CN110690158B - 剥离装置及剥离方法 - Google Patents

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Abstract

本发明涉及一种剥离装置及剥离方法。剥离装置包括固定机构、变形机构及形变源，所述形变源设置于所述变形机构外侧；所述固定机构用于固定所述承载基板，所述变形机构与所述待剥离件连接；所述形变源受控驱动所述变形机构形变，致所述待剥离件形变从所述承载基板剥离。本发明提供的剥离装置及剥离方法，通过控制形变源驱动变形机构形变的方式将待剥离件机械式地从承载基板上剥离，相较于激光碳化剥离的方式，避免了激光能量对显示效果的影响，并且待剥离件在剥离过程中因形变面的缓冲作用不会受到强拉力，进而保证了剥离的可靠性及剥离后显示面板的显示效果。

Description

剥离装置及剥离方法
技术领域
本发明涉及显示技术领域，特别是涉及一种剥离装置及剥离方法。
背景技术
有机发光二极管(OLED，Organic Light Emitting Display)显示装置具有自发光、驱动电压低、发光效率高、响应时间短、清晰度与对比度高、近180°视角、使用温度范围宽，可实现柔性显示与大面积全色显示等诸多优点，应用范围越来越广泛，被业界公认为是最有发展潜力的显示装置。随着OLED技术的发展，利用OLED的柔性优势产生了柔性OLED显示面板，因其具有可弯折易携带的特点，已成为显示技术领域研究和开发的主要领域。
在柔性显示面板的制作过程中，首先需将柔性基板制备或吸附于硬性的承载基板的表面，再在柔性基板上制备OLED器件。当OLED器件制备完成后，需将柔性基板利用激光碳化的剥离技术从承载基板上剥离。
但是，激光剥离技术容易导致柔性显示面板出现黑斑等显示异常，并且激光还会影响无色透明聚酰亚胺(CPI)材料的光学性能，进而影响对应的柔性显示面板的显示效果。
发明内容
基于此，本发明提供一种改善上述问题的剥离装置及剥离方法，解决针对现有柔性显示面板采用激光剥离技术，导致的柔性显示面板显示效果差的问题。
一种剥离装置，用于剥离承载基板上的待剥离件，所述剥离装置包括所述固定机构，用于固定有所述承载基板，所述变形机构，所述变形机构与所述待剥离件连接，所述变形机构外侧设置形变源；
所述形变源受控驱动所述变形机构形变，致所述待剥离件形变从所述承载基板剥离。
可选的，所述形变源用于向所述变形机构提供致形变的形变信号和/或形变介质；
优选的，所述变形机构能够感应的形变信号包括热信号、电信号、压力信号和磁场信号。
可选的，所述变形机构包括形变腔及与所述形变腔相连的形变面；
所述形变面与所述待剥离件连接。
可选的，所述形变介质作用于形变面，以使所述形变面形变。
可选的，所述固定机构内形成有与所述形变腔独立设置的第一剥离腔；
所述固定机构开设有与所述第一剥离腔连通的第一进气口，所述第一剥离腔与所述形变面流体连通；
所述形变介质为向所述第一进气口充入的压缩气体，且所述压缩气体的压力大于所述形变腔内气体的压力。
可选的，所述形变腔为密封腔，所述形变面为弹性形变面。
可选的，所述形变腔内具有所述形变介质，通过受控改变所述形变腔内所述形变介质的容量，以致所述形变腔的腔体大小改变，从而使所述形变面形变。
可选的，所述固定机构内形成有与所述形变腔独立设置的第二剥离腔；
所述固定机构开设有与所述第二剥离腔连通的第二进气口，所述第二剥离腔与所述形变面流体连通；
当所述形变腔的腔体大小改变以使所述形变面形变时，气体从所述第二进气口吸入。
可选的，所述变形机构上设有吸附层，所述变形机构通过所述吸附层吸附固定所述待剥离件；或者
所述形变机构包括真空吸附装置，所述变形机构开设有与真空吸附装置连通的吸附孔，所述变形机构通过所述吸附孔吸附固定所述待剥离件。
一种柔性基板剥离方法，用于剥离承载基板上的柔性基板，所述柔性基板剥离方法包括：
