JPH06260409A

JPH06260409A - 熱処理装置

Info

Publication number: JPH06260409A
Application number: JP5069296A
Authority: JP
Inventors: Takashi Hara; 孝志原
Original assignee: Dainippon Screen Manufacturing Co Ltd
Current assignee: Dainippon Screen Manufacturing Co Ltd
Priority date: 1993-03-03
Filing date: 1993-03-03
Publication date: 1994-09-16

Abstract

(57)【要約】【目的】低コストで、熱処理されるべき薄板状の基板
の形状及び大きさの変化に迅速に対応できるダイレクト
方式の熱処理装置を提供する。【構成】第２の金属板４Ｂの上方主面２４側に複数の
吸着孔６が形成されるとともに、その下方主面２６側に
それらの吸着孔６と接続された溝部２８が形成される。
したがって、第１の金属板４Ａ上に第２の金属板４Ｂが
配置されると、溝部２８の開口が第１の金属板４Ａで塞
がれ、実質的に横孔が形成され、その横孔空間を減圧す
ることにより、第２の金属板４Ｂに基板１０が吸着固定
される。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】この発明は、液晶用ガラス基板や
半導体ウエハなどの薄板物（以下、「基板」という）を
加熱もしくは冷却するための熱処理装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】図９は、従来の熱処理装置を示す側面図
であり、また図１０はその分解斜視図である。この装置
は、レジスト等が塗布された基板を加熱あるいは冷却す
る装置であり、特にダイレクト式と称されるものであ
る。なお、ここでは、以下の説明の便宜から、熱処理装
置が加熱処理用として機能する場合について説明する。

【０００３】この装置では、熱源たる面発熱ヒータ２が
設けられており、この面発熱ヒータ２の上面に金属板４
が載置されている。そして、この金属板４では、その上
方主面側から厚さ方向に吸着孔として機能する孔６が設
けられるとともに、その側面側から横方向に孔８が設け
られており、金属板４内部で接続されている。また、孔
８は図示を省略する吸着用真空ポンプに接続されてお
り、図９に示すように金属板４の上方主面上に基板１０
を載置した状態で上記ポンプを作動させると、吸着孔６
−孔８の経路で空気がポンプ側に吸引され、基板１０の
裏面側に負圧がかかる。この負圧により、基板１０は金
属板４上に密着固定される。

【０００４】なお、両図において、１２は面発熱ヒータ
２を裏面側より押さえるための板、つまりヒータ押え板
である。

【０００５】このように構成された熱処理装置（加熱装
置）では、真空ポンプを作動させて基板１０を金属板４
上に吸着固定した状態のままで、面発熱ヒータ２に通電
することによって、面発熱ヒータ２を発熱させ、その熱
を金属板４を介して基板１０に与えて、基板１０を加熱
処理するようにしている。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】ところで、ダイレクト
式熱処理装置では、金属板４の上方主面側に複数の吸着
孔６を設け、基板１０の裏面全体を吸着することによっ
て、基板１０を金属板４上に固定しているため、すべて
の吸着孔６の上に基板１０が載置されていないと、真空
吸着動作がなされず、基板１０を保持固定することがで
きなくなる。そのため、金属板４の形状・大きさや吸着
孔６の配置を基板１０に対応させる必要がある。

【０００７】しかしながら、金属板４の作成には、手間
のかかる加工が必要であり、加熱処理を施す基板の大き
さや形状が変わるごとに、それに応じた金属板を作成
し、金属板全体を交換していたのでは、迅速な対応が望
めない。また、予め加熱処理を施す基板の大きさや形状
のバリエーションを考慮し、複数種類の金属板４を作成
したのでは多大なコストがかかる。

