JPS618250A - 真空吸着台 - Google Patents
真空吸着台Info
- Publication number
- JPS618250A JPS618250A JP12977384A JP12977384A JPS618250A JP S618250 A JPS618250 A JP S618250A JP 12977384 A JP12977384 A JP 12977384A JP 12977384 A JP12977384 A JP 12977384A JP S618250 A JPS618250 A JP S618250A
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- vacuum
- suction
- holes
- thin plate
- choked
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の技術分野〕
この発明は半導体ウェーハやガラスマスクなどの薄板体
を真空吸着して保持する真空吸着台に関するものである
。
を真空吸着して保持する真空吸着台に関するものである
。
半導体装ｖ１を製造する際に用いられるレジスト膜成膜
装置、スピンドライヤー、マスクアライナ−、ハターン
検査装置などには、半導体ウェーハやガラスマスクなど
の薄板体を真空吸着して保持する真空吸着台が使用され
ている。
装置、スピンドライヤー、マスクアライナ−、ハターン
検査装置などには、半導体ウェーハやガラスマスクなど
の薄板体を真空吸着して保持する真空吸着台が使用され
ている。
第１図（Ａ）は従来の真空吸着台の一例を示す平面図、
第１１ｉ１（Ｂ）は第１図（Ａ）の■Ｂ −ＪＢ線での
断面図である。
第１１ｉ１（Ｂ）は第１図（Ａ）の■Ｂ −ＪＢ線での
断面図である。
図にセいて、ｉｌｌ Ｉ／′ｉ真空吸着台の合板、（１
ａ）は円形状の横断面形状を有し台板（ｌｌの一方の主
面部に設けられた凹部、（２）は円形状の板状体からな
り一方の主面側が凹部（ム）の開目端部側を覆うように
合板（ＩＩＫ固着され真空吸着すべき薄板体（図示せず
）が他方の主面上に載置される吸着板、（２ａ）は１ｍ
ｍ程度の直径を有し吸着板（２）を貫通するように互ム
に直交するＸ方向およびＹ方向に複数個形成され吸着板
（２）の主面上に載置された薄板体（図示せず）を真空
゛吸着するための吸着孔、（３）け一方の端部が凹部（
１ｍ）の側壁を貫通してこの側壁に固着され他方゛の端
部が真空装置（図示°せず）に接続される゛ニップルで
ある。 ゛ 次に、この従来例の動作を第２図体）および（Ｂ）に示
す断面図について説明する。
ａ）は円形状の横断面形状を有し台板（ｌｌの一方の主
面部に設けられた凹部、（２）は円形状の板状体からな
り一方の主面側が凹部（ム）の開目端部側を覆うように
合板（ＩＩＫ固着され真空吸着すべき薄板体（図示せず
）が他方の主面上に載置される吸着板、（２ａ）は１ｍ
ｍ程度の直径を有し吸着板（２）を貫通するように互ム
に直交するＸ方向およびＹ方向に複数個形成され吸着板
（２）の主面上に載置された薄板体（図示せず）を真空
゛吸着するための吸着孔、（３）け一方の端部が凹部（
１ｍ）の側壁を貫通してこの側壁に固着され他方゛の端
部が真空装置（図示°せず）に接続される゛ニップルで
ある。 ゛ 次に、この従来例の動作を第２図体）および（Ｂ）に示
す断面図について説明する。
第２図体）に示すように、吸着板（２）の主面上に全部
の吸着孔（２ａ）をふさぐことができる横断形状を有す
る薄板体（ｔ−ＣＸ−）が載置され次場合には、凹部（
］Ａ）内ｔニップル（３）を通して真空にすることがで
きるので、吸着板（２）の主面上に薄板体（５０ａ）を
真空吸着して保持することができる。
の吸着孔（２ａ）をふさぐことができる横断形状を有す
る薄板体（ｔ−ＣＸ−）が載置され次場合には、凹部（
］Ａ）内ｔニップル（３）を通して真空にすることがで
きるので、吸着板（２）の主面上に薄板体（５０ａ）を
真空吸着して保持することができる。
しかし、第２図の）に示すように、吸着板（２）の主面
