JPH08143147A - 薄板状ワークの吸着装置 - Google Patents
薄板状ワークの吸着装置Info
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- JPH08143147A JPH08143147A JP28546094A JP28546094A JPH08143147A JP H08143147 A JPH08143147 A JP H08143147A JP 28546094 A JP28546094 A JP 28546094A JP 28546094 A JP28546094 A JP 28546094A JP H08143147 A JPH08143147 A JP H08143147A
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- Japan
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- suction
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- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
- B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
- B65G49/00—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for
- B65G49/05—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for for fragile or damageable materials or articles
- B65G49/06—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for for fragile or damageable materials or articles for fragile sheets, e.g. glass
- B65G49/061—Lifting, gripping, or carrying means, for one or more sheets forming independent means of transport, e.g. suction cups, transport frames
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
- B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
- B65G2249/00—Aspects relating to conveying systems for the manufacture of fragile sheets
- B65G2249/04—Arrangements of vacuum systems or suction cups
- B65G2249/045—Details of suction cups suction cups
Abstract
(57)【要約】
【目的】 ガラス基板等の薄板状ワークをハンド上で吸
着保持する際、薄板状ワークが変形していても確実に吸
着保持することができる薄板状ワークの吸着装置を提供
すること。 【構成】 吸着具１７、ハンド１、及び、支持ゴム１５
を備える。吸着具１７は、ガラス基板の下面に当接する
上端面１７ａに吸気流路１８が開口する筒形状としてい
る。ハンド１は、吸着具１７を収納するとともに真空ポ
ンプＶに接続される収納孔８を上面１ａ側に備える。支
持ゴム１５は、収納孔８の内周面全周から吸着具１７の
外周面全周に連結され、吸着具上端面１７ａをハンド上
面１ａから突出させるように吸着具１７を保持する環状
体としている。
着保持する際、薄板状ワークが変形していても確実に吸
着保持することができる薄板状ワークの吸着装置を提供
すること。 【構成】 吸着具１７、ハンド１、及び、支持ゴム１５
を備える。吸着具１７は、ガラス基板の下面に当接する
上端面１７ａに吸気流路１８が開口する筒形状としてい
る。ハンド１は、吸着具１７を収納するとともに真空ポ
ンプＶに接続される収納孔８を上面１ａ側に備える。支
