JP5721453B2 - アライメント装置及びアライメント方法 - Google Patents
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Description
本発明の目的は、装置が大型化することを防止し、制御の簡略化等を図ることができるアライメント装置及びアライメント方法を提供することにある。
なお、本明細書において、特に明示しない限り、「上」、「下」は、図2を基準として用いる。
すなわち、本発明は、主に特定の実施形態に関して特に図示、説明されているが、本発明の技術的思想及び目的の範囲から逸脱することなく、以上説明した実施形態に対し、形状、位置若しくは配置等に関し、必要に応じて当業者が様々な変更を加えることができるものである。
従って、上記に開示した形状などを限定した記載は、本発明の理解を容易にするために例示的に記載したものであり、本発明を限定するものではないから、それらの形状などの限定の一部若しくは全部の限定を外した部材の名称での記載は、本発明に含まれるものである。
また、浮上手段14は、板状部材を支持手段12から浮上できるものであれば何ら限定されることはなく、気体としては大気の他に、窒素やネオン等のガス又は混合気を噴出するものが例示でき、その他、静電気や磁石等を採用してもよい。
更に、変位手段15は、板状部材と支持手段12とを相対変位できればよく、浮上させた板状部材に接触し、例えば回動モータ等の駆動機器で相対変位を可能とするものや、静電気や磁石等で構成してもよい。板状部材と支持手段12との変位は、回転変位以外に、直線変位や曲線変位でもよいし、回転と直線と曲線とが混じりあった変位でもよい。
また、ガイド手段16を例えば、図4に示されるように、傾斜部29をローラ40により形成してもよい。これによれば、ウエハWが回転中に当該ガイド手段16に接触した場合にでも、ウエハWの回転を阻害する抵抗を小さくすることができる。また、ローラ40を、駆動機器としての回動モータからなる駆動手段41により回転駆動可能に設け、当該回転により、ウエハWに回転力を付与する構成とした場合、ウエハWに効率よく回転力を付与することができる。この場合、第2孔27と加圧手段に加えて、又は、これらを省いて、ローラ40及び駆動手段41を含んで変位手段15を構成することができる。
更に、第2孔27と加圧手段とを採用することなく、回動モータMを変位手段15としてもよい。この場合、浮上手段14でウエハWを浮上させている間に、回動モータMを所定角度又は所定時間回転するように制御すればよい。
また、板状部材の基準部としては、VノッチN以外にオリエンテーションフラットや、板状部材の面内に設けられた貫通孔等であってもよい。要は、支持面11やアーム部21等によって一時的に基準部の検出が行えないものが本発明のアライメント対象となる。
12 支持手段
13 検出手段
14 浮上手段
15 変位手段
16 ガイド手段
17 制御手段
29 傾斜部
40 ローラ
N Vノッチ(基準部)
W 半導体ウエハ(板状部材)
Claims (5)
- 所定の基準部を有する板状部材を部分的に支持する支持面を有し、回転可能に設けられた支持手段と、
前記支持手段と共に回転する前記板状部材の基準部の位置を検出する検出手段と、
前記板状部材を非接触で浮上させる浮上手段と、
前記板状部材と支持手段とを相対変位可能な変位手段と、
前記支持手段に支持された板状部材の外方に位置するとともに、当該板状部材の面方向の移動を規制可能なガイド手段と、
前記各手段を制御可能な制御手段とを備え、
前記制御手段は、前記支持手段と共に回転する前記板状部材の基準部の位置を前記検出手段で検出できなかった場合、前記浮上手段によって前記板状部材を前記支持面から浮上させ、当該板状部材が浮上している間に前記変位手段によって当該板状部材と支持手段とを相対変位させた後、当該板状部材を前記支持手段で支持し、再度支持手段と共に板状部材を回転させて前記検出手段で前記基準部の位置を検出させることを特徴とするアライメント装置。 - 前記変位手段は、前記板状部材に気体を噴出して当該板状部材と支持手段とを相対変位可能に設けられていることを特徴とする請求項1記載のアライメント装置。
- 前記ガイド手段は、前記浮上方向に向かうに従って平面視で板状部材の中心から離れる方向に延びる傾斜部を備えていることを特徴とする請求項1又は2記載のアライメント装置。
- 前記ガイド手段は、回転可能なローラを備えていることを特徴とする請求項1又は2記載のアライメント装置。
- 所定の基準部を有する板状部材を支持手段の支持面で部分的に支持する支持工程と、
前記支持手段を回転させて当該支持手段と共に回転する前記板状部材の基準部の位置を検出する検出工程とを行うアライメント方法において、
前記検出工程で、前記支持手段と共に回転する前記板状部材の基準部の位置が検出できなかった場合、前記板状部材を前記支持面から浮上させる浮上工程と、前記板状部材が浮上している間に当該板状部材と支持手段とを相対変位させる変位工程とを行った後、再度前記支持工程と、前記検出工程を行うことを特徴とするアライメント方法。
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