JP2008306120A - 分離装置及び分離方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】ガラス板Pに両面接着シートSを介して半導体ウエハWが積層された板状体を処理対象物Aとし、ガラス板Pと半導体ウエハWとを分離する分離装置10であって、処理対象物Aを半導体ウエハW側から支持する支持手段11と、リングフレームRFに張設されたマウントテープMTを介してガラス板Pに当接可能な分離補助手段13とを備える。分離補助手段13は、ガラス板P上で転動可能な円弧状の当接面25を備え、リングフレームRFを支持手段11から離間させる引剥し手段12の動作と、当接面25の転動によって当該当接面25にガラス板Pを転着させて半導体ウエハWとの分離を行うようになっている。
【選択図】図2
Description
本発明の目的は、特に、ガラス板等からなる第1の板状部材に、ウエハ等の第2の板状部材を積層した板状体を処理対象物とし、前記第1の板状部材と第2の板状部材とを分離する際に、これら板状部材の破損を効果的に防止することのできる分離装置及び分離方法を提供することにある。
前記処理対象物を第2の板状部材側から支持する支持手段と、前記テープを支持するとともに、前記支持手段に対して離間接近可能に設けられて前記第2の板状部材から第1の板状部材を引き剥がす引剥し手段と、前記テープを介して前記第1の板状部材の分離の補助を行う分離補助手段とを備え、
前記分離補助手段は、前記テープを介して第1の板状部材に当接する当接面を備え、この当接面によって第1の板状部材の曲げ変形を制限する、という構成を採っている。
前記処理対象物を半導体ウエハ側から支持する支持手段と、前記リングフレームを支持するとともに、前記支持手段に対して離間接近可能に設けられて前記半導体ウエハからガラス板を引き剥がす引剥し手段と、前記マウントテープを介して前記ガラス板の分離の補助を行う分離補助手段とを備え、
前記分離補助手段は、前記マウントテープを介して前記ガラス板上で転動可能な円弧状の当接面を備え、この当接面によってガラス板の曲げ変形を制限する、という構成を採ることができる。
前記処理対象物を第2の板状部材側から支持する一方、前記テープを介して第1の板状部材に当接面を当接させておき、
前記テープを支持して前記第1の板状部材から第2の板状部材を引き剥がす動作と、前記当接面によって第1の板状部材の曲げ変形を制限して第1の板状部材と第2の板状部材とを分離する、という方法を採っている。
また、第1の板状部材と両面接着シートとの間に分離のきっかけを形成する構成とした場合には、分離動作の初期における分離抵抗を低減することができ、スムースなる分離を実現するとともに、第2の板状部材が第1の板状部材に引っ張られて分離方向に浮き上がる変形要因を回避することができる。
そして、図4に示されるように、変位手段27のスライダ30が単軸ロボット29によって移動することで、前記分離のきっかけ部をきっかけとしてガラス板Pと両面接着シートSとの界面で分離が開始される。この際、ガラス板Pは、当接面25により、割ることのないように曲げ変形を制限されて分離されることとなる。
すなわち、本発明は、主に特定の実施形態に関して特に図示、説明されているが、本発明の技術的思想及び目的の範囲から逸脱することなく、以上説明した実施形態に対し、形状、位置若しくは配置等に関し、必要に応じて当業者が様々な変更を加えることができるものである。
11 支持手段
12 引剥し手段
13 分離補助手段
14 きっかけ形成手段
A 処理対象物
P ガラス板(第1の板状部材)
W 半導体ウエハ(第2の板状部材)
RF リングフレーム
S 両面接着シート
MT マウントテープ(テープ)
Claims (6)
- 第1の板状部材に両面接着シートを介して第2の板状部材が積層された板状体を処理対象物とし、前記第1の板状部材にテープを貼付した状態で当該第1の板状部材をテープと共に前記第2の板状部材から分離する分離装置において、
前記処理対象物を第2の板状部材側から支持する支持手段と、前記テープを支持するとともに、前記支持手段に対して離間接近可能に設けられて前記第2の板状部材から第1の板状部材を引き剥がす引剥し手段と、前記テープを介して前記第1の板状部材の分離の補助を行う分離補助手段とを備え、
前記分離補助手段は、前記テープを介して第1の板状部材に当接する当接面を備え、この当接面によって第1の板状部材の曲げ変形を制限することを特徴とする分離装置。 - ガラス板に両面接着シートを介して半導体ウエハが積層された板状体を処理対象物とし、当該処理対象物をマウントテープを介してリングフレームに一体化させた状態で前記ガラス板をリングフレームと共に前記半導体ウエハから分離する分離装置において、
前記処理対象物を半導体ウエハ側から支持する支持手段と、前記リングフレームを支持するとともに、前記支持手段に対して離間接近可能に設けられて前記半導体ウエハからガラス板を引き剥がす引剥し手段と、前記マウントテープを介して前記ガラス板の分離の補助を行う分離補助手段とを備え、
前記分離補助手段は、前記マウントテープを介して前記ガラス板上で転動可能な円弧状の当接面を備え、この当接面によってガラス板の曲げ変形を制限することを特徴とする分離装置。 - 前記当接面は、吸着面若しくは粘着面とされていることを特徴とする請求項1又は2記載の分離装置。
- 前記第1の板状部材若しくはガラス板と前記両面接着シートとの境界部分に分離のきっかけを形成するきっかけ形成手段を更に含むことを特徴とする請求項1又は2記載の分離装置。
- 第1の板状部材に両面接着シートを介して第2の板状部材が積層された板状体を処理対象物とし、前記第1の板状部材にテープを貼付した状態で当該第1の板状部材をテープと共に分離する分離方法において、
