能となる。
第1の逆止手段50の構成は図1〜4に示す実施形態に限定されるものではない。例えば、図6に示すように、第1の電磁石502が第1の部屋500の外側の上端部に配設されていてもよいし、第1の電磁石502が第1の部屋500の外側の上端部及び下端部の両方に配設されていてもよい。図6において、第1の電磁石502は、第1の部屋500の上端部を外側から囲繞するように取り付けられている。図4に示すノズル2からの液だれを防止させる際、第1の電力供給部503から第1の電磁石502に電力を供給させて第1の電磁石502に磁力を発生させる。そして、磁力で引きつけられる材質からなる第1の球体501を第1の部屋500の上端部側の錐状のテーパー面に確実に磁着させて、第1の部屋500の上端部側を閉じた状態にして第1の配管5経路を遮断させる。
図7は第1の逆止手段50の別形態であり、第1の球体501は、例えばタンク3に蓄えられる液体よりも比重の大きな材質、および液体より比重が大きく磁力で引きつけられる材質(金属又はセラミックス等)からなる。そして、第1の逆止手段50は、図4に示すノズル2からの液だれを防止させる際に、第1の球体501が自重により第1の部屋500内を下降し着座面500cに着座することで、第1の部屋500の下端部側を閉じた状態にして第1の配管5経路を遮断させる。
図8は第1の逆止手段50の別形態であり、第1の逆止手段50は、第1の部屋500内の上部に配設され第1の球体501を第1の部屋500の下端部側に付勢させるスプリング507を備えている。スプリング507は、縮むことで下端側に固定された第1の球体501を下側に押し戻そうとする付勢力を蓄える圧縮コイルバネである。そして、第1の逆止手段50は、図2に示すピストン41が+Y方向に移動し室内40が拡張されることで、タンク3から第1の配管5を介して液体が吸引されていき第1の部屋500内に流れ込み、第1の部屋500内をポンプ4側に向かって流れる液体によって第1の球体501がスプリング507の反発力に反して第1の部屋500内の上部側に移動することで、第1の逆止手段50が開かれてポンプ4の室内40に液体が流入していく。図4に示すノズル2からの液だれを防止させる際においては、スプリング507の反発力で第1の球体501を第1の部屋500の下端部の着座面500cに押し付けることで、第1の部屋500の下端部側を閉じた状態にして第1の配管5経路を遮断させる。
図4に示すように、ノズル2からの液体の供給を停止した後、さらに、保持テーブル11の回転を継続して保護膜Jを回転乾燥させる。なお、一度の液体の供給でウェーハWの上面Waに所望厚みの保護膜Jを形成するのではなく、少量の液体の塗布と乾燥とを複数回繰り返して所望の厚みの保護膜JをウェーハWの上面Waに形成するものとしてもよい。
その後、保持テーブル11からウェーハWを搬出するために、保持テーブル11の上方から退避位置まで供給口20を移動するべくノズル2が旋回する。ここで、ノズル2の供給口20内付近からは液体が上記のようにサックバックされているため、旋回に伴いノズル2に加わる振動等によってノズル2から不要な液体がウェーハWの上面Waの保護膜J上に液だれしてしまうといった事態が生じるのを防ぐことができる。
その後、保持テーブル11からウェーハWを搬出するために、保持テーブル11の上方から退避位置まで供給口20を移動するべくノズル2が旋回する。ここで、ノズル2の供給口20内付近からは液体が上記のようにサックバックされているため、旋回に伴いノズル2に加わる振動等によってノズル2から不要な液体がウェーハWの上面Waの保護膜J上に液だれしてしまうといった事態が生じるのを防ぐことができる。
以上、本発明に係る液体供給ユニット1は、ポンプ4とタンク3とを接続する第1の配管5と、第1の配管5に配設されポンプ4からタンク3に向かう方向の液体の流れを止める第1の逆止手段50と、ノズル2とポンプ4とを接続する第2の配管6と、第2の配管6に配設されノズル2からポンプ4に向かう方向の液体の流れを止める第2の逆止手段60と、を備え、第1の逆止手段50は、第1の球体501と、第1の球体501を移動自在に収容し立設する筒状の第1の部屋500と、を備え、第2の逆止手段60は、磁力で引きつけられる材質からなる第2の球体601と、第2の球体601を移動自在に収容し立設する筒状の第2の部屋600と、第2の部屋600外側に配設される第2の電磁石602と、第2の電磁石602に電力を供給し第2の配管6経路を遮断しないように第2の球体601を第2の部屋600内壁に磁着させる第2の電力供給部603と、を備えているため、ポンプ4の室内を拡張させタンク3から液体を吸い出してからポンプ4の室内を収縮させノズル2からウェーハWに液体を滴下させ、第2の逆止手段60の第2の電磁石602に電力を供給し第2の部屋600の内壁に磁着させた第2の球体601と第2の部屋600の内壁との間に流路を形成させてから、ポンプ4の室内40を拡張させ第2の配管6経路を負圧にさせてノズル2からの液だれを防止させることが可能となる。
第2の逆止手段60は、第2の部屋600の外側の上端部に配設される第2の電磁石602に電力を供給して第2の部屋600の上端部の内壁に第2の球体601を磁着させたときに、第2の部屋600内において流路を形成する流路形成部604を備えるものとすることで、ノズル2に液体を供給するときに第2の電力供給部603から第2の電磁石602に電力を供給させ第2の部屋600に第2の球体601を磁着させた際に、サックバックする分量の液体を流路形成部604により形成された流路を通してポンプ4側に確実に流せるようになるため、ポンプ4の室内40を拡張させ第2の配管6経路をより確実に負圧にさせてノズル2からの液だれを防止させることが可能となる。