上に全部の吸着孔（２ａ）をふさぐことができない横断
面状を有する薄板体（ａｏｂ）が載置された場合には、
薄板体（５ｏｂ）によってふさがれていない吸着孔（２
！Ｌ）を通して外気が凹ｍ （ｌａ）内に流入し、凹部
（ｌａ）内の真空状態が悪くなるので、吸着板（２）の
主面上に載置され友薄板体（ａｏｂ）を真空吸着して保
持するのが不可能であるという欠点があった。
上に全部の吸着孔（２ａ）をふさぐことができない横断
面状を有する薄板体（ａｏｂ）が載置された場合には、
薄板体（５ｏｂ）によってふさがれていない吸着孔（２
！Ｌ）を通して外気が凹ｍ （ｌａ）内に流入し、凹部
（ｌａ）内の真空状態が悪くなるので、吸着板（２）の
主面上に載置され友薄板体（ａｏｂ）を真空吸着して保
持するのが不可能であるという欠点があった。
この発明け、かかる欠点を除去する几めになされたもの
で、薄板体を真空吸着する吸着板の吸着孔の全部にそれ
ぞれ吸着孔に連通し吸着孔が薄板体によってふさがれて
いる時には開放状態になり、ふさがれていない時には吸
着孔を通して流入する外気によって閉鎖状態になる弁を
設けることによって、吸着孔の全部をふさぐことができ
ない横断面形状を有する薄板体を真空吸着して保持でき
るようにした真空吸着台を提供するものである。
で、薄板体を真空吸着する吸着板の吸着孔の全部にそれ
ぞれ吸着孔に連通し吸着孔が薄板体によってふさがれて
いる時には開放状態になり、ふさがれていない時には吸
着孔を通して流入する外気によって閉鎖状態になる弁を
設けることによって、吸着孔の全部をふさぐことができ
ない横断面形状を有する薄板体を真空吸着して保持でき
るようにした真空吸着台を提供するものである。
第３図はこの発明による真空吸着台の一実施例を示す第
１図（蜀のＩＢ−ＩＢ線に対応する線での断面図である
。
１図（蜀のＩＢ−ＩＢ線に対応する線での断面図である
。
図において、第１図に示した符号と同一符号は同等部分
を示す。（１）は第１図に示した吸着板（２）に対応す
る吸着板、（２０ａ）は第１図に示した吸着孔（２ａ）
に対応する吸着孔、日は吸着板（１）の裏面に吸着板−
と重なり合うように固着され吸着孔（筬）の全部にそれ
ぞれ吸着孔（２０ａ）に連通し吸着孔（亦）を通して流
入する外気によって閉鎖状態になるボール弁が形成され
るボール弁形成板、＠けボール弁形成板に）の吸着板−
と接する表面部に形成され吸着孔（２０−）の外側に吸
着孔（為）の軸線に沿う軸線を有し吸着孔（２０ａ）の
直径より長い半径の円筒状の第１の凹部（ｍ）と、第１
の凹部（ａ２ａ）に連続して形成され第１の凹部（２２
ａ）の軸線を軸線にし第１の凹部（ａ２ａ）の半径より
短かい半径を有する円筒状の第２の凹部（２２ｂ）と、
第２の凹部（２２′ｂ）に連続して形成され第２の１凹
部（２２ｂ）の軸線を軸線にし、第２の凹部（２２１）
）の半径より短かい半径を有する貫通孔（２２０）とか
らなシ内部にボール弁が構成される弁室、６１は第１の
凹部（２２ａ）の底面上に第２の凹部（２２ｂ）を閉鎖
しないように設けられたＯリング（２３ａ）と、第１の
凹＃ （２２ａ）内に挿入されＯりング（２３ａ）に当
接して第２の凹５（２２ｂ）を閉鎖できるボール（ｍ）
と、一方の端部がボール（２３１））に当接し他方の端
部がＯりング（２３ａ）の内側を通って第２の凹部（２
２ｂ）の底面に当接しボール（２３ｂ）を押し上げてＯ
リング（２３ａ）、とボールＣ２３ｂ＞との間にすき間
がてきるようにするスプリング（２３０）とで構成され
たボール弁である。なお。
を示す。（１）は第１図に示した吸着板（２）に対応す
る吸着板、（２０ａ）は第１図に示した吸着孔（２ａ）
に対応する吸着孔、日は吸着板（１）の裏面に吸着板−
と重なり合うように固着され吸着孔（筬）の全部にそれ
ぞれ吸着孔（２０ａ）に連通し吸着孔（亦）を通して流
入する外気によって閉鎖状態になるボール弁が形成され
るボール弁形成板、＠けボール弁形成板に）の吸着板−
と接する表面部に形成され吸着孔（２０−）の外側に吸
着孔（為）の軸線に沿う軸線を有し吸着孔（２０ａ）の
