JP2018079545A

JP2018079545A - 吸着機能を備えた載置テーブル

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Publication number: JP2018079545A
Application number: JP2016224034A
Authority: JP
Inventors: 英世安藤; Hideyo Ando; 大吾安藤; Daigo Ando
Original assignee: DOKEN KK
Current assignee: DOKEN KK
Priority date: 2016-11-17
Filing date: 2016-11-17
Publication date: 2018-05-24

Abstract

【課題】構造は簡易のままで、様々なワークの形状や加工形状あるいは穴あけ加工などに対応して吸着することが可能な載置テーブルを提供する。【解決手段】本発明における載置テーブルは、第１の孔径を有して複数並んだ吸引孔を有し、それぞれの前記吸引孔には、（ａ）前記第１の孔径よりも小径の吸引孔路が接続され、（ｂ）弾性部材が立設されるとともに、当該弾性部材の頂点には前記吸引孔路を閉塞可能な可動栓が配置され、負圧源を介して前記吸引孔から吸引動作を行うとき、前記吸引孔上にワークが載置されていない場合には前記可動栓が吸引孔路を閉塞し、前記吸引孔上に前記ワークが載置されている場合には前記可動栓が吸引孔路を閉塞せずに前記ワークを吸着することを特徴とする。【選択図】図１

Description

本発明は、型、ブロック材や板材などのワークを保持しながら加工を行う技術に関し、より詳細には複数の吸着孔を介してワークを吸着保持して加工を行うための載置テーブルに関する。

樹脂製、木製又は金属製のブロック材や板材、型などの被加工材（以下、「ワーク」とも称する）をテーブルに載置して当該ワークの加工を行う加工装置が知られている。かような加工装置は刃具などの加工工具を搭載する加工ヘッドを有し、上記したテーブルと加工ヘッドとが相対移動することでワークの加工が行われる。

一般的に、加工時においてワークはテーブルに固定される。テーブルに対するワークの固定方法としては従来から種々の機構が提案されているが、真空装置を介してテーブルにワークを吸着させることも行われている。例えば特許文献１においては、様々なワークのサイズに対応できるように吸着経路を複数備え、複数のバルブによって各々の吸着経路を切り替える構成が開示されている。

これに対して特許文献２や特許文献３では、様々なワークサイズに対して複雑な取り替え機構を要することなくワークを吸着できる手法が提案されている。

例えば特許文献２では、行方向または列方向に並ぶ複数の吸着穴や複数の接続流路部からなる流路群を横切るように配設された開閉部材を、所定方向に移動させて、これにより上記した流路群を開閉させる機構が提案されている。

また、特許文献３では、下降位置にあるとき弁口を開いてテーブル面と気圧室とを連通し、上昇位置にあるとき弁口を閉じてテーブル面と気圧室とを遮断する弁体機構を備えた載置テーブルが提案されている。

特開２０１１−１７６２４１号公報特開２０１５−１３７３７号公報特開２００１−１２１３７２号公報

たしかに上記特許文献２や３に記載の技術を適用することで、特許文献１などのごとき従来の構成に対して比較的簡易な構成で様々な大きさのワークを載置テーブルに吸着して支持することができるといえる。しかしながら、上記特許文献に記載の技術をもってしても以下に述べる課題は残存しており未だ改善の余地はあると言える。

すなわち、例えば上記した特許文献２に開示された構成では、ワークの大きさ及び加工後の形状に合わせて吸着口の開閉及び吸着口の選択をしなければならない。また、対象とするワークの大きさに合わせて開閉部材を適切な位置に設置せねばならず、依然として煩雑な点は否めない。また、熟練でない作業者が操作した場合、最悪のケースでは開閉部材の設置を誤る可能性がありワークが適切に載置テーブルに吸着されない可能性もある。

一方で特許文献３では弁体の昇降をワークの載置で兼ねているため煩雑な作業は不要ではあるが、吸気・排気系統が大掛かりとなってしまう課題もある。また、ワークで弁体を押圧する必要があるため、テーブル面よりも上に弁体を突き出さねばならず使い勝手が悪い。さらに例えば吸着口上を刃具で加工する場合には弁体を破壊してしまう可能性もあり、この場合にはワークの吸着が不可能となるため、結局のところ吸着口を回避した加工しかできない可能性がある。さらに特許文献３の構成では、載置テーブルのうちワークが載置されない領域における弁体は吸引によって下降してしまうため、何らかの流路の切り替え機構や仕切り部材などがなければ適切にワークが吸着されない恐れがある。