持ゴム１５は、収納孔８の内周面全周から吸着具１７の
外周面全周に連結され、吸着具上端面１７ａをハンド上
面１ａから突出させるように吸着具１７を保持する環状
体としている。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、液晶パネルに使用され
るガラス基板等の薄板状ワークを移送する際、薄板状ワ
ークを吸着して保持する吸着装置に関する。
るガラス基板等の薄板状ワークを移送する際、薄板状ワ
ークを吸着して保持する吸着装置に関する。
【０００２】
【従来の技術とその課題】従来、液晶パネルに使用され
るガラス基板を、加工部位から収納部位である収納カセ
ットへ移送したり、あるいは、収納カセットから所定の
加工部位等へ移送する場合には、板状のハンドの上面側
に所定数の吸着具を配置させた吸着装置を利用し、ガラ
ス基板をハンド上に載置させるとともに吸着具に吸着保
持させ、ハンドを移動させることにより、ガラス基板を
移送していた。
るガラス基板を、加工部位から収納部位である収納カセ
ットへ移送したり、あるいは、収納カセットから所定の
加工部位等へ移送する場合には、板状のハンドの上面側
に所定数の吸着具を配置させた吸着装置を利用し、ガラ
ス基板をハンド上に載置させるとともに吸着具に吸着保
持させ、ハンドを移動させることにより、ガラス基板を
移送していた。
【０００３】吸着装置の吸着具は、ガラス基板に当接す
る上端面に吸気流路を開口させ、ハンドは、吸着具を収
納する収納孔を備えていた。収納孔は、負圧源に接続さ
れていた。
る上端面に吸気流路を開口させ、ハンドは、吸着具を収
納する収納孔を備えていた。収納孔は、負圧源に接続さ
れていた。
【０００４】しかし、従来の吸着装置では、吸着具がハ
ンドに移動不能に取付固定されていたため、ガラス基板
等の薄板状ワークが熱処理等の加工を経て反り等を生じ
させて変形している場合には、適確に、薄板状ワークを
吸着具に吸着させることができず、薄板状ワークがハン
ド上でずれて破損等してしまう場合があった。
ンドに移動不能に取付固定されていたため、ガラス基板
等の薄板状ワークが熱処理等の加工を経て反り等を生じ
させて変形している場合には、適確に、薄板状ワークを
吸着具に吸着させることができず、薄板状ワークがハン
ド上でずれて破損等してしまう場合があった。
【０００５】本発明は、上述の課題を解決するものであ
り、ガラス基板等の薄板状ワークをハンド上で吸着保持
する際、薄板状ワークが変形していても確実に吸着保持
することができる薄板状ワークの吸着装置を提供するこ
とを目的とする。
り、ガラス基板等の薄板状ワークをハンド上で吸着保持
する際、薄板状ワークが変形していても確実に吸着保持
することができる薄板状ワークの吸着装置を提供するこ
とを目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】本発明に係る薄板状ワー
クの吸着装置は、薄板状ワークを負圧を利用して吸着保
持する薄板状ワークの吸着装置であって、前記薄板状ワ
ーク下面に当接する上端面に吸気流路が開口する筒状の
吸着具と、該吸着具を収納するとともに負圧源に接続さ
れる収納孔を上面側に備えたハンドと、前記収納孔内周
面全周から前記吸着具の外周面全周に連結され、前記吸
着具上端面を前記ハンド上面から突出させるように前記
吸着具を保持する環状の支持ゴムと、を備えて構成され
ていることを特徴とする。
クの吸着装置は、薄板状ワークを負圧を利用して吸着保
持する薄板状ワークの吸着装置であって、前記薄板状ワ
ーク下面に当接する上端面に吸気流路が開口する筒状の
吸着具と、該吸着具を収納するとともに負圧源に接続さ
れる収納孔を上面側に備えたハンドと、前記収納孔内周
面全周から前記吸着具の外周面全周に連結され、前記吸
着具上端面を前記ハンド上面から突出させるように前記
吸着具を保持する環状の支持ゴムと、を備えて構成され
ていることを特徴とする。
【０００７】前記ハンド上面の前記収納孔周縁には、前
記ハンド上面から突出した前記吸着具の上端面より低い
高さとなる厚さのゴムシートを固着させたり、前記吸着
具の上端面における前記吸気流路の開口形状を長円形と
しても良い。
記ハンド上面から突出した前記吸着具の上端面より低い
高さとなる厚さのゴムシートを固着させたり、前記吸着
具の上端面における前記吸気流路の開口形状を長円形と
しても良い。