前記処理対象物を第2の板状部材側から支持する一方、前記テープを介して第1の板状部材に当接面を当接させておき、
前記テープを支持して前記第1の板状部材から第2の板状部材を引き剥がす動作と、前記当接面によって第1の板状部材の曲げ変形を制限して第1の板状部材と第2の板状部材とを分離することを特徴とする分離方法。 - 前記第1の板状部材若しくは第1の板状部材と前記両面接着シートとの境界部分に分離のきっかけを形成する工程を含むことを特徴とする請求項5記載の分離方法。
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Cited By (12)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2011130586A2 (en) | 2010-04-16 | 2011-10-20 | Suss Microtec Lithography, Gmbh | Improved debonding equipment and methods for debonding temporary bonded wafers |
JP2012199454A (ja) * | 2011-03-23 | 2012-10-18 | Toray Eng Co Ltd | 把持用ハンド |
WO2013064906A2 (en) * | 2011-10-31 | 2013-05-10 | Masahiro Lee | Ultrathin wafer debonding systems |
JP2013149657A (ja) * | 2012-01-17 | 2013-08-01 | Tokyo Electron Ltd | 剥離装置、剥離システム、剥離方法および剥離プログラム |
KR20150004898A (ko) * | 2009-09-01 | 2015-01-13 | 에베 그룹 게엠베하 | 캐리어 기판으로부터 생산 기판을 스트립하기 위한 장치 및 방법 |
KR101541643B1 (ko) | 2013-03-28 | 2015-08-03 | 가부시키가이샤 스크린 홀딩스 | 박리 장치 |
JP2016106416A (ja) * | 2016-01-28 | 2016-06-16 | エーファウ・グループ・エー・タルナー・ゲーエムベーハー | キャリア基板を外すための屈曲可能なキャリア台、デバイス、および方法 |
US9472437B2 (en) | 2009-04-16 | 2016-10-18 | Suss Microtec Lithography Gmbh | Debonding temporarily bonded semiconductor wafers |
US9508586B2 (en) | 2014-10-17 | 2016-11-29 | Taiwan Semiconductor Manufacturing Company, Ltd. | Debonding schemes |
WO2017065155A1 (ja) * | 2015-10-16 | 2017-04-20 | 旭硝子株式会社 | 積層体の剥離装置及び剥離方法並びに電子デバイスの製造方法 |
JP2018520508A (ja) * | 2015-06-09 | 2018-07-26 | ロイヨール コーポレーション | 可撓性電子機器の製造装置 |
JP2020161509A (ja) * | 2018-12-07 | 2020-10-01 | ▲東▼泰高科装▲備▼科技有限公司 | ウェハ取り出し分離装置及び方法 |
Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2006059861A (ja) * | 2004-08-17 | 2006-03-02 | Lintec Corp | 脆質部材の転着装置 |
JP2006216844A (ja) * | 2005-02-04 | 2006-08-17 | Sharp Corp | 半導体ウエハの処理方法 |
-
2007
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Patent Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2006059861A (ja) * | 2004-08-17 | 2006-03-02 | Lintec Corp | 脆質部材の転着装置 |
JP2006216844A (ja) * | 2005-02-04 | 2006-08-17 | Sharp Corp | 半導体ウエハの処理方法 |
Cited By (25)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US9583374B2 (en) | 2009-04-16 | 2017-02-28 | Suss Microtec Lithography Gmbh | Debonding temporarily bonded semiconductor wafers |
US9472437B2 (en) | 2009-04-16 | 2016-10-18 | Suss Microtec Lithography Gmbh | Debonding temporarily bonded semiconductor wafers |
KR101595692B1 (ko) | 2009-09-01 | 2016-02-18 | 에베 그룹 게엠베하 | 캐리어 기판으로부터 생산 기판을 스트립하기 위한 장치 및 방법 |
KR20150004898A (ko) * | 2009-09-01 | 2015-01-13 | 에베 그룹 게엠베하 | 캐리어 기판으로부터 생산 기판을 스트립하기 위한 장치 및 방법 |