本発明は、上記した課題を一例に鑑みて為されたものであり、構造は簡易のままで様々なワークの形状に対応して吸着することが可能な載置テーブルを提供することを目的とする。

上記課題を解決するため、本発明の一実施形態にかかる載置テーブルは、（１）第１の孔径を有して複数並んだ吸引孔を有し、それぞれの前記吸引孔には、（ａ）前記第１の孔径よりも小径の吸引孔路が接続され、（ｂ）弾性部材が立設されるとともに、当該弾性部材の頂点には前記吸引孔路を閉塞可能な可動栓が配置され、負圧源を介して前記吸引孔から吸引動作を行うとき、前記吸引孔上にワークが載置されていない場合には前記可動栓が吸引孔路を閉塞し、前記吸引孔上に前記ワークが載置されている場合には前記可動栓が吸引孔路を閉塞せずに前記ワークを吸着することを特徴とする。

また、上記の載置テーブルは、各々の前記吸引孔の上端部に形成される凹部を備え、前記凹部内には、前記吸引孔を覆うフィルター部材が配置されている。

本発明によれば、載置テーブルのうちワークが載置される領域の可動栓は吸引流路を閉塞せずにワークへの吸引力が維持されつつ、ワークが載置されない領域の可動栓は吸引流路を閉塞するので真空漏れが抑制される。これにより、構造は簡易のままで様々なワークの形状に対応して吸着することが可能となっている。
また、本発明によれば、少なくとも１つの吸引孔上にワークが載置されていれば、ワークの形状（外形）に依らず載置テーブルにワークを載置することができる。また、加工後にワークが複数に分割されたとしても、分割されたワークの各々をその位置で載置テーブルに吸着して載置状態を維持することができる。さらに、ワークの穴あけ加工等も可能である。すなわち、加工前のワーク形状が比較的自由に選択可能であるばかりでなく、加工後のワーク形状も比較的自由に選択可能である。

実施形態にかかる載置テーブルの上面斜視図である。実施形態にかかる加工装置の全体構成図である。載置テーブルにおける吸引孔の構造を示す模式図である。載置テーブルにおける吸引の原理を説明する模式図である。フィルター部材１８を有する載置テーブルを示す模式図である。吸引孔路の変形例を示す模式図である。載置テーブル１０を天井面に設置し、ワークＷを吸引する場合の変形例を示す図である。

以下、本発明を実施するための実施形態について説明する。なお、以下の説明では、便宜的に載置テーブルの平面方向をそれぞれＸおよびＹ方向とし、高さ方向をＺ方向と定義して説明する。しかしながら本発明は上述した方向の定義付けに左右されるものではなく、特許請求の範囲を不当に減縮するものでないことは言うまでもない。

＜加工装置＞
図２に示すとおり、実施形態にかかる加工装置Ｍは、ワークを加工（切削あるいは研削など）する機能を備えており、載置テーブル１０、加工ヘッド２０および制御装置３０を含んで構成されている。

ワークＷは、後述する載置テーブル１０に載置されて加工される被加工材であり、樹脂や木材や金属材など種々の材料が適用される。また、ワークＷとして、例えば荷造りや運送業では、段ボール箱も載置テーブル１０に載置することが可能である。また、ワークＷの外形に特に制限はなく矩形や楕円形など取り得るが、典型的には所定の厚みを有した長方形状の板材が用いられる。

載置テーブル１０は、ワークＷを載置する載置面を有するテーブル状の部材である。後述するとおり、この載置テーブル１０は、ワークＷを吸引することで当該ワークＷを固定して支持する機能を備えている。また、本実施形態の載置テーブル１０は、ボールねじなどの公知の駆動機構（不図示）を備えており、ワークＷを載置してＹ方向に移動可能とされている。

なお、載置テーブル１０は、加工ヘッド２０と相対移動可能であれば、Ｙ方向でなくＸ方向に移動可能とされていてもよいし、ＸおよびＹの双方に移動可能とされていてもよいし、あるいは移動可能とせずに固定されていてもよい。この載置テーブル１０の詳細は、後に図１などを用いて詳述される。

