JP2004140057A - ウエハ位置決め装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】検査ステージあるいはこの検査ステージに対してウエハのプリアライメントを行うステージ等において、モータ等による回転機構を用いることなく、非接触状態でウエハを回転させてウエハの角度位置決めができるウエハ位置決め装置を提供することにある。
【解決手段】この発明は、エアー噴流によるベルヌーイ効果の減圧を利用してウエハを浮上させてチャックする3個以上の非接触吸引ヘッドを設け、そのうちの少なくとも1つのエアーをOFFにしてあるいはその流量を変えてウエハを微小に傾かせ、この傾きの方向を時計方向あるいは反時計方向に回転させることでウエハを回転させるものである。
【選択図】 図1
【解決手段】この発明は、エアー噴流によるベルヌーイ効果の減圧を利用してウエハを浮上させてチャックする3個以上の非接触吸引ヘッドを設け、そのうちの少なくとも1つのエアーをOFFにしてあるいはその流量を変えてウエハを微小に傾かせ、この傾きの方向を時計方向あるいは反時計方向に回転させることでウエハを回転させるものである。
【選択図】 図1
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】
この発明は、ウエハ位置決め装置に関し、詳しくは、検査ステージあるいはこの検査ステージに対してウエハのプリアライメントを行うステージ等において、モータ等による回転機構を用いることなく、非接触状態でウエハを回転させてウエハの角度位置決めができるようなウエハ位置決め装置に関するものである。
【0002】
【従来の技術】
半導体ICの素材に用いられるウエハは、表面に異物が付着すると品質が劣化するので光学式の異物検査装置により検査される。検査は流れ作業により行われ、ウエハカセットに収納されたウエハは、例えば、検査ステージに搬送されてチャック部にエア−吸着され、回転される。
そのため、従来、ウエハのプリアライメントステージあるいは検査ステージには、モータ等による回転機構が設けられている。この回転機構を用いてウエハを回転させて角度位置決め(θ位置決め)し、特に、Vノッチ位置決めの場合には、3点でウエハの外周と接触するサイドチャック方式で角度位置決めと中心位置決めが行われる(例えば、特許文献1参照。)。しかし、モータ等による回転機構を用いてウエハを回転させるので、回転部の摺動等による金属粒子の発塵の問題がある。
一方、ウエハの製造工程においては、ウエハをチャックして搬送する場合に、ウエハとチャックとの接触や摺動による発塵を防止するために非接触状態でウエハを保持して搬送する技術が公知である(例えば、特許文献2参照。)。特に、ウエハをチャックする場合にはベルヌーイ効果によるチャック力を利用してウエハを吸引してチャックすることが行われる(例えば、特許文献3参照。)。
【0003】
【特許文献1】
特開平4−320043号公報
【特許文献2】
特開昭63−8135号公報
【特許文献3】
特開平10−167470号公報
【0004】
【発明が解決しようとする課題】
検査ステージのウエハ位置決めあるいはウエハプリアライメントステージにおけるウエハの中心位置決めと角度位置決めでは、通常、回転機構やXYの移動機構が必要であるが、よりクリーン度が要求される線幅がサブミクロンのパターンを持つウエハの製造に対して回転部の摺動により発生する金属粒子等の発塵は、ウエハにとって好ましくない。
そこで、非接触でウエハのアライメントを行うことが考えられるが、非接触のチャック機構を用いたとしてもウエハを角度位置決めするためには、どこかに回転機構をどうしても設けなければならなくなる。
また、ウエハのサイズが最近では、250mm〜300mmか、あるいはこれ以上と大型化し、かつ、その厚さも薄くなってきており、モータ等を用いたプリアライメントステージの回転機構も大型化する傾向にある。さらに、回転によりウエハが振動するので、ウエハを安全な状態で回転させることが難しくなってきている。
この発明の目的は、以上に鑑みてなされたものであって、検査ステージあるいはこの検査ステージに対してウエハのプリアライメントを行うステージ等において、モータ等による回転機構を用いることなく、非接触状態でウエハを回転させてウエハの角度位置決めができるウエハ位置決め装置を提供することにある。
【0005】
【課題を解決するための手段】