なお、本発明に係る液体供給ユニット1は上記に説明した形態に限定されるものではなく、また、添付図面に図示されている各構成の大きさや形状等についても、これに限定されず、本発明の効果を発揮できる範囲内で適宜変更可能である。
1:液体供給ユニット 10:ハウジング 100:テーブル収容部
11:保持テーブル 110:吸着部 110a:保持面 111:枠体 112:固定クランプ 113:回転手段
2:ノズル 20:供給口 3:タンク 30:供給口
4:ポンプ 40:室内 41:ピストン 42:シリンダ 43:ピストンロッド
5:第1の配管 50:第1の逆止手段 500:第1の部屋 500c:着座面 501:第1の球体 502:第1の電磁石 503:第1の電力供給部 507:スプリング
6:第2の配管 60:第2の逆止手段 600:第2の部屋 601:第2の球体
602:第2の電磁石 603:第2の電力供給部 604:流路形成部
W:ウェーハ F:環状フレーム T:保護テープ
11:保持テーブル 110:吸着部 110a:保持面 111:枠体 112:固定クランプ 113:回転手段
2:ノズル 20:供給口 3:タンク 30:供給口
4:ポンプ 40:室内 41:ピストン 42:シリンダ 43:ピストンロッド
5:第1の配管 50:第1の逆止手段 500:第1の部屋 500c:着座面 501:第1の球体 502:第1の電磁石 503:第1の電力供給部 507:スプリング
6:第2の配管 60:第2の逆止手段 600:第2の部屋 601:第2の球体
602:第2の電磁石 603:第2の電力供給部 604:流路形成部
W:ウェーハ F:環状フレーム T:保護テープ
Claims (5)
- ウェーハに上方から液体を供給するとともに液だれ防止機能を備える液体供給ユニットであって、
ウェーハに液体を滴下させるノズルと、液体を貯めるタンクと、室内を拡張および収縮させ該タンクから該ノズルに液体を送るポンプと、
該ポンプと該タンクとを接続する第1の配管と、該第1の配管に配設され該ポンプから該タンクに向かう方向の液体の流れを止める第1の逆止手段と、該ノズルと該ポンプとを接続する第2の配管と、該第2の配管に配設され該ノズルから該ポンプに向かう方向の液体の流れを止める第2の逆止手段と、を備え、
該第1の逆止手段は、第1の球体と、該第1の球体を移動自在に収容し立設する筒状の第1の部屋と、を備え、
該第2の逆止手段は、磁力で引きつけられる材質からなる第2の球体と、該第2の球体を移動自在に収容し立設する筒状の第2の部屋と、該第2の部屋外側に配設される第2の電磁石と、該第2の電磁石に電力を供給し該第2の配管経路を遮断しないように該第2の球体を該第2の部屋内壁に磁着させる第2の電力供給部と、を備え、
該ポンプの室内を拡張させ該タンクから液体を吸い出してから該ポンプの該室内を収縮させ該ノズルからウェーハに液体を滴下させ、該第2の逆止手段の該第2の電磁石に電力を供給し該第2の部屋の内壁に磁着させた該第2の球体と該第2の部屋の内壁との間に流路を形成させてから、該ポンプの該室内を拡張させ該第2の配管経路を負圧にさせて該ノズルからの液だれを防止させる、液体供給ユニット。 - 前記第2の逆止手段は、前記第2の部屋の外側の上端部に配設される前記第2の電磁石に電力を供給して該第2の部屋の上端部の内壁に前記第2の球体を磁着させたときに、該第2の部屋内において流路を形成する流路形成部を備え、
該流路形成部により該第2の部屋内に流路を形成し、前記ポンプの該室内を拡張させ前記第2の配管経路を負圧にさせて前記ノズルからの液だれを防止させる、請求項1記載の液体供給ユニット。 - 前記第1の逆止手段は、前記第1の部屋の外側の上端部又は下端部に配設される第1の電磁石と、該第1の電磁石に電力を供給する第1の電力供給部とを備え、前記第1の球体は磁力でひきつけられる材質からなり、前記ノズルからの液だれを防止させる際、該第1の電力供給部から該第1の電磁石に電力を供給させて前記第1の配管経路を遮断する、請求項1又は2記載の液体供給ユニット。
- 前記第1の逆止手段は、前記ノズルからの液だれを防止させる際、前記第1の球体の自重により前記第1の配管経路を遮断する請求項1又は2記載の液体供給ユニット。
- 前記第1の逆止手段は、前記第1の部屋内の上部に配設され前記第1の球体を該第1の部屋の下端部側に付勢させるスプリングを備え、前記ノズルからの液だれを防止させる際、該スプリングの反発力で該第1の球体を該第1の部屋の下端部に押し付けて前記第1の配管経路を遮断する請求項1又は2記載の液体供給ユニット。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2017222546A JP2019096662A (ja) | 2017-11-20 | 2017-11-20 | 液体供給ユニット |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2017222546A JP2019096662A (ja) | 2017-11-20 | 2017-11-20 | 液体供給ユニット |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2019096662A true JP2019096662A (ja) | 2019-06-20 |
