JP2015013737A - ワーク吸着装置およびワーク吸着方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】様々なワークサイズに対し、段取り替えを要することなくワークを吸着できるワーク吸着装置及びワーク吸着方法を得る。【解決手段】ワークWを吸引する吸着穴Hがマトリクス状に所定数設けられた吸着プレート11の内側に、行方向または列方向に延在するように形成され延在方向に並ぶ複数の吸着穴に連通された吸引路Lが、該延在方向に直交する方向に間隔をあけて並ぶ複数の吸着穴に対応して複数個設けられたステージ1と、前記吸引路の延在方向の一側部に減圧手段2にそれぞれ連通するように並設された複数の接続流路部3と、行方向または列方向に並ぶ複数の前記吸着穴または複数の前記接続流路部からなる流路群を横切るように配設され所定方向に移動されることで前記流路群を開閉する開閉部材41を用いた吸着穴選択手段4を備えるようにした。【選択図】図1
Description
この発明は、ステージ上に例えば基板などのワークを吸着して移送する場合などに好適なワーク吸着装置及びワーク吸着方法に関するものである。
上面にワークを吸着したステージが水平面内を移動してワークを移送する吸着装置は従来から知られている。このような吸着装置は、様々なワークサイズに対応できるよう吸着経路を複数装備し、各々の経路を複数のバルブで切り替えることで対応している(例えば特許文献1、2参照)。
上記特許文献1のような技術では、吸着有効部分を切り替えるために、各行、各列方向に各々バルブを設け、吸着有効部分に応じてバルブを切り替えるようにしているので、数多くのバルブが必要になり、その制御機構も複雑化するという課題があった。
特許文献2のような技術では、対応できるワークサイズに制限があるため、ラバーシートのような部材をステージ上に装備し、吸着穴を塞がなければならない。結果、ワークサイズの変更による段取り替え作業が発生するため、装置稼働率が低下するといった問題がある。特にシート材などを吸着、保持し、板部材などにシート材を貼り付けたり、シート材の貼り付けられている保護フィルムなどを剥離する場合は、ワーク中央付近だけでなく、外周付近を吸着する必要がある。
特許文献2のような技術では、対応できるワークサイズに制限があるため、ラバーシートのような部材をステージ上に装備し、吸着穴を塞がなければならない。結果、ワークサイズの変更による段取り替え作業が発生するため、装置稼働率が低下するといった問題がある。特にシート材などを吸着、保持し、板部材などにシート材を貼り付けたり、シート材の貼り付けられている保護フィルムなどを剥離する場合は、ワーク中央付近だけでなく、外周付近を吸着する必要がある。
この発明は、上記のような問題点を解決するためになされたものであり、簡素な構成で、しかも様々なワークサイズに対し、段取り替えなくワークを吸着することができるワーク吸着装置およびワーク吸着方法を得ることを目的としている。
この発明に係るワーク吸着装置は、ワークを吸引する吸着穴がマトリクス状に所定数設けられた吸着プレートの内側に、行方向または列方向に延在するように形成され延在方向に並ぶ複数の吸着穴に連通された吸引路が、該延在方向に直交する方向に間隔をあけて並ぶ複数の吸着穴に対応して複数個設けられたステージと、前記吸引路の延在方向の一側部に減圧手段にそれぞれ連通するように並設された複数の接続流路部と、行方向または列方向に並ぶ複数の前記吸着穴または複数の前記接続流路部からなる流路群を横切るように配設され所定方向に移動されることで前記流路群を開閉する開閉部材を用いた吸着穴選択手段を備えるようにしたものである。
この発明に係るワーク吸着方法は、ワークを吸引する吸着穴がマトリクス状に所定数設けられた吸着プレートの内側に、行方向または列方向に延在するように形成され延在方向に並ぶ複数の吸着穴に連通された吸引路が、該延在方向に直交する方向に間隔をあけて並ぶ複数の吸着穴に対応して複数個設けられたステージと、前記吸引路の延在方向の一側部に減圧手段にそれぞれ連通するように並設された複数個の接続流路部を備えたワーク吸着装置を用いるワーク吸着方法であって、行方向または列方向に並ぶ複数の前記吸着穴または複数の前記接続流路部からなる流路群を横切るように開閉部材を配設し、その開閉部材を所定方向に移動させて前記流路群を開閉することにより、マトリクス状に設けられた前記吸着穴の吸着有効面積を行方向または列方向に変更することを特徴とするものである。
この発明に係るワーク吸着方法は、ワークを吸引する吸着穴がマトリクス状に所定数設けられた吸着プレートの内側に、行方向または列方向に延在するように形成され延在方向に並ぶ複数の吸着穴に連通された吸引路が、該延在方向に直交する方向に間隔をあけて並ぶ複数の吸着穴に対応して複数個設けられたステージと、前記吸引路の延在方向の一側部に減圧手段にそれぞれ連通するように並設された複数個の接続流路部を備えたワーク吸着装置を用いるワーク吸着方法であって、行方向または列方向に並ぶ複数の前記吸着穴または複数の前記接続流路部からなる流路群を横切るように開閉部材を配設し、その開閉部材を所定方向に移動させて前記流路群を開閉することにより、マトリクス状に設けられた前記吸着穴の吸着有効面積を行方向または列方向に変更することを特徴とするものである。
この発明に係るワーク吸着装置によれば、行方向または列方向に並ぶ複数の前記吸着穴または複数の前記接続流路部からなる流路群を横切るように配設された開閉部材を所定方向に移動することで前記流路群を開閉することで吸着有効面積を変えることができるので、構成を簡素にできると共に、様々なワークサイズに対して段取り替えなくワークを吸着することができる。
また、この発明に係るワーク吸着方法によれば、行方向または列方向に並ぶ複数の前記吸着穴または複数の前記接続流路部からなる流路群を横切るように配設された開閉部材を所定方向に移動させて前記流路群を開閉することにより、マトリクス状に設けられた前記吸着穴の吸着有効面積を行方向または列方向に変更し得るようにしたので、構成を簡素にできると共に、様々なワークサイズに対し、段取り替えなくワークを吸着することができる。
また、この発明に係るワーク吸着方法によれば、行方向または列方向に並ぶ複数の前記吸着穴または複数の前記接続流路部からなる流路群を横切るように配設された開閉部材を所定方向に移動させて前記流路群を開閉することにより、マトリクス状に設けられた前記吸着穴の吸着有効面積を行方向または列方向に変更し得るようにしたので、構成を簡素にできると共に、様々なワークサイズに対し、段取り替えなくワークを吸着することができる。
実施の形態1.