提供一剥离装置，包括固定机构、形变机构及形变源，其中，所述形变源设置于所述变形机构外侧；
将所述承载基板固定于所述固定机构；
将所述待剥离件连接于所述变形机构；
控制所述形变源驱动所述变形机构形变，致所述柔性基板从所述承载基板剥离。
上述剥离装置及剥离方法，将承载基板固定于固定机构，待剥离件连接于变形机构，再控制形变源驱动变形机构形变，从而使待剥离件从承载基板上剥离。通过使用形变面形变的方式将待剥离件机械式地从承载基板上剥离，相较于激光碳化剥离的方式，避免了激光能量对显示效果的影响，并且待剥离件在剥离过程中因形变面的缓冲作用，而不会受到直接作用的强拉力，进而保证了剥离的可靠性及剥离后显示面板的显示效果。
附图说明
图1为本发明一实施例中的剥离装置剥离待剥离件的截面示意图；
图2为图1中的剥离装置剥离待剥离件的另一状态的截面示意图；
图3为本发明另一实施例中的剥离装置剥离待剥离件的截面示意图；
图4图3中的剥离装置剥离待剥离件的另一状态的截面示意图；
图5本发明一实施例中的剥离方法的流程图。
具体实施方式
为了便于理解本发明，下面将参照相关附图对本发明进行更全面的描述。附图中给出了本发明的较佳的实施例。但是，本发明可以以许多不同的形式来实现，并不限于本文所描述的实施例。相反地，提供这些实施例的目的是使对本发明的公开内容的理解更加透彻全面。
本发明的一个或多个实施例将参照附图详细说明，附图中的元件的形状、尺寸、比例、角度和数量等要素仅仅是示例，在不同的实施例中，相同或对应的元件可以相同的附图标记示出，且省略重复的说明。
除非另有定义，本文所使用的所有的技术和科学术语与属于本发明的技术领域的技术人员通常理解的含义相同。本文中在本发明的说明书中所使用的术语只是为了描述具体的实施例的目的，不是旨在于限制本发明。本文所使用的术语“及/或”包括一个或多个相关的所列项目的任意的和所有的组合。
在描述位置关系时，除非另有规定，否则当一元件例如层、膜或基板被指为在另一元件“上”时，其能直接在其他元件上或亦可存在中间元件。进一步说，当层被指为在另一层“下”时，其可直接在下方，亦可存在一或多个中间层。亦可以理解的是，当层被指为在两层“之间”时，其可为两层之间的唯一层，或亦可存在一或多个中间层。
其中，当层被指为在另一层“上方/上层”或“下方/下层”时，是以膜层的交叠时的上下为基准；也就是说，显示面板的制作工艺中，膜层是一层一层逐一交叠形成，则在后形成的膜层被认为是位于在先形成的膜层的“上方/上层”；对应地，在先形成的膜层被认为是位于在后形成的膜层的“下方/下层”。
在使用本文中描述的“包括”、“具有”、和“包含”的情况下，除非使用了明确的限定用语，例如“仅”、“由……组成”等，否则还可以添加另一部件。除非相反地提及，否则单数形式的术语可以包括复数形式，并不能理解为其数量为一个。
应当理解，尽管本文可以使用术语“第一”、“第二”等来描述各种元件，但是这些元件不应受这些术语的限制。这些术语仅用于将一个元件和另一个元件区分开。例如，在不脱离本发明的范围的情况下，第一元件可以被称为第二元件，并且类似地，第二元件可以被称为第一元件。
图1示出了本发明一实施例中的剥离装置剥离待剥离件的截面示意图；图2示出了图1中的剥离装置剥离待剥离件的另一状态的截面示意图。为便于描述，附图仅示出了与本发明实施例相关的结构。
参阅附图，剥离装置100包括固定机构10、变形机构11及形变源。
本发明实施例的剥离装置100用于剥离承载基板210上的待剥离件220。其中，待剥离件220设置于承载基板210上，即待剥离件220的下表面覆盖在承载基板210上。本领域技术人员应当理解，当待剥离件220从承载基板210剥离后可得到显示面板。
在本发明的实施例中，承载基板210与待剥离件220之间设有剥离层230，剥离层230一方面使承载基板210与待剥离件220粘接，另一方面为待剥离件220在承载基板210的制成上提供支撑。
