JPH11307619A - ウエハ固定装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 ウエハが付着したシートを固定する安価なウ
エハ固定装置を提供する。 【解決手段】 ウエハ１１が付着したシート１２を固定
するためのウエハ固定装置１であって、シート１２を載
せるテーブル２と、このテーブル２上のウエハ１１が貼
り付けられたシート面に対向する位置に環状に設けられ
たシール部をなすＯリング９と、このシール部の内側に
設けられた環状の間隙６を含む吸気用通路とを備えたこ
とを特徴とする。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、シリコンウエハ等
の半導体ウエハを固定し、ダイシングにより所定のチッ
プの大きさに切り出す工程及び検査工程で用いられるウ
エハ固定用テーブルに関する。

【０００２】

【従来の技術】ウエハからチップを形成する際には、ウ
エハを固定用シートの上面に貼り付けると共に、この固
定用シート上のウエハの周縁部にリング状のフレーム
（ダイシングフレーム）を貼り付け、全体をダイシング
装置まで搬送してウエハをチップに切断（ダイシング）
後、切断されたウエハチップをシートから剥離するよう
にしている。この一連の工程中、ダイシングされたウエ
ハチップを検査するため、ウエハチップを固定用シート
に貼り付けた状態のまま固定するウエハ固定用テーブル
が用いられている。

【０００３】従来のウエハ固定用テーブルは、細かい穴
を多数設けたプレート又は燒結金属でテーブル面を形成
し、その上面にシートに貼り付いたウエハチップを載置
して、裏面側から空気の引き込み（バキューム吸引）を
行うことでウエハチップをテーブルに吸着し、固定して
いた。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記の
ようなウエハ固定用テーブルでは、テーブル面を形成す
る材料に多数の細かい穴を設けるのは手間がかかるの
で、製造コストが高く、燒結金属そのものも高価であ
る。最近では、４インチから６インチ、８インチ、更に
は１２インチのウエハも登場しており、このようなウエ
ハを吸引、固定するだけでも製造コストを大きくする原
因となっている。

【０００５】また、多数の細かい穴を設けたプレートを
用いる場合、その穴が大き過ぎると空気吸引の際、チッ
プを貼り付けたシートが穴に引き込まれてしまうので、
穴は小さくなければならないが、それだけ加工費がかか
り、コスト面で燒結金属を用いる場合と変わらない。

【０００６】本発明の目的は、上記のようなウエハ固定
用テーブルを安価に提供することである。

【０００７】

【課題を解決するための手段】本発明の第１態様は、ウ
エハが付着したシートを固定するためのウエハ固定装置
であって、前記シートを載せるテーブルと、該テーブル
上のウエハが貼り付けられたシート面に対向する位置に
環状に設けられたシール部と、該シール部の内側に設け
られた吸気用通路とを含むことを特徴とする。

【０００８】本発明の第２態様は、ウエハが付着したシ
ートを固定するためのウエハ固定装置であって、前記シ
ートを載せるテーブルと、該テーブル上のウエハが貼り
付けられたシート面に対向する位置に環状に設けられた
シール部と、該シール部の内側に設けられた吸気用通路
と、前記テーブルの表面とその上に載置されたシートと
の間に形成され且つ前記吸気用通路に通じる空気流路と
を含むことを特徴とする。

【０００９】本発明の第３態様は、ウエハが付着したシ
ートを固定するためのウエハ固定装置であって、前記シ
ートを載せるテーブルと、該テーブル上のウエハが貼り
付けられたシート面に対向する位置に環状に設けられた
吸気用通路と、前記テーブルの表面とその上に載置され
たシートとの間に形成され且つ前記吸気用通路に通じる
空気流路とを含むことを特徴とする。

【００１０】

【作用及び効果】第１の態様によれば、テーブルの上に
ウエハが付着したシートを載置した状態において、環状
のシール部の内側に設けられた吸気用通路から空気を吸
引することにより、テーブル上にウエハが付着したシー
トを吸着する。このとき吸着面となるテーブル上面は、
安価な加工のみで十分な吸着力を発揮する。これによ
り、従来より安価な（燒結金属と比較して1/10程度の）
テーブルを備えたウエハ固定装置が得られる。

【００１１】第２の態様によれば、シール部の内側に設
けられた吸気用通路に通じる空気流路が、テーブルの表
面とその上に載置されたシートとの間に形成されるの
で、確実に空気吸引を実行できると共に、吸気用通路は
簡単な加工で形成することができ、この点でもウエハ固
定装置が安価になる。

