JP2020080388A - 保持装置および保持方法 - Google Patents
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Abstract
Description
なお、本実施形態におけるX軸、Y軸、Z軸は、それぞれが直交する関係にあり、X軸およびY軸は、所定平面内の軸とし、Z軸は、前記所定平面に直交する軸とする。さらに、本実施形態では、Y軸と平行な図1の手前方向から観た場合を基準とし、方向を示した場合、「上」がZ軸の矢印方向で「下」がその逆方向、「左」がX軸の矢印方向で「右」がその逆方向、「前」がY軸と平行な図1中手前方向で「後」がその逆方向とする。
保持部11は、半円形状の円弧部11Aと、円弧部11Aの端部を結ぶ1つの直線部11Bとを備え、ウエハWF1を2分割した形状とされている。
先ず、図1(A)、(B)中実線で示す初期位置に各部材が配置された保持装置EAにおいて、ウエハWF1を保持面12で保持するときは、保持装置EAの使用者(以下、単に「使用者」という)または、多関節ロボットやベルトコンベア等の図示しない搬送手段が、同図中二点鎖線で示すように、ウエハWF1を保持面12上の所定の位置に載置する。すると、保持手段10が減圧手段14を駆動し、保持部11でのウエハWF1の吸着保持を開始する。この際、ウエハWF1の被保持面の円周部を保持部11で吸着保持することができる。
保持装置EAは、図2(D)に示すように、1つの保持手段10と、2つの保持手段10Aとを有する構成でもよい。保持手段10、10Aで基板WF2を保持するときは、移動手段20が、テーブル13、13Aをそれぞれ180度回転させてもよいし、テーブル13を180度回転させ、テーブル13Aを90度回転させてもよい。
保持装置EAは、図2(E)、(F)に示すように、テーブル13Bの三角形状の保持面12Bに半円形状の保持部11を有する2つの保持手段10Bを備え、ウエハWF1や平行四辺形状の被保持面を有する図示しない保持対象物を選択的に保持する構成であってもよい。
保持装置EAは、図3(A)、(B)に示すように、テーブル13Bの三角形状の保持面12Bに円形状の保持部16を有する2つの保持手段10Cで、長さの異なる長方形状の被保持面を有する保持対象物WF3、WF4を選択的に保持するものであってもよいし、図3(C)、(D)に示すように、テーブル13の長方形状の保持面12に長方形状の保持部17を有する2つの保持手段10Dで、円形状の被保持面を有する保持対象物WF5と、環状の被保持面を有する保持対象物WF6とを選択的に保持するものであってもよい。
保持装置EAは、保護対象物を研磨する研磨装置や研削する研削装置、保護対象物に接着シートを貼付するシート貼付装置、保持対象物に貼付された接着シートを保持対象物から剥離するシート剥離装置、保持対象物を位置決めする位置決め装置、保持対象物に紫外線や熱等のエネルギー線を照射する照射装置等に採用されてもよい。
保持手段10、10A、10Bは、ウエハWF1にオリエンテーションフラットやノッチが設けられている場合のように、切欠部を有する保持対象物を保持する場合、保持部11、15を保持対象物の外形に沿った形状の第1保持部と、当該第1保持部に連接する第2保持部とに区画する区画部を備えていてもよい。
保持手段10、10A、10B、10C、10Dは、クーロン力、接着剤、粘着剤、磁力、ベルヌーイ吸着等で保持力を付与してもよく、この場合、各保持部11、15、16、17に電極、接着剤、粘着剤、磁石、吸引孔等を設けてもよい。
減圧手段14は、複数の保持手段10、10A、10B、10C、10Dで共用されてもよいし、保持手段10、10A、10B、10C、10Dごとに独立して設けられてもよい。
移動手段20は、図3(G)に示すように、複数の回動モータ22と、各回動モータ22を別々のスライダ23Aで支持する駆動機器としてのリニアモータ23とを備え、リニアモータ23でテーブル13を左右方向に移動させてから、回動モータ22でテーブル13を回転させてもよい。
また、前記実施形態における駆動機器は、回動モータ、直動モータ、リニアモータ、単軸ロボット、多関節ロボット等の電動機器、エアシリンダ、油圧シリンダ、ロッドレスシリンダおよびロータリシリンダ等のアクチュエータ等を採用することができる上、それらを直接的又は間接的に組み合せたものを採用することもできる(実施形態で例示したものと重複するものもある)。
10、10A、10B、10C、10D…保持手段
11、15、16、17…保持部
11A、15A…円弧部
11B、15B…直線部
12…保持面
20…移動手段
WF1…ウエハ(保持対象物)
WF2…基板(保持対象物)
Claims (2)
- 保持対象物を保持可能な保持面に保持部を有する複数の保持手段と、
前記複数の保持手段を相対移動させる移動手段とを備え、
前記移動手段は、前記保持手段の向きを前記保持面内で変更して保持対象物に対する前記保持部の位置を変更することを特徴とする保持装置。 - 保持対象物を保持可能な保持面に保持部を有する複数の保持手段と、
前記複数の保持手段を相対移動させる移動手段とを備えた保持装置で保持対象物を保持する保持方法であって、
前記移動手段で前記保持手段の向きを前記保持面内で変更して保持対象物に対する前記保持部の位置を変更することを特徴とする保持方法。
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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JP7438478B1 (ja) | 2023-06-21 | 2024-02-27 | サムテック株式会社 | 加工物製造方法 |
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JPH10128634A (ja) * | 1996-10-30 | 1998-05-19 | Kyocera Corp | 吸着盤及びその製造方法 |
JP2012238847A (ja) * | 2011-05-12 | 2012-12-06 | Semiconductor Technologies & Instruments Pte Ltd | 複数のサイズの構成枠を処理するように構成される構成枠ハンドラ |
JP2013226607A (ja) * | 2012-04-24 | 2013-11-07 | Disco Corp | チャックテーブル及びチャックテーブルを備える加工装置 |
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