KR100809275B1 - 웨이퍼 마운트 장비의 웨이퍼 워피지 방지 장치 - Google Patents

Abstract

본 발명은 웨이퍼 마운트 장비의 어라인먼트 존에 대한 구조를 워피지가 발생된 웨이퍼가 안착되더라도, 공압의 힘으로 평평하게 펴줄 수 있도록 에어 블로워 및 에어라이저가 장착된 구조로 개선하여, 항상 웨이퍼의 노치부분을 노치센서에서 감지할 수 있도록 한 웨이퍼 마운트 장비의 웨이퍼 워피지 방지 장치를 제공하는데 그 목적이 있다.

이러한 본 발명의 목적은 웨이퍼의 노치부를 감지하는 노치센서를 포함하는 웨이퍼 마운트 장비의 웨이퍼 워피지 방지 장치에 있어서, 웨이퍼 마운트 장비용 어라인먼트 존의 하우징내에 장착되어, 워피지가 발생된 웨이퍼의 저면을 진공을 흡착하여 당겨주는 동시에 에어로 불어주는 에어라이저와; 상기 하우징의 외측에 장착되어, 상기 워피지가 발생된 웨이퍼의 상면을 향하여 에어를 불어주는 에어블로워와; 상기 에어라이저에 진공을 제공하는 진공공급원과; 상기 에어블로워 및 에어라이져에 에어를 제공하는 에어공급원을 포함하여 구성된 것을 특징으로 하는 웨이퍼 마운트 장비의 웨이퍼 워피지 방지 장치를 제공하여 달성된다.

웨이퍼, 워피지, 에어블로워, 에어라이저, 어라인먼트 존, 노치센서

Description

웨이퍼 마운트 장비의 웨이퍼 워피지 방지 장치{Alignment zone for wafer mount machine}

도 1은 본 발명에 따른 웨이퍼 마운트 장비의 웨이퍼 워피지 방지 장치를 나타내는 사시도,

도 2는 본 발명에 따른 웨이퍼 워피지 방지 장치중 에어라이저를 나타내는 사시도,

도 3은 본 발명에 따른 웨이퍼 워피지 방지 장치중 에어블로워를 나타내는 사시도,

도 4는 본 발명에 따른 웨이퍼 마운트 장비의 웨이퍼 워피지 방지 장치를 나타내는 단면도,

도 5 및 도 6은 본 발명에 따른 웨이퍼 마운트 장비의 웨이퍼 워피지 방지 장치를 나타내는 사진,

도 7은 기존의 웨이퍼 마운트 장비의 어라인먼트 존을 나타내는 단면도,

도 8 및 도 9는 기존의 웨이퍼 마운트 장비의 어라인먼트 존을 보여주는 사진,

도 10은 웨이퍼 마운트 장비의 어라인먼트 존에서 웨이퍼의 워피지 발생 정 도를 설명하는 그래프.

<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명>

10 : 웨이퍼 12 : 어라인먼트 존

14 : 하우징 16 : 회전축바

18 : 진공홀 20 : 개방홀

22 : 지지대 24 : 노치센서

26 : 반달형몸체 28 : 에어공급경로

30 : 진공공급경로 32 : 에어제공용 미세홀

34 : 진공제공용 미세홀 36 : 에어공급라인

38 : 진공공급라인 40 : 고정체

42 : 지지프레임 44 : 관통구

46 : 블로워몸체 48 : 에어분사노즐

50 : 에어압 컨트롤밸브 52 : 장착바

54 : 나사산 100 : 에어라이저

200 : 에어블로워

본 발명은 웨이퍼 마운트 장비의 웨이퍼 워피지 방지 장치에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 웨이퍼 소잉전 웨이퍼에 마운트 테이프를 부착시키는 웨이퍼 마운트 장비에 있어서, 맵 데이타에 따라 어라인먼트 존에 배열되는 웨이퍼와 그 아래쪽에 위치되는 노치센서간의 간격이 웨이퍼의 워피지 현상에 의하여 벌어져, 센싱이 불가함에 따른 장비의 작동 에러 현상이 발생되는 것을 방지할 수 있도록 한 웨이퍼 마운트 장비의 웨이퍼 워피지 방지 장치에 관한 것이다.