【００１２】第３の態様によれば、テーブル上のウエハ
が貼り付けられたシート面に対向する位置に吸気用通路
が環状に設けられ、この吸気用通路に通じる空気流路
が、テーブルの表面とその上に載置されたシートとの間
に形成されるので、シール部がなくても、ウエハが付着
したシートを十分に吸着できる。

【００１３】このとき吸着面となるテーブル上面は、環
状に設けた吸気用通路の外側の面より一段低く設定する
ことにより、空気流路を形成する。この場合、段差部分
がシール面となる。或いは、テーブル上面に多数の溝を
形成し、又は凹凸状に表面加工してもよい。いずれにし
ても、従来より安価なテーブルで必要な吸着力が得られ
る。

【００１４】

【発明の実施の形態】図１は、本発明の実施例のウエハ
固定装置と、これに吸着固定されるシート上のウエハチ
ップとを示す。

【００１５】図１において、ウエハ固定装置１は、表面
を平滑に仕上げした円板形状のテーブル２と、このテー
ブル２の上面の直径より若干大きい円形凹部３ａ（図
３）を有する略矩形のベース３と、このベース３を収納
する円形の開口部４ａ及び上面に載置されたダイシング
フレーム１３の端縁を当てて止める複数の位置決めピン
４ｂを有する基台４と、この基台４上でダイシングフレ
ーム１３を所定位置に固定するためのエジェクタユニッ
ト５とを備えている。

【００１６】エジェクタユニット５は、図示しない空気
送給装置からチューブ５ａを介して送り込まれる空気の
圧力で作動するピストンを内蔵したシリンダ５ｂと、そ
のピストンから突出した駆動ピン５ｃと、この駆動ピン
の先端部に固定した駆動板５ｄとを含む。そして、シリ
ンダ５ｂ内に空気を送り込み、駆動ピン５ｃを介して駆
動板５ｄの下端部を、基台４上に載置したダイシングフ
レーム１３の一端縁に当て、その反対側の端縁を基台４
上の位置決めピン４ｂに押し付けることにより、ダイシ
ングフレーム１３を固定する。この固定を解除するとき
は、シリンダ５ｂ内からチューブ５ａ側へ空気を引き込
んで駆動板５ｄの下端部をダイシングフレーム１３の一
端縁から離間させる。

【００１７】図２〜図４に示すように、ベース３におい
て、テーブル２を収納した凹部３ａとテーブル２との間
には、幅ｄ（図３）のリング状の間隙６が生じる。この
実施例の場合、テーブル２の上面とベース３の上面とは
面一になるように設定されている。そして、テーブル２
は、その下面側に設けたネジ穴２ａに、これと対応して
ベース３の凹部底面に設けた貫通孔３ｂを通るネジ（図
示省略）を螺合させて締め付けることにより、ベース３
の凹部３ａ内に固定される。

【００１８】ベース３の凹部３ａ内の壁面と外側面との
間には、間隙６を通して空気を吸引するための吸引口７
が形成されており、この吸引口７に図示しない空気吸引
手段（例えば、バキュームポンプ）が接続される。この
とき、間隙６から吸引口７までの通路が吸気用通路とな
る。

【００１９】ベース３の上面には、円形凹部３ａの周縁
部近くに環状の溝８（図３及び図４）が設けられ、この
溝８内にＯリング９が配置されて、環状のシール部を形
成している。

【００２０】再び図１において、ウエハチップ１１は、
シート１２上に貼り付けられ、このシート１２上のウエ
ハチップ１１の周囲部分に、リング状のフレーム（ダイ
シングフレーム）１３が貼り付けられている。

【００２１】使用時には、ウエハチップ１１及びダイシ
ングフレーム１３を貼り付けたシート１２を、ウエハ固
定装置１のテーブル２を収納したベース３上に載置す
る。この時、ダイシングフレーム１３の端縁を基台４上
の位置決めピン４ｂに当てた状態で、前述のようにエジ
ェクタユニット５を作動させることにより、ダイシング
フレーム１３を固定する。そして、図４に示すように、
テーブル２とテーブルベース３との間の間隙６から吸引
口７を通して空気を吸引すると、シート１２がテーブル
２上に吸着される。この時、環状の吸気用通路を構成す
る間隙６の外側に設けたＯリング９により、シート１２
とテーブル２との間が、その外側のベース３とシート１
２部分との間から遮断される。すなわち、Ｏリング９が
シールとして作用するので、シート１２とテーブル２と
の間の空気が、Ｏリング９の内側の間隙６から吸引口７
に至る吸気用通路を通じて吸引排出され、シート１２が
テーブル２上に充分に吸着される。

【００２２】このように、Ｏリング９によるシール部の
みで十分な吸着力が得られるので、テーブル２の上面
は、高価な加工や材料を施すことなく、安価な加工のみ
で、ウエハシートを吸着できる面となる。これにより、
従来よりはるかに低いコストでウエハを固定できる装置
が得られる。

