KR101595692B1 - 캐리어 기판으로부터 생산 기판을 스트립하기 위한 장치 및 방법 - Google Patents

캐리어 기판으로부터 생산 기판을 스트립하기 위한 장치 및 방법 Download PDF

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Abstract

상호접합 층(6)에 의해 생산 기판(4)과 연결되어 있는 캐리어 기판(2)으로부터 생산 기판(4)을, 유연성 필름(3)을 이용해 스트립(strip)하기 위한 장치에 있어서, 상기 유연성 필름(3)은 필름 프레임(1)에 장착되며, 필름(3)의 접합 표면 섹션(3k)에서 생산 기판(4)을 고정하는 접착 층(3s)을 포함하며, 필름(3)은, 접합 표면 섹션(3k)을 에워싸는 자신의 결합 섹션(3b)에서 필름 프레임(1) 상에 장착되고, 필름(3)은 접합 표면 섹션(3k)과 결합 섹션(3b) 사이에 위치하는 스트립 섹션(3a)을 포함하는 것을 특징으로 하는 스트립하기 위한 장치.
상호접합 층(6)에 의해 생산 기판(4)과 연결되어 있는 캐리어 기판(2)으로부터 생산 기판(4)을, 유연성 필름(3)을 이용해 스트립(strip)하기 위한 방법에 있어서, 상기 유연성 필름(3)은 필름 프레임(1)에 장착되며, 필름(3)의 접합 표면 섹션(3k)에서 생산 기판(4)을 고정하는 접착 층(3s)을 포함하며, 필름(3)은, 접합 표면 섹션(3k)을 에워싸는 자신의 결합 섹션(3b)에서 필름 프레임(1) 상에 장착되고, 필름(3)은 접합 표면 섹션(3k)과 결합 섹션(3b) 사이에 위치하는 스트립 섹션(3a)을 포함하며, 스트립 수단에 의해, 캐리어 기판(2)으로부터 생산 기판(4)이 상기 생산 기판(4)의 주변부(4u)에서부터 스트립하기 위한 방법에 관한 발명.

Description

캐리어 기판으로부터 생산 기판을 스트립하기 위한 장치 및 방법{DEVICE AND METHOD FOR DETACHING A SEMICONDUCTOR WAFER FROM A SUBSTRATE}
본 발명은 캐리어 기판으로부터 생산 기판을 스트립(strip)하기 위한 것으로, 청구항1의 장치 및 청구항14의 방법에 대한 발명이다.
생산 기판의 뒷면을 얇게 하는 것(back-thinning)은 반도체 사업에서 자주 필요하고 기계적 또는 화학적으로 또는 두 가지 방법 모두에 의해 행해지고 있다. 뒷면을 얇게 하기 위하여 일반적으로 생산 기판이 캐리어 기판에 임시적으로 고정되며 고정되는 방법도 여러 가지이다. 캐리어 물질로는 예를 들어, 필름, 유리 기판, 실리콘 웨이퍼 등이 있다.
사용되는 캐리어 물질과 캐리어 기판과 생산 기판 사이의 상호결합 층에 따라서, 상호결합 층를 분해하거나 파괴하는 다른 방법들이 있는데 예를 들면, 자외선, 레이저빔, 온도 또는 용제를 가하는 것이다.
이러한 스트립 과정은, 수 마이크론 기판 두께의 얇은 기판이 스트립 공정 중의 필요한 힘에 의하여 손상을 받거나, 스트립/필링 중에 쉽게 깨지지 때문에, 점점 가장 중요한 공정 단계 중 하나가 되고 있다.
더욱이 얇은 기판은 모양의 안정성이 거의 없거나 전무하고, 지지하는 물질이 없으면 둥글게 말려지기 십상이다. 따라서 뒷면이 얇게 가공된 웨이퍼를 다룰 때, 웨이퍼를 고정하고 지지하는 일은 필수이다.