반도체 분야에서 사용되고 있는 웨이퍼는 반도체의 재료가 되는 얇은 원판으로서, 실리콘이나 갈륨비소 등 단결정(單結晶) 막대기를 얇게 썬 둥근 판을 말하며, 이 웨이퍼(Wafer)는 개개의 칩(Chip)으로 소잉된 후, 다단계 공정에 의하여 반도체 패키지를 제조하는데 사용된다.

현재 웨이퍼를 매우 얇은 상태로 하여 웨이퍼 레벨에서 패키징하는 기술로 백그라인딩(back grinding) 기술이 알려져 있다.

상기 백그라인딩은 통상 웨이퍼의 뒷면, 즉 패턴이 형성되지 않은 면을 레이저, 에칭 또는 기계적 그라인딩 방법 등에 의해 일정 부분을 깍아 내어 매우 얇은 상태로 만들어주는 기술이다.

이러한 백그라인딩이 이루어진 웨이퍼를 이용하여, 일례로 웨이퍼 레벨 패키징의 나머지 제조 공정인 기판에 대한 칩부착, 전기적 접속을 위한 와이어 본딩, 수지재의 몰딩 및 입출력단자 형성 및 소잉(sawing) 공정 등을 실시할 수 있다.

결국, 웨이퍼는 보다 얇게 그라인딩되는 추세에 있으며, 그에따라 제조 현장에서 사용되는 웨이퍼 마운트 장비는 얇은 웨이퍼의 작업시에 웨이퍼 워피지에 대한 잦은 로딩 미스로 인하여 작업이 불가능하다.

여기서, 웨이퍼에 마운트 테이프를 부착시키는 장비로서, 종래의 웨이퍼 마운트 장비의 어라인먼트 존에 대한 구성을 살펴보면 다음과 같다.

첨부한 도 7은 기존의 웨이퍼 마운트 장비의 어라인먼트 존을 나타내는 단면도이고, 도 8 및 도 9는 기존의 웨이퍼 마운트 장비의 어라인먼트 존을 보여주는 사진이다.

웨이퍼(10)가 안착되는 어라인먼트 존(12)은, 원통형 하우징(14)과; 이 원통형 하우징(14)의 중앙에 위치되어 웨이퍼(10)의 저면을 진공 흡착으로 고정시키도록 진공홀(18)을 갖는 회전축바(16)와; 상기 하우징(14)의 일측 및 저면 일부가 절개된 개방홀(20)에 배열되는 지지대(22)와; 상기 지지대(22)의 상면에 설치되는 다수개의 노치센서(24) 등을 포함하여 구성되어 있다.

따라서, 상기 하우징(14)내의 회전축바(16) 위쪽에 웨이퍼(10)가 안착되면, 회전축바(16)의 진공홀(18)을 통하여 진공이 제공되면서 웨이퍼(10)의 중앙 저면에 대한 흡착 고정이 이루어지고, 동시에 웨이퍼 마운트 장비의 맵데이타에 따라 회전축바(16)가 각회전하는 동시에 그 위에 안착된 웨이퍼(10)도 동일각도로 회전을 하게 된다.

이때, 상기 웨이퍼(10)의 노치(웨이퍼의 일측단부가 직선으로 절개된 부분)부분이 상기 노치센서(24)에서 감지되면 회전축바(16) 및 웨이퍼(10)가 정지하게 된다.

상기 웨이퍼(10)의 노치 부분을 감지하는 이유는 웨이퍼(10)에 마운트 테이프를 부착하는 공정상의 방향을 일괄적으로 설정하는데 있다.

이렇게 상기 웨이퍼 마운트 장비의 어라인먼트 존(12)에 웨이퍼(10)의 안착과 함께 웨이퍼(10)의 노치 부분이 감지된 후, 웨이퍼(10)가 정지하게 되면, 웨이퍼(10)에 대한 마운트 테이프 부착 공정의 시작을 위한 셋팅이 완료된다.

그러나, 웨이퍼의 워피지 현상으로 인하여 종래의 웨이퍼 마운트 장비의 어라인먼트 존에서 웨이퍼의 노치 부분을 감지하지 못하여 장비의 작동 오류가 빈번하게 발생되는 문제점이 있었다.

즉, 도 7에 도시된 바와 같이 상기 회전축바(16)의 진공홀(18)에 의하여 흡착 고정된 웨이퍼(10)에 그 둘레부분이 위쪽으로 휘어진 워피지 현상이 발생되면, 상기 웨이퍼(10)의 저면과 상기 노치센서(24)간의 간격이 벌어지게 되어, 센싱범위를 벗아나 노치센서의 센싱동작이 이루어지지 않게 되고, 결국 웨이퍼 마운트 장비의 작동 오류를 일으키는 문제점이 있었다.