【０００８】
【発明の作用・効果】本発明に係る吸着装置では、吸着
具が、その上端面をハンド上面から突出させた状態とし
て、環状の支持ゴムを間にして、ハンドの収納孔内に保
持されている。
具が、その上端面をハンド上面から突出させた状態とし
て、環状の支持ゴムを間にして、ハンドの収納孔内に保
持されている。
【０００９】そのため、薄板状ワークが変形していて
も、吸着具の上端面がハンド上面から突出している距離
分、支持ゴムが撓んで、変形分を吸収することが可能と
なり、ハンド上に薄板状ワークを載置した際、吸着具の
上端面が、支持ゴムを撓ませつつ、薄板状ワークの重さ
で下降するとともに、薄板状ワーク下面に適確に当接す
ることとなって、薄板状ワークを確実に吸着保持するこ
とができ、ハンド上の薄板状ワークをずらすことなく移
送できることとなる。
も、吸着具の上端面がハンド上面から突出している距離
分、支持ゴムが撓んで、変形分を吸収することが可能と
なり、ハンド上に薄板状ワークを載置した際、吸着具の
上端面が、支持ゴムを撓ませつつ、薄板状ワークの重さ
で下降するとともに、薄板状ワーク下面に適確に当接す
ることとなって、薄板状ワークを確実に吸着保持するこ
とができ、ハンド上の薄板状ワークをずらすことなく移
送できることとなる。
【００１０】また、ハンド上面の収納孔周縁に、ハンド
上面から突出した吸着具の上端面より低い高さとなる厚
さのゴムシートを固着させれば、薄板状ワークを吸着す
る際には、吸着具が薄板状ワークの重さで下降し、ゴム
シート上面に薄板状ワーク下面が当接するため、ゴムシ
ートが摩擦抵抗を発揮し、薄板状ワークの位置ずれを一
層防止できることとなる。
上面から突出した吸着具の上端面より低い高さとなる厚
さのゴムシートを固着させれば、薄板状ワークを吸着す
る際には、吸着具が薄板状ワークの重さで下降し、ゴム
シート上面に薄板状ワーク下面が当接するため、ゴムシ
ートが摩擦抵抗を発揮し、薄板状ワークの位置ずれを一
層防止できることとなる。
【００１１】さらに、吸着具の上端面における吸気流路
の開口形状を長円形とする場合には、薄板状ワークの吸
着部位に幅を狭くする制限がある場合に、吸着部分が細
長い長円形としているため、吸着面積を確保して、狭い
幅の吸着部位に対応させることができることから、吸着
部位に制限のある薄板状ワークを適確に吸着保持するこ
とができる。
の開口形状を長円形とする場合には、薄板状ワークの吸
着部位に幅を狭くする制限がある場合に、吸着部分が細
長い長円形としているため、吸着面積を確保して、狭い
幅の吸着部位に対応させることができることから、吸着
部位に制限のある薄板状ワークを適確に吸着保持するこ
とができる。
【００１２】
【実施例】以下、本発明の一実施例を図面に基づいて説
明する。
明する。
【００１３】図１・２に示す実施例の吸着装置Ｍ１は、
薄板状ワークとしてのガラス基板Ｗを吸着保持するもの
であり、平板状のハンド１と、ハンド１の３箇所に配置
される吸着具１７と、を備えて構成されている。
薄板状ワークとしてのガラス基板Ｗを吸着保持するもの
であり、平板状のハンド１と、ハンド１の３箇所に配置
される吸着具１７と、を備えて構成されている。
【００１４】ハンド１は、図示しない駆動装置によっ
て、上下移動・旋回移動・水平移動し、ガラス基板Ｗを
所定位置まで移送できるように、図示しないアームに保
持されている。
て、上下移動・旋回移動・水平移動し、ガラス基板Ｗを
所定位置まで移送できるように、図示しないアームに保
持されている。
【００１５】ハンド１は、実施例の場合、本体２と、本
体２の３箇所に設けられた凹部３の部位にねじ１２によ
って各々取付固定される取付板７と、から構成され、本
体２は、凹部３部位に、真空ポンプＶに接続される通気
孔４を開口させており、真空ポンプＶの作動時に、凹部
３内を負圧状態にできるように構成されている。なお、
５は、ねじ１２に対応したねじ孔である。
体２の３箇所に設けられた凹部３の部位にねじ１２によ
って各々取付固定される取付板７と、から構成され、本
体２は、凹部３部位に、真空ポンプＶに接続される通気
孔４を開口させており、真空ポンプＶの作動時に、凹部
３内を負圧状態にできるように構成されている。なお、
５は、ねじ１２に対応したねじ孔である。
【００１６】各取付板７は、吸着具１７を収納可能な収
納孔８を上下方向に貫通させ、上部に配置される円板部
９と、円板部９の下面に突設される円筒状の筒部１０