따라서 본 발명의 목적은 가능하면 비파괴적 방법으로 캐리어 기판에서 생산기판을 분리하는 방법과 장치를 고안하는 것이다.
이 목적은 청구항1 및 청구항14의 특징에 의하여 이루어질 수 있다. 더욱더 진보된 실용 예는 종속항으로 주어져 있다. 또한 본 발명의 골격은 청구항, 발명의 상세한 설명, 청구항 및/또는 도면에서 주어진 적어도 2개 이상 특징의 모든 조합을 포함한다. 구체적인 값 범위에서, 지시되는 한계 내에 있는 값들은 경계값으로서도 게시될 것이고, 이들은 임의의 조합으로도 청구될 것이다.
본 발명은 생산 기판의 가장자리부터 시작하여 생산 기판을 조심스럽게 벗겨내기 위해 필름 프레임 상에 장착된 필름의 탄성 또는 유연성을 이용함으로써, 즉, 필름을, 특히 필름의 스트립 섹션에서 변형시킴으로써, 기본 장치 및 기본 방법을 추가로 발전시키는 아이디어를 기초로 한다. 이러한 방법에 의한다면, 생산 기판이 분리 직후의 다른 공정 단계에서 즉각적으로 이용 가능하고, 필름과 필름 막에 의해 보호된다. 많은 공정 단계가 필름 프레임 상에 장착된 생산 기판 상에 바로 수행될 수 있다.
다르게 말하면, 유연한 필름이, 필름의 접착 표면에서 생산 기판을 접합하는 접착층과 필름 프레임을 둘러싸는 힘에 의하여 생산 기판에 장력을 전달하게 된다. 그리고 그 장력에 의하여 생산 기판이 캐리어 기판으로부터 스트립(특히, 필링)된다.
생산 기판은, 예를 들어 0.5μm 내지 250μm의 두께로 얇아지는 반도체 웨이퍼인 생산 기판으로 정의되고, 생산 기판은 점점 얇아져 가는 경향이 있다. 본 발명은 생산 기판 자체가 필름 프레임 장에 장착되는 필름에 유사한 유연성을 가지고 있는 경우 더욱 효과적으로 작동된다. 본 발명에 따른 장치 및 본 발명에 따른 방법에 있어서, 생산 기판은, 특히 생산 기판의 주변에서부터 동심원 모양으로 시작하여, 캐리어 기판으로부터 필링된다.
캐리어 기판은, 예를 들면 50μm 내지 5,000μm, 특히 500μ 내지 1,000μm의 두께를 가지고 있다.
상호접합 층은 접착제일 수 있다, 예를 들면 가용성의 접착제, 특히 열가소성의 접착제로서, 예를 들면 캐리어 기판과 생산 기판의 결합물의 가장자리 영역에, 특히 0.1 내지 0.2mm의 가장자리 영역에, 선택적으로 도포되는 접착제일 수 있다. 다른 예로서, 접착제는 전체 표면에 도포될 수 있고, 접착력을 약화시키는 층, 예를 들면 플루오르 중합체, 더 좋게는 테프론을 사용하여 중앙에서의 접착력을 줄일 수 있다.
특히 지지 수단으로서 척이 적합한데, 특히 음압력, 예를 들어 흡입 경로, 홀 또는 흡입 컵을 수단으로 하여 캐리어 기판을 고정하는 회전 척이 그러하다. 다른 예로서, 예를 들어 횡방향 클램프에 의한 기계적 고정을 생각할 수 있다. 고정은 또 다른 대체적인 구성에 있어서 정전기적으로 발생 된다.
스트립 수단은 필름 프레임 상에 장착된, 힘을 가하는 필름과, 필름 프레임을 고정하는 필름 프레임 홀더를 포함한다.
바람직하게는, 스트립 수단에 더하여, 상호접합 층에 의한 캐리어 기판과 생산 기판 사이의 연결을 적어도 부분적으로 해제하기 위한 연결 해제 수단이 있다.