【０００８】また、上記熱処理装置以外に、図１１およ
び図１２に示すような熱処理装置も提案されているが、
上記従来例と同様の問題がある。図１１は提案例にかか
る熱処理装置を示す平面図であり、図１２は図１１のＡ
−Ａ線断面図である。これらの図に示すように、この熱
処理装置では、金属板４に貫通横孔１４が形成されると
ともに、その貫通横孔１４と直交するように金属板４の
上方主面側から吸着孔６が形成されている。また、金属
板４の下方主面側に孔１６，面発熱ヒータ２に貫通孔１
８およびヒータ押え板１２に貫通孔２０がぞれぞれ形成
され、これら孔１６，１８，２０を介して、貫通横孔１
４が吸着用真空ポンプ（図示省略）に接続されている。
なお、各貫通横孔１４の端部には、金属片２２がねじ込
みあるいは埋め込まれており、横孔１４を密閉してい
る。そのため、図１２に示すように金属板４上に基板１
０を載置した状態で上記ポンプを作動させると、吸着孔
６−横孔１４−孔１６−孔１８−孔２０の経路で空気が
ポンプ側に吸引され、基板１０の裏面側に負圧がかか
り、基板１０は金属板４に密着固定される。

【０００９】しかしながら、この提案例の熱処理装置で
は、貫通横孔１４を形成するために手間のかかる加工、
例えばガンドリルなどの工具を用いた加工が必要であ
り、装置コストがかかるという問題がある。また、金属
板４に吸着孔６を設けているため、加熱処理を施す基板
の大きさや形状に応じて吸着孔６の位置を変更する必要
があり、上記従来例と同様の問題がある。

【００１０】なお、上記問題は、加熱処理のみならず、
冷却処理においても同様に発生するものであり、ダイレ
クト式熱処理装置特有の問題である。

【００１１】この発明は、上記課題を解消するためにな
されたもので、低コストで、熱処理されるべき薄板物
（基板）の形状及び大きさの変化に迅速に対応できるダ
イレクト方式の熱処理装置を提供することを目的とす
る。

【００１２】

【課題を解決するための手段】請求項１の発明は、加熱
源あるいは冷却源として機能する熱源と、前記熱源上に
配置された第１の板と、前記第１の板上に配置され、そ
の上方主面で熱処理対象となる薄板物を搭載する第２の
板とを備えた熱処理装置であって、上記目的を達成する
ため、前記第２の板の上方主面側に複数の吸着孔を形成
するとともに、前記複数の吸着孔と接続するように前記
第２の板の下方主面側に開口を形成している。

【００１３】請求項２の発明は、前記吸着孔を前記第２
の板の厚さ方向に形成された貫通孔で構成し、しかも前
記開口を前記複数の吸着孔を前記第２の板の下方主面側
で相互に連通するように前記第２の板の下方主面に設け
られた溝部で構成している。

【００１４】

【作用】この発明では、その下方主面側に開口が形成さ
れた第２の板が第１の板上に配置されると、その開口が
前記第１の板で塞がれ、実質的に横孔として機能する。
また、前記開口は前記第２の板の上方主面側に形成され
た複数の吸着孔と接続されているため、前記開口と前記
第１の板とからなる横孔空間を減圧すると、前記第２の
板の上方主面に搭載された薄板物は前記第２の板に吸着
・固定される。

【００１５】

【実施例】以下においては、図面を参照しつつ、実施例
にかかる熱処理装置が加熱処理用として機能する場合に
ついて説明するが、冷却処理用として機能させる場合も
熱源が異なるだけで、基本的構成・作用効果等は同一で
ある。

【００１６】図１はこの発明にかかる熱処理装置を示す
平面図であり、図２は図１のＢ−Ｂ線断面図である。こ
の熱処理装置では、面発熱ヒータ２の上面に金属板４Ａ
が配置される一方、下面にヒータ押え板１２が配置され
ている。また、これら面発熱ヒータ２，金属板４Ａおよ
びヒータ押え板１２には、先に説明した提案例にかかる
熱処理装置（図１１，図１２）と同様に、貫通孔１８，
１６，２０がそれぞれ設けられている。なお、貫通孔２
０は図示を省略する吸着用真空ポンプに接続されてい
る。

【００１７】この金属板４Ａ上には、図２に示すよう
に、別の金属板４Ｂが配置されている。ここでは、両金
属板４Ａ，４Ｂを明瞭に区別・説明するため、前者を
「第１の金属板」と称する一方、後者を「第２の金属
板」と称する。

