JPH0243638Y2 - - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 産業上の利用分野 本考案は、例えば半導体ウエハやセラミツク基
板などの加工物（被吸着物）を吸着保持する真空
チヤツクに関する。

従来の技術 従来の真空チヤツクの概略を第５図に示し、説
明する。図において、符号１は吸着面１ａが平ら
なチヤツク本体で、その中央部分には図示しない
真空源に接続される排気孔１ｂが開設されてい
る。このチヤツク本体１の吸着面１ａの外周付近
には凹溝１ｃが周方向に設けられていて、ここに
中央が貫通した略お椀状のゴムリツプと称される
弾性体２が取り付けられている。

そして、被吸着物３をチヤツク本体１の吸着面
１ａに載置すると、図示するように弾性体２の上
端に被吸着物３が支えられて、チヤツク本体１の
吸着面１ａと被吸着物３との間にΔｍだけの隙間
が生じている。

考案が解決しようとする問題点 前述のような状態から図示しない真空源でもつ
て真空排気させると、チヤツク本体１の吸着面１
ａと被吸着物３との間に弾性体２が存在するた
め、第６図に示すように、被吸着物３を中央部分
のみがチヤツク本体１の吸着面１ａに吸着するだ
けで被吸着物３は全体的に弓状に反つてしまう。
つまり、従来の真空チヤツクでは、被吸着物３を
面一に吸引することが困難で、被吸着物３の平面
精度が維持できないことから、吸着させた被吸着
物３の加工作業において、加工ミスを引き起こす
おそれがある。また、被吸着物３が例えば半導体
ウエハやセラミツク基板などの脆性材料の場合に
は、前記反りが原因となつて割れるおそれがあ
る。

さらに、上述したような形状の弾性体２では、
成型加工により製作しなければならず、１〜２個
だけ製作するにも金型が必要となるため、コスト
的に不利であつた。

本考案は上記事情に鑑みて創案されたもので、
その目的は、被吸着物の平面精度を維持して面一
に吸着保持することが容易に実現でき、かつ被吸
着物が脆性材料である場合においても安易に割れ
ることのない真空チヤツクを提供することにあ
る。

問題点を解決するための手段 本考案にかかる真空チヤツクは、アツパーチヤ
ツクと、ボトムチヤツクと、パツキングである薄
板状の環状弾性体を具備しており、前記アツパー
チヤツクは平坦な吸着面と、吸着面の上端周縁部
から水平方向に突出し、下面が半径外方向に斜め
に上がるテーパ面を有する鍔部を有しており、ボ
トムチヤツクは縦断面が上方向に凹部を有する略
凹状に形成されるとともに、凹部内には前記アツ
パーチヤツクの前記テーパ面に対応する位置にお
いて対応する形状に形成されたテーパ面を有して
いるとともに、凹部には環状弾性体の外側周縁部
を逃がす逃がし部が形成されており、前記環状弾
性体の内側周縁部をアツパーチヤツクのテーパ面
とボトムチヤツクのテーパ面で挟持した際に、環
状弾性体の外側周縁部が前記吸着面よりも上方に
半径外方向に斜めに突出せしめてあることを特徴
としている。

作 用 吸引しない状態では、弾性体の上端で被吸着物
を支えていて、吸着面と被吸着物との間に適宜な
隙間ができる。吸引したときは、弾性体の上端が
被吸着物により押されて変形して当該弾性体が逃
がし部に逃げるから、被吸着物と吸着面との間に
弾性体が存在しなくなる。

実施例 第１図乃至第３図において、符号１０は例えば
ステンレスなどからなるアツパーチヤツクで、略
円柱状に形成まれている。アツパーチヤツク１０
には、その吸着面１１の上端周縁部から水平方向
に突出する鍔部１２を有している。鍔部１２の下
面は半径方向に斜めに上がるテーパ面となつてい
る。そして、第２図に示すように、アツパーチヤ
ツク１０の中央位置には排気孔１３が穿設されて
いて、しかも吸着面１１には排気孔１３を中心と
する十字状の凹溝１４が形成されている。

符号２０は例えばステンレスなどからなるボト
ムチヤツクで、有底筒状つまり縦断面凹状に形成
されている。ボトムチヤツク２０の凹部内にはア
ツパーチヤツク１０が嵌合されており、アツパー
チヤツク１０の鍔部１２のテーパ面と平行に対向
する支持面２１を有している。このボトムチヤツ
ク２０にも、前述のアツパーチヤツク１０の排気
孔１３と連通する排気孔２２が同軸状に穿設され
ている。そして、アツパーチヤツク１０とボトム
チヤツク２０とは４個の螺子によつて取り付けら
れている。