加工ヘッド２０は、載置テーブル１０と対向して配置されるとともに、この載置テーブル１０に載置されたワークＷを加工する機能を有する。加工ヘッド２０は、ワークを加工するドリルなど公知の種々の刃具（不図示）を搭載する機能を備え、Ｚ方向に移動可能とされている。したがって加工ヘッド２０は、この刃具を載置テーブル１０に対して近接され又は遠ざけることが可能となっている。なお、加工ヘッド２０は、Ｚ方向に移動せずともよく、さらにはＸ及び／又はＹ方向に移動可能とされていてもよい。

制御装置３０は、上記した載置テーブル１０および加工ヘッド２０を統括制御する機能を有している。本実施形態の制御装置３０としては、メモリや演算機能を備えた公知のコンピューターが例示できる。なお、制御装置３０の一部の機能については、ネットワークを介して遠隔操作できるようになっていてもよい。

次に、本実施形態の載置テーブル１０の詳細な構造について、図１及び図３を用いて説明する。
図１（ａ）に示すとおり、載置テーブル１０は、上部板１２、中部板１３、本体テーブル１４ａおよび本体ベース１４ｂを含んで構成されている。また、後述する載置テーブル１０の吸引流路１３ａは、吸引管１５を介して不図示の負圧源（バキュームポンプなど）と接続されており、当該負圧源を介して吸引動作を実行することが可能となっている。

上部板１２は、その上面がワークＷを載置する載置面となっており、本実施形態では矩形状の外形を有して構成されている。上部板１２の材質に特に制限はないが、例えば炭素鋼など公知の機械構造用の金属材料が適用可能である。なお、本実施形態の載置面は、第１方向（Ｘ方向）と第２方向（Ｙ方向）にそれぞれ沿った短辺と長辺を有する矩形状となっている。

上部板１２には、吸引孔１１ａが複数形成されている。すなわち、図１（ｃ）および図３（ａ）に示すとおり、載置テーブル１０は、第１の孔径Ｄ１を有して第１方向（Ｘ方向）と当該第１方向と交差する第２方向（Ｙ方向）にそれぞれ沿って複数並んだ吸引孔１１ａを有している。より具体的に本実施形態の吸引孔１１ａは、上記した載置面において千鳥状に配置されている。これにより、例えば異なる大きさの複数種類のワークＷを加工する場合などにおいて、ワークＷの両端の適正な位置に吸引孔１１ａが位置付けられる可能性が高くなる。
なお本実施形態の吸引孔１１ａはそれぞれＸ方向とＹ方向に規則的に配列されているが、吸引孔１１ａは必ずしも第１方向（Ｘ方向）に規則的に並んでおらずともよく、さらに必ずしも第２方向（Ｙ方向）に規則的に並んでおらずともよい。

なお、本実施形態においては、それぞれの吸引孔１１ａは、深さ（Ｚ）方向における幅は等しく設定されている。しかしながらこれに限られず、吸引孔１１ａは、例えばカップ形状のように、Ｚ方向の上側になるに従って径が徐々に拡大するようテーパー状に形成されていてもよい。

中部板１３は、上部板１２と後述する本体テーブル１４ａとの間に介在し、上記した吸引管１５と接続される吸引流路１３ａが内部に形成されている。より具体的には図１（ｂ）に示すとおり、中部板１３の上側には溝などが形成されており、上部板１２と貼り合わされたときに当該溝が吸引流路１３ａとして機能する。この中部板１３の材質に特に制限はないが、上部板１２と同様に、例えば炭素鋼など公知の機械構造用の金属材料やベークライト（熱硬化フェノールの商品名）などが適用可能である。また、中部板１３の特性として、インバー（当業者には周知のいわゆる低熱膨張合金）や樹脂など線膨張係数が小さい材料が好適である。なお、ワークの加工には発熱が伴うため、本実施形態の載置テーブル１０（特に上部板１２や中部板１３）は耐熱性材料で構成されていることが望ましい。

本体テーブル１４ａは、上記した上部板１２と中部板１３が固定される板状の部材である。本実施形態の本体テーブル１４ａは、上部板１２や中部板１３の外形とほぼ同じ外形を備えている。また、本体テーブル１４ａは、例えば炭素鋼など公知の機械構造用の金属材料や上記したベークライトや樹脂積層板などが適用可能である。また、中部板１３などと同様に、本体テーブル１４ａの材料としては、樹脂など線膨張係数が小さい材料が好適である。
本体ベース１４ｂは、上部板１２、中部板１３および本体テーブル１４ａを支持する機能を有している。なお、本実施形態では、上記した上部板１２、中部板１３および本体テーブル１４ａは、公知の締結手段を介してこの本体ベース１４ｂに固定されている。そして本体ベース１４ｂの底面側にはボールねじ機構やローラーなどの公知の駆動機構（不図示）が設置されており、これにより本体ベース１４ｂはＹ軸方向に沿って移動が可能となっている。

