JP7295366B2 - 吸着治具 - Google Patents
吸着治具 Download PDFInfo
- Publication number
- JP7295366B2 JP7295366B2 JP2019086600A JP2019086600A JP7295366B2 JP 7295366 B2 JP7295366 B2 JP 7295366B2 JP 2019086600 A JP2019086600 A JP 2019086600A JP 2019086600 A JP2019086600 A JP 2019086600A JP 7295366 B2 JP7295366 B2 JP 7295366B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- suction
- cavity
- air
- jig
- main body
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
Images
Description
また、これらの真空チャックテーブルの内部に放電加工機等の加工液が誤って侵入するとその複雑な機構のため動作に不具合が発生する。従って、そもそも放電加工機の加工液槽内での使用を想定していない。
これにより、小型化、かつ、軽量化されると共に、エジェクタを利用することで、負圧を給気するための専用の真空ポンプを不要とし、圧縮エアを給気すればワークをテーブルに平行に簡単に固定することができる吸着治具を提供可能である。
これにより、ワークとテーブルの両方に吸着可能な吸着治具を構成可能である。
これにより、テーブル上に配置する前記少なくとも2個の吸着治具の位置を適宜自由に調整して、あらゆるサイズのワークを固定することができるようになる。例えば、比較的面積が広い板状のワークであれば、前記吸着治具3個を互いに等距離に配置してこのワークを3か所で支持固定することが好ましい。平面は3点で規定されることから、このように3か所でワークを支持することでワークを安定して固定できる。
これにより、エジェクタを共通化させることでエジェクタは一つだけで済むので、より安価な吸着治具セットを提供することができる。
これにより、ワークとテーブルの両方に吸着可能な吸着治具セットを構成可能である。
これにより、例えばワークの平面度が低くてどれか一つの吸着治具のキャビティが完全に塞がれていなくてエアリークが発生した場合でも、このエアリークで吸い込まれるエアの流量が制限されるので、他の吸着治具の吸着力が大幅に低下することを防止することができる。
これにより、力が加えられていな弁は閉じているので、ワークで塞がれていないキャビティから無駄にエアが吸引されることを防止できる。
これにより、ワークとテーブルの両方において、塞がれているキャビティのみの弁が開いて吸着可能な吸着治具を容易に構成可能である。
これにより、ワークに塞がれているキャビティのみの弁が開いて吸着可能な吸着治具セットを容易に構成可能である。
これにより、ワークとテーブルの両方において、塞がれているキャビティのみの弁が開いて吸着可能な吸着治具セットを容易に構成可能である。
これにより、小型化、かつ、軽量化されると共に、エジェクタを利用することで、負圧を給気するための専用の真空ポンプを不要とし、圧縮エアを給気すればワークをテーブルに平行に簡単に固定することができて、しかも放電加工機の加工液に浸かった状態でも使用可能な吸着治具を提供可能である。
また、請求項12に記載の発明のとおり、前記吸着面に設けられた円形状の溝と、この溝に嵌め込まれたオーリングとを、更に備えることとしてもよい。これによりシール効果を高めた吸着治具を提供可能である。
また、エジェクタで発生させた負圧を液溜まりの容器に供給して、この容器とエジェクタを備えない吸着治具とをエアチューブで接続することで、放電加工機の加工液槽内で加工液に浸かった状態でもワークを吸着固定するのに使用可能な吸着治具を提供可能である。
図1は、本発明に係る第一実施形態の吸着治具1の斜視図である。この吸着治具1は、略円筒形状の本体2の一端側に所定の深さの円形のキャビティ8を備える。本体2の形状は、作り易さや取扱易さ、載置されるワークの重量を等方的に支持することを考慮して、略円筒形状であることが好ましい。ただし、本体2の形状は特に円筒形状に限らず、三角形、四角形など多角形や楕円形であっても構わない。すなわちワークの形状に即して使用可能な形状であればどれであっても構わない。
また、このキャビティ8の深さは吸着力には関係せず、作り易さを考慮して決めれば良く、例えば1mm程度であっても構わない。
図6(A)は、第二実施形態に係る負圧を給気するタイプで、かつ、絞りを備えた片面吸着タイプの吸着治具1の上面図である。図6(B)は図6(A)のII-II断面図であり、図6(C)はこの吸着治具1の底面図である。この吸着治具1にはエジェクタが備えられていないため、圧縮エアではなく負圧が給気されることが使用するための前提となる。この吸着治具1の本体2の一端である上面に備えられたキャビティ8は、所定のキャビティ径9を有する円形状の窪みであるが、キャビティ8の形状は特にこれに限定されず、その他の形状、例えば、矩形状や三角形状であっても構わない。ただ、作り易さの点、吸着力が等方的である点を考慮して円形状が最も有利である。また、このキャビティ8の深さは吸着力には関係せず、例えば1mm程度の深さであっても構わない。
図9(A)は、第三実施形態に係る圧縮エアを給気するタイプで、かつ、ポペット弁を備えた両面で吸着するタイプの吸着治具21の上面図である。図9(B)は図9(A)のIII-III断面図であり、図9(C)はこの吸着治具21の底面図である。