KR101592137B1 (ko) | 2009-09-01 | 2016-02-04 | 에베 그룹 게엠베하 | 캐리어 기판으로부터 생산 기판을 스트립하기 위한 장치 및 방법 |
US8366873B2 (en) | 2010-04-15 | 2013-02-05 | Suss Microtec Lithography, Gmbh | Debonding equipment and methods for debonding temporary bonded wafers |
US8551291B2 (en) | 2010-04-15 | 2013-10-08 | Suss Microtec Lithography, Gmbh | Debonding equipment and methods for debonding temporary bonded wafers |
WO2011130586A3 (en) * | 2010-04-16 | 2012-04-19 | Suss Microtec Lithography, Gmbh | Improved debonding equipment and methods for debonding temporary bonded wafers |
WO2011130586A2 (en) | 2010-04-16 | 2011-10-20 | Suss Microtec Lithography, Gmbh | Improved debonding equipment and methods for debonding temporary bonded wafers |
EP2559057A4 (en) * | 2010-04-16 | 2016-11-30 | Suss Microtec Lithography Gmbh | IMPROVED TAKE-OFF EQUIPMENT AND METHODS FOR LAUNCHING TEMPORARILY BONDED WAFERS |
JP2012199454A (ja) * | 2011-03-23 | 2012-10-18 | Toray Eng Co Ltd | 把持用ハンド |
WO2013064906A2 (en) * | 2011-10-31 | 2013-05-10 | Masahiro Lee | Ultrathin wafer debonding systems |
WO2013064906A3 (en) * | 2011-10-31 | 2013-07-25 | Masahiro Lee | Ultrathin wafer debonding systems |
JP2013149657A (ja) * | 2012-01-17 | 2013-08-01 | Tokyo Electron Ltd | 剥離装置、剥離システム、剥離方法および剥離プログラム |
KR101541643B1 (ko) | 2013-03-28 | 2015-08-03 | 가부시키가이샤 스크린 홀딩스 | 박리 장치 |
KR101938490B1 (ko) * | 2014-10-17 | 2019-01-14 | 타이완 세미콘덕터 매뉴팩쳐링 컴퍼니 리미티드 | 디본딩 방법 |
US9508586B2 (en) | 2014-10-17 | 2016-11-29 | Taiwan Semiconductor Manufacturing Company, Ltd. | Debonding schemes |
JP2018520508A (ja) * | 2015-06-09 | 2018-07-26 | ロイヨール コーポレーション | 可撓性電子機器の製造装置 |
CN108140605A (zh) * | 2015-10-16 | 2018-06-08 | 旭硝子株式会社 | 层叠体的剥离装置和剥离方法及电子器件的制造方法 |
WO2017065155A1 (ja) * | 2015-10-16 | 2017-04-20 | 旭硝子株式会社 | 積層体の剥離装置及び剥離方法並びに電子デバイスの製造方法 |
US10449755B2 (en) | 2015-10-16 | 2019-10-22 | AGC Inc. | Device for delaminating laminate, delamination method, and method for manufacturing electronic device |
TWI695807B (zh) * | 2015-10-16 | 2020-06-11 | 日商Agc股份有限公司 | 積層體之剝離裝置及剝離方法與電子裝置之製造方法 |
CN108140605B (zh) * | 2015-10-16 | 2022-06-07 | Agc株式会社 | 层叠体的剥离装置和剥离方法及电子器件的制造方法 |
JP2016106416A (ja) * | 2016-01-28 | 2016-06-16 | エーファウ・グループ・エー・タルナー・ゲーエムベーハー | キャリア基板を外すための屈曲可能なキャリア台、デバイス、および方法 |
JP2020161509A (ja) * | 2018-12-07 | 2020-10-01 | ▲東▼泰高科装▲備▼科技有限公司 | ウェハ取り出し分離装置及び方法 |
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Publication number | Publication date |
---|---|
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