JP6965309B2 - 押圧装置および押圧方法 - Google Patents
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Description
なお、本実施形態におけるX軸、Y軸、Z軸は、それぞれが直交する関係にあり、X軸およびY軸は、所定平面内の軸とし、Z軸は、前記所定平面に直交する軸とする。さらに、本実施形態では、Y軸と平行な図1の手前方向から観た場合を基準とし、方向を示した場合、「上」がZ軸の矢印方向で「下」がその逆方向、「左」がX軸の矢印方向で「右」がその逆方向、「前」がY軸と平行な図1中手前方向で「後」がその逆方向とする。
弾性部材12は、それぞれがゴムや樹脂等の弾性材料で形成された第1弾性部材12Bと第2弾性部材12Cとを積層して構成され、弾性部材12の上面が支持面12Aとなっている。支持面12Aは、弾性部材12が改質処理された改質処理部12Dを備えている。改質処理部12Dは、エネルギー線としての粒子線を弾性部材12に照射することにより、当該弾性部材12の性質や表面粗さを変化させて形成され、ウエハWFが弾性部材12に貼り付くことを防止する。
電極13は、導電性を有する弾性材料で形成されるとともに、第1弾性部材12Bと第2弾性部材12Cとの間に設けられた複数の第1電極13Aおよび複数の第2電極13Bを備えている。第1電極13Aおよび第2電極13Bは、第1弾性部材12Bと第2弾性部材12Cとの間で交互に設けられ、一方が正極で他方が負極となるように図示しない電圧印加装置に接続されている。
弾性部材23は、その下面が押圧面23Aとなっている。押圧面23Aは、弾性部材23が改質処理された改質処理部23Dを備えている。改質処理部23Dは、エネルギー線としての粒子線を弾性部材23に照射することにより、当該弾性部材12の性質や表面粗さを変化させて形成され、接着シートASが弾性部材23に貼り付くことを防止する。
弾性部材23および電極24は、弾性部材12および電極13と同様に構成されており、弾性部材12における各構成の付番の先頭12の記号を23に置き換え、電極13における各構成の先頭13の記号を24に置き換えることで説明ができるので、それらの説明を省略する。
先ず、図1中実線で示す初期位置に各部材が配置されたシート貼付装置EA2に対し、当該シート貼付装置EA2の使用者(以下、単に「使用者」という)、または多関節ロボットやベルトコンベア等の図示しない搬送手段がウエハWFを支持面12A上の所定の位置に載置すると、支持手段10が図示しない電圧印加装置を駆動し、電極13に所定の電圧を印加して静電引力を発生させ、支持面12AでのウエハWFの保持を開始する。また、使用者または図示しない搬送手段が接着シートASを押圧面23A上の所定の位置に供給すると、押圧手段20が図示しない電圧印加装置を駆動し、電極24に所定の電圧を印加して静電引力を発生させ、押圧面23Aでの接着シートASの保持を開始する。
弾性部材12は、三角形以上の多角形や、円形、楕円形等、どのような形状であってもよいし、第1弾性部材12Bと第2弾性部材12Cとを異なる弾性材料で形成してもよいし、単一の弾性材料で1つの部材として構成してもよいし、第1弾性部材12Bと第2弾性部材12Cとが、同じ硬度を有してもよいし、異なる硬度を有していてもよいし、基台11に支持されていなくてもよい。
電極13は、第1電極13Aおよび第2電極13Bを少なくとも1つずつ備えていればよい。
弾性部材12、23に照射するエネルギー線は、弾性部材12、23が改質する光であれば、X線、ガンマ線、紫外線、可視光線、赤外線等どんな波長の光でもよいし、単波長でもよいし複波長でもよく、弾性部材12、23の性質、材質、素質、組成等に応じて適宜なエネルギー線を採用することができる。
押圧手段20は、メカチャックやチャックシリンダ等の把持手段、磁力、ベルヌーイ吸着、吸引吸着、駆動機器等で弾性部材23に押圧対象物を支持(保持)させる構成を採用してもよく、この場合、電極24はなくてもよい。
押圧手段20は、電極24がなく、下ケース21、上ケース22または図示しない他の支持装置に支持(保持)された接着シートASを弾性部材23でウエハWFに押圧する構成であってもよい。
基台22Cの形状は、円形、楕円形、三角形以上の多角形等、どのような形状の筒状であってもよい。
弾性部材23は、三角形以上の多角形や、円形、楕円形等、どのような形状であってもよいし、第1弾性部材23Bと第2弾性部材23Cとを異なる弾性材料で形成してもよいし、単一の弾性材料で1つの部材として構成してもよいし、第1弾性部材23Bと第2弾性部材23Cとが、同じ硬度を有してもよいし、異なる硬度を有していてもよい。
電極24は、第1電極24Aおよび第2電極24Bを少なくとも1つずつ備えていればよい。
押圧装置EA1は、ウエハWFを押圧対象物として押圧してもよい。
シート貼付装置EA2は、支持手段10で接着シートASを支持し、押圧手段20でウエハWFを支持して接着シートASに押圧して貼付してもよい。
また、前記実施形態における駆動機器は、回動モータ、直動モータ、リニアモータ、単軸ロボット、多関節ロボット等の電動機器、エアシリンダ、油圧シリンダ、ロッドレスシリンダおよびロータリシリンダ等のアクチュエータ等を採用することができる上、それらを直接的又は間接的に組み合せたものを採用することもできる(実施形態で例示したものと重複するものもある)。
EA1…押圧装置
10…支持手段
12…弾性部材
12A…支持面
12D…改質処理部
20…押圧手段
23…弾性部材
23A…押圧面
23D…改質処理部
AS…接着シート(押圧対象物)
WF…ウエハ(支持対象物)
Claims (2)
- 押圧面を有する弾性部材で押圧対象物を押圧する押圧手段を備え、
前記押圧面は、前記押圧対象物を付勢せずに当該押圧対象物が前記押圧面から離間するように前記弾性部材が改質処理された改質処理部を備えていることを特徴とする押圧装置。 - 押圧面を有する弾性部材で押圧対象物を押圧する押圧工程を実施し、
前記押圧面は、前記押圧対象物を付勢せずに当該押圧対象物が前記押圧面から離間するように前記弾性部材が改質処理された改質処理部を備えていることを特徴とする押圧方法。
Priority Applications (1)
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JP2019109715A JP6965309B2 (ja) | 2019-06-12 | 2019-06-12 | 押圧装置および押圧方法 |
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JP2020202330A JP2020202330A (ja) | 2020-12-17 |
JP6965309B2 true JP6965309B2 (ja) | 2021-11-10 |
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Family Applications (1)
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JP2019109715A Active JP6965309B2 (ja) | 2019-06-12 | 2019-06-12 | 押圧装置および押圧方法 |
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