固定机构10用于固定承载基板210，变形机构11与待剥离件220连接。
一些实施例中，承载基板210背离待剥离件220的一侧表面相对固定机构10固定设置，待剥离件220背离承载基板210的一侧表面连接于变形机构11，如此，使得固定或连接面积大，故固定或连接稳靠。
形变源设置于变形机构11的外侧，形变源受控驱动变形机构11形变，致待剥离件220形变从承载基板210剥离。
应当理解的是，形变源驱动变形机构11形变的形变力应当大于待剥离件220与承载基板210之间的结合力，小于待剥离件220连接于变形机构11的连接力和承载基板210固定于固定机构10的固结力，从而使待剥离件220在形变力的作用下从承载基板210剥离。
这样，将承载基板210固定于固定机构10，待剥离件220连接于变形机构11，再控制形变源使变形机构11形变，从而使待剥离件220从承载基板300上剥离。通过使用变形机构11形变的方式将待剥离件220机械式地从承载基板210上剥离，相较于激光碳化剥离的方式，避免了激光能量对显示效果的影响，并且待剥离件220在剥离过程中因形变面的缓冲作用，而不会受到直接作用的强拉力，进而保证了剥离的可靠性及剥离后显示面板的显示效果。
在一些实施例中，承载基板210可以为玻璃基板，也可以由其他具有一定强度且光透射率较高的材料所制得，在此不做限定。
在本发明的实施中，待剥离件220可以为可折叠、弯曲等的柔性基板，且可随变形机构11形变的部件，在此不作限制。以下实施例均以柔性基板为例进行说明。
柔性基板为由聚乙烯(PE)、聚丙烯(PP)、聚苯乙烯(PS)、聚对苯二甲酸乙二醇酯(PET)、聚对萘二甲酸乙二醇酯(PEN)、聚酰亚胺(PI))、聚芳酯(PAR/PAT)、聚碳酸脂(PC)、聚醚砜(PES)和聚醚酰亚胺(PEI)中至少一种材料制成的透明薄膜。优选地，柔性基板为透明聚酰亚胺(CPI)材料制成的透明薄膜。柔性基板的制备方法可以是但不限于涂布-固化法、喷墨打印法、流延法等。
柔性基板上表面可制备有柔性器件及封装层，在本发明的实施例中，柔性器件包括但不限于：薄膜晶体管(Thin Film Transistor，TFT)、有机发光二极管(Organic Light-Emitting Diode，OLED)等器件。
具体地，薄膜晶体管包括多条扫描线和多条数据线相互交叉限定出多个像素单元，扫描线和数据线交叉位置处设置有薄膜晶体管，每个薄膜晶体管包括半导体层、栅极绝缘层、栅极、源极和漏极等，薄膜晶体管的漏极与有机发光单元的阳极电连接，此为本领域技术人员所熟知技术，在此不再赘述。
有机发光二极管设置在薄膜晶体管上，有机发光二极管包括多个有机发光单元和像素限定层，每个有机发光单元对应一个薄膜晶体管而设置。有机发光单元包括阳极、发光层、阴极，有机发光二极管的结构为本领域技术人员所熟知技术，在此不再赘述。
在柔性基板上制备柔性器件后，柔性基板上表面还设置有封装层240以包覆于柔性器件。容易理解的是，由于有机发光材料层对水汽和氧气等外部环境十分敏感，如果将柔性显示面板中的有机发光材料层暴露在有水汽或氧气的环境中，会造成柔性显示面板的性能急剧下降或者完全损坏。封装层240能够为有机发光单元阻挡空气及水汽，从而保证柔性显示面板的可靠性。封装层240可以为薄膜封装层，其中，薄膜封装层可以是一层或多层结构，可以是有机膜层或无机膜层，亦可是有机膜层和无机膜层的叠层结构。另外，在一些实施例中，封装层240还包括阻水层(Barrier film)，其为较厚的无机材料，用以阻水氧。例如，一些实施例中，薄膜封装层可包括两层无机膜层及一层位于两层无机膜层之间的有机膜层，最上方的无机膜层上还设有一层阻水层(Barrier film)。
为了保护柔性器件在柔性基板从承载基板210上剥离时不受损坏，故可使封装层连接于变形机构11，从而保护柔性器件。