図1は本発明の実施の形態1によるワーク吸着装置の要部構成を概念的に示す図であり、(a)は全体構成図、(b)はステージ部分を側面から見た断面図である。図2は図1に示された吸着穴選択手段を概念的に示す図である。図において、ワーク吸着装置は、表面部に開口部を有し行方向(X方向、図1(a)の左右方向)と列方向(Y方向)にマトリクス状に設けられた吸着穴Hを有する吸着プレート11と、吸着プレート11の図における下部に結合され、吸着プレート11の内側部分に、列毎にそれぞれ行方向に延びて形成され、対応する行方向(X方向)に並ぶm個(mは2以上の整数で、ここでは5個)の各吸着穴Hに連通されると共に、その行方向の一側部(図の左側部)に、例えば真空ポンプなどの吸引装置で成る減圧手段2につながる接続流路部3が設けられた吸引路L(L1〜L5)が、列方向(Y方向)に間隔をあけてn個(nは2以上の整数で、ここでは5個)設けられた台座12を有するステージ1と、吸着穴選択手段4と、吸着センサ5と、制御部(図示せず)を備えている。なお、図1に示された座標軸は図1(a)のステージ1に対するものであり、吸着穴HはZ方向に形成されている。他の実施の形態においても同様である。
図1は本発明の実施の形態1によるワーク吸着装置の要部構成を概念的に示す図であり、(a)は全体構成図、(b)はステージ部分を側面から見た断面図である。図2は図1に示された吸着穴選択手段を概念的に示す図である。図において、ワーク吸着装置は、表面部に開口部を有し行方向(X方向、図1(a)の左右方向)と列方向(Y方向)にマトリクス状に設けられた吸着穴Hを有する吸着プレート11と、吸着プレート11の図における下部に結合され、吸着プレート11の内側部分に、列毎にそれぞれ行方向に延びて形成され、対応する行方向(X方向)に並ぶm個(mは2以上の整数で、ここでは5個)の各吸着穴Hに連通されると共に、その行方向の一側部(図の左側部)に、例えば真空ポンプなどの吸引装置で成る減圧手段2につながる接続流路部3が設けられた吸引路L(L1〜L5)が、列方向(Y方向)に間隔をあけてn個(nは2以上の整数で、ここでは5個)設けられた台座12を有するステージ1と、吸着穴選択手段4と、吸着センサ5と、制御部(図示せず)を備えている。なお、図1に示された座標軸は図1(a)のステージ1に対するものであり、吸着穴HはZ方向に形成されている。他の実施の形態においても同様である。
なお、便宜上、吸引路Lは台座12部分に形成された前記行方向(図1(a)の左右方向)に延びて形成されている排気用の空間を指すこととし、また、接続流路部3は図1(a)に示すように、吸引路Lとの接続部から減圧手段2に繋がる集合された流路30までのn個並設されている部分(図においては水平方向の部分)を指すこととする。また、接続流路部3の途中の破線部分は例えばゴム管などフレキシブルに構成されていることを示している。さらに、流路30における例えば減圧手段2との接続部近傍には例えば電磁操作式の流路開閉弁が設けられ、その流路開閉弁と吸着穴選択手段4との間の流路30には、所定時に吸引路Lの負圧の開放を行うための、例えば電磁操作式の開放弁が設けられており、これらは何れも前記制御部によって制御されるものであるが、発明の要旨に直接関係しない慣用的な部分であるので図示を省略している。
マトリクス状に形成された吸着穴Hの行と列は、ここでは便宜上、図の左右方向に並ぶ吸引路Lの延在方向を行方向(またはX方向)と呼び、行方向に直交する図の上下方向に並ぶ群を列方向(またはY方向)と呼ぶ。前記吸着穴選択手段4は、行方向に延在する5個の吸引路L(L1〜L5)の内、下から2個(L1とL2)、3個(L1〜L3)、4個(L1〜L4)、または5個全ての吸引路(L1〜L5)を任意に選択できるようにしたものである。ここでは、5個の吸引路L(L1〜L5)に対応して並設された5個の接続流路部3に交差されて、図1の紙面の前後方向(図2の左右方向)に移動可能に介装され、減圧する前記吸引路Lに対応して設けた貫通孔41aの数が図2に示すように移動方向の位置によって異なるパターン状に形成された平板状の吸引路選択部材41を用いて構成されている。貫通孔41aは、位置Aでは2個、位置Bでは3個、位置Cでは4個、位置Dでは5個設けられている。
吸引路選択部材41は、所定間隔で対向された固定体42、及び押圧固定部43の間に挟まれるように設置され、図1の紙面の前後方向(図2の左右方向)に図示省略している移動機構によって移動できるように構成されている。固定体42、及び押圧固定部43のそれぞれの対向面における前記接続流路部3の開口部の周りには、吸引路選択部材41の貫通孔41aに対して気密が保てるようにするための、図2(b)に示すようなOリングなどのシール材44が設置されている。固定体42、及び押圧固定部43の双方に、前記流路L1〜L5に対応して上下方向に1列に並ぶように設けられた接続流路部3の開口部相互は、同軸となるように対向されている。
押圧固定部43は、図1(a)の左右方向に移動可能に設けられ、吸引路選択部材41の移動時にはその吸引路選択部材41に対して若干の隙間を有するように図の右方向に後退され、ワークの吸着時には図示省略している駆動手段によって図の左方向に移動して吸引路選択部材41を押圧することで選択部材41の表面にシール材44が密着されて、接続流路部3の気密が確保されるように構成されている。図示省略している制御部はパソコンやシーケンサなどと各種センサ類を用いる公知の制御手段から構成され、例えば図示省略しているセンサで検知されたワークサイズに応じて吸引路選択部材41を予め設定された位置に移動させ、減圧手段2を駆動することで吸着有効面積を変更してワークを吸着する動作、さらに吸着したワークを所定位置に移送した後、吸着状態を開放するなどの一連の動作を実行できるように構成されている。
次に、上記のように構成された実施の形態1の動作と共にワーク吸着方法を含めて、図1〜図5を参照して説明する。なお、図3は図1に示されたワーク吸着装置の動作、及び本発明の実施の形態1によるワーク吸着方法を説明するフローチャート、図4は図1に示されたワーク吸着装置によるワーク吸着時の第1の例を概念的に説明する図、図5は図1に示されたワーク吸着装置によるワーク吸着時の第2の例を概念的に説明する図である。なお、図4及び図5において、(a)図は何れも吸引路選択部材41の固定体42と押圧固定部43に対する移動位置を示し、(b)図は何れも(a)図に対応するステージ1における大凡の吸着有効面積とワークW(W1A、W2A)の大きさを太線の四角形にて示している。また、(b)図の黒丸で示す吸着穴Hは減圧手段2に連通されることを示し、白丸で示す吸着穴Hは減圧手段2に連通されないことを示している。