한편, 웨이퍼는 매우 얇게 그라인딩되는 추세에 있는 바, 도 10의 그래프에서 보는 바와 같이, 웨이퍼의 두께에 따라 그 워피지 정도는 다르지만, 얇을수록 더 심하게 발생되는 것으로 알려져 있다.

본 발명은 상기와 같은 점을 해결하기 위하여 연구된 결과로서, 웨이퍼 마운트 장비의 어라인먼트 존에 대한 구조를 워피지가 발생된 웨이퍼가 안착되더라도, 공압의 힘으로 평평하게 펴줄 수 있도록 에어 블로워 및 에어라이저가 장착된 구조로 개선하여, 항상 웨이퍼의 노치부분을 노치센서에서 감지할 수 있도록 한 웨이퍼 마운트 장비의 웨이퍼 워피지 방지 장치를 제공하는데 그 목적이 있다.

상기한 목적을 달성하기 위한 본 발명은: 웨이퍼의 노치부를 감지하는 노치센서를 포함하는 웨이퍼 마운트 장비의 웨이퍼 워피지 방지 장치에 있어서, 웨이퍼 마운트 장비용 어라인먼트 존의 하우징내에 장착되어, 워피지가 발생된 웨이퍼의 저면을 진공을 흡착하여 당겨주는 동시에 에어로 불어주는 에어라이저와; 상기 하우징의 외측에 장착되어, 상기 워피지가 발생된 웨이퍼의 상면을 향하여 에어를 불어주는 에어블로워와; 상기 에어라이저에 진공을 제공하는 진공공급원과; 상기 에어블로워 및 에어라이져에 에어를 제공하는 에어공급원을 포함하여 구성된 것을 특징으로 하는 웨이퍼 마운트 장비의 웨이퍼 워피지 방지 장치를 제공한다.

바람직한 구현예로서, 상기 에어라이저는 내부에 에어 및 진공공급경로가 형성되고, 그 상면에는 다수의 에어 및 진공제공용 미세홀이 형성된 구조의 반달형 판체와; 상기 에어 및 진공공급경로와 연통되도록 반달형 판체의 저면에 장착되는 에어공급라인 및 진공공급라인과; 상기 반달형 판체의 외주부에 일끝단이 일체로 형성되고 타단은 상기 하우징의 외부쪽으로 연장되어 지지프레임에 고정되는 고정체와; 상기 노치센서가 위쪽을 향하며 노출되도록 상기 고정체에 상하로 관통 형성된 관통구를 포함하여 구성된 것을 특징으로 한다.

더욱 바람직하게는, 상기 반달형 몸체의 상면에서, 에어제공용 미세홀은 바깥쪽 영역에, 진공제공용 미세홀은 안쪽 영역에 구획되어 형성된 것을 특징으로 한 다.

바람직한 구현예로서, 상기 에어블로워는: 상기 에어공급라인과 연결된 블로워몸체와; 상기 블로워몸체의 상면에 부착되어 상기 에어라이저 위에 위치되는 웨이퍼 상면을 향하게 배열되는 한 쌍의 에어분사노즐과; 상기 블로워몸체의 입구측에 장착되는 에어압 컨트롤밸브와; 상기 블로워몸체의 타단쪽에 일체로 형성되어 상기 지지프레임에 체결되는 장착바로 구성된 것을 특징으로 한다.

이하, 본 발명의 바람직한 실시예를 첨부도면을 참조로 상세하게 설명하기로 한다.

첨부한 도 1은 본 발명에 따른 웨이퍼 마운트 장비의 웨이퍼 워피지 방지 장치를 나타내는 사시도이고, 도 5 및 도 6은 본 발명에 따른 웨이퍼 마운트 장비의 웨이퍼 워피지 방지 장치를 나타내는 사진이다.

전술한 바와 같이, 웨이퍼 마운트 장비는 웨이퍼에 마운트 테이프를 자동으로 부착시키는 장비로서, 마운트 테이프를 부착하기 위하여 웨이퍼가 안착되는 어라인먼트 존(12)이 구비되어 있는 바, 이 웨이퍼 마운트 장비의 어라인먼트 존(12)은 상부가 개방된 형태의 원통형 하우징(14)과; 이 원통형 하우징(14)의 중앙에 위치되어 웨이퍼(10)의 저면을 진공 흡착으로 고정시키도록 진공홀(18)을 갖는 회전축바(16)와; 웨이퍼(10)의 저면과 일정한 거리를 유지하면서 웨이퍼의 노치부분을 감지하는 다수개의 노치센서(24) 등을 포함하여 구성되어 있다.

여기서, 본 발명에 따르면 상기와 같은 구성을 갖는 웨이퍼 마운트 장비용 어라인먼트 존(12)의 하우징(14)내에 워피지가 발생된 웨이퍼(10)의 저면을 진공을 흡착하여 당겨주는 동시에 에어로 불어주는 에어라이저(100)를 장착하고, 상기 하우징(14)의 외측에 워피지가 발생된 웨이퍼(10)의 상면을 향하여 에어를 불어주는 에어블로워(200)를 장착하게 된다.

상기 에어라이저(100)는 웨이퍼의 저면을 진공으로 흡착하는 동시에 에어를 분사해주는 수단이고, 상기 에어블로워(200)는 웨이퍼(10)의 상면을 향하여 에어를 분사해주는 수단이다.

상기 에어라이저의 구성을 구체적으로 살펴보면 다음과 같다.

첨부한 도 2는 본 발명에 따른 웨이퍼 워피지 방지 장치중 에어라이저를 나타내는 사시도이다.

먼저, 상기 하우징(14)의 내주면중 노치센서(24)가 있는쪽으로 치우치면서 반달형 판체(26)가 장착된다.

상기 반달형 판체(26)의 내부에는 에어 및 진공공급경로(28,30)가 형성되고, 그 상면에는 다수의 에어 및 진공제공용 미세홀(32,34)이 분포되며 형성된다.

바람직하게는, 상기 반달형 몸체(26)의 상면에서, 에어제공용 미세홀(32)은 바깥쪽 영역에, 진공제공용 미세홀(34)은 안쪽 영역에 구획되어 형성되며, 그 이유는 후술하는 작동상태의 설명에서 이해할 수 있을 것이다.

상기 반달형 몸체(26)의 저면에서 에어 및 진공공급경로(26,28)의 입구와 연통되도록 에어공급라인(36) 및 진공공급라인(38)이 연결되며, 물론 에어공급라인(36)의 에어공급원과 연결되고, 진공공급라인(38)은 진공공급원과 연결된다.

또한, 상기 반달형 판체(26)를 지지해주는 수단으로서, 고정체(40)가 구비되 는 바, 이 고정체(40)의 일끝단은 반달형 몸체(26)의 외주부에 일체로 형성되고 타단은 상기 하우징(14)의 외부쪽으로 연장되어 지지프레임(42)상에 고정 장착된다.

이때, 상기 고정체(40)의 내부쪽 단(반달형 몸체와 일체로 연결된 지점)에는 상하로 관통된 관통구(44)가 형성되며, 이 관통구(44)를 통하여 상기 노치센서(24)가 위쪽으로 노출되는 상태가 된다.

상기 노치센서(24)는 관통구를 통하여 총 3개가 나란하게 노출되는데, 가장 안쪽의 것은 웨이퍼의 존재 유무를 판단하는 센서이고, 중간 위치에 있는 것은 6인치 웨이퍼용으로 채택된 것이며, 다른 하나는 8인치 웨이퍼용으로 채택된 것이다.

여기서, 상기 에어블로워의 구성을 구체적으로 살펴보면 다음과 같다.

첨부한 도 3은 본 발명에 따른 웨이퍼 워피지 방지 장치중 에어블로워를 나타내는 사시도이다.

상기 에어블로워(200)는 하우징(14)내에 안착된 웨이퍼(10)의 상면에 대하여 에어를 분사해주는 수단으로서, 상기 에어공급라인(36)과 연결된 블로워몸체(46)를 골격으로 한다.

또한, 상기 블로워몸체(46)의 상면에는 상기 에어라이저(100) 위에 위치되는 웨이퍼(10) 상면을 향하여 에어를 분사하게 되는 한 쌍의 에어분사노즐(48)이 배열된다.

또한, 상기 블로워몸체(46)의 입구측에는 에어분사노즐(48)을 통하여 분사되는 에어압을 조정하기 위한 에어압 컨트롤밸브(50)가 장착된다.

이때, 상기 에어블로워(200)의 고정 장착수단으로서, 상기 블로워몸체(46)의 타단쪽에 나사산(54)을 갖는 장착바(52)가 일체로 형성되어 상기 지지프레임(42)에 나사 체결로 고정된다.

여기서, 상기와 같은 구성으로 이루어진 본 발명의 웨이퍼 마운트 장비용 웨이퍼 워피지 방지 장치에 대한 작동 흐름을 상세하게 설명하면 다음과 같다.

첨부한 도 4는 본 발명에 따른 웨이퍼 마운트 장비의 웨이퍼 워피지 방지 장치의 작동상태를 설명하는 단면도이다.

먼저, 상기 하우징(14)내의 회전축바(16) 위쪽에 웨이퍼(10)가 안착되면, 회전축바(16)의 진공홀을 통하여 진공이 제공되면서 웨이퍼(10)의 정중앙 부분이 흡착 고정되고, 동시에 웨이퍼 마운트 장비의 맵데이타에 따라 회전축바(16)가 각회전하는 동시에 그 위에 안착된 웨이퍼(10)도 동일각도로 회전을 하게 된다.

이에, 상기 웨이퍼(10)의 노치(웨이퍼의 일측단부가 직선으로 절개된 부분)부분이 상기 노치센서(24)에서 감지되면 회전축바(16) 및 웨이퍼(10)가 정지하게 되며, 전술한 바와 같이 상기 웨이퍼(10)의 노치 부분을 감지하는 이유는 웨이퍼에 마운트 테이프를 부착하는 공정상의 방향을 설정하기 위함에 있다.

이때, 워피지가 발생된 웨이퍼(10)가 안착되는 경우, 에어공급원으로부터 상기 에어라이저(100) 및 에어블로워(200)의 에어공급라인(36)으로 에어가 공급되는 동시에 진공공급원으로부터 에어라이저(100)의 진공공급라인(38)으로 진공이 제공된다.

연이어, 상기 진공공급라인(38)을 통한 진공이 상기 반달형 몸체(26)의 상면에 형성된 진공제공용 미세홀(34)을 통하여 제공되고, 동시에 상기 에어공급라 인(36)을 통한 에어가 상기 반달형 몸체(26)의 상면에 형성된 에어제공용 미세홀(32)을 통하여 위쪽으로 분사된다.

따라서, 상기 반달형몸체(26)의 안쪽영역에 걸쳐 형성된 진공제공용 미세홀(34)을 통하여 제공되는 진공에 의하여 워피지가 발생된 웨이퍼(10)가 당겨지게 되고, 동시에 상기 반달형몸체(26)의 바깥쪽영역에 걸쳐 형성된 에어제공용 미세홀(32)을 통하여 분사되는 에어가 웨이퍼(10)의 테두리부 저면에 작용하게 된다.

이렇게 진공 및 에어를 워피지가 발생된 웨이퍼(10)의 저면에 동시에 제공하는 이유는 다음과 같다.

워피지가 발생된 웨이퍼(테두리 부분이 위쪽으로 휘어진 상태)의 저면에 에어를 공급하지 않고 진공만을 제공하는 경우, 웨이퍼(10)의 테두리 저면이 진공에 의하여 흡착되며 아래쪽으로 너무 당겨져서 상기 반달형 몸체(26)의 상면에 밀착되는 상태가 되어, 결국 상기 회전축바(16)를 중심으로 웨이퍼(10)가 회전을 하지 않게 되는 현상이 발생된다.

이에, 웨이퍼(10)가 반달형몸체(26)의 상면에 밀착되지 않도록 상기와 같이 에어제공용 미세홀(32)을 통하여 에어를 위쪽으로 분사해줌에 따라, 웨이퍼(10)는 반달형 몸체(26)의 상면과 평행을 이루며 이격되는 상태가 된다.

이때, 상기 웨이퍼(10)의 상면에는 상기 에어블로워(200)에 의한 에어가 작용하여, 웨이퍼(10)가 위쪽으로 휘어지는 것을 차단해주게 된다.

즉, 상기 에어공급라인(36)을 통하여 에어가 블로워몸체(46)로 공급되고, 동시에 한 쌍의 에어분사노즐(48)을 통하여 에어가 웨이퍼(10)의 상면쪽으로 분사되 어, 워피지가 발생된 웨이퍼(10)의 테두리단(위쪽으로 휘어진 상태)이 아래쪽으로 이동되어 수평상태를 이루게 된다.

이때, 상기 블로워몸체(46)의 입구측에 장착되는 에어압 컨트롤밸브(50)를 조작하여 웨이퍼(10) 상면에 작용하는 에어압을 조절할 수 있다.

이와 같이, 워피지가 발생된 웨이퍼의 상면과 그 저면을 에어로 분사하는 동시에 웨이퍼의 저면을 진공으로 흡착하여, 웨이퍼가 수평상태가 되도록 함으로써, 웨이퍼의 노치부분에 대한 노치센서의 센싱 동작이 항상 원할하게 진행될 수 있다.

이상에서 본 바와 같이, 본 발명에 따른 웨이퍼 마운트 장비의 웨이퍼 워피지 방지 장치에 의하면, 웨이퍼 마운트 장비의 어라인먼트 존에 대한 구조를 워피지가 발생된 웨이퍼가 안착되더라도, 공압의 힘으로 평평하게 펴줄 수 있도록 에어 블로워 및 에어라이저가 장착된 구조로 개선함으로써, 항상 웨이퍼의 노치부분을 노치센서에서 감지할 수 있는 장점을 제공한다.

즉, 에어블로워 및 에어라이저에 의하여 웨이퍼의 노치 부분이 용이하게 감지되어, 기존과 같이 웨이퍼 노치를 감지하지 못하여 발생하는 장비의 작동 오류를 방지할 수 있다.

Claims (4)

1. 웨이퍼의 노치부를 감지하는 노치센서를 포함하는 웨이퍼 마운트 장비의 웨이퍼 워피지 방지 장치에 있어서,

   웨이퍼 마운트 장비용 어라인먼트 존의 하우징내에 장착되어, 워피지가 발생된 웨이퍼의 저면을 진공을 흡착하여 당겨주는 동시에 에어로 불어주는 에어라이저와;

   상기 하우징의 외측에 장착되어, 상기 워피지가 발생된 웨이퍼의 상면을 향하여 에어를 불어주는 에어블로워와;

   상기 에어라이저에 진공을 제공하는 진공공급원과;

   상기 에어블로워 및 에어라이저에 에어를 제공하는 에어공급원;

   을 포함하여 구성된 것을 특징으로 하는 웨이퍼 마운트 장비의 웨이퍼 워피지 방지 장치.
2. 청구항 1에 있어서,

   상기 에어라이저는:

   내부에 에어 및 진공공급경로가 형성되고, 그 상면에는 다수의 에어 및 진공제공용 미세홀이 형성된 구조의 반달형 판체와;

   상기 에어 및 진공공급경로와 연통되도록 반달형 판체의 저면에 장착되는 에 어공급라인 및 진공공급라인과;

   상기 반달형 판체의 외주부에 일끝단이 일체로 형성되고 타단은 상기 하우징의 외부쪽으로 연장되어 지지프레임에 고정되는 고정체와;

   상기 노치센서가 위쪽을 향하며 노출되도록 상기 고정체에 상하로 관통 형성된 관통구;

   를 포함하여 구성된 것을 특징으로 하는 웨이퍼 마운트 장비의 웨이퍼 워피지 방지 장치.
3. 청구항 2에 있어서, 상기 반달형 몸체의 상면에서, 에어제공용 미세홀은 바깥쪽 영역에, 진공제공용 미세홀은 안쪽 영역에 구획되어 형성된 것을 특징으로 하는 웨이퍼 마운트 장비의 웨이퍼 워피지 방지 장치.
4. 청구항 1에 있어서,

   상기 에어블로워는:

   상기 에어공급라인과 연결된 블로워몸체와;

   상기 블로워몸체의 상면에 부착되어 상기 에어라이저 위에 위치되는 웨이퍼 상면을 향하게 배열되는 한 쌍의 에어분사노즐과;

   상기 블로워몸체의 입구측에 장착되는 에어압 컨트롤밸브와;

   상기 블로워몸체의 타단쪽에 일체로 형성되어, 블로워몸체 지지를 위한 지지프레임에 체결되는 장착바;

   로 구성된 것을 특징으로 하는 웨이퍼 마운트 장비의 웨이퍼 워피지 방지 장치.

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