본 장치가, 특히 캐리어 기판 홀더와 일체 구성되는 캐리어 기판과 생산 기판의 결합물을 가열하는 가열 수단을 갖는 한, 열가소성의 녹는 접착제가 상호접합 층으로 사용될 수 있다. 최대 가열 온도는 250℃이고, 바람직하게는 최대 175℃이다.
또 다른 바람직한 실시예에 있어서, 연결 해제 수단은 유체 수단, 특히, 상호접합 층을 선택적으로 용해시켜, 상호접합 층을 분리하기 위한 용제를 포함한다. 상호접합 층의 화학적 용해는 생산 기판을 특히 보호하며, 특히, 해당하는 물질을 선택함으로써, 생산 기판의 가장자리 영역에만 상호접합 층이 제공되어, 용제가 측면에서부터 매우 빠르게 작용할 수 있는 경우에, 용해가 매우 빠르게 발생할 수 있다. 이러한 방식으로, 캐리어 기판 및/또는 생산 기판에 천공(perforation)이 생략될 수 있다.
또 다른 유용한 실시예 구현에 있어서, 연결 해제 수단이 열을 가함이 없이 작동되게 할 수 있다. 이와 같은 방법으로, 임의의 가열 수단을 생략하는 것이 가능하다.
한 가지 대안적 실시예에 있어서, 연결 해제 수단이 기계적인 분리 수단을 포함하는데, 특히, 상호접합 층을 분리하기 위해 상호접합 층을 절단하기 위한 블레이드(blade)가 그것이다. 이러한 방법으로, 특히 캐리어 기판으로부터 생산 기판의 즉각적인 분리가 가능하다. 기계적인 분리 수단과 유체 수단의 조합을 또한 생각할 수 있다.
또 다른 유용한 실시예 구현에 있어서, 연결 해제 수단은 상호접합 층의 분리를 위한 자외선 광원을 포함한다. 또한 이러한 구현은 기계적 분리 수단에 의한 구현 및/또는 유체 수단을 이용한 구현과 조합될 수 있다.
연결 해제 수단이 생산 기판의 한 쪽 가장자리로부터만 작동되게 하는 한, 생산 기판 또는 캐리어 기판 또는 이 두 기판 모두의 상부 또는 하부 또는 상하부 모두에 대한 액션, 특히 측면 가장자리 내에 있는 생산 기판의 안쪽 면에 대해서는 액션이 생략될 수 있다.
캐리어 기판을 회전시키기 위한 회전 수단이 있기 때문에, 생산 기판 또는 필름이 있는 필름 프레임 또는 생산 기판 및 필름 프레임 모두에 의하여, 생산 기판의 전체 가장자리에 연결 해제 수단이 배열되는 것이 생략될 수 있고, 생산 기판의 가장자리에 대한 부분적인 액션으로도 충분해 진다.
스트립 섹션이 생산 기판의 바깥쪽 윤곽 밖에 위치하거나 본딩 섹션과 인접하거나 또는 두 가지 모두에 해당하는 한, 생산 기판에 스트립 힘을 최적으로 전달하는 것은 필름을 변형시킴으로써 가능하다.
유리하게는, 상호접합 층을 유체 수단에 노출시키기 위하여, 유체 수단을 보유하기 위한 용제 저장소가 있는데, 이 저장소는 캐리어 기판 또는 캐리어 기판 홀더에 고정되어 있으며 특히 밀봉되어 있으며, 이 저장소의 상단 가장자리는 적어도 생산기판에 의하여 형성된 면 정도까지는 뻗어 있다. 적어도 부분적으로는 생산 기판의 옆 가장자리 또는 주변을 에워싸는 용제 저장소로 인하여 상호접합 층에 대해 특히 효과적인 액션이 가능하다.