図10(A)は、第四実施形態に係る負圧を給気するタイプで、かつ、ポペット弁を備えた両面で吸着するタイプの吸着治具21の上面図である。図10(B)は図10(A)のIV-IV断面図であり、図10(C)はこの吸着治具21の底面図である。
図11は、第五実施形態に係る放電加工機における使用態様の概念図である。
図11の放電加工機50は、いわゆる形彫り放電加工機であり、放電ギャップ制御部51がクイル52を鉛直方向に往復駆動制御して、その先端に支持された電極53を加工液54が満たされた加工液槽55内のテーブル12において、吸着治具1で固定されたワーク11に対して所定ギャップを維持するように駆動制御されながら放電加工が行われる。なお、この吸着治具1は第二実施形態あるいは第四実施形態で説明した片面吸着タイプもしくは両面吸着タイプのものと同じであるので、その内部構造の説明については省略する。
2、22…本体
3…エジェクタ
4…給気孔
5…排気孔
6、26…吸着面
7、27…吸引孔
8、28…キャビティ
9、29…キャビティ径
10…底面
11…ワーク
12…テーブル
13…圧縮エア
14…配管
15…エアターミナル
16…エアチューブ
17…載置動作
23…ポペット弁
24…シャフト
25…コーン
30…弁座
31…スプリング
40、61…ジョイント
41…絞り
42…本体厚み
50…放電加工機
51…放電ギャップ制御部
52…クイル
53…電極
54…加工液
55…加工液浴槽
60…容器
Claims (4)
- ワークをテーブルに固定する吸着治具を少なくとも2個備えた吸着治具セットにおいて、この複数の吸着治具のそれぞれは、
本体と、
この本体の一端に設けられたキャビティと、
このキャビティに設けられた吸引孔と、
この吸引孔と連通されると共にエアチューブと接続するための内部に絞りを備えたジョイントと、
前記キャビティの周囲に設けられた吸着面と、
この吸着面と平行に前記本体の他端に設けられると共に前記テーブルと接触する底面
と、を備え、
更に、給気される圧縮エアにより負圧を発生させるエジェクタと、
このエジェクタに接続されると共にこの発生した負圧を少なくとも2つに分岐するエアターミナルと、
このエアターミナルで分岐された前記負圧をそれぞれの前記吸着治具へ給気する少なくとも2つのエアチューブと、を備え、
前記負圧によりそれぞれの前記吸引孔を経由してそれぞれの前記キャビティ内のエアを吸引排気して、前記ワークに吸着することを特徴とする吸着治具セット。 - 請求項1に記載の前記吸着治具セットおいて、
少なくとも2個の前記吸着治具のそれぞれは、
前記底面に設けられたキャビティと、
このキャビティに設けられると共に前記吸引孔に連通された吸引孔と、
前記底面に設けられた前記キャビティの周囲に設けられた吸着面と、を更に備え、
それぞれの前記一端に設けられた前記キャビティ内のエアを吸引排気して、前記ワークに吸着すると共に前記底面に設けられた前記キャビティ内のエアを吸引排気して、前記テーブルに吸着することを特徴とする吸着治具セット。 - ワークを放電加工機の加工液が満たされた加工液槽内のテーブルに固定する吸着治具において、
本体と、
この本体の一端に設けられたキャビティと、
このキャビティに設けられた吸引孔と、
この吸引孔と連通されると共にエアチューブと接続するための内部に絞りを備えたジョイントと、
前記キャビティの周囲に設けられた吸着面と、
この吸着面と平行に前記本体の他端に設けられると共に前記テーブルと接触する底面と、を備え、
更に、給気される圧縮エアにより負圧を発生させるエジェクタと、
前記本体に接続されたエアチューブと、
このエアチューブと前記エジェクタとの間に設けられた液溜まりの容器と、を備え、
前記負圧は前記容器、及び、前記エアチューブを経由して前記本体に供給されることで前記吸引孔を経由して前記キャビティ内のエアを吸引排気して、前記ワークに吸着することを特徴とする吸着治具。 - 請求項3記載の前記吸着治具において、
前記吸着面に設けられた円形状の溝と、
この溝に嵌め込まれたオーリングと、を更に備えることを特徴とする吸着治具。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2019086600A JP7295366B2 (ja) | 2019-04-11 | 2019-04-11 | 吸着治具 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2019086600A JP7295366B2 (ja) | 2019-04-11 | 2019-04-11 | 吸着治具 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2020172013A JP2020172013A (ja) | 2020-10-22 |
JP7295366B2 true JP7295366B2 (ja) | 2023-06-21 |
Family
ID=72829730
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2019086600A Active JP7295366B2 (ja) | 2019-04-11 | 2019-04-11 | 吸着治具 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP7295366B2 (ja) |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2002103262A (ja) | 2000-09-27 | 2002-04-09 | Nippei Toyama Corp | 半導体ウェーハの吸着装置 |
US20130270757A1 (en) | 2010-12-20 | 2013-10-17 | Thibaut | Device forming a workpiece clamp |