このような目的を達成するためのこの発明のウエハ位置決め装置の特徴は、エアー噴流によるベルヌーイ効果の減圧を利用してウエハを浮上させてチャックする3個以上の非接触吸引ヘッドと、これら非接触吸引ヘッドの少なくとも1つのエアーを時計方向あるいは反時計方向に選択的に順次OFF状態にしてあるいは選択的に順次そのエアーの流量を増加または減少させてウエハを回転させる制御を行う制御装置とを備えるものである。
【0006】
【発明の実施の形態】
このように、この発明にあっては、ベルヌーイ効果によるチャック力を利用してウエハを浮上させてチャックする非接触吸引ヘッドを3個以上設けて、そのうちの少なくとも1つのエアーをOFFにしてあるいはその流量を変えて、この傾きの方向を時計方向あるいは反時計方向に回転させることでウエハを微小に傾かせ、ウエハを回転させる。これによりウエハをモータ等による回転機構によらなくても非接触状態で回転させることができ、発塵や振動をほとんど発生させないで、ウエハを回転させて角度位置決めをすることができる。
その結果、検査ステージ、プリアライメントステージ、搬送装置等のウエハのアライメントを行う装置において、モータ等による回転機構を用いることなく、非接触状態でウエハを安全に回転させてウエハの角度位置決めが可能になる。
ところで、ここでのOFF状態は、エアーが完全にカットされる状態のほか、ウエハに実質的に傾きを発生するような状態、すなわち、エアーがOFFしているに等しい状態にある場合も含むものである。
【0007】
【実施例】
図1は、この発明のウエハ位置決め装置を適用したVノッチウエハの位置決め装置の一実施例の平面図であり、図2は、非接触吸引ヘッドの説明図、図3は、そのVノッチ位置決め機構の各位置決め部材の説明図である。
図1において、一点鎖線で示す1は、ウエハ位置決め装置に載置されるウエハであって、検査ステージにおけるウエハ位置決め装置2によりこのウエハ1に対して中心位置決めと角度位置決めがなされる。
ウエハ位置決め装置2は、チャック部21と、チャック部21に設けられ、ウエハ1を回転させる3個の非接触吸引ヘッド22、およびチャック部21に保持されたウエハ1を上下に移動するZステージ24とにより構成される。非接触吸引ヘッド22は、吸引されたウエハ1の中心に対して約120度の等間隔に配置されるように設けられている。
なお、これにはモータ等による回転機構は設けられていない。
【0008】
チャック部21は、厚さ5mm程度のY字型の板状部材であって、矩形のZステージ24に固定され、3個の非接触吸引ヘッド22は、Y字型の分かれ目の位置と先端側とに分散して配置されている。このチャック部21には、ウエハ1の外周に沿ってピンが配置されるウエハ中心位置決め機構3が設けられている。 ウエハ中心位置決め機構3は、ウエハ1の円周の3点に対応して、Y字型の先端側の位置に固定ピン台座31,32が設けられ、Y字型の分かれ目の位置に設けられた非接触吸引ヘッド22の近傍に角度検出押圧ピン台座33が設けられている。
これにより、角度検出押圧ピン台座33は、固定ピン台座31,32と対向する位置に配置され、ウエハ1の中心方向に移動する(その移動機構については後述)。この角度検出押圧ピン台座33には、押圧ピン33a(図3(a)参照)が植設されていて、この押圧ピン33aにより、吸引保持されているウエハ1を固定ピン台座31,32の固定ピン31a,32a(図3(b)参照)に押しつける。これによりウエハ1の中心位置決めがなされる。
図3(a)に示すように、角度検出押圧ピン台座33には、ノッチ検出ピン33bが設けられ、これがスプリング33c(図3(a)参照)によりウエハ1の中心方向に付勢されている。そこで、角度検出押圧ピン台座33がウエハ1の中心に向かって前進した状態において、吸引状態にあるウエハ1が低速で回転されると、Vノッチ1aがノッチ検出ピン33bの位置に回転してきたときに、ノッチ検出ピン33bは、回転されたウエハ1のエッジよりVノッチ1aの深さだけ内方の位置に移動する。このとき、ウエハ1が低速回転しているのでノッチ検出ピン33bの嵌入によりこの位置でウエハ1の回転を停止させる(図3(c)参照)。
その結果、ウエハ1の角度位置決めと中心位置決めとがなされる。ノッチ検出ピン33bがVノッチ1aに嵌入すると、Vノッチ1aが検出される。Vノッチ1aが検出されたときには、角度検出押圧ピン台座33に設けられたセンサ33dから検出信号Sが発生し、この検出信号Sが制御回路5に入力される。
【0009】
ウエハ1を回転させる3個の非接触吸引ヘッド22は、図2に示す構造のものであり、エアーが供給されることによりベルヌーイ効果により非接触状態でウエハ1を非接触吸引ヘッド22の面より0.1mm〜0.15mm程度浮上させる。これによりウエハ1は、チャック部21に保持された状態になる。