더욱이, 에워싸는 수단에 의해, 유체 수단이 용제 저장소로부터 누출되거나 자외선 빛이 소실되는 것이 방지될 수 있다. 기계적인 분리 수단을 사용하는 경우, 가능한 오염물질이 용제 저장소 밖으로 누출되어 생산 기판을 오염시키는 것이 방지될 수 있다. 한 가지 유리한 구성에서 용제 저장소는 단면이 L자 또는 U자 모양으로 만들어질 수 있다.
본 발명의 또 다른 실시예에서, 용제 저장소는 생산 기판의 측면 가장자리의 하나의 주변 섹터 또는 주변 위에서만 뻗어 있을 수 있다.
유리하게, 용제 저장소가 생산 기판의 중심 방향으로 캐리어 기판 또는 생산 기판의 측면 가장자리 또는 주변 위에 약간만 뻗어 있어서, 힘 Fs가 캐리어 기판에 적용될 수 있다. 힘 Fs는 용제 저장소를 통해 캐리어 기판에도 또한 전달될 수 있다.
하나의 유리한 실시예로서, 캐리어 기판에 작용하는 힘 Fs와, 필름 프레임에 작용하며 힘 Fs에 반대 방향인 힘 Ff에 의하여 스트립이 야기된다. 본 장치는, 힘 Ff를 국부적인 힘(local force)으로서 특히 필름 프레임의 적어도 한 지점에 전달하게 만들 수 있다. 유리하게, 힘 Ff는 필름 프레임의 주변에 분산된 몇 개의 지점에 전달될 수 있는데, 이로써, 서로 다른 힘들이 전달되고, 본 장치에 의하여 캐리어 기판 또는 캐리어 기판 홀더에 대한 필름 프레임의 기울기가 유인될 수 있다.
원하는 스트립 모양에 따른 생산 기판 주변에 대한 힘의 고른 분포는, 스트립 섹션에서 힘 Fs 와 힘 Ff에 의하여 변형되는, 특히 당겨지는 필름의 능력에 의하여 이루어진다.
또 다른 유리한 실시예에 따르면, 힘 Fs와 힘 Ff는 필름 프레임의 캐리어 기판에 대한 상대적인 이동을 야기할 수 있는데, 이와 같은 방법으로 필름 프레임 안쪽에 골이 생기며, 상기 골은, 상기 골에 보유되는 유체로 형성된 음파 발생 수단과, 생산 기판 및/또는 용제로 음파를 송신하기 위한, 상기 유체에 침적된 음파 송신기를 가진다. 생산 기판의 스트립 공정은 초음파 또는 메가사운드에 의하여 발생되는 캐비테이션(공동화 현상)에 의하여 상당히 진척되어서, 스트립 공정이 훨씬 주의 깊게 그리고 더 신속하게 이뤄진다.
유리하게, 또한 생산 기판의 스트립 공정이 생산 기판의 주변부에서 생산 기판의 중심부까지 동심원적으로 이뤄진다.
스트립 공정 중에서 생산 기판이 필름에 부착되는 경우, 블랭킷 고정(blanket holding) 및 보호(protection)가 보장되는 것이 특히 바람직하다.
본 발명의 다른 이점들, 특징 그리고 상세한 부분들은 선호되는 실시예에 대한 아래의 설명으로부터 분명해 질 것이며 도면에 기초하게 된다.
여기에서, 도 1a는 생산 기판, 캐리어 기판 그리고 필름 프레임 상의 상호접합 층로 구성된 기판 조합의 개략적인 평면도를 보여준다.
도 1b는 도 1a에 대한 측면도를 상세하게 보여준다.
도 2는 캐리어 기판에서 생산 기판을 스트립함에 있어서, 본 발명에 따른 장치에 대한 개략적인 표시를 상세하게 보여준다.
도 3은 캐리어 기판에서 생산 기판을 스트립함에 있어서, 본 발명에 따른 장치에 대한 개략적인 표시를 상세하게 보여준다.
도 4는 본 발명의 하나의 실시예의 개략적인 구현을 보여준다.