図3に示すように、先ず、図示していない制御部はステージ1の上面に搭載された例えば図4(b)に示す実施の形態1の第1の例のワークW1Aの種別を例えば図示していない光学センサ等の公知の検知手段により特定する(ステップS10)。
次に制御部は、搭載されたワークW1Aの種別に応じて予め登録された吸引路選択部材41の移動位置、この場合図4(a)の位置Dを決定する(ステップS11)。
制御部は、吸引路選択部材41の移動機構に対し、ステップS11で決定された位置Dとなるように予め設定された制御信号を伝送すると、吸引路選択部材41を決定された位置Dへ移動させる(ステップS12)。
吸引路選択部材41の移動が完了した後、制御部は図示していない駆動手段によって、押圧固定部43を図1(a)の左方向に移動させ、吸引路選択部材41を固定体42と押圧固定部43によって挟み込むようにしてシール材44を密着させる(ステップS13)。
次に制御部は、搭載されたワークW1Aの種別に応じて予め登録された吸引路選択部材41の移動位置、この場合図4(a)の位置Dを決定する(ステップS11)。
制御部は、吸引路選択部材41の移動機構に対し、ステップS11で決定された位置Dとなるように予め設定された制御信号を伝送すると、吸引路選択部材41を決定された位置Dへ移動させる(ステップS12)。
吸引路選択部材41の移動が完了した後、制御部は図示していない駆動手段によって、押圧固定部43を図1(a)の左方向に移動させ、吸引路選択部材41を固定体42と押圧固定部43によって挟み込むようにしてシール材44を密着させる(ステップS13)。
次に、制御部は減圧手段2を起動して吸引動作を開始する(ステップS14)。吸引路(L1〜L5)に接続している吸着穴H群の内、吸引路選択部材41によって接続流路部3を遮断されていないもの、ここでは図4(a)の位置Dにおける貫通孔41aに対応している接続流路部3に連通された吸引路の吸着穴、即ちここではステージ1におけるL1〜L5のすべての吸着穴Hを含む範囲が吸着有効面積となり、ワークW1Aを吸引する。
制御部は、吸引後一定時間経過後の吸着センサ5の状態により、ワークW1Aが正常に吸着できたかを検知する(ステップS15)。
制御部は、ステップS15で正常に吸着できなかった場合は、吸着エラー信号を周囲の機器に出力し(ステップS16)、正常に吸着できた場合は、ステージ1を図示省略している移動手段により移動させ、ワークW1Aの移送を開始する(ステップ17)。
制御部は、吸引後一定時間経過後の吸着センサ5の状態により、ワークW1Aが正常に吸着できたかを検知する(ステップS15)。
制御部は、ステップS15で正常に吸着できなかった場合は、吸着エラー信号を周囲の機器に出力し(ステップS16)、正常に吸着できた場合は、ステージ1を図示省略している移動手段により移動させ、ワークW1Aの移送を開始する(ステップ17)。
制御部は、移送が完了し、ロボットアーム(図示省略)などによってワーク取り出し要求信号がONとなったかを検知し(ステップS18)、ワーク取り出し要求信号を受け付けると、吸引路(L1〜L5)の負圧を開放することでワークW1Aの吸着を解除する(ステップ19)。
なお、負圧の開放は、流路30に設けられた図示省略している前述の流路開閉弁を、制御部によって自動制御にて閉じた後、同じく図示省略している前記開放弁を開けて流路30内に外気を導入する一般的な弁操作によって容易に行うことができる。その後、吸着を解除されたワークW1Aは、前記ロボットアームなどによってステージ1上から排出される。上述の工程は、新たな基板が搬入されることにより繰り返し行われる。
なお、負圧の開放は、流路30に設けられた図示省略している前述の流路開閉弁を、制御部によって自動制御にて閉じた後、同じく図示省略している前記開放弁を開けて流路30内に外気を導入する一般的な弁操作によって容易に行うことができる。その後、吸着を解除されたワークW1Aは、前記ロボットアームなどによってステージ1上から排出される。上述の工程は、新たな基板が搬入されることにより繰り返し行われる。
なお、図5の第2の例に示すように、ワークの大きさが第1の例のワークW1Aよりも幅方向(図の上下方向)に小さいワークW1Bである場合、図3に示すステップS10の検知結果に基づいて、制御部はステップS11において、吸引路選択部材41の移動位置を図5(a)のように、位置Bに移動させるように決定する。以後、同様の動作によって吸着有効面積がワークW1Bに対応した黒丸印で示す吸着穴Hの領域に変更されて、ワークW1Bを吸着保持し、移送が自動的に行われる。吸着の際、吸引路L4、L5は吸引路選択部材41の選択範囲外なので、吸引は行われず、吸着センサ5や減圧手段2の動作などに影響を及ぼすことはない。このように、吸引路選択部材41の位置によって、吸着有効面積が変更され、載置するときのY方向にサイズの異なるワークに対して、ワークが吸着される。段取り替えの必要も生じない。
なお、吸引路選択部材41は平板を用いて構成したが、これに限定されるものではなく、例えば回動する円筒体によって構成しても良い。その場合、貫通孔41aは前記円筒体の径方向に貫通させ、周方向にパターンが変わるように設ける一方、押圧固定部43はその円筒体の外周部を囲む同心円の円筒状の固定体として形成し、内側の円筒体が例えば真空グリースを介在させて気密を保持して回転するように構成することで、押圧固定部43を吸引路選択部材41の方向に移動させて密着させるための図示省略している駆動手段を不要にできるほか、シール材44も不要にできる。また、円筒体の内部空間を流路30として構成し、減圧手段2に直接的に接続するように構成することで、固定体42も不要にできるので、部品点数が削減されて、構成が簡素となり、制御も容易にすることができる。
上記のように実施の形態1のワーク吸着装置によれば、吸引路選択部材41の位置によってY方向の吸着穴H群の吸着する/しないを決定することができる。従って、吸引路選択部材41の1部品を適切な位置に移動することによって、幅方向(もしくは長手方向)にサイズが異なるワークを段取り替えなしに吸着することができる。また、吸引路L(L1〜L5)毎にバルブを装備する必要がないため、構成が簡素化され低コスト化が可能となる。さらに、図1に示すようにワーク吸着ミスを検知する吸着センサ5はY方向の吸着穴H群の数によらず、1つ装備すればよいので部品点数を削減できる。
また、実施の形態1に係るワーク吸着方法によれば、複数の吸着穴Hにつながる吸引路Lを単一の吸引路選択部材41のみの移動によって一斉に開閉することで吸着有効面積を列方向に変更し得るようにしたので、構成を簡素にできると共に、操作も容易となり、一方向にサイズの異なる様々なワークに対し、段取り替えなくワークを吸着することができるという効果が得られる。
実施の形態2.