このウエハ1の保持状態において、次に、角度検出押圧ピン台座33の前進によりウエハ1の中心位置決めがなされる。そして、ヘッド22のうちの1個のエアの噴出を停止(OFF)することで、ウエハ1は微小なバランスを崩して、OFF(停止)している非接触吸引ヘッド22の方向に微小な傾きを生じる。そこで、制御回路5によりOFFする非接触吸引ヘッド22を時計方向あるいは反時計方向に順次選択していくことで、この傾きの方向を所定の速度で時計方向あるいは反時計方向に回転させる。このことで、吸引され保持されているウエハ1は、この傾きの回転に応じて回転する。
例えば、0.7PMaの吐き出し圧でエアーを非接触吸引ヘッド22から噴出してウエハ1を吸引保持し、10Hz程度の周期で順次ON/OFFすると、ウエハ1は、0.1mm〜0.3mm/secの速度で安定した低速回転をする。
4は、Zステージ23に固定されたエアーON/OFF切換制御弁機構であり、制御回路5により制御されて全エアーの供給、エアーの停止、そしてエアーON/OFF切換を行う。これらは、ウエハ1を回転させる制御を行う制御装置の一例である。
6は、エアー供給源(エアーポンプ)である。エアー供給源6からフレキシブルなエアー供給管6a,6b,6cを介してエアーON/OFF切換制御弁機構4にエアーが供給され、供給されたエアーは、エアーON/OFF切換制御弁機構6を介してそれぞれにチャック部21の内部に設けられた連通路21a,21b,21cに送出され、それぞれに非接触吸引ヘッド22に供給される。そして、エアーON/OFF切換制御弁機構4の弁制御により非接触吸引ヘッド22へのエアーの供給が順次選択的に停止される。
制御回路5は、センサ33dからの検出信号Sを受けてエアーON/OFF切換制御弁機構4により非接触吸引ヘッド22の動作を停止する。これによりウエハ1は、図3に示す各台座31,32,33に支持され、ノッチ検出ピン33bの嵌入によりその位置が保持される。
【0010】
非接触吸引ヘッド22は、図2(a)の平面図に示すように、中央部に円周状の吹き出し開口22aが設けられ円盤状の形状をしていて、図2(b)の側面図に示すように、開口22aの周囲には、少し突出したフランジ22bが設けられている。これは、図2(c)の断面図に示すように、内側にコーン状の蓋体22c(図2(a),(c)参照)が設けられることで、内部には、ラッパ状に広がる溝空間22dが形成され、エアー供給孔23(図2(b),(c)参照)からのエアーがコーンの中心部から供給されて、開口22aで円形で外側に広がるエアーを吐き出す構造になっている。これにより高速吐き出しエアーがウエハ1の裏面に拡散して、ベルヌーイ効果による減圧状態が非接触吸引ヘッド22とウエハ1の裏面との間隙に形成される。その結果、ウエハ1は、0.1mm〜0.15mm程度浮上した状態で非接触吸引ヘッド22により吸引保持される。
この保持されたウエハ1を回転させる前に、まず、角度検出押圧ピン台座33が前進して図3(c)に示すように、固定ピン31a,32aと押圧ピン33aとはそれぞれウエハ1のエッジに軽く接触する。この状態で、エアーON/OFF切換制御弁機構4により3個の非接触吸引ヘッド22の1つエアーが順次OFFがされることで、ウエハ1に微小な傾きが発生し、この傾きが時計方向あるいは反時計方向に回転する。これによりウエハ1の傾きが回転し、その方向にウエハ1が低速で回転していく。このように非接触で回転させているため、摩擦がほとんどなく、ウエハ1の回転を容易に止めることができる。
【0011】
図3は、ウエハ中心位置決め機構3の説明図であって、図3(a)は、角度検出押圧ピン台座33と、押圧ピン33a、ノッチ検出ピン33bの説明図である。角度検出押圧ピン台座33の押圧ピン33aの根本には、下向きに傾斜した面35を有する突出部33eが設けられていて、ウエハ1の浮上吸引が停止したときには、突出部33eの傾斜面35にウエハ1のエッジが当接されてウエハ1が保持される。
図3(b)は、固定ピン台座31,32と固定ピン31a(32a)の説明図である。固定ピン台座31,32は、同一構造をしていて、それぞれ固定ピン31a(32a)の根本には、下向きに傾斜した面34を有する突出部31b(32b)が設けられている。ウエハ1の浮上吸引が停止したときには、この突出部31b(32b)の傾斜面34にウエハ1のエッジが当接されてウエハ1が保持される。
次に、角度検出押圧ピン台座33の移動機構について説明する。
角度検出押圧ピン台座33の下側のチャック部21には直線状のガイド溝孔36が設けられていて、このガイド溝孔36に角度検出押圧ピン台座33の底面に設けられた突起(図示せず)が係合して角度検出押圧ピン台座33のウエハ1の中心方向への移動がガイドされる。
