JP4271409B2 - 脆質材料の加工方法 - Google Patents
脆質材料の加工方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP4271409B2 JP4271409B2 JP2002147552A JP2002147552A JP4271409B2 JP 4271409 B2 JP4271409 B2 JP 4271409B2 JP 2002147552 A JP2002147552 A JP 2002147552A JP 2002147552 A JP2002147552 A JP 2002147552A JP 4271409 B2 JP4271409 B2 JP 4271409B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- brittle material
- unit
- hard plate
- double
- liquid
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
Images
Landscapes
- Mechanical Treatment Of Semiconductor (AREA)
- Dicing (AREA)
Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、脆質材料の加工方法に係り、更に詳しくは、両面粘着剤層を備えたシート等を介して硬質板に貼付された半導体ウェハ等の脆質材料を剥がす方法に関する。
【0002】
【従来の技術】
従来より、電子産業や光学産業等において、表面に回路パターンが形成された半導体ウェハが広く利用されるに至っている。この半導体ウェハの厚みは、従来200μm〜300μm程度に研削加工を施していたが、近時のICチップの小型化や薄型化の要請により、50μm程度の極薄への加工が主流になりつつある。そのため、研削加工後の半導体ウェハの保管、搬送する際に、半導体ウェハに割れや傷が発生し易くなる。そこで、研削加工を行う前に、半導体ウェハを補強し、且つ、半導体ウェハのハンドリング性を確保するため、半導体ウェハをガラス板等の硬質板に固定する方法を採用する場合がある。半導体ウェハを硬質板に固定するに際しては、これらをワックスを介して貼付する手法が知られている。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、前記ワックスを介して貼付する場合、ワックスの厚さを均一に塗布することが困難であり、半導体ウェハを平滑り研削することが難しくなる。また、ワックス硬質板の端部からワックスがはみ出す傾向が強く、作業性に支障があるという不都合を生じる。更に、半導体ウェハを硬質板から剥がした後、有機溶剤を用いて洗浄しなければならず、自然環境の汚染を招来するという点において好ましくない。
【0004】
そこで、本出願人より、特開2000−136362号公報に開示されるように、ワックスに代えて熱収縮性のフィルムの両面に粘着剤層を備えた両面粘着シートを用いて硬質板と半導体ウェハとを貼付する方法が提案されている。
【0005】
しかしながら、前記シートを用いて貼付した場合には、研削加工後、熱処理がある工程に使用できないという不都合がある。
【0006】
そこで、本発明者が種々の実験を行ったところ、硬質板から半導体ウェハを剥がす前に、液体中に浸漬することによって、極薄化した半導体ウェハの割れ等を回避できることを知見した。
【0007】
【発明の目的】
本発明は、前述した不都合を契機とする知見に基づいて案出されたものであり、その目的は、硬質板に貼付された半導体ウェハ等の脆質材料を容易に剥がすことができ、且つ、剥離時における脆質材料の割れや傷の発生を防止することができる脆質材料の加工方法を提供することにある。
【0008】
【課題を解決するための手段】
前記目的を達成するため、本発明は、脆質材料が両面に粘着剤層を有する両面粘着シートを介して硬質板に固定されたユニットを形成し、前記硬質板から脆質材料を剥離する工程を含む加工方法において、
前記ユニットを前記粘着剤と不溶又は難溶の液体中に浸漬させて、両面粘着シートと脆質材料との界面、又は、両面粘着シートと硬質板との界面に前記液体を侵入させた後、
前記ユニットを前記液体中から取り出し前記ユニットの脆質材料側に転写テープを介してその周囲をリングフレームに固定し、
前記ユニットの硬質板側を吸着固定し、
前記リングフレームの一端側を徐々に持ち上げ、脆質材料を転写テープ側に転写することにより、前記ユニットの端部より脆質材料を硬質板から剥離する、という手法を採っている。
また、本発明は、脆質材料が両面に粘着剤層を有する両面粘着シートを介して硬質板に固定されたユニットを形成し、前記硬質板から脆質材料を剥離する工程を含む加工方法において、
前記ユニットの脆質材料側に転写テープを介してその周囲をリングフレームに固定した後、
前記ユニットを前記粘着剤と不溶又は難溶の液体中に浸漬させて、両面粘着シートと脆質材料との界面、又は、両面粘着シートと硬質板との界面に前記液体を侵入させた後、
前記ユニットを液体中から取り出し前記ユニットの硬質板側を吸着固定し、