図6は本発明の実施の形態2によるワーク吸着装置の要部構成を概念的に示す図であり、(a)は全体構成図、(b)はステージ部分を側面から見た断面図である。図7は図6に示されたワーク吸着装置の動作、及び本発明の実施の形態2によるワーク吸着方法を説明するフローチャート、図8は図6に示されたワーク吸着装置によるワーク吸着時の第1の例を概念的に示す図、図9は図6に示されたワーク吸着装置によるワーク吸着時の第2の例を概念的に示す図である。図において、ワーク吸着装置を構成する台座12Aに列方向(Y方向)に間隔をあけてn個(nは2以上の整数で、ここでは5個)設けられた、行方向に延在する吸引路L(L1〜L5)は、図6(b)に示すように実施の形態1のものよりも直径が大きい断面円形で、かつ、他側部(図の右側部)が開口されている。
図6は本発明の実施の形態2によるワーク吸着装置の要部構成を概念的に示す図であり、(a)は全体構成図、(b)はステージ部分を側面から見た断面図である。図7は図6に示されたワーク吸着装置の動作、及び本発明の実施の形態2によるワーク吸着方法を説明するフローチャート、図8は図6に示されたワーク吸着装置によるワーク吸着時の第1の例を概念的に示す図、図9は図6に示されたワーク吸着装置によるワーク吸着時の第2の例を概念的に示す図である。図において、ワーク吸着装置を構成する台座12Aに列方向(Y方向)に間隔をあけてn個(nは2以上の整数で、ここでは5個)設けられた、行方向に延在する吸引路L(L1〜L5)は、図6(b)に示すように実施の形態1のものよりも直径が大きい断面円形で、かつ、他側部(図の右側部)が開口されている。
そして、各吸引路L内には、行方向に並ぶ複数の吸着穴Hからなる流路群を横切るように配設され、先端部(図の左端部)にOリングなどのシール機能を有する閉塞部61を有し、吸引路Lの内周面に対して気密を保持して行方向に摺動することにより、前記流路群である行方向に1列に並ぶ複数(5個)の吸着穴Hを開閉する開閉部材としての棒状の吸引路内移動部材6と、この吸引路内移動部材6を図の左右に移動させ、閉塞部61を、図6(a)の位置O、P、Q、R、S、Tの任意の位置で固定し得る移動機構(図示省略)がそれぞれ設けられている。なお、この実施の形態2では吸引路L(L1〜L5)にそれぞれ設けられた閉塞部61を有する棒状の吸引路内移動部材6と、図示省略している移動機構によって吸着穴選択手段が構成されている。そして、吸引路L(L1〜L5)の一側部(図の左側部)に設けられた接続流路部3は、図1の吸着穴選択手段4を介さずに流路30を経て直接的に減圧手段2に接続されている。その他の符号と構成は実施の形態1と同様であるので説明を省略する。
次に、ワーク吸着方法を含め、動作について図6〜図8を参照して説明する。図示していない制御部はステージ1の上面に搭載された例えば図8に示す第1の例のワークW2Aの種別を例えば図示していない光学センサ等の公知の検知手段により特定する(ステップS20)。
制御部は、搭載されたワークW2Aに対応して予め設定された吸引路内移動部材6の位置(この例では吸引路L1〜L5の何れも位置P)を決定する(ステップS21)。
制御部は、吸引路内移動部材6の移動機構に対し、当該位置となるよう制御信号を伝送する。吸引路内移動部材6は、図8の位置Pに移動される(ステップS22)。
制御部は、吸引路内移動部材6の移動完了後、減圧手段2を起動して吸引動作を開始する(ステップS23)。
吸引路L1〜L5に接続されている吸着穴H群の内、吸引路内移動部材6によって吸引路L1〜L5に対して遮断されていない吸着穴、即ち、吸引路L1〜L5における位置P〜Tの間の吸着穴Hのみが、ワークW2Aを吸引する。
制御部は、搭載されたワークW2Aに対応して予め設定された吸引路内移動部材6の位置(この例では吸引路L1〜L5の何れも位置P)を決定する(ステップS21)。
制御部は、吸引路内移動部材6の移動機構に対し、当該位置となるよう制御信号を伝送する。吸引路内移動部材6は、図8の位置Pに移動される(ステップS22)。
制御部は、吸引路内移動部材6の移動完了後、減圧手段2を起動して吸引動作を開始する(ステップS23)。
吸引路L1〜L5に接続されている吸着穴H群の内、吸引路内移動部材6によって吸引路L1〜L5に対して遮断されていない吸着穴、即ち、吸引路L1〜L5における位置P〜Tの間の吸着穴Hのみが、ワークW2Aを吸引する。
吸引後、制御部は一定時間経過後の吸着センサ5の状態により、ワークW2Aが正常に吸着できたかを検知する(ステップS24)。