【００２３】上記のようにテーブル２上に吸着して固定
したウエハチップ１１について必要な検査が終了する
と、テーブル２上のシート１２の吸着状態が解除され
る。そして、前述のようにエジェクタユニット５の駆動
板５ｄの下端部をダイシングフレーム１３の一端縁から
離間させることで、ダイシングフレーム１３の固定が解
除される。

【００２４】次に、テーブル上面にウエハシートを充分
吸着させるためのシール部は、上記のようなＯリングに
限らない。

【００２５】例えば、図５に示すように、ベース３の上
面において円形凹部３ａの周縁部近くに円環状の凸部２
１を設けることで、上記Ｏリング９と同様のシール機能
を達成できる。この凸部２１は、ベース３と一体に形成
するほか、ベース３の上面に合成樹脂を環状に施工する
ことで形成してもよい。また、シール用テープを環状に
形成してベース３の上面に貼り付けてもよい。

【００２６】或いは、図６に示すように、テーブル２の
上面がベース３の上面より一段低く（例えば、ｈ＝１ｍ
ｍ）なるように構成してもよい。これにより、テーブル
２の表面とその上に載置されたシート１２との間に空気
流路が形成されるので、前述のシール部がなくても、ウ
エハが付着したシートをテーブル２上に十分に吸着でき
る。

【００２７】また、上記実施例では、テーブル２の上面
を鏡面のような平滑面にしているが、上記の間隙６から
吸引口７への吸気を助ける空気流路を、テーブル２の上
面に形成してもよい。具体的には、図７に示すような各
種形状の溝を形成し、あるいは表面加工を施すことによ
り、前述のようにシート１２をウエハ固定装置１上に装
填したとき、シート１２とテーブル２の上面との間に空
気流路が形成される。

【００２８】図７において、（Ａ）は円形テーブル２の
直径と平行に多数の直線溝を設けた例、（Ｂ）は直交す
る多数の直線状の格子溝を設けた例、（Ｃ）は螺旋状の
スパイラル溝を設けた例、（Ｄ）は半径方向に延びた放
射状溝を設けた例である。また、表面加工の例として、
（Ｅ）はテーブル表面に多数の細かい凹凸を付けて梨地
とした場合を示す。

【図面の簡単な説明】

【図１】実施例のウエハ固定装置とこれに吸着固定され
るシート上のウエハチップとを示す斜視図。

【図２】テーブルをベースに収納した状態を示す斜視
図。

【図３】テーブルとベースを分離した状態を示す縦断面
図。

【図４】シートを吸着したテーブルとベースとの境界部
分を示す縦断面図。

【図５】ベースの上面に設けられるシール部の一例を示
す縦断面図。

【図６】テーブル上面をベースの上面より一段低く設定
した例を示す縦断面図。

【図７】テーブルの上面に形成される各種形状の溝又は
表面加工の例を示す図。

【符号の説明】

１…ウエハ固定装置、２…テーブル、３…ベース、４…
基台、５…エジェクタユニット、６…間隙、７…吸気
口、８…溝、９…Ｏリング、１１…ウエハ、１２…シー
ト、１３…ダイシングフレーム。

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 關 宏治 東京都渋谷区渋谷２丁目12番19号 山武ハ ネウエル株式会社内

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】ウエハが付着したシートを固定するための
   ウエハ固定装置であって、 前記シートを載せるテーブルと、該テーブル上の前記ウ
   エハが貼り付けられたシート面に対向する位置に環状に
   設けられたシール部と、該シール部の内側に設けられた
   吸気用通路とを含むことを特徴とするウエハ固定装置。
2. 【請求項２】ウエハが付着したシートを固定するための
   ウエハ固定装置であって、 前記シートを載せるテーブルと、該テーブル上の前記ウ
   エハが貼り付けられたシート面に対向する位置に環状に
   設けられたシール部と、該シール部の内側に設けられた
   吸気用通路と、前記テーブルの表面とその上に載置され
   た前記シートとの間に形成され且つ前記吸気用通路に通
   じる空気流路とを含むことを特徴とするウエハ固定用テ
   ーブル。
3. 【請求項３】ウエハが付着したシートを固定するための
   ウエハ固定装置であって、 前記シートを載せるテーブルと、該テーブル上の前記ウ
   エハが貼り付けられたシート面に対向する位置に環状に
   設けられた吸気用通路と、前記テーブルの表面とその上
   に載置された前記シートとの間に形成され且つ前記吸気
   用通路に通じる空気流路とを含むことを特徴とするウエ
   ハ固定用テーブル。