と、を備えて構成されている。円板部９には、取付板７
をハンド本体２に取付固定する際のねじ１２を挿通させ
る取付孔９ａが穿設されるとともに、下面に、Ｏリング
１３を配設する凹溝９ｂが形成されている。また、円板
部９における収納孔８内周面側の上部には、係止突起９
ｃが突設されている。筒部１０における収納孔８内周面
側の下部全周には、嵌合溝１０ａが形成されている。
納孔８を上下方向に貫通させ、上部に配置される円板部
９と、円板部９の下面に突設される円筒状の筒部１０
と、を備えて構成されている。円板部９には、取付板７
をハンド本体２に取付固定する際のねじ１２を挿通させ
る取付孔９ａが穿設されるとともに、下面に、Ｏリング
１３を配設する凹溝９ｂが形成されている。また、円板
部９における収納孔８内周面側の上部には、係止突起９
ｃが突設されている。筒部１０における収納孔８内周面
側の下部全周には、嵌合溝１０ａが形成されている。
【００１７】各吸着具１７は、吸気流路としての貫通孔
１８を上下方向に貫通させる略円筒形状として、エンジ
ニアプラスチック等の合成樹脂から形成され、筒部１９
と、筒部１９の上部から半径方向に突出する鍔部２０
と、を備えて構成されている。
１８を上下方向に貫通させる略円筒形状として、エンジ
ニアプラスチック等の合成樹脂から形成され、筒部１９
と、筒部１９の上部から半径方向に突出する鍔部２０
と、を備えて構成されている。
【００１８】筒部１９における貫通孔１８内周面側上部
の内周縁全周には、凹溝１９ａが形成されて、吸気流路
としての貫通孔１８の開口部１８ａを大きくしている。
また、筒部１９の外周面の下部全周には、嵌合溝１９ｂ
が形成されている。
の内周縁全周には、凹溝１９ａが形成されて、吸気流路
としての貫通孔１８の開口部１８ａを大きくしている。
また、筒部１９の外周面の下部全周には、嵌合溝１９ｂ
が形成されている。
【００１９】鍔部２０の外周面の下部には、係止突起２
０ａが突設されている。この係止突起２０ａは、その外
径寸法を取付板円板部９の係止突起９ｃの内径寸法より
大きくしている。
０ａが突設されている。この係止突起２０ａは、その外
径寸法を取付板円板部９の係止突起９ｃの内径寸法より
大きくしている。
【００２０】これらの吸着具１７は、それぞれ、取付板
７の収納孔８内で、支持ゴム１５によって保持されてい
る。支持ゴム１５は、シリコンゴム等のゴムから円環状
に形成され、内・外周縁を厚肉の嵌合部１５ａ・１５ｂ
として、嵌合部１５ａ・１５ｂの中間部位を薄肉部１５
ｃとしている。嵌合部１５ａは、吸着具１７の筒部１９
における嵌合溝１９ｂに嵌合され、嵌合部１５ｂは、取
付板７の筒部１０の嵌合溝１０ａに嵌合されることとな
る。
７の収納孔８内で、支持ゴム１５によって保持されてい
る。支持ゴム１５は、シリコンゴム等のゴムから円環状
に形成され、内・外周縁を厚肉の嵌合部１５ａ・１５ｂ
として、嵌合部１５ａ・１５ｂの中間部位を薄肉部１５
ｃとしている。嵌合部１５ａは、吸着具１７の筒部１９
における嵌合溝１９ｂに嵌合され、嵌合部１５ｂは、取
付板７の筒部１０の嵌合溝１０ａに嵌合されることとな
る。
【００２１】そして、支持ゴム１５によって、各吸着具
１７は、吸着具１７の上端面１７ａを取付板７の上面７
ａ（ハンド１の上面１ａ）から１mm程度突出させるよう
に保持されることとなる。なお、実施例の場合には、取
付板７の上面７ａからの吸着具上端面１７ａの突出量ｈ
は、吸着具１７の係止突起２０ａが取付板７の係止突起
９ｃに係止されることにより規制されている。
１７は、吸着具１７の上端面１７ａを取付板７の上面７
ａ（ハンド１の上面１ａ）から１mm程度突出させるよう
に保持されることとなる。なお、実施例の場合には、取
付板７の上面７ａからの吸着具上端面１７ａの突出量ｈ
は、吸着具１７の係止突起２０ａが取付板７の係止突起
９ｃに係止されることにより規制されている。
【００２２】この実施例の吸着装置Ｍ１では、ガラス基
板Ｗを搬送する際に、ガラス基板Ｗをハンド１上に載置
させれば、各吸着具１７が、その上端面１７ａをハンド
上面１ａから突出させた状態として、円環状の支持ゴム
１５を間にして、ハンド１の収納孔８内に保持されてい
る。そのため、図３に示すように、ガラス基板Ｗが反り
等で変形していても、吸着具１７の上端面１７ａが、支
持ゴム１５を撓ませつつ、ガラス基板Ｗの重さで傾斜等