Family
ID=66973093
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2017222546A Pending JP2019096662A (ja) | 2017-11-20 | 2017-11-20 | 液体供給ユニット |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2019096662A (ja) |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0814424A (ja) * | 1994-06-29 | 1996-01-16 | Yukihiko Karasawa | 全開放型逆止弁 |
JPH1057850A (ja) * | 1996-08-13 | 1998-03-03 | Koganei Corp | 薬液供給装置の駆動方法 |
JPH1068468A (ja) * | 1996-08-27 | 1998-03-10 | Daimei Shoji Kk | 磁力利用ボール栓 |
JPH10236591A (ja) * | 1997-02-25 | 1998-09-08 | Kirin Brewery Co Ltd | 液体注出装置の流路遮断機構 |
-
2017
- 2017-11-20 JP JP2017222546A patent/JP2019096662A/ja active Pending
Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0814424A (ja) * | 1994-06-29 | 1996-01-16 | Yukihiko Karasawa | 全開放型逆止弁 |
JPH1057850A (ja) * | 1996-08-13 | 1998-03-03 | Koganei Corp | 薬液供給装置の駆動方法 |
JPH1068468A (ja) * | 1996-08-27 | 1998-03-10 | Daimei Shoji Kk | 磁力利用ボール栓 |
JPH10236591A (ja) * | 1997-02-25 | 1998-09-08 | Kirin Brewery Co Ltd | 液体注出装置の流路遮断機構 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US7059940B2 (en) | Jet singulation | |
KR102635786B1 (ko) | 액체 공급 유닛 | |
TWI395265B (zh) | 塗敷樹脂膜至半導體晶圓之表面的方法 | |
EP1926126A2 (en) | Substrate processing apparatus and substrate processing method | |
US20140283878A1 (en) | Nozzle cleaning unit and nozzle cleaning method | |
JP6765751B2 (ja) | 被加工物の保持機構及び加工装置 | |
TWI681485B (zh) | 工作夾台及洗淨裝置 | |
JP2003124108A (ja) | 現像装置及び現像方法 | |
JP2019096662A (ja) | 液体供給ユニット | |
TWI723212B (zh) | 搬送墊及晶圓的搬送方法 | |
CN110391170B (zh) | 一种晶圆夹持机械手臂及其清洗晶圆的方法 | |
JP2008227125A (ja) | 真空吸着装置及びそれを用いた吸着方法 | |
US20210175113A1 (en) | Plate-shaped workpiece holding tool | |
JP5756022B2 (ja) | ウエハテーピング | |
JP7295366B2 (ja) | 吸着治具 | |
JP2021181157A (ja) | Cmp装置及び方法 | |
JP2014157863A (ja) | 金属ペースト充填方法及び金属ペースト充填装置 | |
JP2018078208A (ja) | チャックテーブル | |
TW201931452A (zh) | 工件的切割方法以及切割裝置的卡盤台 | |
KR20080076669A (ko) | 반도체 웨이퍼의 연마방법 | |
JP2019072776A (ja) | 板状物の保持方法 | |
JP7319097B2 (ja) | 基板研磨装置、基板リリース方法および定量気体供給装置 | |
KR102207773B1 (ko) | 보호 부재 형성 장치 | |
JP6302659B2 (ja) | チャックテーブル、搬送装置及び加工装置 | |
JP6026201B2 (ja) | 基板処理装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20200914 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20210819 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20210831 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20220301 |