制御部は、正常に吸着できなかった場合(N)は、吸着エラー信号を周囲の機器に出力する(ステップS25)。
制御部は、正常に吸着できた場合(Y)に、移送を開始する(ステップS26)。
制御部は、移送が完了し、図示していないロボットアームなどによってワーク取り出し要求信号を受け付けると、吸引路L1〜L5内の負圧を開放することでワークW2Aの吸着を解除する(ステップS27)。
吸着を解除されたワークW2Aは、ロボットアームなどによって排出される。上述の工程は、新たなワークが搬入されることにより繰り返し行われる。
制御部は、正常に吸着できなかった場合(N)は、吸着エラー信号を周囲の機器に出力する(ステップS25)。
制御部は、正常に吸着できた場合(Y)に、移送を開始する(ステップS26)。
制御部は、移送が完了し、図示していないロボットアームなどによってワーク取り出し要求信号を受け付けると、吸引路L1〜L5内の負圧を開放することでワークW2Aの吸着を解除する(ステップS27)。
吸着を解除されたワークW2Aは、ロボットアームなどによって排出される。上述の工程は、新たなワークが搬入されることにより繰り返し行われる。
例えばワークとして、図9に示すように、長手方向にサイズが異なる図8よりも小さいワークW2Bがステージ1上にセットされた場合、図7に示すステップS20の検知結果に基づいて、制御部はステップS21において、吸引路選択部材41の移動位置を図9のように、ここでは位置R(図6に図示)に移動させるように決定する。以降、同様の動作によってワークW2Bの吸着保持、移送が自動的に行われる。ワークW2Bを吸着する際、吸引路内移動部材6によって閉塞された吸引路L1〜L5の位置Rよりも図の右方向に設置された吸着穴Hは選択範囲外となっているので、吸引は行われず、吸着センサ5や減圧手段2の動作などに影響を及ぼすことはない。このように、長手方向にサイズの異なるワークに対して、吸引路内移動部材6の位置を変更するだけで容易に吸着有効面積を変更することができ、段取り替えなしにワークWを吸着することができる。
なお、各列に設けられた合計5個の吸引路内移動部材6を一斉に移動させるようにした場合について説明したが、これに限定されるものではなく、列毎に個別に移動させるようにしても良い。その場合、吸引路内移動部材6を行方向に図6の位置S及び位置Tにも移動可能、かつ駆動制御できるように構成することで、ワークのサイズが長手方向と幅方向の双方に異なる場合でも対応させることができるという新たな効果を得ることができる。例えば、吸引路L5の吸引路内移動部材6のみを位置Tまで移動させると、吸引路L5の吸着穴Hは全て大気側に連通されて減圧されず、残りの吸引路L1〜L4の範囲の吸着穴Hが吸着動作に関与する。これにより、吸着有効面積を列方向に変更できる。その状態で吸引路L1〜L4に設けられた吸引路内移動部材6を例えば何れも位置Pに移動させると、吸着有効面積を行方向に変更できる。また、図6の例では5個の吸引路内移動部材6で、5×5=25個の吸着穴Hの開閉制御を行うことができるので、構成を簡素にできる。
上記のように実施の形態2のワーク吸着装置によれば、各列に設けられた吸引路内移動部材6の行方向への移動位置によって吸着穴H群の吸着する/しないを行方向と列方向に個別に決定することができる。従って、吸引路内移動部材6を検知されたワークWのサイズに応じた位置に移動させることによって、長手方向と幅方向にサイズが異なるワークであっても吸着有効面積を適切に変更して吸着することができる。このため、ワークサイズ変更に際して段取り替えの必要がない。また、吸引路L1〜L5毎に開閉バルブを装備する必要がないため、低コスト化が可能となり、制御も容易となる。さらに、図6に示すようにワーク吸着ミスを検知する吸着センサ5はX方向の吸着穴H群の数によらず、1つ装備すればよい。
また、実施の形態2に係るワーク吸着方法は、各吸引路L(L1〜L5)に設けられ、行方向の複数の吸着穴Hにつながる吸引路Lの内周面に対して気密を保持して行方向に摺動し得る開閉部材としての閉塞部61を有する吸引路内移動部材6を行方向に移動させて減圧手段2に連通される吸着穴Hの数を変更することで、吸着有効面積を行方向及び/または列方向に任意に変更できるようにしたものであり、構成を簡素にできると共に、操作も容易となり、様々なワークサイズに対し、段取り替えなくワークを吸着することができるという効果が得られる。
実施の形態3.