前記リングフレームの一端側を徐々に持ち上げ、脆質材料を転写テープ側に転写することにより、前記ユニットの端部より脆質材料を硬質板から剥離する、という手法を採っている。このような手法により、粘着剤層の剥離抵抗力が低下するようになり、剥離時における脆質材料及び硬質板への負荷を軽減することができる。これにより、極薄化によって剛性が低下した脆質材料であっても、硬質板から容易に剥がすことができ、且つ、脆質材料及び硬質板の割れ等を防止することが可能となる。しかも、従来のようにワックス洗浄に使用するような有機溶剤を用いることなく剥離できるので、近時の環境問題に対応することができる。
【0009】
また、本発明における脆質材料は半導体ウェハを対象とすることができる。このような半導体ウェハに本発明を適用することで、加工精度の厳格なる要求に十分に応えることができる。
【0010】
更に、前記半導体ウェハを前記両面粘着シートを介して硬質板に固定した後、半導体ウェハを所定厚に研削加工することによりユニットを形成する方法を採用してもよく、更に、半導体ウェハを所定厚に研削加工した後、さらに所定サイズのチップにダイシングしてユニットを形成する方法を採ってもよい。これにより、種々のユニットに対応して半導体ウェハの剥離を行うことが可能となる。
【0011】
また、前記粘着剤層は、紫外線硬化型粘着剤層からなり、前記粘着剤と不溶又は難溶の液体が、脱イオン水、純水又はアルコールの何れかを用いるとよい。粘着剤層に紫外線硬化型粘着剤を用いた場合、紫外線を照射して粘着剤層を硬化させることにより、液体中から取り出しても、侵入した液体により剥離した界面は、再付着することがない。
【0013】
【発明の実施の形態】
本発明における硬質板としては、例えば、ガラス板、石英板や、アクリル板、ポリ塩化ビニル板、ポリエチレンテレフタレート板、ポリプロピレン板、ポリカーボネート板等のプラスチック板が使用できる。硬質板のASTMD 883により定義される硬度は、好ましくは70MPa以上である。硬質板の厚みは、その材質にもよるが、通常は、0.1〜10mm程度である。また、両面粘着シートの粘着剤層に紫外線硬化型粘着剤を用いる場合には、硬質板は、紫外線透過性の材質により形成される。
【0014】
図1に示すように、本発明に用いる両面粘着シート12は、基材フィルム14、基材フィルム14の脆質材料10に貼付する側の粘着材層15,及び硬質板11に貼付する側の粘着剤層15’よりなる。基材フィルム14は寸法安定性、耐熱性、耐溶剤性にすぐれることから、ポリエチレンテレフタレートフィルム、ポリエチレンナフタレートフィルム等のポリエステルフィルムが好ましく使用される。粘着剤層15、15’は、使用する液体Lにそれぞれ不溶性または難溶性であれば何ら限定されるものではないが、ゴム系、アクリル系、シリコーン系、ポリウレタン系、ポリビニルエーテル系の再剥離型の粘着剤や紫外線硬化型粘着剤あるいは水膨潤性の粘着剤が用いられる。
粘着剤層15、15’のうち、剥離操作を行う際、先に剥離して欲しい被着体(脆質材料10または硬質板11)の側に設けられる粘着剤層は、紫外線硬化型粘着剤や水膨潤性の粘着剤からなることが特に好ましい。粘着剤層が紫外線硬化型粘着剤であり、液体Lに浸漬する前に紫外線硬化していれば、ユニットUを液体Lから取り出して乾燥した後でも、粘着剤が紫外線で硬化しているため被着体との界面が再び粘着することがない。また、粘着剤層が水膨潤性粘着剤であり液体Lが水(脱イオン水、純水等)であれば、粘着剤層と被着体との界面に水が侵入しやすく、また剥離した直後に乾燥しにくいため、その界面が再び粘着しにくくなる。
前記粘着剤層の反対面に設けられる粘着剤層(後から剥離したい側)は、前述した粘着剤の中から選択でき、さらに両側に設けられる粘着剤層は同種の粘着剤であってもよいし、異なってもよい。
なお、粘着剤15,15’の選択により、ユニットUから脆質材料10を剥がした際に、両面粘着シート12が、硬質板11に残着する場合と、脆質材料10に付着して硬質板11に残らない場合がある。脆質材料10に付着した場合は、剥離した後に脆質材料10に残った両面粘着シート12を剥離すればよい。
本発明に用いる液体Lは、使用する粘着剤層15、15’と不溶または難溶であり、乾燥が可能であれば何ら限定されないが、水やアルコール等の環境に安全な液体が好ましい。脆質材料10が半導体ウエハであり、液体Lに水を使用する場合は半導体ウエハに悪影響を及ぼさないよう脱イオン水や純水を用いることが好ましい。
本発明において、不溶または難溶という用語は、粘着剤に液体Lが接触した場合に、液体Lが粘着剤に吸収されずにその表面を被覆し、粘着力を消失させるように働く性質を表す。反対に、粘着剤が液体Lに可溶であれば、粘着剤に液体Lが吸収されその表面が軟化し、粘着力が増すような性質を示す。
ユニットUを液体Lに浸漬することにより、液体Lは毛細管現象により顕微鏡では検出できない程度の量が粘着剤層と被着体との界面に侵入するものと考えられる。粘着剤は液体Lに不溶または難溶なので、液体Lが侵入した界面は非粘着状態となり剥離しやすくなる。
なお、液体Lの毛細管現象を促進させるためには、液体Lに界面活性剤を添加してもよい。脆質材料10が半導体ウェハである場合は、非イオン性界面活性剤を使用することが好ましい。また、ユニットUを浸漬した液体Lの槽に超音波処理を行って、液体Lの毛細管現象を促進させてもよい。