【００１８】この第２の金属板４Ｂには、図２に示すよ
うに、複数の貫通孔６が厚さ方向に形成されており、そ
の上方主面２４上に搭載される基板１０の裏面側に負圧
をかけるための吸着孔として機能する。また、第２の金
属板４Ｂの下方主面２６側には、溝部２８が設けられて
おり、第２の金属板４Ｂの下方主面２６側で吸着孔６が
溝部２８によって相互に連通されている。

【００１９】この実施例では、図２に示すように、第１
の金属板４Ａ上に第２の金属板４Ｂが配置され、溝部２
８の開口部が第１の金属板４Ａで塞がれ、提案例の横孔
１４と同等に機能する。すなわち、第２の金属板４Ｂに
基板１０を載置した状態で上記ポンプを作動させると、
吸着孔６−溝部２８と第１の金属板４Ａとで構成される
横孔−孔１６−孔１８−孔２０の経路で空気がポンプ側
に吸引され、基板１０の裏面側に負圧がかかり、基板１
０が第２の金属板４Ｂに密着固定される。

【００２０】以上のように、この実施例では、従来必要
とされていた手間のかかる加工が不要となり、簡単な加
工（エンドミルなどによる溝加工および一般的な貫通孔
形成）で熱処理装置を形成することができるので、装置
コストを低く抑えることができる。

【００２１】次に、上記のように構成された熱処理装置
による基板熱処理手順について簡単に説明する。まず、
熱処理対象となる基板１０を図示を省略する搬送機構に
より第２の金属板４Ｂ上に載置する。そして、上記のよ
うにポンプを作動して、基板１０を第２の金属板４Ｂに
吸着固定した後、面発熱ヒータ２に通電することによっ
て、面発熱ヒータ２を発熱させ、その熱を第１および第
２の金属板４Ａ，４Ｂを介して基板１０に与えて、基板
１０を加熱処理する。そして、熱処理が終了すると、ポ
ンプを停止し、かつ必要に応じて上記経路の逆経路でガ
スを吹き込み、基板１０の吸着を解除する。それに続い
て、上記搬送機構により処理済み基板１０を次の処理ス
テーションに搬送する。このような一連の処理を繰り返
すことによって、基板１０を連続的に熱処理していく。

【００２２】また、次の処理予定基板が先に処理した基
板とサイズが異なる場合には、現在使用している第２の
金属板４Ｂを第１の金属板４Ａから取り除き、次の処理
予定基板のサイズに対応した第２の金属板４Ｂと交換す
る。そして、上記と同様に、一連の処理によって基板基
板１０の熱処理を行う。

【００２３】このように、この実施例にかかる熱処理装
置によれば、第１の金属板４Ａ，面発熱ヒータ２および
ヒータ押え板１２などを分解・交換することなく、単に
第２の金属板４Ｂを交換するだけで、種々の基板サイズ
および形状に対応することができるので、優れたメンテ
ナンス性を有し、基板１０の形状及び大きさの変化に迅
速に対応できる。

【００２４】ところで、上記実施例にかかる熱処理装置
は、第１の金属板４Ａ上に第２の金属板４Ｂを単に配置
したものであるが、以下に説明するように適当な位置決
め機構を設けてもよい。

【００２５】第１の位置決め機構として、例えば図３お
よび図４に示すように、第１の金属板４Ａから上方向に
ガイド３０を突設すればよい。すなわち、このガイド３
０に第２の金属板４Ｂの側面部を係合させながら、第２
の金属板４Ｂを第１の金属板４Ａ上に配置することによ
って、第２の金属板４Ｂを位置決めすることができる。

【００２６】また、第２の位置決め機構として、例えば
図５および図６に示すように、２つの円筒状のインロー
部材３２，３４を用いることも可能である。ここで、２
つのインロー部材３２，３４を用いている理由は、第２
の金属板４Ｂの水平方向のずれを防止するためである。
なお、インロー部材の形状を多角形状に仕上げた場合に
は、どちらか一方のみ、例えばインロー部材３２のみを
設けることによって、第２の金属板４Ｂの位置決めを行
うことも可能である。