角度検出押圧ピン台座33の後部側面にはソレノイドあるいはエアーシリンダで構成される進退アクチュエータ37のロッドが結合されていて、この進退アクチュエータ37の駆動により角度検出押圧ピン台座33が前進,後退する。なお、進退アクチュエータ37は、制御回路5からの信号を受けて駆動される。
【0012】
制御回路5による全体的な位置決め制御動作の手順としては、▲1▼3個の非接触吸引ヘッド22のエアー噴射によるウエハ1の非接触状態の吸引保持および回転、▲2▼角度検出押圧ピン台座33の前進によるウエハの中心位置決め処理、▲3▼OFFさせる非接触吸引ヘッド22の順次選択によるウエハ1の回転、▲4▼検出信号Sの発生によるウエハ1の角度位置決め検出、▲5▼非接触吸引ヘッド22のエアー噴射の停止によるウエハの保持となる。そして、最後に▲6▼として、ウエハ1のウエハ中心位置決め機構3からの保持の解除がある。これは、進退アクチュエータ37により角度検出押圧ピン台座33を後退させることでVノッチ1aへのノッチ検出ピン33bの嵌入が解除されることで行われる。
【0013】
以上説明してきたが、実施例では、3個の非接触吸引ヘッドの少なくとも1つのエアーを時計方向あるいは反時計方向に選択的に順次OFF状態にしているが、このときエアーをOFFにするのは、ウエハを微小に傾かせるためである。ウエハを傾かせるためには、3個の非接触吸引ヘッドの少なくとも1つエアーの流量を増加または減少させても可能であるので、この発明は、そのようにしてもよいことはもちろんである。
また、実施例では、非接触吸引ヘッド22を3個用いているが、非接触吸引ヘッド22は、3個以上であれば、多数設けられていてもよく、それらは所定の角度で分散して設けられていればよい。
さらに、実施例では、Vノッチウエハの実施例を中心に説明しているが、この発明は、オリエンテーションフラット(オリフラ)を持つウエハについても適用できることはもちろんである。
ところで、非接触吸引ヘッド22は、実施例ではエアー吐き出し型のものを用いているが、ベルヌーイ効果の減圧を利用するものとして、エアー吐き出しと同時に負圧吸引するタイプのものもある。これは、吐き出し孔の中心部あるいは周辺部に負圧吸引する孔を設けて吐き出しと同時にそのエアーを負圧吸引するものである。この発明は、このようなタイプの非接触吸引ヘッドを用いてもよいことはもちろんである。
さらに、実施例のウエハ中心位置決め機構3の固定ピンと押圧ピンの位置は、押圧ピンと固定ピンとが対向配置の状態にあればよく、ウエハ1の外周を等角度分割した点に置かれていてもよいことはもちろんである。
さらにまた、この発明のウエハの位置決め装置は、実施例では、Zステージ上に設けているが、Zステージ等のアライメントステージに設ける場合に限定されるものではなく、そのチャック部21の構成上からして、搬送装置そのものにチャック部21をウエハの位置決め装置として設けて、ウエハ搬送過程でウエハの位置決め処理をすることも可能である。
【0014】
【発明の効果】
以上の説明のとおり、この発明にあっては、ベルヌーイ効果によるチャック力を利用してウエハを浮上させてチャックする非接触吸引ヘッドを3個以上設けて、そのうちの少なくとも1つのエアーをOFFにしてあるいはその流量を変えてウエハを微小に傾かせ、この傾きの方向を時計方向あるいは反時計方向に回転させることでウエハを回転させる。これによりウエハをモータ等による回転機構によらなくても非接触状態で回転させることができ、発塵や振動をほとんど発生させないで、ウエハを回転させて角度位置決めをすることができる。
その結果、検査ステージ、プリアライメントステージ、搬送装置等のウエハのアライメントを行う装置において、モータ等による回転機構を用いることなく、非接触状態でウエハを安全に回転させてウエハの角度位置決めが可能になる。
【図面の簡単な説明】
【図1】図1は、この発明のウエハ位置決め装置を適用したVノッチウエハの位置決め装置の一実施例の平面図である。
【図2】図2は、非接触吸引ヘッドの説明図である。
【図3】図3は、そのVノッチ位置決め機構の各位置決め部材の説明図である。
【符号の説明】
1…ウエハ(またはVノッチウエハ)、
2…ウエハ位置決め装置、21…チャック部、
22…非接触吸引ヘッド、24…Zステージ、
3…ウエハ中心位置決め機構、
31,32…固定ピン台座、31a,32a…固定ピン、
33…角度検出押圧ピン台座、
33a…押圧ピン、33b…ノッチ検出ピン、
33c…スプリング、
33d…センサ、36…ガイド溝孔、
37…進退アクチュエータ、
4…エアーON/OFF切換制御弁機構、5…制御回路、
6…エアー供給源。