直径より長い半径の円筒状の第１の凹部（ｍ）と、第１
の凹部（ａ２ａ）に連続して形成され第１の凹部（２２
ａ）の軸線を軸線にし第１の凹部（ａ２ａ）の半径より
短かい半径を有する円筒状の第２の凹部（２２ｂ）と、
第２の凹部（２２′ｂ）に連続して形成され第２の１凹
部（２２ｂ）の軸線を軸線にし、第２の凹部（２２１）
）の半径より短かい半径を有する貫通孔（２２０）とか
らなシ内部にボール弁が構成される弁室、６１は第１の
凹部（２２ａ）の底面上に第２の凹部（２２ｂ）を閉鎖
しないように設けられたＯリング（２３ａ）と、第１の
凹＃ （２２ａ）内に挿入されＯりング（２３ａ）に当
接して第２の凹５（２２ｂ）を閉鎖できるボール（ｍ）
と、一方の端部がボール（２３１））に当接し他方の端
部がＯりング（２３ａ）の内側を通って第２の凹部（２
２ｂ）の底面に当接しボール（２３ｂ）を押し上げてＯ
リング（２３ａ）、とボールＣ２３ｂ＞との間にすき間
がてきるようにするスプリング（２３０）とで構成され
たボール弁である。なお。
ボール弁形成板（２）の貫通孔（２２Ｇ）側の外周部が
合板（１１の凹＊ （ｋ）の側壁の開口側の端部に固着
されている。
合板（１１の凹＊ （ｋ）の側壁の開口側の端部に固着
されている。
次に、この実施例の動作を第４図体）および（Ｂ）に示
す要部拡大断面図について説明する。
す要部拡大断面図について説明する。
第４図体）に示すように、吸着板−の主面上に載置され
次薄板体−によって吸着孔（２ｏｌＬ）がふさがれてい
る場合には、ボール（２３ｂ）にスプリング（２ｒ！ｔ
３）のばね圧にさからって押し下げる力が作用しτ“ なめのき、貫通孔（２２Ｇ） 、 Ｏリング（筬）とボ
ール（２３１））との間のすき間セよび吸着孔（２ＤＩ
Ｌ）を通して薄板体−を真空吸着することができる。一
方、第４図俤）に示すように、吸着板（ホ）の主面上に
載置され友薄板体輪によって吸着孔（２ｏａ）がふさが
れていない場合には、吸着孔（為）を通して第１の凹部
（２２ａ）内へ流入する外気の圧力によって、ボール（
２Ｓｂ）が０リング（２３ａ）へ押し付けられて外気の
流路を閉鎖するので、第３図に示した合板（１１の凹部
（ハ）内の真空状態が悪くなることはない。
次薄板体−によって吸着孔（２ｏｌＬ）がふさがれてい
る場合には、ボール（２３ｂ）にスプリング（２ｒ！ｔ
３）のばね圧にさからって押し下げる力が作用しτ“ なめのき、貫通孔（２２Ｇ） 、 Ｏリング（筬）とボ
ール（２３１））との間のすき間セよび吸着孔（２ＤＩ
Ｌ）を通して薄板体−を真空吸着することができる。一
方、第４図俤）に示すように、吸着板（ホ）の主面上に
載置され友薄板体輪によって吸着孔（２ｏａ）がふさが
れていない場合には、吸着孔（為）を通して第１の凹部
（２２ａ）内へ流入する外気の圧力によって、ボール（
２Ｓｂ）が０リング（２３ａ）へ押し付けられて外気の
流路を閉鎖するので、第３図に示した合板（１１の凹部
（ハ）内の真空状態が悪くなることはない。
従って、この実施例では、吸着板（ホ）の主面上に全部
の吸着孔（２０ａ）をふさぐことができない横断面形状
を有する薄板体が載置され几場合においても、この薄板
体を真空吸着して保持することができる。
の吸着孔（２０ａ）をふさぐことができない横断面形状
を有する薄板体が載置され几場合においても、この薄板
体を真空吸着して保持することができる。
なセ、この実施例では、ボール弁（４）を用いる場合に
ついて述べ皮が、この発明はこれに限らず、ニードル弁
などのその他の弁を用いる場合にも適用することができ
る。
ついて述べ皮が、この発明はこれに限らず、ニードル弁
などのその他の弁を用いる場合にも適用することができ
る。
以上説明し友ように、この発明の真空吸着台では、薄板
体を真空吸着する吸着板の吸着孔の全部にそれぞれ吸着
孔に連通し吸着孔が薄板体によってふさがれている時に
は開放状態になり、ふさがれていない時には吸着孔を通
して流入する外気によって閉鎖状態になる弁を設けたの
で、吸着孔の全部をふさぐことができない横断面形状を
有する薄板体を真空吸着することができる。