本発明において、ユニットUから脆質材料10を剥離する手段は、何ら限定はない。ユニットUの脆質材料10側に転写テープ18を粘着し、この転写テープ18ごと脆質材料10を剥離すれば、脆質材料10を破損する可能性が小さくなるので好ましい(図4)。また、転写テープ18の周囲にダイシング等に使用するリングフレーム19を貼着し、このリングフレーム19でユニットUを固定するとリングフレーム19の操作で、剥離作業が可能となるので好ましい。転写テープ18を脆質材料10に貼着するのは、液体Lに浸漬する前であっても、後であってもよい。
本発明に使用する転写テープ18は、市販のダイシングテープをそのまま使用することができる。市販のダイシングテープを使用すれば、転写テープ18に脆質材料10を転写した後、そのままの状態でダイシングすることが可能となる。
【0015】
なお、脆質材料及び硬質板を接着するための両面粘着シート及び転写テープは、脆質材料が面的に広がりを有していることに対応した説明概念であって、細長いテープをも含むものである。
【0016】
【実施例】
以下、本発明に係る方法の具体的な実施例を、図面及び比較例を参照しながら説明する。
【0017】
[実施例1]
先ず、脆質材料となる材料として、200mm径、725μm厚の半導体シリコンウェハ10を適用し、50μmまで研削加工することにより脆質材料とした。また、硬質板として、200mm径、700μm厚のガラス板11(ソーダライムガラス)を使用した。
両面粘着シート12は、両面が紫外線硬化型の両面粘着シートを用いた。ここでは、基材フィルム14をポリエチレンナフタレート(PEN、厚さ25μm)とし、基材フィルム14の両面の粘着剤層15,15’を紫外線硬化性官能基を有するアクリルポリマーからなる20μm厚の紫外線硬化型粘着剤層とした。
また、転写テープ18は、紫外線硬化型のダイシングテープ(リンテック株式会社製、Adwill D650)を使用した。
先ず、テープラミネータ(リンテック株式会社製、Adwill RAD3500/m12)を用いて、両面粘着シート12の一方の面をシリコンウェハ10(鏡面側)に貼付し、両面粘着シート12をシリコンウェハ10の外周に沿って切断した。次いで、両面貼付装置(リンテック株式会社製、Adwill RAD8001LA)を用いて、両面粘着シート12の他方の面をガラス板11に貼付し、図1に示されるように、シリコンウェハ10をガラス板11上に固定した。
次に、ガラス板11に固定されたシリコンウェハ10を研削装置(ディスコ社製、DFG−840)に搭載し、シリコンウェハ10を仕上げ厚さが50μmとなるまで研削した。さらに、ダイシング装置(東京精密社製、AWD4000B)を用い、図2に示されるように、シリコンウェハ10を10mm×10mmのサイズのチップに分割してユニットUを形成した。
そして、紫外線照射装置(リンテック株式会社製、Adwill RAD2000/m8)を用いて、ガラス板11側から紫外線を照射し、両面粘着シート12の各粘着剤層15,15’を両方とも硬化させた。続いて、テープマウンタ(リンテック株式会社製、Adwill RAD2500/m8)を用いて、ユニットUのシリコンウェハ10(チップ)面に転写テープ18を貼付し、転写テープ18を介してシリコンウェハ10(チップ)をリングフレーム19(ディスコ社製、MODTF2−8−1)に固定した。
リングフレーム19に固定されたユニットUを、図3に示されるように、粘着剤層15,15’が不溶の液体L(25℃の脱イオン水)の水槽Wに12時間浸漬した。その後、図4に示されるように、水槽Wから取り出したユニットUのガラス板11側を吸着テーブルT上に載置してから吸着保持した。そして、リングフレーム19の一端側を徐々に持ち上げることによって、両面粘着シート12とシリコンウェハ10との層間で剥離し、図5に示されるように、シリコンウェハ10(チップ)をガラス板11から転写テープ18に転写した。結果を表1に示す。
【0018】
[実施例2]
実施例2では、実施例1に対し、シリコンウェハ10の研削加工後にはダイシングを行わず、転写テープ18にシリコンウェハ10を転写した後に、転写テープ18上でフルカットダイシングを行った。結果を表1に示す。
【0019】
[実施例3]
実施例3では、先ず、テープラミネータを用いて、両面粘着シート12の一方の面をガラス板11に貼付し、両面粘着シート12をガラス板11の外周に沿って切断した。次いで、両面貼付装置を用いて、両面粘着シート12の他方の面をシリコンウェハ10に貼付し、シリコンウェハ10をガラス板11上に固定した。
ガラス板11に固定されたシリコンウェハ10を研削装置に搭載し、シリコンウェハ10を仕上げ厚さが50μmとなるまで研削した。さらに、ダイシング装置を用いて、シリコンウェハ10を10mm×10mmのサイズのチップに分割してユニットUを形成した。
次に、紫外線照射装置を用いて、ガラス板11側から紫外線を照射し、両面粘着シート12の各粘着剤層15,15’を両方とも硬化させた。その後、ユニットUを、粘着剤15が不溶の液体L(25℃の脱イオン水)の水槽Wに12時間浸漬した。