【発明の属する技術分野】
この発明は、ウエハ位置決め装置に関し、詳しくは、検査ステージあるいはこの検査ステージに対してウエハのプリアライメントを行うステージ等において、モータ等による回転機構を用いることなく、非接触状態でウエハを回転させてウエハの角度位置決めができるようなウエハ位置決め装置に関するものである。
【0002】
【従来の技術】
半導体ICの素材に用いられるウエハは、表面に異物が付着すると品質が劣化するので光学式の異物検査装置により検査される。検査は流れ作業により行われ、ウエハカセットに収納されたウエハは、例えば、検査ステージに搬送されてチャック部にエア−吸着され、回転される。
そのため、従来、ウエハのプリアライメントステージあるいは検査ステージには、モータ等による回転機構が設けられている。この回転機構を用いてウエハを回転させて角度位置決め(θ位置決め)し、特に、Vノッチ位置決めの場合には、3点でウエハの外周と接触するサイドチャック方式で角度位置決めと中心位置決めが行われる(例えば、特許文献1参照。)。しかし、モータ等による回転機構を用いてウエハを回転させるので、回転部の摺動等による金属粒子の発塵の問題がある。
一方、ウエハの製造工程においては、ウエハをチャックして搬送する場合に、ウエハとチャックとの接触や摺動による発塵を防止するために非接触状態でウエハを保持して搬送する技術が公知である(例えば、特許文献2参照。)。特に、ウエハをチャックする場合にはベルヌーイ効果によるチャック力を利用してウエハを吸引してチャックすることが行われる(例えば、特許文献3参照。)。
【0003】
【特許文献1】
特開平4−320043号公報
【特許文献2】
特開昭63−8135号公報
【特許文献3】
特開平10−167470号公報
【0004】
【発明が解決しようとする課題】
検査ステージのウエハ位置決めあるいはウエハプリアライメントステージにおけるウエハの中心位置決めと角度位置決めでは、通常、回転機構やXYの移動機構が必要であるが、よりクリーン度が要求される線幅がサブミクロンのパターンを持つウエハの製造に対して回転部の摺動により発生する金属粒子等の発塵は、ウエハにとって好ましくない。
そこで、非接触でウエハのアライメントを行うことが考えられるが、非接触のチャック機構を用いたとしてもウエハを角度位置決めするためには、どこかに回転機構をどうしても設けなければならなくなる。
また、ウエハのサイズが最近では、250mm〜300mmか、あるいはこれ以上と大型化し、かつ、その厚さも薄くなってきており、モータ等を用いたプリアライメントステージの回転機構も大型化する傾向にある。さらに、回転によりウエハが振動するので、ウエハを安全な状態で回転させることが難しくなってきている。
この発明の目的は、以上に鑑みてなされたものであって、検査ステージあるいはこの検査ステージに対してウエハのプリアライメントを行うステージ等において、モータ等による回転機構を用いることなく、非接触状態でウエハを回転させてウエハの角度位置決めができるウエハ位置決め装置を提供することにある。
【0005】
【課題を解決するための手段】
このような目的を達成するためのこの発明のウエハ位置決め装置の特徴は、エアー噴流によるベルヌーイ効果の減圧を利用してウエハを浮上させてチャックする3個以上の非接触吸引ヘッドと、これら非接触吸引ヘッドの少なくとも1つのエアーを時計方向あるいは反時計方向に選択的に順次OFF状態にしてあるいは選択的に順次そのエアーの流量を増加または減少させてウエハを回転させる制御を行う制御装置とを備えるものである。
【0006】
【発明の実施の形態】
このように、この発明にあっては、ベルヌーイ効果によるチャック力を利用してウエハを浮上させてチャックする非接触吸引ヘッドを3個以上設けて、そのうちの少なくとも1つのエアーをOFFにしてあるいはその流量を変えて、この傾きの方向を時計方向あるいは反時計方向に回転させることでウエハを微小に傾かせ、ウエハを回転させる。これによりウエハをモータ等による回転機構によらなくても非接触状態で回転させることができ、発塵や振動をほとんど発生させないで、ウエハを回転させて角度位置決めをすることができる。
その結果、検査ステージ、プリアライメントステージ、搬送装置等のウエハのアライメントを行う装置において、モータ等による回転機構を用いることなく、非接触状態でウエハを安全に回転させてウエハの角度位置決めが可能になる。
ところで、ここでのOFF状態は、エアーが完全にカットされる状態のほか、ウエハに実質的に傾きを発生するような状態、すなわち、エアーがOFFしているに等しい状態にある場合も含むものである。
【0007】