도면에 있어서, 같은 구성 요소와 같은 기능을 가진 구성 요소들은 동일한 참조번호에 의하여 구분되어 있다.
도 1a는 발명의 실시예에서 적어도 안쪽 주변부(1i)가 둥근 필름 프레임(1)을 보여주고 있는데, 그 위에 필름(3)이 적층되어 있는데 특히 바닥면이 접착되어 있다.
필름 프레임(1)의 안쪽 주변부(1i)까지의 방사 거리를 이용해, 필름 프레임(1) 내부에서, 필름 프레임(1)에 동심원 구조로, 생산 기판과 캐리어 기판의 결합물이 필름(3)의 접착 층(3s)에 접착되어 있다(도 1b 참조).
생산 기판과 캐리어 기판의 결합물은 필름(3)과 접하는 생산 기판(4), 캐리어 기판(2) 그리고 생산 기판(4)과 캐리어 기판을 연결하는 상호접합 층(6)으로 구성되어 있다. 생산 기판(4)과 캐리어 기판(2)의 지름은 본질적으로 동일한데, 반면에 생산 기판(4)의 두께는 캐리어 기판(2)의 두께보다 얇다.
필름(3)은, 이 경우에서, 둥근 링 모양을 가지고 있는 결합 섹션(3b)으로 구성되어 있는데, 상기 결합 섹션(3b)에서 필름(3)이 필름 프레임(1)과 고정된다. 더욱이, 필름(3)은 접합 표면 섹션(3k)으로 구성되어 있는데, 이 섹션에서 생산 기판(4)이 필름(3)의 접합 층(3s)에 고정될 수 있다. 결합 섹션(3b)과 접합 표면 섹션(3k) 사이에, 스트립 섹션(3a)이 있는데, 스트립 섹션은 특히 결합 섹션(3b)과 접합 표면 섹션(3k)과 동심원 구조이며, 본 발명에 있어서 중요한 기능을 가지고 있다. 따라서 스트립 섹션(3a)은 생산 기판(4)의 주변부(4u)에서 시작하여 필름 프레임(1)의 안쪽 주변부(1i)까지 자리하고 있는데, 여기서는 거리 A로 표시되어 있다. 필름 프레임(1)의 두께(D)와 폭(A)간의 비율은 적어도 1:2 내지 1:50, 특히 1:5 내지 1:25, 바람직하게는 1:19 내지 1:10이다.
도면 1b에 나와 있는 초기 위치에서, 필름(3)과 접하는 생산 기판의 면과 필름(3)과 접하는 필름 프레임(1)의 면이 같은 높이에서 하나의 평면(E)에 있도록 조정되어 있다. 도 1a와 도 1b에서 보이는 부품들이 알려진 필름 프레임 마운터 위에서 조립되어 진다.
도 2와 도 3은 스트립 공정을 두 개의 변형예로 개략적으로 보여주는데, 즉 캐리어 기판(4)으로부터 생산 기판(2)을 스트립하기 시작한 직후의 모습이다.
반대 방향의 힘인 Ff(즉, Ff1 및 Ff2)와 Fs를 전달함으로써, 생산 기판과 캐리어 기판의 결합물과 필름(3)의 접합 표면 섹션(3k)은(이 섹션에 결합체가 붙어 있다) 캐리어 기판 홀더(7)의 방향으로 필름 프레임(1) 밖으로 이동된다. 운동학적 반동 측면에서, 또한 필름 프레임(1)은, 여기에 나타나 있지는 않으나, 예를 들면 로봇팔과 같은 필름 프레임 홀더라는 수단에 의하여 힘 Ff에 의하여 이동될 수 있다.
힘이, 캐리어 기판 홀더(7)의 표면에 만들어진 진공 경로(8) 및 표시되어 있지는 않으나 연결된 진공 수단을 통하여, 캐리어 기판 홀더(7)로부터 캐리어 기판(2)으로 전달된다. 캐리어 기판 홀더(7)는 장치에 단단하게 장착되어 있다.