体を真空吸着する吸着板の吸着孔の全部にそれぞれ吸着
孔に連通し吸着孔が薄板体によってふさがれている時に
は開放状態になり、ふさがれていない時には吸着孔を通
して流入する外気によって閉鎖状態になる弁を設けたの
で、吸着孔の全部をふさぐことができない横断面形状を
有する薄板体を真空吸着することができる。
第１図（Ａ）は従来の真空吸着台の一例を示す平面図、
第１図（Ｂ）は第上図（（転）の■Ｂ −ＩＢ線での断
面図、第２図はこの従来例の動作を説明するｔめの断面
図、第３図はこの発明による真空吸着台の一実施例を示
す第１図（Ａ）の■Ｂ −ｉＢ線に対応する線での断面
図、第４図はこの実施例の動作を説明するための要部拡
大断面図である。 図において、（イ）は吸着板、（２Ｏａ）は吸着孔、翰
はボール弁、（２３ａ）、 （２３ｂ）および（２３ｃ
）はそれぞれボール弁（ト）を構成するＯリング１．ポ
ールおよびスプリング、１４． （５０ａ）および（５
０ｃ） ｎ薄板体である。 な＄、図中同一符号はそれぞれ同一または相当部分を示
す。
第１図（Ｂ）は第上図（（転）の■Ｂ −ＩＢ線での断
面図、第２図はこの従来例の動作を説明するｔめの断面
図、第３図はこの発明による真空吸着台の一実施例を示
す第１図（Ａ）の■Ｂ −ｉＢ線に対応する線での断面
図、第４図はこの実施例の動作を説明するための要部拡
大断面図である。 図において、（イ）は吸着板、（２Ｏａ）は吸着孔、翰
はボール弁、（２３ａ）、 （２３ｂ）および（２３ｃ
）はそれぞれボール弁（ト）を構成するＯリング１．ポ
ールおよびスプリング、１４． （５０ａ）および（５
０ｃ） ｎ薄板体である。 な＄、図中同一符号はそれぞれ同一または相当部分を示
す。
Claims (2)
- （１）薄板体を真空吸着する複数個の吸着孔が形成され
た吸着板を有するものにおいて、上記吸着孔の全部にそ
れぞれ上記吸着孔に連通し上記吸着孔が上記薄板体によ
つてふさがれている時には開放状態になり、ふさがれて
いない時には上記吸着孔を通して流入する外気によつて
閉鎖状態になる弁が設けられたことを特徴とする真空吸
着台。 - （２）弁がボール弁であることを特徴とする特許請求の
範囲第１項記載の真空吸着台。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12977384A JPS618250A (ja) | 1984-06-23 | 1984-06-23 | 真空吸着台 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12977384A JPS618250A (ja) | 1984-06-23 | 1984-06-23 | 真空吸着台 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS618250A true JPS618250A (ja) | 1986-01-14 |
| JPH0372423B2 JPH0372423B2 (ja) | 1991-11-18 |
Family
ID=15017852
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP12977384A Granted JPS618250A (ja) | 1984-06-23 | 1984-06-23 | 真空吸着台 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS618250A (ja) |
Cited By (14)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5993939A (ja) * | 1982-11-19 | 1984-05-30 | Toyota Motor Corp | 内燃機関のノツキング制御装置 |
| JPS62175994U (ja) * | 1986-04-30 | 1987-11-09 | ||
| JPH03255984A (ja) * | 1989-12-14 | 1991-11-14 | Abb Atom Ab | 沸騰水型原子炉の燃料集合体 |