図10は本発明の実施の形態3によるワーク吸着装置の要部構成を概念的に示す図であり、(a)は全体構成図、(b)はステージ部分を側面から見た断面図である。図11は図10に示されたワーク吸着装置の動作、及び本発明の実施の形態3によるワーク吸着方法を説明するフローチャート、図12は図10に示されたワーク吸着装置によるワーク吸着時の第1の例を概念的に説明する図、図13は図10に示されたワーク吸着装置によるワーク吸着時の第2の例を概念的に説明する図である。なお、この実施の形態3に係るワーク吸着装置は、図10に示すように、図1に示す実施の形態1のステージ1を、図6に示す実施の形態2のステージ1Aに変更したものに相当し、吸着穴選択手段は、符号を付している実施の形態1の吸着穴選択手段4と、符号を付していない吸引路内移動部材6を用いた実施の形態2の吸着穴選択手段の2つを備えている。なお、制御部(図示せず)は、検知されたワークWのサイズに応じて吸着穴選択手段4と吸引路内移動部材6を制御する。その他は実施の形態1、2と同様であるので説明を省略する。
図10は本発明の実施の形態3によるワーク吸着装置の要部構成を概念的に示す図であり、(a)は全体構成図、(b)はステージ部分を側面から見た断面図である。図11は図10に示されたワーク吸着装置の動作、及び本発明の実施の形態3によるワーク吸着方法を説明するフローチャート、図12は図10に示されたワーク吸着装置によるワーク吸着時の第1の例を概念的に説明する図、図13は図10に示されたワーク吸着装置によるワーク吸着時の第2の例を概念的に説明する図である。なお、この実施の形態3に係るワーク吸着装置は、図10に示すように、図1に示す実施の形態1のステージ1を、図6に示す実施の形態2のステージ1Aに変更したものに相当し、吸着穴選択手段は、符号を付している実施の形態1の吸着穴選択手段4と、符号を付していない吸引路内移動部材6を用いた実施の形態2の吸着穴選択手段の2つを備えている。なお、制御部(図示せず)は、検知されたワークWのサイズに応じて吸着穴選択手段4と吸引路内移動部材6を制御する。その他は実施の形態1、2と同様であるので説明を省略する。
次に、動作について図10〜図13を用いて説明する。
図示していない制御部はステージ1Aの上面に搭載された例えば図12(b)に示す実施の形態3の第1の例のワークW3Aの種別を、例えば図示していない光学センサ等の公知の検知手段により特定する(ステップS30)。
制御部は、搭載されたワークの種別に応じて予め設定された、吸引路選択部材41の位置(この例では図12(a)に示す位置C)、および吸引路内移動部材6の行方向の位置(この例では図12(b)に示す吸引路L1〜L5の何れも位置P)を決定する(ステップS31)。
制御部は、吸引路選択部材41および吸引路内移動部材6の移動機構に対し、ステップS31の設定情報に対応する制御信号を伝送し、吸引路選択部材41を位置Cへ、吸引路内移動部材6を位置Pへ移動させる(ステップS32)。なお、吸着穴選択手段4の吸引路選択部材41は、実施の形態1の図3のステップS13と同様に、吸引路選択部材41の移動が完了した後、押圧固定部43を図10(a)の左方向に移動させシール材44を密着させる。
図示していない制御部はステージ1Aの上面に搭載された例えば図12(b)に示す実施の形態3の第1の例のワークW3Aの種別を、例えば図示していない光学センサ等の公知の検知手段により特定する(ステップS30)。
制御部は、搭載されたワークの種別に応じて予め設定された、吸引路選択部材41の位置(この例では図12(a)に示す位置C)、および吸引路内移動部材6の行方向の位置(この例では図12(b)に示す吸引路L1〜L5の何れも位置P)を決定する(ステップS31)。
制御部は、吸引路選択部材41および吸引路内移動部材6の移動機構に対し、ステップS31の設定情報に対応する制御信号を伝送し、吸引路選択部材41を位置Cへ、吸引路内移動部材6を位置Pへ移動させる(ステップS32)。なお、吸着穴選択手段4の吸引路選択部材41は、実施の形態1の図3のステップS13と同様に、吸引路選択部材41の移動が完了した後、押圧固定部43を図10(a)の左方向に移動させシール材44を密着させる。
制御部は、減圧手段2を起動して、吸引動作を開始する(ステップS33)。吸引路L1〜L5に接続している吸着穴H群の内、吸引路選択部材41および吸引路内移動部材6によって、管路を遮断されていないもののみが、ワークW3Aを吸引する。なお、ワークW3Aの大きさが吸着有効面積となる。
制御部は、吸引後一定時間経過後の吸着センサ5の状態により、ワークが正常に吸着できたかを検知する(ステップS34)。
制御部は、正常に吸着できなかった場合(N)は、吸着エラー信号を周囲の機器に出力する(ステップS35)。
制御部は、正常に吸着できた場合(Y)に、ワークW3Aの移送を開始する(ステップS36)。
制御部は、移送が完了し、ロボットアームなどによってワーク取り出し要求信号を受け付けると、吸引路L1〜L5内の負圧を開放することでワークの吸着を解除する(ステップS38)。
吸着を解除されたワークは、ロボットアームなどによって排出される。
制御部は、吸引後一定時間経過後の吸着センサ5の状態により、ワークが正常に吸着できたかを検知する(ステップS34)。
制御部は、正常に吸着できなかった場合(N)は、吸着エラー信号を周囲の機器に出力する(ステップS35)。
制御部は、正常に吸着できた場合(Y)に、ワークW3Aの移送を開始する(ステップS36)。
制御部は、移送が完了し、ロボットアームなどによってワーク取り出し要求信号を受け付けると、吸引路L1〜L5内の負圧を開放することでワークの吸着を解除する(ステップS38)。
吸着を解除されたワークは、ロボットアームなどによって排出される。
上述の工程は、新たなワークが搬入されることにより繰り返し行われる。例えば、図13に示すように、図12のものよりもサイズが小さいワークW3Bがステージ1上にセットされた場合、図11に示すステップS30の検知結果に基づいて、制御部はステップS31において吸引路選択部材41と吸引路内移動部材6の移動位置を決定し、ステップS32において吸引路選択部材41を図13(a)のように位置Aに移動させるとともに、吸引路内移動部材6を位置Rに移動させる。以降、同様の動作によってワークW3Bの吸着、移送が自動的に行われる。このように、長手方向と幅方向にサイズの異なる様々なワークに対して、段取り替えなしにワークを吸着することができる。
上記のように実施の形態3のワーク吸着装置によれば、吸引路選択部材41の位置によってY方向の吸着穴H群の吸着する/しないを決定することができ、吸引路内移動部材6の位置によってX方向の吸着穴H群の吸着する/しないを決定することができる。従って、吸引路選択部材41および吸引路内移動部材6を適切な位置に選択することによって、幅方向および長手方向にサイズの異なる任意のワークを吸着することができる。また、吸引路L毎にバルブを装備する必要がないため、低コスト化が可能となる。さらに、図10に示すように吸着センサ5はY方向の吸着穴H群、X方向の吸着穴H群の数によらず、1つ装備すれば吸着ミスを検知することができる。
実施の形態4.
