JP2013226607A - チャックテーブル及びチャックテーブルを備える加工装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】チャックテーブル1は、第1の吸引部2と第2の吸引部3a及び第2の吸引部3bと第3の吸引部4とを備え、これらの吸引部のそれぞれに第1の連通孔6と第2の連通孔7と第3の連通孔8とを備えている。チャックテーブル1を有する加工装置100には、それぞれの連通孔を吸引源9に接続させる第1の配管11と第2の配管12と第3の配管13と、これらに第1のバルブ110と第2のバルブ120と第3のバルブ130とがそれぞれ配設され、これらのバルブの開閉状態を切り替えることで板状ワークが吸引保持される保持面の面積を変更することができる。したがって、形状の異なる板状ワークでも、チャックテーブル1を交換する必要はなく、板状ワークをチャックテーブル1に吸引保持することができる。
【選択図】図2
Description
200:吸引部
2:第1の吸引部 3a,3b:第2の吸引部 4:第3の吸引部
5:封鎖部
6:第1の連通孔 7:第2の連通孔 8:第3の連通孔
9:吸引源
11:第1の配管 110:第1のバルブ
12:第2の配管 120:第2のバルブ
13:第3の配管 130:第3のバルブ
14:分岐部 15:加工手段
20,21,22:保持面
30,31,32:板状ワーク 310:オリエンテーションフラット
Claims (4)
- 吸引源に連通する吸引部の保持面において板状ワークを吸引保持するチャックテーブルであって、
該吸引部は、中央部分に配設され四角形の保持面を有する第1の吸引部と、
該第1の吸引部の外側に配設された複数の第2の吸引部と、により構成され、
該吸引部の側面を封鎖する封鎖部を備え、該封鎖部によって隣接する該第1の吸引部と該第2の吸引部とが隔てられており、
該第1の吸引部を該吸引源に連通させる第1の連通孔と、
該第2の吸引部を該吸引源に連通させる第2の連通孔と、を備えるチャックテーブル。 - 前記吸引部は、前記第1の吸引部に隣接する少なくとも4つの前記第2の吸引部と、該4つの第2の吸引部の外側に配設された第3の吸引部と、により構成され、
該4つの第2の吸引部を前記吸引源に連通させる第2の連通孔と、
該第3の吸引部を該吸引源に連通させる第3の連通孔と、を備える請求項1記載のチャックテーブル。 - 前記第1の吸引部、前記第2の吸引部及び前記第3の吸引部は、ポーラス部材により形成される請求項1,2記載のチャックテーブル。
- 吸引源に連通する吸引部の保持面において板状ワークを吸引保持するチャックテーブルと、該チャックテーブルに吸引保持された板状ワークを加工する加工手段と、を備えた加工装置であって、
該チャックテーブルは、中央部分に配設され四角形の保持面を有する第1の吸引部と、該第1の吸引部の外側に配設される少なくとも4つの第2の吸引部と、該第2の吸引部の外側に配設される第3の吸引部と、により構成される吸引部と、
該吸引部の側面を封鎖する封鎖部と、
該第1の吸引部に連通する該第1の連通孔と、
該第2の吸引部に連通する該第2の連通孔と、
該第3の吸引部に連通する該第3の連通孔と、により構成され、
該加工装置は、該第1の連通孔を該吸引源に接続させる第1の配管と、該第1の配管に配設される第1のバルブと、
該第2の連通孔を該吸引源に接続させる第2の配管と、該第2の配管に配設される第2のバルブと、
該第3の連通孔を該吸引源に接続させる第3の配管と、該第3の配管に配設される第3のバルブと、を備え、
該第1のバルブと該第2のバルブと該第3のバルブとの開閉をそれぞれ切り替えることによって該保持面の面積を変更可能にする加工装置。
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