次いで、テープマウンタを用いて、水槽Wから取り出したユニットUのシリコンウェハ10(チップ)面に転写テープ18を貼付し、転写テープ18を介してシリコンウェハ10(チップ)をリングフレーム19に固定した。
そして、ユニットUのガラス板11側を吸着テーブルT上に載置してから吸着保持した。その後、リングフレーム19の一端側を徐々に持ち上げることによって、両面粘着シート12とシリコンウェハ10との層間で剥離し、シリコンウェハ10(チップ)をガラス板11から転写テープ18に転写した。結果を表1に示す。
なお、実施例3において使用するシリコンウェハ10、ガラス板11、両面粘着テープ12その他の装置類等は実施例1と同じものを使用した。
【0020】
[実施例4]
実施例4では、実施例3に対し、シリコンウェハ10の研削加工後にはダイシングを行わず、転写テープ18にシリコンウェハ10を転写した後に、転写テープ18上でフルカットダイシングを行った。結果を表1に示す。
【0021】
[実施例5〜実施例8]
実施例1〜4に対し、両面粘着テープ12のガラス板11に貼付する側の粘着剤層15’を水膨潤型のアクリル系粘着剤(厚さ20μm)とし、シリコンウェハ10に貼付する側の粘着剤層15を実施例1と同様に紫外線硬化型粘着剤を使用した。これ以外は、同様の加工を行って、それぞれを実施例5〜実施例8とした。結果を表1に示す。
【0022】
[比較例1,2]
比較例1,2では、前記ユニットUを不溶の液体の水槽Wに浸漬しなかった以外は、実施例1,2と同様の加工を行った。結果を表1に示す。
【0023】
【表1】
【0024】
以上のように、各実施例及び比較例において1枚のシリコンウェハ10から得られたチップ(周辺チップを除く)及び硬質板11をそれぞれ観察し、表1に示されるような結果を得た。
【0025】
ここで、表1に示されるように、実施例1〜8について、割れが発生したチップは50枚中1枚もなく、硬質板11についても割れが発生しなかった。これに対し、比較例1,2については、割れが発生したチップ17の枚数が50枚中12枚、42枚となり、硬質板11には割れが発生した。
【0026】
従って、前記実施例1〜8は、脆質材料10を剥がすときに、比較例1,2よりもチップ及び硬質板11の割れを回避することができることが明らかである。
【0027】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明によれば、両面粘着シートを介して貼付された脆質材料及び硬質板を液体に所定時間浸漬させることにより、両面粘着シートの粘着剤層と脆質材料又は硬質板との間に液体が侵入し、当該粘着剤層の剥離抵抗力を低下させることができる。これにより、硬質板から脆質材料を容易に剥がすことができ、且つ、脆質材料の割れや傷等を効果的に回避することが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明方法が適用される脆質材料がシートを介して硬質板に貼付された状態を示す概略断面図。
【図2】脆質材料のダイシングを行った後の状態を示す断面図。
【図3】脆質材料及び硬質板を液体に浸漬した状態を示す断面図。
【図4】脆質材料及び硬質板を剥離する状態を示す断面図。
【図5】脆質材料及び硬質板を剥離した後の状態を示す断面図。
【符号の説明】
10 脆質材料(半導体シリコンウェハ)
11 硬質板(ガラス板)
12 両面粘着シート
15,15’ 粘着剤層
L 液体
U ユニット
Claims (6)
- 脆質材料が両面に粘着剤層を有する両面粘着シートを介して硬質板に固定されたユニットを形成し、前記硬質板から脆質材料を剥離する工程を含む加工方法において、
前記ユニットを前記粘着剤と不溶又は難溶の液体中に浸漬させて、両面粘着シートと脆質材料との界面、又は、両面粘着シートと硬質板との界面に前記液体を侵入させた後、
前記ユニットを前記液体中から取り出し前記ユニットの脆質材料側に転写テープを介してその周囲をリングフレームに固定し、
前記ユニットの硬質板側を吸着固定し、
前記リングフレームの一端側を徐々に持ち上げ、脆質材料を転写テープ側に転写することにより、前記ユニットの端部より脆質材料を硬質板から剥離することを特徴とする脆質材料の加工方法。 - 脆質材料が両面に粘着剤層を有する両面粘着シートを介して硬質板に固定されたユニットを形成し、前記硬質板から脆質材料を剥離する工程を含む加工方法において、
前記ユニットの脆質材料側に転写テープを介してその周囲をリングフレームに固定した後、
前記ユニットを前記粘着剤と不溶又は難溶の液体中に浸漬させて、両面粘着シートと脆質材料との界面、又は、両面粘着シートと硬質板との界面に前記液体を侵入させた後、
前記ユニットを液体中から取り出し前記ユニットの硬質板側を吸着固定し、
前記リングフレームの一端側を徐々に持ち上げ、脆質材料を転写テープ側に転写することにより、前記ユニットの端部より脆質材料を硬質板から剥離することを特徴とする脆質材料の加工方法。 - 前記脆質材料は半導体ウェハであることを特徴とする請求項1又は2記載の脆質材料の加工方法。
- 前記半導体ウェハを前記両面粘着シートを介して硬質板に固定した後、