다른 실시예로서, 캐리어 기판(2)의 고정이 기계적으로, 예를 들면 클램핑에 의해, 또는 정전기적으로 발생될 수 있다.
필름 프레임(1)에 작용하는 힘 Ff(도면2)은 필름 프레임(1)에 표면력으로서 일정하게 분포되어 작용할 수 있어서, 캐리어 기판(2)으로부터 생산 기판(4)을 스트립하는 것이 도 2에 확대되어 자세하게 나타나 있듯이 스트립 섹션(3a)을 변형 시킴으로써, 가장자리부터 일어나게 된다. 여기서 힘 Ff1은 힘 Ff2와 동일하다. 힘은 필름 프레임(1)의 주변부에 분포된 지점에 전달되거나, 필름 프레임 홀더에 의하여 분배되어 가해질 수 있다.
도면 3에 나타난 실시예에서, 필름 프레임(1)의 주변부에 대한 힘의 분포가 서로 다른데, 특히 힘 Ff1이 반대편의 힘 Ff2보다 커서 더 큰 힘인 Ff1이 전달되는 면에서 생산 기판이 먼저 분리된다. 따라서 힘을 필름 프레임(1)으로 전달하는 지지 수단(holding means)은 필름 프레임(1)을 기울이는 것이 가능하도록 만들어져야 한다.
생산 기판(4)은 스트립을 촉진하는데, 이것이 필름(3)과 유사하게 탄력적인 방법으로 작동되고 따라서 생산 기판과 캐리어 기판의 결합물로부터 가장자리부터 차차 분리된다.
도 4에 따르면, 힘에 노출된 생산 기판과 캐리어 기판의 결합물의 위치에서 생산 기판과 캐리어 기판의 결합물을 침적하는 것이 가능하도록 용제 저장소(20)가 캐리어 기판(2) 상에 배열되어 있다. 용제 저장소(20)가 이 경우에는 환형으로 캐리어 기판의 주변부에 부착되어 특히 밀봉을 형성하여, 이전처럼 용제 저장소(20) 내에서 힘이 캐리어 기판(2)으로 전달될 수 있다. 대안적으로, 예를 들면 용제 저장소(20)가 반대방향으로 캐리어 기판에 붙어 있는 때, 힘이 용제 저장소(20)에도 전달될 수 있다. 용제 저장소(20)의 외부 주변 벽(21)은 적어도 생산 기판에 의하여 형성되는 평면까지 뻗어 있어서, 용제 저장소(20) 안의 용제(22)가 적어도 상호접합 층까지는 다다를 수 있고, 상호접합 층이 용제에 의하여 용해될 수 있다. 바람직하게는, 외부 주변 벽(21)이 생산 기판(4)에 의하여 형성되는 평면을 넘어, 거의 필름 프레임(1)만큼 뻗어 있어서, 회전 중이라도, 용제(22)가 용제 저장소(20)를 탈출하는 것을 가능한 피할 수 있다.
이러한 수단은 스트립 공정을 도와 준다. 특히 상호접합 층(6)이 생산 기판(4)의 주변부(4u)부터 용해되고, 생산 기판(4)이 필름(3)을 변형시키는 주변부(4u)에 가해지는 장력에 의해 조심스럽게 들어 올려짐으로써, 캐리어 기판(2)으로부터의 생산 기판(4)의 필링(peeling) 공정을 도와준다.
필름(3)의 변형이 골(9)을 유발한다. 음파 발생 장치(여기서, 음파 송신기(10))에 의해, 필름(3)을 통해 필름(3)의 반대편에 위치한 용제(22) 및 생산 기판과 캐리어 기판의 결합물에 음파(초음파, 메가사운드)를 전달하기 위해, 골(9)에 유체(11)가 공급된다. 용제(22)는 가장자리로부터 소리를 전달함으로써 가속된 방식으로 상호접합 층(6)에 작용하여 필름(3)의 필름 프레임(1) 쪽으로의 반대 힘(return force)이 감소되거나, 및/또는 스트립 공정, 특히 도 2에 따르는 방사 대칭 스트립 공정이 보조될 수 있다.