| JPH0425335A (ja) * | 1990-05-17 | 1992-01-29 | Fsk Corp | 物体の保持方法 |
| JPH0490946U (ja) * | 1990-12-26 | 1992-08-07 | ||
| JPH04281374A (ja) * | 1991-03-07 | 1992-10-06 | Sadayuki Ueha | 超音波モータの駆動制御方法 |
| JPH04125536U (ja) * | 1991-05-08 | 1992-11-16 | 株式会社エフエスケー | 真空チヤツク |
| JPH081464A (ja) * | 1992-06-17 | 1996-01-09 | Shibayama Kikai Kk | ユニバーサルチャック機構の自動切換装置 |
| JP2008260071A (ja) * | 2007-04-10 | 2008-10-30 | Kurenooton Kk | 真空吸着盤 |
| CN102862014A (zh) * | 2012-09-26 | 2013-01-09 | 张家港市江城冶化科技有限公司 | 不锈钢阴极板自动焊机用阴极板固定装置 |
| JP2015103682A (ja) * | 2013-11-26 | 2015-06-04 | コマツＮｔｃ株式会社 | ユニバーサルチャック装置 |
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| WO2019065355A1 (ja) * | 2017-09-28 | 2019-04-04 | 株式会社新川 | 吸着ステージ |
| CN111015308A (zh) * | 2019-12-10 | 2020-04-17 | 首都航天机械有限公司 | 一种数控机床用自动柔性镜像装夹减振装置 |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS50125895U (ja) * | 1974-03-29 | 1975-10-15 |
-
1984
- 1984-06-23 JP JP12977384A patent/JPS618250A/ja active Granted
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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| JPS50125895U (ja) * | 1974-03-29 | 1975-10-15 |
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| JPH03255984A (ja) * | 1989-12-14 | 1991-11-14 | Abb Atom Ab | 沸騰水型原子炉の燃料集合体 |
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| JP2018079545A (ja) * | 2016-11-17 | 2018-05-24 | 株式会社 動研 | 吸着機能を備えた載置テーブル |
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| CN111015308A (zh) * | 2019-12-10 | 2020-04-17 | 首都航天机械有限公司 | 一种数控机床用自动柔性镜像装夹减振装置 |
| CN111015308B (zh) * | 2019-12-10 | 2021-11-02 | 首都航天机械有限公司 | 一种数控机床用自动柔性镜像装夹减振装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0372423B2 (ja) | 1991-11-18 |
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