なお、かような移動機構はローラーやボールねじ機構に限られず、ラック＆ピニオンなど他の公知の歯車機構を用いてもよいし、電磁力を利用した非接触式の移動機構を適用してもよい。なお、本実施形態では本体ベース１４ｂをＹ軸方向に移動可能としたが、この態様に限定されず、例えば本体ベース１４ｂを固定して当該本体ベース１４ｂに対して本体テーブル１４ａを移動させる形態としてもよい。

次に図３を用いて本実施形態における吸引孔１１ａ周りの構造について詳述する。
図３（ａ）に示すとおり、本実施形態の吸引孔１１ａは、上部板１２の上面に所定の深さｔ１で設けられており、凹状の形状を備えている。この凹部の深さｔ１としては、後述する可動栓１６がＺ方向に移動可能に収容される限りにおいて制限はないが、例えば可動栓１６の厚み＋５ｍｍ程度で設定可能である。

また、それぞれの吸引孔１１ａには、第１の孔径Ｄ_１よりも小径の吸引孔路１２ｂ（直径がＤ_３）が接続されている。さらに、それぞれの吸引孔１１ａには、弾性部材１７が立設されるとともに、当該弾性部材１７の頂点には吸引孔路１２ｂを閉塞可能な可動栓１６が配置されている。なお、本実施形態の弾性部材１７は、吸引孔路１２ｂを貫通して吸引孔１１ａに上部が配置されるとともに、後述する吸引流路１３ａに下部が配置されるように立設されている。

吸引孔路１２ｂは、吸引孔１１ａと吸引流路１３ａとを接続する機能を有している。これにより、制御装置３０の制御の下で上記した負圧源を介して吸引動作を開始した場合、供給流路１３ａ、吸引孔路１２ｂおよび吸引孔１１ａの内部を負圧状態とすることが可能となっている。本実施形態の吸引孔路１２ｂは、上述のとおり直径がＤ_３であり、深さがｔ２となっている。また、Ｚ方向における吸引孔路１２ｂの中心は、吸引孔１１ａの中心とほぼ一致している。

弾性部材１７は、吸引孔路１２ｂを貫通するように吸引流路１３ａに立設されるとともに、後述する可動栓１６を支持する機能を有している。弾性部材１７の具体例については、可動栓１６を移動可能に支持する限り特に制限はないが、本実施形態では金属製のコイルバネが例示できる。なお、弾性部材１７の直径は、吸引孔路１２ｂに挿入可能である限りにおいて特に制限はない。

また、弾性部材１７の高さについては、可動栓１６が吸引孔１１ａ内を移動して吸引孔路１２ｂを閉塞可能であれば特に制限はない。図３（ａ）に示すとおり、本実施形態の弾性部材１７は、弾性部材１７がＬだけ縮んだ場合に可動栓１６が吸引孔１１ａの底面に接触して吸引孔路１２ｂを閉塞する程度の高さを有している。
なお、図３（ｂ）に示すとおり、可動栓１６の底面にＯリングなどの密閉材１６ａを取り付けてもよい。これにより、吸引孔１１ａを介した吸引時に吸引漏れを抑制することが可能となる。

可動栓１６は、上述した負圧源による負圧の作用を受けて、吸引孔路１２ｂを閉塞する機能を有している。本実施形態においては、可動栓１６の直径は、Ｄ_２となっている。また、可動栓１６の高さ（Ｚ方向の厚み）は、吸引孔１１ａ内に収容されて当該吸引孔１１ａ内をＺ方向に移動可能であればよい。可動栓１６の材質については特に制限はないが、吸引孔路１２ｂを閉塞した際に密閉性を担保する観点からは、ゴムなどの樹脂材料が好適である。

なお本実施形態では、吸引孔１１ａの直径、吸引孔路１２ｂの直径および可動栓１６の直径は、以下の関係を有している。
Ｄ_１＞Ｄ_２＞Ｄ_３
すなわち、可動栓１６の直径は、吸引孔１１ａの直径よりも小さく、吸引孔路１２ｂの直径よりも大きい。