【実施例】
図1は、この発明のウエハ位置決め装置を適用したVノッチウエハの位置決め装置の一実施例の平面図であり、図2は、非接触吸引ヘッドの説明図、図3は、そのVノッチ位置決め機構の各位置決め部材の説明図である。
図1において、一点鎖線で示す1は、ウエハ位置決め装置に載置されるウエハであって、検査ステージにおけるウエハ位置決め装置2によりこのウエハ1に対して中心位置決めと角度位置決めがなされる。
ウエハ位置決め装置2は、チャック部21と、チャック部21に設けられ、ウエハ1を回転させる3個の非接触吸引ヘッド22、およびチャック部21に保持されたウエハ1を上下に移動するZステージ24とにより構成される。非接触吸引ヘッド22は、吸引されたウエハ1の中心に対して約120度の等間隔に配置されるように設けられている。
なお、これにはモータ等による回転機構は設けられていない。
【0008】
チャック部21は、厚さ5mm程度のY字型の板状部材であって、矩形のZステージ24に固定され、3個の非接触吸引ヘッド22は、Y字型の分かれ目の位置と先端側とに分散して配置されている。このチャック部21には、ウエハ1の外周に沿ってピンが配置されるウエハ中心位置決め機構3が設けられている。 ウエハ中心位置決め機構3は、ウエハ1の円周の3点に対応して、Y字型の先端側の位置に固定ピン台座31,32が設けられ、Y字型の分かれ目の位置に設けられた非接触吸引ヘッド22の近傍に角度検出押圧ピン台座33が設けられている。
これにより、角度検出押圧ピン台座33は、固定ピン台座31,32と対向する位置に配置され、ウエハ1の中心方向に移動する(その移動機構については後述)。この角度検出押圧ピン台座33には、押圧ピン33a(図3(a)参照)が植設されていて、この押圧ピン33aにより、吸引保持されているウエハ1を固定ピン台座31,32の固定ピン31a,32a(図3(b)参照)に押しつける。これによりウエハ1の中心位置決めがなされる。
図3(a)に示すように、角度検出押圧ピン台座33には、ノッチ検出ピン33bが設けられ、これがスプリング33c(図3(a)参照)によりウエハ1の中心方向に付勢されている。そこで、角度検出押圧ピン台座33がウエハ1の中心に向かって前進した状態において、吸引状態にあるウエハ1が低速で回転されると、Vノッチ1aがノッチ検出ピン33bの位置に回転してきたときに、ノッチ検出ピン33bは、回転されたウエハ1のエッジよりVノッチ1aの深さだけ内方の位置に移動する。このとき、ウエハ1が低速回転しているのでノッチ検出ピン33bの嵌入によりこの位置でウエハ1の回転を停止させる(図3(c)参照)。
その結果、ウエハ1の角度位置決めと中心位置決めとがなされる。ノッチ検出ピン33bがVノッチ1aに嵌入すると、Vノッチ1aが検出される。Vノッチ1aが検出されたときには、角度検出押圧ピン台座33に設けられたセンサ33dから検出信号Sが発生し、この検出信号Sが制御回路5に入力される。
【0009】
ウエハ1を回転させる3個の非接触吸引ヘッド22は、図2に示す構造のものであり、エアーが供給されることによりベルヌーイ効果により非接触状態でウエハ1を非接触吸引ヘッド22の面より0.1mm〜0.15mm程度浮上させる。これによりウエハ1は、チャック部21に保持された状態になる。
このウエハ1の保持状態において、次に、角度検出押圧ピン台座33の前進によりウエハ1の中心位置決めがなされる。そして、ヘッド22のうちの1個のエアの噴出を停止(OFF)することで、ウエハ1は微小なバランスを崩して、OFF(停止)している非接触吸引ヘッド22の方向に微小な傾きを生じる。そこで、制御回路5によりOFFする非接触吸引ヘッド22を時計方向あるいは反時計方向に順次選択していくことで、この傾きの方向を所定の速度で時計方向あるいは反時計方向に回転させる。このことで、吸引され保持されているウエハ1は、この傾きの回転に応じて回転する。
例えば、0.7PMaの吐き出し圧でエアーを非接触吸引ヘッド22から噴出してウエハ1を吸引保持し、10Hz程度の周期で順次ON/OFFすると、ウエハ1は、0.1mm〜0.3mm/secの速度で安定した低速回転をする。
4は、Zステージ23に固定されたエアーON/OFF切換制御弁機構であり、制御回路5により制御されて全エアーの供給、エアーの停止、そしてエアーON/OFF切換を行う。これらは、ウエハ1を回転させる制御を行う制御装置の一例である。