사운드 전달이 용제(20)의 분자들을 진동하게 하는데, 이로 인하여 공동현상이 일어나고, 이로 인해 상호접합 층(6)의 용해가 현저히 가속되게 된다.
바람직하게는, 용제(22)가 선택적으로 상호접합 층(6)과 조화되고, 접착 층(3s)은 용제(22)에 의한 공격을 받지 않을 수 있다.
A 간격
D 두께
E 평면
1 필름 프레임
1i 안쪽 주변부
2 캐리어 기판
3 필름
3a 스트립 섹션
3b 결합 섹션
3k 접합 표면 섹션
3s 접착 층
4 생산 기판
4u 주변부
6 상호접합 층
7 캐리어 기판 홀더
8 진공 통로
9 골
10 음파 송신기
11 유체
20 용제 저장소
21 외측 주변 벽
22 용제

Claims (16)

  1. 상호접합층에 의해 생산 기판과 연결되어 있는 캐리어 기판으로부터 생산 기판을 스트립(strip)하기 위한 장치에 있어서, 상기 장치는,
    상측 표면 및 하측 표면을 가진 가요성 필름 - 상기 가요성 필름은 상기 하측 표면 상의 접합 표면 섹션과, 상기 가요성 필름의 접합 표면 섹션에 생산 기판을 보지하기 위해 접합 표면 섹션 상에 배치되는 접착층과, 상기 접합 표면 섹션의 외측 주변부를 둘러싸는, 상기 가요성 필름의 하측 표면 상의, 결합 섹션과, 상기 접합 표면 섹션과 상기 결합 섹션 사이에 위치하는 스트립 섹션을 포함함 - 과,
    상기 결합 섹션에서 상기 가요성 필름에 장착되는 필름 프레임과,
    상기 필름 프레임의 주변부에 서로 다른 국부적 힘들을 가함으로써 상기 생산 기판의 주변부로부터 상기 생산 기판을 상기 캐리어 기판으로부터 스트립하도록 구성되는 스트립 수단과,
    상기 상호접합층의 적어도 부분적인 분리를 위해 상기 상호접합층의 주변부에만 유체를 공급하도록 구성되는 전달 장치와,
    상기 유체를 보유하기 위한 환형-형상 용매 저장소를 포함하며,
    상기 용매 저장소는 상기 캐리어 기판의 환형부에 부착되고, 상기 용매 저장소의 상측 에지는 상기 생산 기판의 상측 표면과 적어도 동평면으로 연장되는
    스트립 장치.
  2. 삭제
  3. 청구항 1에 있어서, 상기 유체는 상기 상호접합층을 용해시키는 용매인
    스트립 장치.
  4. 삭제
  5. 청구항 1에 있어서, 상기 힘들은 상기 필름 프레임의 외측 주변부 상에 분포되는
    스트립 장치.
  6. 삭제
  7. 청구항 5에 있어서, 상기 가요성 필름의 접합 표면 섹션은, 상기 접합 표면 섹션이 결합 섹션 아래에 위치하도록, 상기 가요성 필름의 결합 섹션에 대해 상대적으로 이동하는
    스트립 장치.
  8. 청구항 1에 있어서, 상기 스트립 수단이 블레이드를 포함하는
    스트립 장치.