＜載置テーブル１０によるワークＷの吸着原理＞
次に図４を参照しながら、載置テーブル１０によるワークＷの吸着原理について説明する。ここで、図４（ａ）は吸引孔１１ａの上方でワークＷが載置されない場合を示し、図４（ｂ）は吸引孔１１ａの上方でワークＷが載置された場合を示している。

まずロボットハンドなどの公知の搬送装置（不図示）によってワークＷが載置テーブル１０に載置された後、制御装置３０は上記した負圧源を介して吸引動作を開始する。吸引動作が開始されると、吸引流路１３ａ、吸引孔路１２ｂおよび吸引孔１１ａ内が負圧状態となる。そして吸引孔１１ａ上にワークＷが載置されていない場合には、図４（ａ）に示すとおり、可動栓１６より内部の気圧が可動栓１６より外部の気圧より低くなることにより得られた差圧が可動栓１６を負圧側へ押圧し、弾性部材１７の反力に打ち勝ってＺ方向下側に向けて移動して吸引孔路１２ｂを閉塞する。なお、図４に示すとおり、可動栓１６の上面は、載置テーブル１０の上面よりも低い位置になるように設定されている。これにより、例えば吸引孔１１ａ上にワークＷが載置されたときに、ワークＷの底面と可動栓１６の上面との間に間隙が形成される。しかしながら本実施形態では上記例に限られず、ワークＷの底面と可動栓１６の上面とが接触するように、可動栓１６の上面と載置テーブル１０の上面とが面一となっていてもよい。

一方で吸引孔１１ａ上にワークＷが載置されている場合には、図４（ｂ）に示すとおり、ワークＷによって吸引孔１１ａが閉塞され、可動栓１６が外部より得ていた気圧はワークＷに掛かることになり、可動栓１６は差圧を得られなくなる。したがって、可動栓１６は弾性部材１７の反力に打ち勝てずＺ方向下側に向けて移動しないので、吸引流路１３ａ、吸引孔路１２ｂおよび吸引孔１１ａ内の負圧状態が維持される。これにより、ワークＷが載置テーブル１０の吸着孔１１に吸着固定され、ワークＷが載置テーブル１０に支持されることになる。
本実施形態では、上記した設計思想を満たすように弾性部材１７のバネ定数やバネストローク、あるいは可動栓１６の径や重量が設定されることになる。

以上説明した実施形態の載置テーブル１０によれば、装置規模を大型・複雑化させることなく制御装置３０による負圧発生の有無だけで、ワークＷを吸着して固定することが可能となっている。このとき載置テーブル１０のうちワークＷが載置されない吸引孔１１ａについては、可動栓１６が吸引孔路１２ｂを閉塞するので吸引孔１１ａへ外部（大気）から空気が流入してしまうことが抑制される。

このように本実施形態では、ワークＷの大きさに即した吸引孔１１ａだけ適正な負圧状態とすることができ、ワークＷの大きさによって吸引流路などの複雑な切り替えを行うことを要しない。換言すれば、本実施形態では、載置テーブル１０のうちワークＷが載置される領域の可動栓１６は吸引流路１２ｂを閉塞せずに吸引孔１１ａにおけるワークＷへの吸引力が維持されつつ、ワークＷが載置されない領域の可動栓１６は吸引流路１２ｂを閉塞するのでこの吸引孔１１ａからの真空漏れが抑制される。これにより、構造は簡易のままで様々なワークの形状に対応して吸着することが可能となっている。
また、本実施形態では、載置テーブル１０の領域内であればワークの形状を問わず、様々な外形のワークを載置テーブル１０に吸着することが可能となっている。
また、ワークの加工位置が載置テーブル１０の移動域内で自由に設定でき、吸着孔の位置を考慮せずに加工プログラムを自由に作成することもできる。

なお上記で説明した実施形態は、本発明の趣旨を逸脱しない範囲で種々の変形が可能である。
以下では、本発明の変形例について図を参照して説明する。なお、各変形例においては上記した実施形態との相違点について主として説明し、既述の実施形態と同じ構成あるいは同じ機能を有する要素については同じ符号を伏してその説明を省略する。

＜変形例１＞
図５は、フィルター部材１８を有する載置テーブル１０を示す。
上記した実施形態においては、載置テーブル１０に形成された吸引孔１１は開口されており、可動栓１６の上面が露出する形態となっていた。しかしながら本発明はこれに限定されず、吸引孔１１へ加工屑などが侵入することを抑制可能なフィルター部材１８が吸引孔１１に設置されていてもよい。