6は、エアー供給源(エアーポンプ)である。エアー供給源6からフレキシブルなエアー供給管6a,6b,6cを介してエアーON/OFF切換制御弁機構4にエアーが供給され、供給されたエアーは、エアーON/OFF切換制御弁機構6を介してそれぞれにチャック部21の内部に設けられた連通路21a,21b,21cに送出され、それぞれに非接触吸引ヘッド22に供給される。そして、エアーON/OFF切換制御弁機構4の弁制御により非接触吸引ヘッド22へのエアーの供給が順次選択的に停止される。
制御回路5は、センサ33dからの検出信号Sを受けてエアーON/OFF切換制御弁機構4により非接触吸引ヘッド22の動作を停止する。これによりウエハ1は、図3に示す各台座31,32,33に支持され、ノッチ検出ピン33bの嵌入によりその位置が保持される。
【0010】
非接触吸引ヘッド22は、図2(a)の平面図に示すように、中央部に円周状の吹き出し開口22aが設けられ円盤状の形状をしていて、図2(b)の側面図に示すように、開口22aの周囲には、少し突出したフランジ22bが設けられている。これは、図2(c)の断面図に示すように、内側にコーン状の蓋体22c(図2(a),(c)参照)が設けられることで、内部には、ラッパ状に広がる溝空間22dが形成され、エアー供給孔23(図2(b),(c)参照)からのエアーがコーンの中心部から供給されて、開口22aで円形で外側に広がるエアーを吐き出す構造になっている。これにより高速吐き出しエアーがウエハ1の裏面に拡散して、ベルヌーイ効果による減圧状態が非接触吸引ヘッド22とウエハ1の裏面との間隙に形成される。その結果、ウエハ1は、0.1mm〜0.15mm程度浮上した状態で非接触吸引ヘッド22により吸引保持される。
この保持されたウエハ1を回転させる前に、まず、角度検出押圧ピン台座33が前進して図3(c)に示すように、固定ピン31a,32aと押圧ピン33aとはそれぞれウエハ1のエッジに軽く接触する。この状態で、エアーON/OFF切換制御弁機構4により3個の非接触吸引ヘッド22の1つエアーが順次OFFがされることで、ウエハ1に微小な傾きが発生し、この傾きが時計方向あるいは反時計方向に回転する。これによりウエハ1の傾きが回転し、その方向にウエハ1が低速で回転していく。このように非接触で回転させているため、摩擦がほとんどなく、ウエハ1の回転を容易に止めることができる。
【0011】
図3は、ウエハ中心位置決め機構3の説明図であって、図3(a)は、角度検出押圧ピン台座33と、押圧ピン33a、ノッチ検出ピン33bの説明図である。角度検出押圧ピン台座33の押圧ピン33aの根本には、下向きに傾斜した面35を有する突出部33eが設けられていて、ウエハ1の浮上吸引が停止したときには、突出部33eの傾斜面35にウエハ1のエッジが当接されてウエハ1が保持される。
図3(b)は、固定ピン台座31,32と固定ピン31a(32a)の説明図である。固定ピン台座31,32は、同一構造をしていて、それぞれ固定ピン31a(32a)の根本には、下向きに傾斜した面34を有する突出部31b(32b)が設けられている。ウエハ1の浮上吸引が停止したときには、この突出部31b(32b)の傾斜面34にウエハ1のエッジが当接されてウエハ1が保持される。
次に、角度検出押圧ピン台座33の移動機構について説明する。
角度検出押圧ピン台座33の下側のチャック部21には直線状のガイド溝孔36が設けられていて、このガイド溝孔36に角度検出押圧ピン台座33の底面に設けられた突起(図示せず)が係合して角度検出押圧ピン台座33のウエハ1の中心方向への移動がガイドされる。
角度検出押圧ピン台座33の後部側面にはソレノイドあるいはエアーシリンダで構成される進退アクチュエータ37のロッドが結合されていて、この進退アクチュエータ37の駆動により角度検出押圧ピン台座33が前進,後退する。なお、進退アクチュエータ37は、制御回路5からの信号を受けて駆動される。
【0012】
制御回路5による全体的な位置決め制御動作の手順としては、▲1▼3個の非接触吸引ヘッド22のエアー噴射によるウエハ1の非接触状態の吸引保持および回転、▲2▼角度検出押圧ピン台座33の前進によるウエハの中心位置決め処理、▲3▼OFFさせる非接触吸引ヘッド22の順次選択によるウエハ1の回転、▲4▼検出信号Sの発生によるウエハ1の角度位置決め検出、▲5▼非接触吸引ヘッド22のエアー噴射の停止によるウエハの保持となる。そして、最後に▲6▼として、ウエハ1のウエハ中心位置決め機構3からの保持の解除がある。これは、進退アクチュエータ37により角度検出押圧ピン台座33を後退させることでVノッチ1aへのノッチ検出ピン33bの嵌入が解除されることで行われる。
【0013】