  9. 상호접합층에 의해 생산 기판에 연결되어 있는 캐리어 기판으로부터 생산 기판을 스트립(strip)하기 위한 방법에 있어서, 상기 방법은,
    상측 표면 및 하측 표면을 가진 가요성 필름 - 상기 가요성 필름은 상기 하측 표면 상의 접합 표면 섹션과, 상기 가요성 필름의 접합 표면 섹션에 생산 기판을 보지하기 위해 접합 표면 섹션 상에 배치되는 접착층과, 상기 접합 표면 섹션의 외측 주변부를 둘러싸는, 상기 가요성 필름의 하측 표면 상의, 결합 섹션과, 상기 접합 표면 섹션과 상기 결합 섹션 사이에 위치하는 스트립 섹션을 포함함 - 과, 상기 결합 섹션에서 상기 가요성 필름에 장착되는 필름 프레임을 제공하는 단계와,
    상기 필름 프레임의 주변부에 서로 다른 국부적 힘들을 가함으로써 상기 생산 기판의 주변부로부터 상기 생산 기판을 상기 캐리어 기판으로부터 스트립하는 단계와,
    상기 상호접합층의 적어도 부분적인 분리를 위해 상기 상호접합층의 주변부에만 유체를 공급하는 단계를 포함하며,
    상기 유체를 공급하는 단계는
    상기 유체를 보유하기 위해 환형-형상 용매 저장소를 제공하는 단계와,
    상기 용매 저장소의 상측 에지가 상기 생산 기판의 상측 표면과 적어도 동평면으로 연장되도록, 상기 캐리어 기판의 환형부에 용매 저장소를 부착하는 단계를 포함하는
    스트립 방법.
  10. 삭제
  11. 청구항 9에 있어서, 상기 유체는 상기 상호접합층을 용해하는 용매인
    스트립 방법.
  12. 청구항 9에 있어서, 상기 힘들 중 제 1 힘은 상기 힘들 중 제 2 힘과 동일한
    스트립 방법.
  13. 청구항 9에 있어서, 상기 힘들은 상기 필름 프레임의 외측 주변부 상에 분포되는
    스트립 방법.
  14. 삭제
  15. 상호접합층에 의해 생산 기판에 연결되어 있는 캐리어 기판으로부터 생산 기판을 스트립(strip)하기 위한 방법에 있어서, 상기 방법은,
    상측 표면 및 하측 표면을 가진 가요성 필름 - 상기 가요성 필름은 상기 하측 표면 상의 접합 표면 섹션과, 상기 가요성 필름의 접합 표면 섹션에 생산 기판을 보지하기 위해 접합 표면 섹션 상에 배치되는 접착층과, 상기 접합 표면 섹션의 외측 주변부를 둘러싸는, 상기 가요성 필름의 하측 표면 상의, 결합 섹션과, 상기 접합 표면 섹션과 상기 결합 섹션 사이에 위치하는 스트립 섹션을 포함함 - 과, 상기 결합 섹션에서 상기 가요성 필름에 장착되는 필름 프레임을 제공하는 단계와,
    상기 필름 프레임의 주변부에 서로 다른 국부적 힘들을 가함으로써 상기 생산 기판의 주변부로부터 상기 생산 기판을 상기 캐리어 기판으로부터 스트립하는 단계와,
    상기 상호접합층의 적어도 부분적인 분리를 위해 상기 상호접합층의 주변부에만 유체를 공급하는 단계를 포함하며,
    상기 유체를 공급하는 단계는
    상기 유체를 보유하기 위해 환형-형상 용매 저장소를 제공하는 단계와,
    상기 용매 저장소의 상측 에지가 상기 생산 기판의 상측 표면과 적어도 동평면으로 연장되도록, 상기 캐리어 기판의 환형부에 용매 저장소를 부착하는 단계를 포함하며,
    상기 유체를 공급하는 단계는,
    상기 접합 표면 섹션이 상기 결합 섹션 아래에 위치하도록 상기 가요성 필름의 접합 표면 섹션을 상기 가요성 필름의 결합 섹션에 대해 상대적으로 이동시키는 단계를 더 포함하는
    스트립 방법.
  16. 청구항 9에 있어서, 상기 스트립 단계는,
    상기 상호접합층의 주변부를 블레이드를 이용하여 절단하는 단계를 포함하는
    스트립 방법.
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