【００２７】さらに、第３の位置決め機構として、例え
ば図７に示すように、第２の金属板金属板４Ｂの外周部
にフランジ部３６を設け、ボルト３８やテーパピン４０
などで第１および第２の金属板４Ａ，４Ｂを締結するよ
うにしてもよい。

【００２８】なお、上記実施例では、溝部２８の形状等
については、特に言及しなかったが、例えば図８に示す
ように、その断面が矩形状の溝２８Ａ，三角形状の溝２
８Ｂあるいは半円状の溝２８Ｃにより溝部２８を構成し
てもよい。矩形状溝２８Ａの場合には、加工コストを低
く抑えることができるという効果が、また三角形状溝２
８Ｂの場合には、熱損失が少ないという効果が、さらに
半円状溝２８Ｃの場合には、圧損が少ないという効果が
それぞれ得られる。

【００２９】また、上記実施例では、真空ポンプによっ
て基板１０を第２の金属板４Ｂに吸着固定しているが、
吸着手段としては、真空ポンプの代わりにアスピレータ
ー（水流ポンプ），エジェクタ式真空ポンプ又は装置が
設置される工場の真空設備等を用いてもよい。

【００３０】さらに、上記実施例では、第１の金属板４
Ａ，面発熱ヒータ２およびヒータ押え板１２に貫通孔１
６，１８，２０をそれぞれ設け、これらの貫通孔１６，
１８，２０を介して溝部２８および吸着孔６内の空気を
排気して、基板１０の吸着を行うようにしているが、排
気口はこれに限定されず、溝部２８および吸着孔６内の
空気を排気することができれば、どのような手段でもよ
く、例えば第１の金属板４Ａの側面部に溝部２８と接続
した孔を設け、この孔を真空ポンプなどの吸着手段に接
続するようにしてもよい。

【００３１】

【発明の効果】以上のように、請求項１および請求項２
の発明によれば、第２の板の上方主面側に複数の吸着孔
を形成するとともに、前記複数の吸着孔と接続するよう
に前記第２の板の下方主面側に開口を形成しているの
で、低コストで、熱処理されるべき薄板物の形状及び大
きさの変化に迅速に対応できるダイレクト方式の熱処理
装置が得られる。

【図面の簡単な説明】

【図１】この発明にかかる熱処理装置を示す平面図であ
る。

【図２】図１のＢ−Ｂ線断面図である。

【図３】この発明にかかる熱処理装置の第１変形例を示
す平面図である。

【図４】図３の熱処理装置の側面図である。

【図５】この発明にかかる熱処理装置の第２変形例を示
す平面図である。

【図６】図５のＣ−Ｃ線断面図である。

【図７】この発明にかかる熱処理装置の第３変形例を示
す平面図である。

【図８】溝部の断面形状を示す断面図である。

【図９】従来の熱処理装置を示す側面図である。

【図１０】図９のその分解斜視図である。

【図１１】この提案にかかる熱処理装置を示す平面図で
ある。

【図１２】図１１のＡ−Ａ線断面図である。

【符号の説明】

２熱源４Ａ第１の金属板（第１の板）４Ｂ第２の金属板（第２の板）１０基板２４上方主面２６下方主面２８溝部

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】加熱源あるいは冷却源として機能する熱
源と、前記熱源上に配置された第１の板と、前記第１の
板上に配置され、その上方主面で熱処理対象となる薄板
物を搭載する第２の板とを備えた熱処理装置であって、前記第２の板の上方主面側に複数の吸着孔が形成される
とともに、第２の板の下方主面側に前記複数の吸着孔と
接続された開口が形成されたことを特徴とする熱処理装
置。
【請求項２】前記吸着孔は前記第２の板の厚さ方向に
形成された貫通孔であり、しかも前記開口は前記複数の
吸着孔を前記第２の板の下方主面側で相互に連通するよ
うに前記第２の板の下方主面に設けられた溝部である請
求項１記載の熱処理装置。