JP4965485B2 - 処理液浸透ユニットおよび処理装置 - Google Patents
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Description
(第1の実施形態)
本発明の一実施形態に係る処理液浸透ユニットについて、図1および2を参照して以下に説明する。図1は、第1の実施形態に係る処理液浸透ユニット10の上面図であり、図2は、図1の処理液浸透ユニット10のA−A’線における矢視断面図である。図1および2に示すように、処理液浸透ユニット10は、振動部11、振動伝達部12、空洞部13、液体注入口(注入口)14、液体排出口(排出口)15、溶解液注入口(処理液供給口)16および溶解液排出口(処理液排出口)17を備えている。振動部11は、振動伝達部12上に、当該振動伝達部12に接するように設けられている。
振動部11は、例えば、振動部11自体が振動すること等によって振動を生じさせるバイブレータ等である。具体的には、低周波で20〜100kHz、および高周波で400〜1000kHzの超音波を発生させるものであることが好ましい。本実施形態においては、4つの振動部11がそれぞれ対向するように設けられているが、これに限定されず、振動伝達部12上において振動が生じるように、少なくとも1つの振動部11を備えていればよく、5つ以上備えていてもよい。
振動伝達部12は、振動部11から生じた振動を積層体22に伝達するものであり、内部に空洞部13を有する筐体である。空洞部13は、溶解液注入口16を中心としていわゆるドーナツ状に形成されており、振動伝達部12において振動部11の下には空洞部13が位置するようになっている。そして、空洞部13中には、液体が充填されている。振動伝達部12の内部の空洞部13に液体が充填されていることによって、振動部11からの振動は液体中において拡散される。したがって、振動部11からの振動をより広範囲に伝達することが可能である。
図3を参照しつつ、第2の実施形態に係る処理液浸透ユニット30について説明する。第2の実施形態は、振動伝達部12と積層体22との間にOリング31を有している点において第1の実施形態とは異なる例である。第2の実施形態においては、第1の実施形態と異なる点について説明する。
図4を参照しつつ、第3の実施形態に係る処理液浸透ユニット40について説明する。第3の実施形態は、振動伝達部41が第1の実施形態とは異なる例である。第3の実施形態においては、第1の実施形態と異なる点について説明する。
図5を参照しつつ、第4の実施形態に係る処理液浸透ユニット50について説明する。第4の実施形態は、振動伝達部51が第1の実施形態とは異なる例である。第4の実施形態においては、第1の実施形態と異なる点について説明する。
図6を参照しつつ、第5の実施形態に係る処理液浸透ユニット60について説明する。第5の実施形態は、振動伝達部61が第1の実施形態とは異なる例である。第5の実施形態においては、第1の実施形態と異なる点について説明する。
本発明の一実施形態に係る処理装置について、以下に説明する。本発明に係る処理装置は、図1に示すウエハ20とサポートプレート21とが接着剤を介して貼り合わされている積層体22において、溶解液を浸透させて接着剤を溶解させるためのものである。また、本発明に係る処理装置は、ウエハ20表面に付着した接着剤を洗浄除去するためにも用いられ得る。本発明に係る処理装置は、ウエハ20とサポートプレート21とを貼り合わせている接着剤に対して、接着剤を溶解させる溶解液を供給する処理液供給手段(図示せず)と、上記第1〜第5の実施形態に示したいずれかの処理液浸透ユニットとを備えている。
11、41、51、61 振動伝達部
12 振動部
13、42,52,62 空洞部
14 液体注入口
15 液体排出口
16 溶解液注入口(処理液注入口)
17 溶解液排出口(処理液排出口)
20 ウエハ(基板)
21 サポートプレート(支持板)
22 積層体
31 Oリング
43、53、63 凹凸面
Claims (13)
- 基板と基板を支持する支持板とを貼着している接着剤に対して、処理液を浸透させる処理液浸透ユニットであって、
少なくとも1つの振動部と、
前記接着剤と前記振動部との間に配置され、処理液が供給された前記接着剤に前記振動部による振動を伝達する振動伝達部とを備え、
前記振動伝達部の内部に空洞部を有することを特徴とする処理液浸透ユニット。 - 基板表面の付着物に対して処理液を供給し、当該付着物を基板表面から除去する処理液浸透ユニットであって、
少なくとも1つの振動部と、
前記付着物と前記振動部との間に配置され、処理液が供給された前記付着物に前記振動部による振動を伝達する振動伝達部とを備え、
前記振動伝達部の内部に空洞部を有することを特徴とする処理液浸透ユニット。 - 前記振動伝達部は、前記空洞部に液体が充填されていることを特徴とする請求項1または2に記載の処理液浸透ユニット。
- 前記振動伝達部は、前記空洞部の、前記接着剤または前記付着物に対向する面およびその反対側の面の少なくともいずれか一方の一部に、凹凸が形成されていることを特徴とする請求項3に記載の処理液浸透ユニット。
- 前記振動伝達部は、前記接着剤または前記付着物に対向する面の一部に、凹凸が形成されていることを特徴とする請求項3に記載の処理液浸透ユニット。
- 前記振動伝達部は、前記空洞部に液体を注入する注入口と、前記空洞部から液体を排出する排出口とを備えていることを特徴とする請求項3〜5のいずれか1項に記載の処理液浸透ユニット。
- 前記液体が、前記接着剤に浸透させる処理液または前記付着物に供給する処理液であることを特徴とする請求項3〜6のいずれか1項に記載の処理液浸透ユニット。
- 前記振動部は、前記振動伝達部における前記接着剤または前記付着物に対向する面とは反対の表面側に、移動可能に配設されていることを特徴とする請求項1〜7のいずれか1項に記載の処理液浸透ユニット。
- 前記接着剤または前記付着物に処理液を供給する処理液供給口と、供給した処理液を排出する処理液排出口とを有する処理液供給部をさらに備えていることを特徴とする請求項1〜8のいずれか1項に記載の処理液浸透ユニット。
- 前記振動伝達部における前記接着剤または前記付着物に対向する面の周縁部に形成され、振動伝達部と接着剤との間または振動伝達部と付着物との間に存在する処理液を表面張力によって保持する突出部をさらに備えていることを特徴とする請求項1〜9のいずれか1項に記載の処理液浸透ユニット。
- 基板と基板を支持する支持板とを貼着している接着剤に対して、処理液を供給する処理液供給手段と、
前記処理液が供給された前記接着剤に対して、該処理液を浸透させる処理液浸透ユニットとを備え、
前記処理液浸透ユニットは、
少なくとも1つの振動部と、
前記接着剤と前記振動部との間に配置され、処理液が供給された前記接着剤に前記振動部による振動を伝達する振動伝達部とを備え、
前記振動伝達部の内部に空洞部を有することを特徴とする処理装置。 - 基板表面の付着物に対して、処理液を供給する処理液供給手段と、
前記処理液が供給された前記付着物に対して、該処理液を浸透させる処理液浸透ユニットとを備え、
前記処理液浸透ユニットは、
少なくとも1つの振動部と、
前記付着物と前記振動部との間に配置され、処理液が供給された前記付着物に前記振動部による振動を伝達する振動伝達部とを備え、
前記振動伝達部の内部に空洞部を有することを特徴とする処理装置。 - 上記振動伝達部の上記振動部に接する面は、回転可能になっていることを特徴とする請求項1〜10に記載の処理液浸透ユニット。
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