符号３０は環状の弾性体で、被吸着物４０に対
しての緩衝と真空排気時におけるシールの役目を
兼ねている。その内側周縁部３１はアツパーチヤ
ツク１０の鍔部１２のテーパ面とボトムチヤツク
２０の支持面２１との間に挟持されていて、弾性
体３０の外側周縁部３２はアツパーチヤツク１０
の吸着面１１よりも上方に半径外方向に斜めに突
出して変形自在になつている。この外側周縁部３
２は、被吸着物４０を吸引させるときにボトムチ
ヤツク２０側つまり下側に押し下げられて変形す
るようになつており、その変形を逃がすための逃
がし部２３がボトムチヤツク２０には設けられて
いる。

このような構成の真空チヤツクにおいて、被吸
着物４０を載置させただけでは、被吸着物４０は
第１図に示すように弾性体３０の外側周縁部３２
に支えられ、被吸着物４０とアツパーチヤツク１
０との間にΔlだけの隙間が形成される。さて、
図示しない真空源により真空排気すると、被吸着
物４０がアツパーチヤツク１０の吸着面１１に吸
着される。これに伴つて被吸着物４０により弾性
体３０の外側周縁部３２が第１図矢印のように押
し下げられ変形するが、第４図の如くボトムチヤ
ツク２０の逃げ部２３に逃げて、結局被吸着物４
０がアツパーチヤツク１０の吸着面１１に面一に
吸着保持されることとなる。この状態において、
被吸着物４０が例えば脆性材料や弾性材料である
場合、その被吸着物４０が持つ若干の歪や反りも
端正されることとなる。よつて、吸着した状態に
おいても被吸着物４０の平面精度が維持されるか
ら、被吸着物４０への加工作業において加工ミス
の誘発を防止できることにもつながる。

なお、アツパーチヤツク１０、ボトムチヤツク
２０および弾性体３０の材質は、吸着した状態の
被吸着物４０に対して加工を施す際、該加工作業
の種類に応じて適当に決定するのが好ましい。例
えば前記加工作業においてフツ酸などを用いる場
合には該弾性体３０をバイトンに、また前記両チ
ヤツク１０，２０を例えばSUS420などにするな
どが考えられる。また、上記実施例で弾性体３０
を環状としたから打抜きによつて極く簡単に製作
でき、従来のような金型を必要とする形状の弾性
体よりも大幅に安価で製作できるという効果も有
する。さらに、弾性体３０は、環状のものに限定
されず、例えば片体として数箇所に配設させるよ
うにしてもかまわない。

考案の効果 本考案によれば、吸着面に対して被吸着物を面
一に吸着保持することが容易に実現できる。よつ
て、従来のように被吸着物が反らないから被吸着
物の割れが防止できるばかりでなく、通常の被吸
着物が持つ若干の歪や反りをも端正して吸着保持
できる。これに伴い、吸引させた状態での被吸着
物の加工作業時において、加工ミスを起こしにく
くなるという付随的な効果も得られる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本考案の一実施例である真空チヤツク
の概略を示す縦断面図、第２図は同真空チヤツク
のアツパーチヤツクの平面図、第３図は同真空チ
ヤツクのボトムチヤツクの平面図、第４図は同真
空チヤツクに対して被吸着物を吸引させたところ
を示す断面説明図、第５図は従来の真空チヤツク
の縦断面図、第６図は従来の真空チヤツクに被吸
着物を吸引させたところを示す断面説明図をそれ
ぞれ示している。 １１……吸着面、２３……逃げ部、３０……弾
性体、４０……被吸着物。

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. アツパーチヤツクと、ボトムチヤツクと、パツ
   キングである薄板状の環状弾性体を具備してお
   り、前記アツパーチヤツクは平坦な吸着面と、吸
   着面の上端周縁部から水平方向に突出し、下面が
   半径外方向に斜めに上がるテーパ面を有する鍔部
   を有しており、ボトムチヤツクは縦断面が上方向
   に凹部を有する略凹状に形成されるとともに、凹
   部内には前記アツパーチヤツクの前記テーパ面に
   対応する位置において対応する形状に形成された
   テーパ面を有しているとともに、凹部には環状弾
   性体の外側周縁部を逃がす逃がし部が形成されて
   おり、前記環状弾性体の内側周縁部をアツパーチ
   ヤツクのテーパ面とボトムチヤツクのテーパ面で
   挟持した際に、環状弾性体の外側周縁部が前記吸
   着面よりも上方に半径外方向に斜めに突出せしめ
   てあることを特徴とする真空チヤツク。