JP2015205365A (ja) | 2014-04-18 | 2015-11-19 | 本田技研工業株式会社 | ワーク保持装置及びワーク保持方法 |
JP2016060006A (ja) | 2014-09-18 | 2016-04-25 | シャープ株式会社 | ワーク吸着保持機構 |
Family Cites Families (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS4710331Y1 (ja) * | 1969-07-03 | 1972-04-18 | ||
JPS5723936U (ja) * | 1980-07-16 | 1982-02-06 | ||
JPH07204961A (ja) * | 1994-01-21 | 1995-08-08 | Myotoku Kk | 真空チャック |
-
2019
- 2019-04-11 JP JP2019086600A patent/JP7295366B2/ja active Active
Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2002103262A (ja) | 2000-09-27 | 2002-04-09 | Nippei Toyama Corp | 半導体ウェーハの吸着装置 |
US20130270757A1 (en) | 2010-12-20 | 2013-10-17 | Thibaut | Device forming a workpiece clamp |
JP2015205365A (ja) | 2014-04-18 | 2015-11-19 | 本田技研工業株式会社 | ワーク保持装置及びワーク保持方法 |
JP2016060006A (ja) | 2014-09-18 | 2016-04-25 | シャープ株式会社 | ワーク吸着保持機構 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2020172013A (ja) | 2020-10-22 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US20130239401A1 (en) | Workpiece clamping jig and workpiece machining method using workpiece clamping jig | |
CA2532179A1 (en) | Vacuum hold-down | |
KR20140129070A (ko) | 비접촉 흡착반 | |
KR20120114172A (ko) | 이젝터를 갖춘 흡착장치 | |
CN107527853B (zh) | 被加工物的保持机构和加工装置 | |
JP2006319182A (ja) | 吸着保持装置 | |
TW202236501A (zh) | 工作夾台組合件 | |
KR102413543B1 (ko) | 마그넷 척 | |
JP7295366B2 (ja) | 吸着治具 | |
JP2018079545A (ja) | 吸着機能を備えた載置テーブル | |
CN116765649A (zh) | 一种吸附治具及激光切割设备 | |
KR20130005776U (ko) | 진공클램핑장치 | |
JP7074520B2 (ja) | クランプシステムおよびクランプ方法 | |
JP2013226607A (ja) | チャックテーブル及びチャックテーブルを備える加工装置 | |
KR101829039B1 (ko) | 베큠척 | |
KR20090102568A (ko) | 세라믹 볼 패널 타입 에어진공척 | |
CN201098818Y (zh) | 双气路真空吸盘 | |
KR20160086995A (ko) | 평판소재의 가장자리 연마용 지그 | |
JP2008087131A (ja) | 易削性被加工材の加工テーブルおよび固定方法ならびに加工テーブル用アタッチメント板 | |
KR102413544B1 (ko) | 마그넷 척 | |
JP2010017832A (ja) | ワーク吸着装置 | |
CN211072729U (zh) | 利用负压固定的夹具 | |
JP6302659B2 (ja) | チャックテーブル、搬送装置及び加工装置 | |
JP2016060006A (ja) | ワーク吸着保持機構 | |
TW201931452A (zh) | 工件的切割方法以及切割裝置的卡盤台 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20220120 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20221116 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20221206 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20230112 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20230308 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20230509 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20230516 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 7295366 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |