JP2007081273A - 基板位置決め装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】半導体製造工程や液晶パネル製造工程において、円形基板の位置決めを、簡易な構造で迅速かつ高精度で行えるようにする。
【解決手段】回転可能な基板載置面上に仮置きされた円形基板Wを、基板載置面に形成された微細孔15からの噴出空気で浮上させる一方、円形基板Wの下面とブロック22上面との間に、噴出孔24から風向A方向をなす空気流を噴出させて、この空気流により、上記仮置きされた円形基板WをX軸方向に沿ってガイド部30側に移動させ、ガイド部30に当接させてスピンドル回転軸と円形基板Wの芯出し位置調整を行う基板移動部20とを備える。さらにスピンドル11の回転により円形基板Wを回転させることで、その外周縁に形成されたノッチNをセンサ35で位置検出し、回転方向の位置決めも行う。
【選択図】図1
【解決手段】回転可能な基板載置面上に仮置きされた円形基板Wを、基板載置面に形成された微細孔15からの噴出空気で浮上させる一方、円形基板Wの下面とブロック22上面との間に、噴出孔24から風向A方向をなす空気流を噴出させて、この空気流により、上記仮置きされた円形基板WをX軸方向に沿ってガイド部30側に移動させ、ガイド部30に当接させてスピンドル回転軸と円形基板Wの芯出し位置調整を行う基板移動部20とを備える。さらにスピンドル11の回転により円形基板Wを回転させることで、その外周縁に形成されたノッチNをセンサ35で位置検出し、回転方向の位置決めも行う。
【選択図】図1
Description
本発明は基板位置決め装置に係り、特に半導体製造工程で使用される円形のシリコンウェハーや液晶パネル製造工程で使用される円形のガラス基板の位置決めを、簡易な構造で迅速かつ高精度で行えるようにした基板位置決め装置に関する。
通常、半導体製造工程で使用される円形のシリコンウェハーや、液晶パネル製造工程で使用される円形のガラス基板等、外周の一部にオリフラ、ノッチ等が形成された各種材料からなる円形の基板(以下、本明細書では、これらを総称して「円形基板」と呼ぶ。)の位置決めを行うアライナー等と呼ばれる位置決め装置が用いられている。この種の基板位置決め装置では、通常、基板載置面上の基板の中心位置合わせと、回転方向の位置合わせとが行われている。
ところで、現在、半導体製造工程においては、集積回路の集積度が格段に増しているため、設備の価格もより高価になるという問題があり、設備の価格を下げる必要に迫られている。そこで、本製品はそれらに応えるために、簡単な構造で必要な機能を提供することが求められている。
従来のこの種の位置決め装置は、各種寸法の基板の位置決めを行うために複数の駆動モータを使用し、基板を平面上で多軸方向に移動させる駆動方式であり、その際、基板をガイドに押し当てたり、把持構造で掴んで基板保持を図っていた。
しかし、この種の位置決め装置では、把持力が大きく、ウェハーを傷め、パーティクルも発生しやすい。このため厚さ50〜300μmの極薄のウェハーの位置決めには適さなかった。この問題を解決するために、非接触保持具をウェハーの下側に配置し、ウェハーを非接触保持した状態で、ウェハー外周に配置したウェハーを回転させる回転具でウェハーを把持し、駆動ローラの回転でウェハーを回転させ、ノッチ検出用のセンサーでウェハーの回転方向の位置決めを行う位置合わせ装置が提案されている(特許文献1)。
ところが、特許文献1の発明では、ウェハーはローラ類で把持されるが、50〜300μm厚さ程度の極薄型のウェハーの外縁は鋭利なエッジとなっており、それを把持すれば、やはり破損してしまうという問題がある。またウェハー回収の際、ウェハーを把持し、駆動ローラで回転させる機構であるため、パーティクル発生と、基板への付着を増大させるとい問題も予想される。そこで、本発明の目的は上述した従来の技術が有する問題点を解消し、簡易な構造からなり、位置決めに際し、ウェハーをまったく傷めることのない基板位置決め装置を提供することにある。
上記目的を達成するために、本発明は回転軸回りの回転可能な基板載置面上に仮置きされた円形基板を、本体内部の気流経路に連通し、前記基板載置面に形成された微細孔からの噴出空気で浮上させる一方、前記気流経路での切り替えにより中心位置決めされた前記円形基板を前記基板載置面上に吸着保持して回転させる基板保持回転部と、前記円形基板の外周縁近傍に配置され、該円形基板の移動を規制して円形基板の回転中心点を、該基板保持回転部の回転軸と一致させるガイド部と、前記円形基板の下面と空気噴出器ブロック上面との間に、所定風向をなす空気流を噴出させ、該空気流により前記基板載置面上に仮置きされた前記円形基板を移動させ、前記ガイド部に当接させる基板移動部とを備えたことを特徴とする。
前記円形基板を回転させた際に、該円形基板の外周縁の一部に形成されたノッチ位置を検出する角度検出センサを、前記円形基板の外周縁近傍に設けることが好ましい。
前記基板移動部は、前記空気流の噴出孔が前記本体上面に取り付けられたブロック内に所定角度をなして形成され、前記噴出孔が前記本体内部の気流経路に連通した空気噴出器とすることが好ましい。
前記円形基板は、前記空気流の粘性により前記ブロック側に吸引されながら前記ガイド部材に向けて移動させることが好ましい。
回転軸回りに回転可能な基板載置面上に仮置きされた円形基板下面と前記基板載置面との間に、本体内部の気流経路に連通した前記基板載置面に形成された微細孔から空気流を所定風向に噴出させて前記円形基板を、浮上させながら前記仮置き位置から移動させて、該円形基板の回転中心点を、前記基板載置面の回転軸と一致させるガイド部に当接させて中心位置決めさせる一方、前記気流経路内での切り替えにより中心位置決めされた前記円形基板を前記基板載置面上に吸着保持して回転させる基板保持回転部を有することを特徴とする。
このとき、前記微細孔は、前記基板保持回転部の天板内に所定角度をなして傾けて形成することが好ましい。
前記円形基板を前記基板載置面上に仮置きする前に、前記基板載置面に形成された微細孔の傾きが、前記円形基板の移動方向に向くように、前記基板保持回転部の回転角を補正することが好ましい。
本発明によれば、基板を、空気の粘性流れによる抵抗力で移動させるため、接触によるパーティクル発生は微少となり、また押付力が空気の粘性から発生するため、基板へのダメージをほとんどなくすことができる。以上のような構造を採用することで、極薄の基板も同様に高精度の位置決めが可能となる。さらに、構造が簡単なため、部品点数を大幅に削減でき、コストの大幅削減も可能になるという効果を奏する。
以下、本発明の基板位置決め装置の実施するための最良の形態として、以下の実施例について添付図面を参照して説明する。
図1は、本実施例の基板位置決め装置1の概略平面図、図2は、図1の装置内部を模式的に示した図1のII-II断面線に沿って示した断面図である。
図1に示したように、本実施例の基板位置決め装置1は、床面上に固定された直方体状の本体部2の上面に、仮想線で示した円形基板Wの中心位置が載置されるように配置された基板保持回転部10の主要部材としてのスピンドル11と、このスピンドル位置と円形基板Wの外周縁端位置との間に配置され、スピンドル11の基板載置面11aに仮置きされた円形基板Wを、所定風向の空気流Aを発生させて、その空気流Aを利用して後述するガイド部30に向けて移動させる基板移動部20と、この基板移動部20によって移動する円形基板Wの動きを規制して所定位置に位置決めするガイド部30と、切替弁5A(図2)の操作によりスピンドル11内に形成された微細孔15を用いた空気噴出と真空吸着とを実現する気流経路13とから構成されている。
図1に示したように、本実施例の基板位置決め装置1は、床面上に固定された直方体状の本体部2の上面に、仮想線で示した円形基板Wの中心位置が載置されるように配置された基板保持回転部10の主要部材としてのスピンドル11と、このスピンドル位置と円形基板Wの外周縁端位置との間に配置され、スピンドル11の基板載置面11aに仮置きされた円形基板Wを、所定風向の空気流Aを発生させて、その空気流Aを利用して後述するガイド部30に向けて移動させる基板移動部20と、この基板移動部20によって移動する円形基板Wの動きを規制して所定位置に位置決めするガイド部30と、切替弁5A(図2)の操作によりスピンドル11内に形成された微細孔15を用いた空気噴出と真空吸着とを実現する気流経路13とから構成されている。
スピンドル11は、図1及び図2に示したように、多数の微細孔15が所定の配列をなして形成された円板状の天板12と、内部に気流経路13が形成され、後述する駆動モータ6に連結される下端14aまでテーパ面が形成された円板基部14とが図示しない固定ボルトで結合されてなる。そして、本体部2内で基部下端14aに連結された駆動モータの回転により、スピンドル11上面に載置された円形基板Wの回転方向の位置調整が行えるようになっている。
本体部2の内部構成及び外部設備について、図2を参照して簡単に説明する。本体部2内には、スピンドル11と後述する空気噴出器21のブロック22に連通した配管4A,4B、これら配管4A,4B上に設けられた切替弁5A,5B、切替弁5A,5Bの切り替え、スピンドル11の駆動モータ6の駆動を制御する制御部7が設けられており、外部設備としての真空発生装置8(真空ポンプ)、圧縮空気供給装置等の圧気源9からの流体制御を確実に行うことができるようになっている。これによりスピンドル11上に基板Wが載置された段階から、最終的な位置決めまで一連の動作工程を自動または所定のシーケンスで制御できるようになっている。
本実施例では駆動モータ6には制御部7によって回転角度の微調整が可能なステッピングモータが用いられ、スピンドル11に載置された円形基板Wの回転方向の位置決めを高精度に行える。なお、駆動モータ6とスピンドル11との駆動伝達は、モータ6とスピンドル11とを直結してもよいし、別体として備え付け、伝達ベルト等により駆動伝達させるようにしてもよい。
スピンドル11の天板12に形成された微細孔15を用いれば、気流経路13を真空ポンプ8等に連結した吸引経路とすることで、基板をスピンドル11上に真空吸着し固定することができる。また、切替弁5Aを切り替えて圧気源9からの圧縮空気を各微細孔15から均等に噴出させれば、スピンドル11の基板載置面11aに仮置きれた円形基板Wを、水平状態を保持してわずかな高さだけ浮上させることができる。なお、配管4Aの途中にフィルタ(図示せず)を設け、パーティクルや不純物等が微細孔15から噴出しないようにしたり、イオナイザー(図示せず)でイオン化した空気を噴出することで、基板Wの帯電防止を図り、不純物等の付着を防止することができる。
次に、基板移動部20の構成について説明する。基板移動部20は、円形基板Wをガイド部30側に移動させる機能を有する空気噴出器21からなる。すなわち、この空気噴出器21は、図2に示したように、本体部2の上面に据え付けられたステンレススチール製ブロック22からなるマニホールド内に、X軸方向に沿ってガイド部30側(図1)傾けて気流経路23が形成され、この気流経路23の端部となるブロック22の上面に空気噴出孔24が形成されている。この空気噴出孔24はX軸(図1:ブロックの中心軸線)に関して対称な位置に形成され、後述するようにスピンドル11の基板載置面11a上に仮置きされた基板下面に向けて圧縮空気を噴出できる。このとき、圧縮空気は、図2に示したように、基板W下面とブロック22上面との間を矢印方向(図1)に流れ、そのときの空気流Aの粘性により、基板Wを矢印方向に移動させるとともに、隙間を流れる空気流Aによるベルヌーイ効果により基板Wを空気噴出器21のブロック22上面側に吸引して安定させることができる。また、スピンドル11内に形成された気流経路13と同様に、配管4Bの途中にフィルタ(図示せず)を設け、パーティクルや不純物等が微細孔15から噴出しないようにしたり、イオナイザー(図示せず)でイオン化した空気を噴出することで、基板Wの帯電防止を図り、不純物等の付着を防止することができる。
本実施例では、ガイド部30は、図1に示したように、装置本体部2から側方に張り出したウイング31の先端にガイド爪32が取り付けられた形状からなり、このガイド爪32の一面32aは円形基板Wの外周縁端に面接触可能な曲面状に形成されている。このガイド部30は、図示しない電磁ソレノイドなどのアクチュエータによって、円形基板Wの中心位置とスピンドル11の回転軸中心とを一致させるためのセンタリング位置と、スピンドル11の載置面上にセンタリングされた基板を回転させたときに、ガイド爪32が基板Wの外周縁に接触しない退避位置との間を矢印方向に水平移動させることができる。なお、本実施例では、ガイド部30は、本体部2のX軸に関して対称位置に2個所設けられているが、基板外周縁に少なくても2点以上で接触し、空気噴出器21からの空気流Aの風向軸(X軸に一致)に対して左右対称位置に配置されれば、本実施例のようなガイド爪32とウイング31との組み立て構造の他、一体加工部品等、種々の形状、構造のものを使用することができる。なお、ガイド部30の位置を固定しておき、スピンドル11の支持軸(回転軸)をX軸方向に沿って移動させても同様に基板Wのセンタリングが可能である。さらに、基板Wのセンタリングのみに用途を限定すれば、基板移動部20の空気噴出器21とガイド部30のみを設けれるだけでよい。
さらに、円形基板Wがスピンドル11の基板載置面11a上にセンタリングされた後に、円形基板Wの回転方向位置の位置決めを行う必要がある。そのために、本実施例では、円形基板Wの外周縁に形成されたノッチNを検出するために図1,図2に示したように、本体部2のX軸上(本体部2長手方向中心線上)の基板外周縁位置に、角度検出用のセンサ35が設置されている。このセンサ35は側面視してコ字形をなし、開口部35aの一端に発光部が、その対向位置に受光部が設けられた光電センサで、基板が載置されたスピンドル11を回転した際に、ノッチNが通過した際に透過光を受光部が検知し、円形基板Wの回転角を知ることができる。センサ35は透過式あるいは反射式を用途によって選択することができる。またセンサの個数は、センタリング完了を検出するセンサも含めて複数個を配置することが好ましい。
[位置決め工程]
以下、円形基板Wのスピンドル11上の定位置への位置決め工程について、図3各図を参照して説明する。
図3(a)には、あらかじめガイド部30のガイド爪32が、円形基板Wをスピンドル11上の定位置に位置決めする位置に移動され、その状態で、円形基板Wがガイド部30からΔだけ隙間をあけて、スピンドル11上に仮置きされた状態が示されている。Δの大きさは、通常、円形基板Wの外周縁端とガイド爪32とが接触しない数mm程度である。この状態から、スピンドル11の微細孔15と空気噴出器21のブロック22に形成された噴出孔24から圧縮空気を噴出させる(図3(b参照)。このとき空気噴出器21の噴出孔24は、上述のように噴出方向がX軸方向に沿って斜めに穿孔されているため、圧縮空気を噴出させると、円形基板Wは、その下面とブロック22上面との間に生じるX軸方向(図1)と平行な風向の空気流Aの粘性により、その外周縁端が2個所のガイドに当接するまでX軸方向に移動する。この結果、円形基板Wの中心軸Cはスピンドル11の中心軸(図示せず)と確実に位置合わせすることができる。この状態から図3(c)に示したように、本体部2内に設けられた切替弁5A,5B(図2)の切り替え操作により、スピンドル11の微細孔15及び空気噴出器21からのからの圧縮空気の噴出を停止すると同時に、スピンドル11の微細孔15からの真空引きを開始する。これにより、円形基板Wをスピンドル11上の正規位置に保持することができる。この状態から、図3(d)に示したように、ガイド部30を退避位置まで後退させ、ガイド爪32と円形基板Wとの接触を解除する。そして、駆動モータ6の回転によりスピンドル11を同図に示したように、回転させることで円形基板Wの外縁端の所定位置に形成されたノッチNをセンサ35(図1参照)で検知する。このノッチNを検出後、ノッチNがセンサ35の位置から所定の回転位置に停止するように円形基板Wの回転方向位置決めが行われる。
以下、円形基板Wのスピンドル11上の定位置への位置決め工程について、図3各図を参照して説明する。
図3(a)には、あらかじめガイド部30のガイド爪32が、円形基板Wをスピンドル11上の定位置に位置決めする位置に移動され、その状態で、円形基板Wがガイド部30からΔだけ隙間をあけて、スピンドル11上に仮置きされた状態が示されている。Δの大きさは、通常、円形基板Wの外周縁端とガイド爪32とが接触しない数mm程度である。この状態から、スピンドル11の微細孔15と空気噴出器21のブロック22に形成された噴出孔24から圧縮空気を噴出させる(図3(b参照)。このとき空気噴出器21の噴出孔24は、上述のように噴出方向がX軸方向に沿って斜めに穿孔されているため、圧縮空気を噴出させると、円形基板Wは、その下面とブロック22上面との間に生じるX軸方向(図1)と平行な風向の空気流Aの粘性により、その外周縁端が2個所のガイドに当接するまでX軸方向に移動する。この結果、円形基板Wの中心軸Cはスピンドル11の中心軸(図示せず)と確実に位置合わせすることができる。この状態から図3(c)に示したように、本体部2内に設けられた切替弁5A,5B(図2)の切り替え操作により、スピンドル11の微細孔15及び空気噴出器21からのからの圧縮空気の噴出を停止すると同時に、スピンドル11の微細孔15からの真空引きを開始する。これにより、円形基板Wをスピンドル11上の正規位置に保持することができる。この状態から、図3(d)に示したように、ガイド部30を退避位置まで後退させ、ガイド爪32と円形基板Wとの接触を解除する。そして、駆動モータ6の回転によりスピンドル11を同図に示したように、回転させることで円形基板Wの外縁端の所定位置に形成されたノッチNをセンサ35(図1参照)で検知する。このノッチNを検出後、ノッチNがセンサ35の位置から所定の回転位置に停止するように円形基板Wの回転方向位置決めが行われる。
図4は、実施例2の基板位置決め装置10の概略平面図、図5は、図4の装置内部を模式的に示した図4のV-V断面線に沿って示した断面図である。
図4に示したように、本実施例では、円形基板Wは、直径の大きなスピンドル11上に載置されている。このスピンドル11では、実施例1で別途設けられた基板移動部20としての空気噴出器21の機能を、スピンドル11の天板12に形成された微細孔15の向きを傾けて形成することで実現している。すなわち、図5に示したように、スピンドル11の天板12に微細孔15を所定の角度で傾けて形成することにより、この微細孔15から圧縮空気をX軸方向に沿った風向で噴出させると、実施例1の空気噴出器21と同等の基板移動機能を得ることができる。実施例2でも図4に示したように、同様の構成のガイド部30が設けられており、このガイド部30に円形基板Wを押圧させることにより、円形基板Wの中心軸とスピンドル11の回転軸(中心軸)とを一致させる位置決めが可能になる。
図4に示したように、本実施例では、円形基板Wは、直径の大きなスピンドル11上に載置されている。このスピンドル11では、実施例1で別途設けられた基板移動部20としての空気噴出器21の機能を、スピンドル11の天板12に形成された微細孔15の向きを傾けて形成することで実現している。すなわち、図5に示したように、スピンドル11の天板12に微細孔15を所定の角度で傾けて形成することにより、この微細孔15から圧縮空気をX軸方向に沿った風向で噴出させると、実施例1の空気噴出器21と同等の基板移動機能を得ることができる。実施例2でも図4に示したように、同様の構成のガイド部30が設けられており、このガイド部30に円形基板Wを押圧させることにより、円形基板Wの中心軸とスピンドル11の回転軸(中心軸)とを一致させる位置決めが可能になる。
実施例2では、円形基板Wをスピンドル11上に載置する初期状態で、スピンドル11天板12の微細孔15の傾き方向が、図4に示したガイド部30に向けたX軸方向と平行な矢印方向に向いていることが重要である。そこで、本実施例では、モータ回転軸の回転角検出ドグ38が駆動モータ6下端から突出した回転筒体37に設けられている。さらに回転角検出ドグ38の位置検知を行う位置検出センサ39がドグの可動領域内に設置されている。これにより、まず円形基板Wがスピンドル11上に載置される前にスピンドル11の向きを駆動モータ6で微細孔15が図4に示したX軸方向を向くように調整して静止させ、その状態のスピンドル11の基板載置面11a上に円形基板Wを仮置きする。そして微細孔15から圧縮空気を噴出させることにより、円形基板Wは基板下面とスピンドル11載置面との間に生じる空気流Aの粘性により、その外周縁端が2個所のガイドに当接するまでX軸方向に移動する。この結果、円形基板Wの中心軸Cはスピンドル11の中心軸(図示せず)と確実に位置合わせすることができる。この状態から、実施例1と同様に、本体部2内に設けられた切替弁5Aの操作により、スピンドル11の微細孔15からの圧縮空気の噴出を停止すると同時に、微細孔15からの真空引きを開始する。これにより、円形基板Wをスピンドル11上の正規位置に保持することができる。この状態から、実施例1と同様に、ガイド部30を退避位置まで後退させ、円形基板Wとガイド爪32の接触を解除する。そして、スピンドル11を回転させることで、図4,5に示したように、円形基板Wの外縁端の所定位置に形成されたノッチNをセンサ35で検知する。このノッチNを検出後、ノッチNがセンサ35位置から所定の回転位置に停止するように円形基板Wの回転方向位置決めが行われる。
なお、図4に示したスピンドル11に形成された微細孔15な一様な直径で、所定の傾きをなして天板12全面に、同心円状に等間隔をあけて配列して形成されているが、そのうちの一部の微細孔15を空気噴出孔として機能させるために比較的大きな孔径とし、この空気噴出孔からの空気流Aにより、基板移動部20としての位置決め調整を行わせるようにしてもよい。
1 基板位置決め装置
5A,5B 切替弁
6 駆動モータ
8 真空ポンプ
9 圧気源
10 基板保持回転部
11 スピンドル
12 天板
13,23 気流経路
15 微細孔
20 基板に胴部
21 空気噴出部
22 ブロック
24 空気噴出孔
30 ガイド部
32 ガイド爪
W 円形基板
N ノッチ
5A,5B 切替弁
6 駆動モータ
8 真空ポンプ
9 圧気源
10 基板保持回転部
11 スピンドル
12 天板
13,23 気流経路
15 微細孔
20 基板に胴部
21 空気噴出部
22 ブロック
24 空気噴出孔
30 ガイド部
32 ガイド爪
W 円形基板
N ノッチ
Claims (7)
- 回転軸回りに回転可能な基板載置面上に仮置きされた円形基板を、本体内部の気流経路に連通し、前記基板載置面に形成された微細孔からの噴出空気で浮上させる一方、前記気流経路での切り替えにより中心位置決めされた前記円形基板を前記基板載置面上に吸着保持して回転させる基板保持回転部と、
前記円形基板の外周縁近傍に配置され、該円形基板の移動を規制して円形基板の回転中心点を、該基板保持回転部の回転軸と一致させるガイド部と、
前記円形基板の下面と空気噴出器ブロック上面との間に、所定風向をなす空気流を噴出させて、該空気流により前記基板載置面上に仮置きされた前記円形基板を移動させ、前記ガイド部に当接させる基板移動部とを備えたことを特徴とする基板位置決め装置。 - 前記円形基板を回転させた際に、該円形基板の外周縁の一部に形成されたノッチ位置を検出する角度検出センサを、前記円形基板の外周縁近傍に設けたことを特徴とする請求項1に記載の基板位置決め装置。
- 前記基板移動部は、前記空気流の噴出孔が前記本体上面に取り付けられたブロック内に所定角度をなして形成され、前記噴出孔が前記本体内部の気流経路に連通した空気噴出器からなることを特徴とする請求項1に記載の基板位置決め装置。
- 前記円形基板は、前記空気流の粘性により前記ブロック側に吸引されながら前記ガイド部材に向けて移動することを特徴とする請求項3に記載の基板位置決め装置。
- 回転軸回りに回転可能な基板載置面上に仮置きされた円形基板下面と前記基板載置面との間に、本体内部の気流経路に連通した、前記基板載置面に形成された微細孔から空気流を所定風向に噴出させて前記円形基板を、浮上させながら前記仮置き位置から移動させて、該円形基板の回転中心点を、前記基板載置面の回転軸と一致させるガイド部に当接させて中心位置決めさせる一方、前記気流経路内での切り替えにより中心位置決めされた前記円形基板を前記基板載置面上に吸着保持して回転させる基板保持回転部を有することを特徴とする基板位置決め装置。
- 前記微細孔は、前記基板保持回転部の天板内に所定角度をなして傾けて形成されたことを特徴とする請求項5に記載の基板位置決め装置。
- 前記円形基板を前記基板載置面上に仮置きする前に、前記基板載置面に形成された微細孔の傾きが、前記円形基板の移動方向に向くように、前記基板保持回転部の回転角を補正させることを特徴とする請求項6に記載の基板位置決め装置。
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