図14は本発明の実施の形態4によるワーク吸着装置の要部構成を概念的に示す図であり、(a)は全体構成図、(b)はステージ部分を側面から見た断面図である。図15は図14に示されたワーク吸着装置の変形例を示す図である。図14において、ステージ1Bを構成する台座12Bには、吸着プレート11に設けられた吸着穴Hの開口部hから吸引路Lに至る図14(b)のZ軸方向の通流路(この通流路は吸着穴Hの一部である)を横切って列方向(Y方向)に図14(a)の下から上に延びるように形成された断面矩形状の開閉部材収容部71と、この開閉部材収容部71に気密を保持して移動可動に図の下側から挿入され列方向に並ぶ吸着穴Hと同一ピッチで設けられた5個の貫通穴7aを有する断面矩形状の棒状体からなる開閉部材としての列開閉部材7が設けられている。
図14は本発明の実施の形態4によるワーク吸着装置の要部構成を概念的に示す図であり、(a)は全体構成図、(b)はステージ部分を側面から見た断面図である。図15は図14に示されたワーク吸着装置の変形例を示す図である。図14において、ステージ1Bを構成する台座12Bには、吸着プレート11に設けられた吸着穴Hの開口部hから吸引路Lに至る図14(b)のZ軸方向の通流路(この通流路は吸着穴Hの一部である)を横切って列方向(Y方向)に図14(a)の下から上に延びるように形成された断面矩形状の開閉部材収容部71と、この開閉部材収容部71に気密を保持して移動可動に図の下側から挿入され列方向に並ぶ吸着穴Hと同一ピッチで設けられた5個の貫通穴7aを有する断面矩形状の棒状体からなる開閉部材としての列開閉部材7が設けられている。
列開閉部材7は、各列毎に個別に列方向に移動できるように移動機構(図示省略)に連結されており、該列開閉部材7の貫通穴7aの位置を吸着穴Hに合致させることで当該列の吸着穴Hを吸引路Lに連通し、吸着穴Hから外れた位置に移動させることで当該列の吸着穴Hと吸引路Lとの通流路を遮断するように構成されている。なお、図15に示す変形例になるステージ1Cは、台座12Cに設ける列開閉部材7Aを同様の5個の貫通穴7aを有する丸棒状とし、断面円形にした開閉部材収容部71Aに回動可能に収容したものである。この場合、列開閉部材7Aに設けた貫通穴7aの向きを、回動により上下方向に向けるか左右方向に向けるかで、列方向に並ぶ5個の吸着穴Hを一斉に開または閉できる。
なお、この実施の形態4では、列開閉部材7(7A)とその列開閉部材7(7A)を個別に移動(回動を含む)する移動機構(図示省略)によって吸着穴選択手段が構成されている。また、開閉部材収容部71(71A)と列開閉部材7(7A)との間、及び前記通流路と列開閉部材7(7A)との間には、気体が漏れないように、Oリングなどのシール機能を有する部材を用いたシール手段が設けられる(図示省略)。なお、図14(a)に示すように、列方向に並ぶ吸着穴Hの群を行方向に区別するため、図の左から右にM1、M2、・・・、M5とする。その他の符号及び構成は実施の形態2と同様であるので説明を省略する。
上記のように構成された実施の形態4においては、ワークの寸法が長手方向(ここでは図の左右方向)に対して変化する場合に対応できるようにした実施の形態2の図7のフローチャートに示すステップと略同様に動作される。ただし、列開閉部材7を移動させる方向は実施の形態2とは異なる。例えば、図14の例では、列方向がM1〜M3の吸着穴Hについては、列開閉部材7を「開」位置である図の下方向に移動させることで、黒丸印のように吸着穴Hが真空引きの行われる吸引路Lに連通される。一方、M4及びM5の列の吸着穴Hについては列開閉部材7を「閉」位置である上方向に移動させることで、吸着穴Hが白丸印のように吸引路Lに対して遮断されることで、吸着有効面積が変更される。図15の例では、図15(b)に示すようにM1〜M3の列開閉部材7Aは、貫通穴7aが上下方向を向くように回動させ、M4とM5の列開閉部材7Aは貫通穴7aが左右方向を向くように回動させることで、吸着有効面積が変更される。
上記のように実施の形態4に係るワーク吸着装置によれば、列開閉部材7(7A)によって当該列方向の吸着穴H群の吸着する/しないを決定することができる。従って、ワークWの大きさに応じて、行方向に並ぶ複数の列開閉部材7(7A)を適宜開閉することによって、長手方向にサイズが異なるワークを段取り替えすることなく吸着することができる。また、列開閉部材7の移動量を小さくできることから、ワーク吸着装置のサイズを小さくできるので、省スペースを図ることが可能となる。また、ワーク吸着ミスを検知する吸着センサ5はX方向の吸着穴Hの数や吸引路Lの数によらず、1つ装備すればよい。
また、実施の形態4に係るワーク吸着方法は、列方向に並ぶ各吸着穴Hを構成する開口部hから吸引路Lに至る図14(b)の上下方向の通流路を横切って延在され、列方向に移動可能、または列方向の位置を変えずに回動可能に設けられ、列方向に並ぶ吸着穴Hと同一ピッチで設けられた貫通穴7aを有する断面矩形の棒状の列開閉部材7を列方向に移動させ、または丸棒状の列開閉部材7Aを回動させて、列方向(X方向)の吸着穴H群の吸着する/しないを一斉に行うことができるようにしたものであり、これによってワークWに対する吸着有効面積を容易に変更することができる。また、構成を簡素にできると共に、操作も容易となり、長手方向の様々なワークサイズに対し、段取り替えなくワークを吸着することができるという効果が得られる。
実施の形態5.