前記半導体ウェハを所定厚に研削加工することによりユニットを形成することを特徴とする請求項3記載の脆質材料の加工方法。 - 前記半導体ウェハを所定厚に研削加工した後、さらに所定サイズのチップにダイシングしてユニットを形成することを特徴とする請求項4記載の脆質材料の加工方法。
- 前記粘着剤層は、紫外線硬化型粘着剤層からなり、前記粘着剤と不溶又は難溶の液体が、脱イオン水、純水又はアルコールであることを特徴とする請求項1ないし5の何れかに記載の脆質材料の加工方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2002147552A JP4271409B2 (ja) | 2002-05-22 | 2002-05-22 | 脆質材料の加工方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2002147552A JP4271409B2 (ja) | 2002-05-22 | 2002-05-22 | 脆質材料の加工方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2003338475A JP2003338475A (ja) | 2003-11-28 |
JP4271409B2 true JP4271409B2 (ja) | 2009-06-03 |
Family
ID=29706056
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2002147552A Expired - Lifetime JP4271409B2 (ja) | 2002-05-22 | 2002-05-22 | 脆質材料の加工方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4271409B2 (ja) |
Families Citing this family (14)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2005263876A (ja) * | 2004-03-16 | 2005-09-29 | Lintec Corp | 両面粘着シートおよび脆質部材の転写方法 |
JP2006258546A (ja) * | 2005-03-16 | 2006-09-28 | Denso Corp | 半導体センサの製造方法 |
DE102006000687B4 (de) | 2006-01-03 | 2010-09-09 | Thallner, Erich, Dipl.-Ing. | Kombination aus einem Träger und einem Wafer, Vorrichtung zum Trennen der Kombination und Verfahren zur Handhabung eines Trägers und eines Wafers |
EP2402981B1 (de) | 2009-03-18 | 2013-07-10 | EV Group GmbH | Vorrichtung und Verfahren zum Ablösen eines Wafers von einem Träger |
EP2290679B1 (de) | 2009-09-01 | 2016-05-04 | EV Group GmbH | Vorrichtung und Verfahren zum Ablösen eines Produktsubstrats (z.B. eines Halbleiterwafers) von einem Trägersubstrat durch Verformung eines auf einem Filmrahmen montierten flexiblen Films |
EP2523209B1 (de) * | 2010-04-23 | 2017-03-08 | EV Group GmbH | Vorrichtung und Verfahren zum Ablösen eines Produktsubstrats von einem Trägersubstrat |
CN105247661B (zh) * | 2013-05-29 | 2018-09-21 | 三井化学东赛璐株式会社 | 半导体晶片保护用膜及半导体装置的制造方法 |
JP6324743B2 (ja) * | 2014-01-31 | 2018-05-16 | 住友電工デバイス・イノベーション株式会社 | 半導体装置の製造方法 |
JP6384934B2 (ja) * | 2017-06-20 | 2018-09-05 | 住友電工デバイス・イノベーション株式会社 | 半導体装置の製造方法 |
JP7262904B2 (ja) * | 2019-08-26 | 2023-04-24 | 株式会社ディスコ | キャリア板の除去方法 |
JP7262903B2 (ja) * | 2019-08-26 | 2023-04-24 | 株式会社ディスコ | キャリア板の除去方法 |
JP2021095449A (ja) * | 2019-12-13 | 2021-06-24 | 日東電工株式会社 | 粘着シート剥離方法 |
JP2021097074A (ja) * | 2019-12-13 | 2021-06-24 | 日東電工株式会社 | 半導体加工用粘着シート |