しつつ下降して、ガラス基板Ｗの下面に適確に当接する
こととなる。
板Ｗを搬送する際に、ガラス基板Ｗをハンド１上に載置
させれば、各吸着具１７が、その上端面１７ａをハンド
上面１ａから突出させた状態として、円環状の支持ゴム
１５を間にして、ハンド１の収納孔８内に保持されてい
る。そのため、図３に示すように、ガラス基板Ｗが反り
等で変形していても、吸着具１７の上端面１７ａが、支
持ゴム１５を撓ませつつ、ガラス基板Ｗの重さで傾斜等
しつつ下降して、ガラス基板Ｗの下面に適確に当接する
こととなる。
【００２３】したがって、真空ポンプＶを作動させて、
通気孔４・収納孔８・吸気流路１８内を負圧状態にすれ
ば、各吸着具１７が適確に変形したガラス基板Ｗを吸着
保持することとなって、ハンド１が移動しても、位置ず
れを発生させることなく、ガラス基板Ｗを移送すること
ができる。
通気孔４・収納孔８・吸気流路１８内を負圧状態にすれ
ば、各吸着具１７が適確に変形したガラス基板Ｗを吸着
保持することとなって、ハンド１が移動しても、位置ず
れを発生させることなく、ガラス基板Ｗを移送すること
ができる。
【００２４】なお、図４に示すように、ハンド取付板７
の上面７ａにおける収納孔８周縁に、ハンド上面１ａか
ら突出した吸着具１７の上端面１７ａより低い高さとな
る厚さの円環状のゴムシート２２を固着させるようにし
ても良い。この場合の吸着装置Ｍ２では、変形したガラ
ス基板Ｗを吸着する際には、吸着具１７がガラス基板Ｗ
の重さで下降し、ゴムシート２２の上面２２ａにガラス
基板Ｗの下面が当接するため、ゴムシート２２が摩擦抵
抗を発揮し、ガラス基板Ｗの位置ずれを一層防止できる
こととなる。
の上面７ａにおける収納孔８周縁に、ハンド上面１ａか
ら突出した吸着具１７の上端面１７ａより低い高さとな
る厚さの円環状のゴムシート２２を固着させるようにし
ても良い。この場合の吸着装置Ｍ２では、変形したガラ
ス基板Ｗを吸着する際には、吸着具１７がガラス基板Ｗ
の重さで下降し、ゴムシート２２の上面２２ａにガラス
基板Ｗの下面が当接するため、ゴムシート２２が摩擦抵
抗を発揮し、ガラス基板Ｗの位置ずれを一層防止できる
こととなる。
【００２５】また、この吸着装置Ｍ２では、支持ゴム１
５の嵌合部１５ｂを薄肉として薄肉部１５ｃを長くし、
支持具１７が移動し易く構成しており、このように構成
しても良い。
５の嵌合部１５ｂを薄肉として薄肉部１５ｃを長くし、
支持具１７が移動し易く構成しており、このように構成
しても良い。
【００２６】さらに、図５〜７に示すように、吸着具１
７の上端面１７ａにおける吸気流路１８の開口部１８ａ
の形状を長円形とするように構成しても良い。この吸着
装置Ｍ３では、図８に示すように、ガラス基板Ｗの表面
のパーティクル検査を行なう等のガラス基板Ｗの吸着部
位Ａに幅を狭くする制限がある場合に、吸着部分である
吸気流路開口部１８ａが細長い長円形としているため、
吸着面積を確保して、狭い幅の吸着部位Ａに対応させる
ことができることから、吸着部位Ａに制限のあるガラス
基板Ｗを適確に吸着保持することができる。
７の上端面１７ａにおける吸気流路１８の開口部１８ａ
の形状を長円形とするように構成しても良い。この吸着
装置Ｍ３では、図８に示すように、ガラス基板Ｗの表面
のパーティクル検査を行なう等のガラス基板Ｗの吸着部
位Ａに幅を狭くする制限がある場合に、吸着部分である
吸気流路開口部１８ａが細長い長円形としているため、
吸着面積を確保して、狭い幅の吸着部位Ａに対応させる
ことができることから、吸着部位Ａに制限のあるガラス
基板Ｗを適確に吸着保持することができる。
【００２７】なお、各実施例では、移送するワークとし
て、ガラス基板Ｗを例に取って説明したが、勿論、ガラ
ス基板に限定されず、他の薄板状のワークを移送する場
合にも、本発明を利用することができる。
て、ガラス基板Ｗを例に取って説明したが、勿論、ガラ
ス基板に限定されず、他の薄板状のワークを移送する場
合にも、本発明を利用することができる。
【００２８】また、ハンド１に設ける吸着具１７の個数
は、吸着保持する薄板状ワークＷの大きさによって、適
宜選択すれば良い。
は、吸着保持する薄板状ワークＷの大きさによって、適
宜選択すれば良い。
【００２９】さらに、各実施例では、吸着具上端面１７
ａのハンド上面１ａから突出する突出量ｈを、一定にす
るため、収納孔８の内周面と吸着具１７の外周面とに相
互に係合する係止突起９ｃ・２０ａを設けた場合を示し