すなわち図５（ａ）に示すとおり、本変形例の載置テーブル１０は、各々の吸引孔１１の上端部に形成される凹部１９を備え、この凹部１９内には、吸引孔１１を覆うフィルター部材１８が配置されている。なお、フィルター部材１８としては、目視できる程度の加工屑が吸引孔１１内に侵入することを抑制可能であれば特に制限はなく、例えば多孔性の繊維やメッシュ状の金属など種々のフィルター材料が適用できる。また、上記した負圧源にも細かな加工屑を排除する機構があれば、載置テーブル１０に設けられるフィルター部材１８は、目が微細なものである必要は必ずしもない。

具体的な設置態様としては、図５（ｂ）に示すように、載置テーブル１０の吸引孔１１の中心をその中心として直径Ｄ_８で深さｔ３の凹部１９を形成し、その凹部１９内でフィルター部材１８の端部を固定すればよい。なお、凹部１９内でのフィルター部材１８の固定手法は特に制限はなく、例えば公知の接着剤やネジ等の締結手段を用いてもよい。なお、凹部１９の直径Ｄ_８の大きさは特に制限はなく、例えば可動栓１６の直径Ｄ_２よりも大きく設定すればよい。また、フィルター部材１８は平面方向のすべてで多孔性となっている必要は必ずしもなく、少なくとも吸引孔１１と可動栓１６の間の隙間に対向する領域が多孔性となっていればよい。

＜変形例２＞
図６は、吸引孔路１２ｂの変形例を示す図である。
例えば図３や図４に示すように、上記した例においては、弾性部材１７が吸引孔路１２ｂを貫通して、吸引流路１３ａに弾性部材１７の下部が配置されるように立設されている。
一方で、本変形例では、図６に示すように、弾性部材１７の下部が吸引流路１３ａに到達することなく、吸引孔路１２ｂの途中に設けられた凸部４０に配置されている。
弾性部材１７をこのように立設することにより、吸引時に弾性部材１７の位置ずれを引き起こすことがなく、ひいては吸引漏れを抑制することが可能となる。

＜変形例３＞
図７は、載置テーブル１０を天井面に設置し、ワークＷを吸引する場合の変形例を示す図である。
図７（ａ）に示すように、従来ワークを天井面に吸引する場合には、バキューム方式の吸盤等を使用して天井に吸引していたが、その場合には複数あるうちの一カ所の吸盤がワークから外れると、全体の吸引が解除されてワークが落下してしまうという問題があった。
図７（ｂ）に示すように、本発明の載置テーブル１０を使用して天井面にワークＷを吸引した場合、複数あるうちの一カ所の吸引孔１１の吸引が解除されたとしても、可動栓１６が吸引経路を閉塞するため、ワークＷの落下を防止することができるという利点がある。

本発明によれば、ワークＷの設置位置の自由度が向上し、吸引孔の位置を考慮せずに加工プログラムを作成することができるため好適である。また、載置テーブル１０の様々な場所で様々な形状のワークＷを形成することができる。また、載置テーブル１０を壁掛け方式にしてもワークＷは載置テーブル１０に吸引されているため、狭いスペースでも加工装置ＭでのワークＷの加工を実行することができる。

以上説明したように、本発明は、構造を簡易としつつも信頼性が高く安価な吸引機能付きの載置テーブルを実現するのに適している。

１０載置テーブル
１１吸引孔
１２上部板
１３中部板
１４ａ本体テーブル
１４ｂ本体ベース
１５吸引管
１６可動栓
１７弾性部材
１８フィルター部材
１９凹部
２０加工ヘッド
３０制御装置
Ｍ加工装置
Ｗワーク

Claims

第１の孔径を有して複数並んだ吸引孔を有し、
それぞれの前記吸引孔には、（ａ）前記第１の孔径よりも小径の吸引孔路が接続され、（ｂ）弾性部材が立設されるとともに、当該弾性部材の頂点には前記吸引孔路を閉塞可能な可動栓が配置され、
負圧源を介して前記吸引孔から吸引動作を行うとき、前記吸引孔上にワークが載置されていない場合には前記可動栓が吸引孔路を閉塞し、前記吸引孔上に前記ワークが載置されている場合には前記可動栓が吸引孔路を閉塞せずに前記ワークを吸着することを特徴とする載置テーブル。
前記載置テーブルは、各々の前記吸引孔の上端部に形成される凹部を備え、
前記凹部内には、前記吸引孔を覆うフィルター部材が配置されてなる請求項１に記載の載置テーブル。