以上説明してきたが、実施例では、3個の非接触吸引ヘッドの少なくとも1つのエアーを時計方向あるいは反時計方向に選択的に順次OFF状態にしているが、このときエアーをOFFにするのは、ウエハを微小に傾かせるためである。ウエハを傾かせるためには、3個の非接触吸引ヘッドの少なくとも1つエアーの流量を増加または減少させても可能であるので、この発明は、そのようにしてもよいことはもちろんである。
また、実施例では、非接触吸引ヘッド22を3個用いているが、非接触吸引ヘッド22は、3個以上であれば、多数設けられていてもよく、それらは所定の角度で分散して設けられていればよい。
さらに、実施例では、Vノッチウエハの実施例を中心に説明しているが、この発明は、オリエンテーションフラット(オリフラ)を持つウエハについても適用できることはもちろんである。
ところで、非接触吸引ヘッド22は、実施例ではエアー吐き出し型のものを用いているが、ベルヌーイ効果の減圧を利用するものとして、エアー吐き出しと同時に負圧吸引するタイプのものもある。これは、吐き出し孔の中心部あるいは周辺部に負圧吸引する孔を設けて吐き出しと同時にそのエアーを負圧吸引するものである。この発明は、このようなタイプの非接触吸引ヘッドを用いてもよいことはもちろんである。
さらに、実施例のウエハ中心位置決め機構3の固定ピンと押圧ピンの位置は、押圧ピンと固定ピンとが対向配置の状態にあればよく、ウエハ1の外周を等角度分割した点に置かれていてもよいことはもちろんである。
さらにまた、この発明のウエハの位置決め装置は、実施例では、Zステージ上に設けているが、Zステージ等のアライメントステージに設ける場合に限定されるものではなく、そのチャック部21の構成上からして、搬送装置そのものにチャック部21をウエハの位置決め装置として設けて、ウエハ搬送過程でウエハの位置決め処理をすることも可能である。
【0014】
【発明の効果】
以上の説明のとおり、この発明にあっては、ベルヌーイ効果によるチャック力を利用してウエハを浮上させてチャックする非接触吸引ヘッドを3個以上設けて、そのうちの少なくとも1つのエアーをOFFにしてあるいはその流量を変えてウエハを微小に傾かせ、この傾きの方向を時計方向あるいは反時計方向に回転させることでウエハを回転させる。これによりウエハをモータ等による回転機構によらなくても非接触状態で回転させることができ、発塵や振動をほとんど発生させないで、ウエハを回転させて角度位置決めをすることができる。
その結果、検査ステージ、プリアライメントステージ、搬送装置等のウエハのアライメントを行う装置において、モータ等による回転機構を用いることなく、非接触状態でウエハを安全に回転させてウエハの角度位置決めが可能になる。
【図面の簡単な説明】
【図1】図1は、この発明のウエハ位置決め装置を適用したVノッチウエハの位置決め装置の一実施例の平面図である。
【図2】図2は、非接触吸引ヘッドの説明図である。
【図3】図3は、そのVノッチ位置決め機構の各位置決め部材の説明図である。
【符号の説明】
1…ウエハ(またはVノッチウエハ)、
2…ウエハ位置決め装置、21…チャック部、
22…非接触吸引ヘッド、24…Zステージ、
3…ウエハ中心位置決め機構、
31,32…固定ピン台座、31a,32a…固定ピン、
33…角度検出押圧ピン台座、
33a…押圧ピン、33b…ノッチ検出ピン、
33c…スプリング、
33d…センサ、36…ガイド溝孔、
37…進退アクチュエータ、
4…エアーON/OFF切換制御弁機構、5…制御回路、
6…エアー供給源。
Claims (4)
- エアー噴流によるベルヌーイ効果の減圧を利用してウエハを浮上させてチャックする3個以上の非接触吸引ヘッドと、
これら非接触吸引ヘッドの少なくとも1つのエアーを時計方向あるいは反時計方向に選択的に順次OFF状態にしてあるいは選択的に順次そのエアーの流量を増加または減少させて前記ウエハを回転させる制御を行う制御装置とを備えることを特徴とするウエハ位置決め装置。 - 前記非接触吸引ヘッドは、吸引された前記ウエハの中心に対して実質的に等角度の間隔で配置される請求項1記載のウエハ位置決め装置。
- 前記ウエハは、Vノッチのウエハであり、前記ウエハの周囲には、前記ウエハの円周上の所定間隔離れたn点(nは3以上の整数)の1つに対応して、前記ウエハの円周のエッジを押圧する押圧ピンおよびスプリングにより内方に付勢され前記Vノッチに嵌入するピンを有しかつこれらピンに対応する前記n点の残りの少なくとも2つに対応してそれぞれに固定ピンを有する位置決め機構が設けられている請求項2記載のウエハ位置決め装置。
- 検査ステージあるいはウエハのプリアライメントを行うステージに設けられている請求項3記載のウエハ位置決め装置。
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