たが、支持ゴム１５の形状寸法の精度が良ければ、突出
量ｈを一定にすることができるため、これらの突起１９
ｃ・２０ａを形成しなくとも良い。ちなみに、それらの
突起１９ｃ・２０ａを設けない場合には、吸着具１７を
ハンド１の上面側からハンド１に組み付けることができ
るため、ハンド１を、本体２と取付板７とを一体とした
ものとして、形成しても良い。
ａのハンド上面１ａから突出する突出量ｈを、一定にす
るため、収納孔８の内周面と吸着具１７の外周面とに相
互に係合する係止突起９ｃ・２０ａを設けた場合を示し
たが、支持ゴム１５の形状寸法の精度が良ければ、突出
量ｈを一定にすることができるため、これらの突起１９
ｃ・２０ａを形成しなくとも良い。ちなみに、それらの
突起１９ｃ・２０ａを設けない場合には、吸着具１７を
ハンド１の上面側からハンド１に組み付けることができ
るため、ハンド１を、本体２と取付板７とを一体とした
ものとして、形成しても良い。
【図１】本発明の一実施例を示す吸着装置の斜視図であ
る。
る。
【図２】図１のII−II部位の断面図である。
【図３】同実施例の使用時の状態を示す断面図である。
【図４】他の実施例を示す断面図である。
【図５】さらに他の実施例を示す斜視図である。
【図６】図５のVI−VI部位の断面図である。
【図７】図５のVII −VII 部位の断面図である。
【図８】吸着部位に制限のある場合のガラス基板の斜視
図である。
図である。
１…ハンド、 ８…収納孔、 １５…支持ゴム、 １７…吸着具、 １７ａ…上端面、 １８…吸気流路・貫通孔、 １８ａ…開口部、 ２２…ゴムシート、 Ｖ…（負圧源）真空ポンプ、 Ｗ…（ワーク）ガラス基板、 Ａ…吸着部位、 Ｍ１・Ｍ２・Ｍ３…吸着装置。
Claims (3)
- 【請求項１】 薄板状ワークを負圧を利用して吸着保持
する薄板状ワークの吸着装置であって、 前記薄板状ワーク下面に当接する上端面に吸気流路が開
口する筒状の吸着具と、 該吸着具を収納するとともに負圧源に接続される収納孔
を上面側に備えたハンドと、 前記収納孔内周面全周から前記吸着具の外周面全周に連
結され、前記吸着具上端面を前記ハンド上面から突出さ
せるように前記吸着具を保持する環状の支持ゴムと、 を備えて構成されていることを特徴とする薄板状ワーク
の吸着装置。 - 【請求項２】 前記ハンド上面の前記収納孔周縁に、前
記ハンド上面から突出した前記吸着具の上端面より低い
高さとなる厚さのゴムシートが固着されていることを特
徴とする請求項１記載の薄板状ワークの吸着装置。 - 【請求項３】 前記吸着具の上端面における前記吸気流
路の開口形状が長円形としていることを特徴とする請求
項１又は請求項２記載の薄板状ワークの吸着装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP28546094A JPH08143147A (ja) | 1994-11-18 | 1994-11-18 | 薄板状ワークの吸着装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP28546094A JPH08143147A (ja) | 1994-11-18 | 1994-11-18 | 薄板状ワークの吸着装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH08143147A true JPH08143147A (ja) | 1996-06-04 |
Family
ID=17691813
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP28546094A Withdrawn JPH08143147A (ja) | 1994-11-18 | 1994-11-18 | 薄板状ワークの吸着装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH08143147A (ja) |
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- 1994-11-18 JP JP28546094A patent/JPH08143147A/ja not_active Withdrawn
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