CN112852362A (zh) * | 2020-12-31 | 2021-05-28 | 中国人民解放军火箭军工程大学 | 一种胶黏固化增韧抑制硬脆材料加工边缘碎裂损伤的方法 |
-
2002
- 2002-05-22 JP JP2002147552A patent/JP4271409B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2003338475A (ja) | 2003-11-28 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
TWI491469B (zh) | The treatment of brittle parts | |
JP4271409B2 (ja) | 脆質材料の加工方法 | |
TW202333198A (zh) | 接合薄基板的方法 | |
US8871609B2 (en) | Thin wafer handling structure and method | |
JP5027460B2 (ja) | ウエハの接着方法、薄板化方法、及び剥離方法 | |
KR19990071818A (ko) | 반도체웨이퍼의 가공방법과 ic카드의 제조방법 및 캐리어 | |
JP2006041135A (ja) | 電子デバイスおよびその製造方法 | |
JP2001007179A (ja) | 両面粘着シートに固定された物品の剥離方法および剥離装置 | |
JP2007123404A (ja) | ダイシングテープ、および半導体ウェハダイシング方法 | |
JP4312419B2 (ja) | 半導体ウエハの加工方法 | |
CN1674235A (zh) | 固定在加强半导体晶圆上的加强板的分离方法及其装置 | |
JP2006196705A (ja) | 回路素子の形成方法および多層回路素子 | |
JP2002053819A (ja) | 半導体ウエハ表面保護用粘着フィルム及びそれを用いる半導体ウエハ表面の保護方法 | |
JP2003338474A (ja) | 脆質部材の加工方法 | |
JP2005019607A (ja) | ダイシング用粘着シートおよび半導体素子の製造方法 | |
JP2009123907A (ja) | 回路素子形成方法 | |
JP4316187B2 (ja) | 脆質材料の剥離方法及び剥離装置 | |
KR100555995B1 (ko) | 웨이퍼의 제조방법과 점착테이프 | |
JP2009130333A (ja) | 半導体装置の製造方法 | |
JP4319859B2 (ja) | 脆質部材の剥離方法 | |
JP2004356377A (ja) | 脆質部材の剥離方法及び脆質部材の支持ユニット | |
WO2022019158A1 (ja) | バックグラインド用粘着性フィルムおよび電子装置の製造方法 | |
WO2021251422A1 (ja) | 電子装置の製造方法 | |
KR20230008803A (ko) | 전자 장치의 제조 방법 | |
KR20230031941A (ko) | 전자 장치의 제조 방법 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20050221 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20080610 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20080806 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20090217 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20090225 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120306 Year of fee payment: 3 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 4271409 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120306 Year of fee payment: 3 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130306 Year of fee payment: 4 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130306 Year of fee payment: 4 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140306 Year of fee payment: 5 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
EXPY | Cancellation because of completion of term |