図16は本発明の実施の形態5によるワーク吸着装置の要部構成を概念的に示す図であり、(a)は全体構成図、(b)はステージ部分を側面から見た断面図である。図17は図16に示されたワーク吸着装置によるワーク吸着時の例を概念的に示す図である。なお、この実施の形態5に係るワーク吸着装置は、図16に示すように、図14に示す列開閉部材7が設けられた実施の形態4のステージ1Bと、図1に示す実施の形態1のワーク吸着装置における吸着穴選択手段4を組み合わせ構成したものに相当する。なお、制御部(図示せず)は、検知されたワークのサイズに応じて吸引路選択部材41と列開閉部材7を個別に制御するように構成されている。その他は実施の形態4と同様であるので説明を省略する。
図16は本発明の実施の形態5によるワーク吸着装置の要部構成を概念的に示す図であり、(a)は全体構成図、(b)はステージ部分を側面から見た断面図である。図17は図16に示されたワーク吸着装置によるワーク吸着時の例を概念的に示す図である。なお、この実施の形態5に係るワーク吸着装置は、図16に示すように、図14に示す列開閉部材7が設けられた実施の形態4のステージ1Bと、図1に示す実施の形態1のワーク吸着装置における吸着穴選択手段4を組み合わせ構成したものに相当する。なお、制御部(図示せず)は、検知されたワークのサイズに応じて吸引路選択部材41と列開閉部材7を個別に制御するように構成されている。その他は実施の形態4と同様であるので説明を省略する。
上記のように構成された実施の形態5においては、吸引路選択部材41によって列方向の吸着穴H群の吸着する/しないを決定し、列開閉部材7によって行方向の吸着穴H群の吸着する/しないを決定する。従って、幅方向と長手方向にサイズが異なる任意のワークに対して、吸引路選択部材41および列開閉部材7を所望の位置に選択することで、段取り替えすることなく、省スペースで吸着することができる。また、列開閉部材7、7Aの場合、動作させるときの移動量を小さくできることから、列開閉部材7、7Aの駆動手段やワーク吸着装置のサイズを小さくできる。さらに列開閉部材7、7Aは各々独立で移動(回動を含む)させることができるため、図17に示すように部分的にワークを吸着しないエリアを設けることも可能となる。また、ワーク吸着ミスを検知する吸着センサ5はX方向の吸着穴Hの数や吸引路Lの数によらず、1つ装備すればよい。
なお、本発明は、その発明の範囲内において、各実施の形態の一部または全部を自由に組み合わせたり、各実施の形態を適宜、変形、省略することが可能である。例えば、吸着穴Hは、行方向にm個(mは2以上の整数)、列方向にn個(nは2以上の整数)設けられ、具体例として行方向、列方向とも5個の場合について説明したが、必ずしも前述のものに限定されるものではない。例えば、座標軸の原点に近い領域の所望数の吸着穴については、列開閉部材7などの開閉部材を設けずに、常時吸引されるようにしても良い。また、行と列を入れ替え、あるいは列開閉部材7や吸引路内移動部材6の挿入方向を図示したものと逆にしても良い。なお、吸引路内移動部材6の挿入方向を例えば図6のものと逆にする場合は、例えば軸部を気密に摺動させる一方、吸引路Lから接続流路部3に連通する流路を確保する必要がある。
また、吸着穴Hの位置を行方向と列方向に位置を斜めにずらして追加した複合的なマトリクスとしても良い。また、ステージ1を吸着プレート11と台座12によって構成したが、これに限定されるものではない。例えば、吸着プレート11と台座12を一体物で構成しても良く、さらに、吸引路Lを吸着プレート11の内側部(下側部)にパイプを用いて構成しても良い。また、吸着穴選択手段4とステージ1を一体的に構成することもできる。その他、本発明の範囲内で種々の変形や変更ができることは言うまでもない。
1(1A、1B、1C) ステージ、11 吸着プレート、12(12A、12B、12C) 台座、2 減圧手段、3 接続流路部、30 流路、4 吸着穴選択手段、41 吸引路選択部材(開閉部材)、41a 貫通孔、42 固定体、43 押圧固定部、44 シール材、5 吸着センサ、6 吸引路内移動部材(開閉部材)、61 閉塞部、7(7A) 列開閉部材(開閉部材)、7a 貫通穴、71(71A) 開閉部材収容部、H 吸着穴、h 開口部、L(L1〜L5) 吸引路、W(W1A、W1B、W2A、W2B、W3A、W3B、W5) ワーク。
Claims (9)
- ワークを吸引する吸着穴がマトリクス状に所定数設けられた吸着プレートの内側に、行方向または列方向に延在するように形成され延在方向に並ぶ複数の吸着穴に連通された吸引路が、該延在方向に直交する方向に間隔をあけて並ぶ複数の吸着穴に対応して複数個設けられたステージと、前記吸引路の延在方向の一側部に減圧手段にそれぞれ連通するように並設された複数の接続流路部と、行方向または列方向に並ぶ複数の前記吸着穴または複数の前記接続流路部からなる流路群を横切るように配設され所定方向に移動されることで前記流路群を開閉する開閉部材を用いた吸着穴選択手段を備えたことを特徴とするワーク吸着装置。
- 前記開閉部材は、複数の前記接続流路部を遮断する方向に延在されて延在面の所定方向に移動可能に介装され、遮断した前記接続流路部を個別に連通するように形成された貫通孔の位置と数が前記移動方向の位置によって異なるようにした吸引路選択部材からなることを特徴とする請求項1に記載のワーク吸着装置。
- 前記吸引路選択部材は、平板状に形成された板材からなることを特徴とする請求項2に記載のワーク吸着装置。
- 前記吸引路選択部材は、円筒状に形成されてなることを特徴とする請求項2に記載のワーク吸着装置。
- 前記開閉部材は、前記吸引路の内周面に対して気密を保持して前記延在方向に摺動し得る閉塞部を有する吸引路内移動部材からなることを特徴とする請求項1に記載のワーク吸着装置。
- 前記開閉部材は、前記ステージの内側における前記吸引路と前記ステージの表面との間に、前記延在方向に直交する方向に間隔をあけて並ぶ複数の前記吸着穴を横切って移動可能に延在され、前記延在方向に直交する方向に並ぶ前記吸着穴と同一ピッチで設けられた複数の貫通穴を有する棒状体からなることを特徴とする請求項1に記載のワーク吸着装置。
- 前記棒状体は断面矩形状でなり、その棒状体を前記延在方向に直交する方向に移動させることで前記吸着穴を開閉することを特徴とする請求項6に記載のワーク吸着装置。
- 前記棒状体は断面円形でなり、その棒状体を回動させて前記貫通穴の向きを変更することで前記吸着穴を開閉することを特徴とする請求項6に記載のワーク吸着装置。
- ワークを吸引する吸着穴がマトリクス状に所定数設けられた吸着プレートの内側に、行方向または列方向に延在するように形成され延在方向に並ぶ複数の吸着穴に連通された吸引路が、該延在方向に直交する方向に間隔をあけて並ぶ複数の吸着穴に対応して複数個設けられたステージと、前記吸引路の延在方向の一側部に減圧手段にそれぞれ連通するように並設された複数個の接続流路部を備えたワーク吸着装置を用いるワーク吸着方法であって、行方向または列方向に並ぶ複数の前記吸着穴または複数の前記接続流路部からなる流路群を横切るように開閉部材を配設し、その開閉部材を所定方向に移動させて前記流路群を開閉することにより、マトリクス状に設けられた前記吸着穴の吸着有効面積を行方向または列方向に変更することを特徴とするワーク吸着方法。
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