在一些实施例中，剥离层230包含氮氧化硅化合物(SiNxOy)，其中，氮含量大于氧含量，优选的，氮含量为氧含量的5～10倍。使用氮氧化硅化合物，且氮含量大于氧含量，可为柔性显示面板在剥离层230上制作提供一定的刚性支撑外，还降低了剥离层230的粘接力，从而使柔性基板剥离得更容易，进而保护了柔性基板免遭剥离损坏。
优选地，剥离层230与柔性基板及/或承载基板210的粘接力小于30力/英寸。
另外，剥离层230的厚度也影响剥离的难度，故设置剥离层230的厚度小于100纳米，以保证剥离层230不影响柔性基板与承载基板210的分离。
在进入将柔性基板自承载基板210剥离之前，为了使柔性基板更加快速准确地与承载基板210分离，可在柔性基板与承载基板210之间的边缘处开设起边口250，具体可设置起边口250至少部分位于剥离层230。起边口250具体制作方法如下：
先使用第一把竖向切刀按预设宽度将柔性基板切割至剥离层230处，需要指出的是，该预设宽度是指从承载基板210的边缘至切割位置的横向距离(图1中沿水平方向距离)，优选地，该预设宽度为15毫米。
接着，再使用第二把横向切刀在剥离层230切割预设深度，以在柔性基板与承载基板210之间形成起边口250。应当理解的是，起边口250可只设置于柔性基板与承载基板210的一侧，以方便柔性基板从此处开始与承载基板210分离。
一些实施例中，固定机构10包括吸附装置，承载基板210通过吸附装置吸附固定于固定机构10。具体地，吸附装置包括第一真空吸附装置，固定机构10具有固定面12，固定面12还开设有与第一真空吸附装置连通的第一吸附孔121，承载基板210通过第一吸附孔121吸附固定于固定机构10。在具体一实施例中，固定机构10包括自吸附载台(stage)。
一些实施例中，变形机构11上设有吸附层，柔性基板通过吸附层吸附固定于变形机构11。具体地，该吸附层可以为吸附层薄膜、通过镀覆的方式设置于变形机构11上或者其他方式，在此不作限制。除此之外，变形机构11还包括第二真空吸附装置，变形机构11设有与第二真空吸附装置连通的第二吸附孔111(如图3所示)，柔性基板通过第二吸附孔111吸附固定于变形机构11。
一些实施例中，形变源用于向变形机构11提供致形变的形变信号和/或形变介质。具体地，变形机构11能够感应的形变信号包括热信号、压力信号和磁场信号。
请再次参阅图1和图2，一些实施例中，变形机构11包括形变腔112及与形变腔112相连的形变面113，柔性基板连接于形变面113。
需要指出的是，形变面113与形变腔112相连可以为直接连接也可以为间接连接，需要以具体情况而定，例如，当形变面113作为形成形变腔112的一侧表面时，形变面113与形变腔112直接连接，当形变面113仅仅与形成形变腔113的外壁连接时，形变面112与形变腔113间接连接。
进一步地，设置形变介质作用于形变面113。更进一步地，固定机构10内形成有与形变腔112独立设置的第一剥离腔13，固定机构10开设有与第一剥离腔13连通的第一进气口14，第一剥离腔13与形变面113流体连通，形变介质为向第一进气口14充入的压缩气体，压缩气体的压力大于形变腔112内气体的压力。如此，压缩气体直接作用于形变面113，形变面113受力向吹气方向形变，同时致使形变腔112发生形变，形变面113向形变腔112形变的过程促使柔性基板从承载基板210剥离。
具体到一实施方式中，形变面113为弹性形变面，形变腔112为密封腔13。具体地，弹性形变面作为形成形变腔112的一侧表面。因此，在当弹性形变面受到外力作用产生弹性形变时，会提供给柔性基板从承载基板210剥离的力。具体地，弹性形变面的材质包括聚甲基丙烯酸甲酯(PMMA)。在一实施方式中，该变形机构11包括具有弹性形变面的弹性膜。通过向形变面113提供形变信号和/或形变介质，使形变面11发生弹性形变的过程，带动柔性基板和承载基板210膜层之间分离，促使柔性基板从承载基板210剥离。
一些实施例中，第一剥离腔13与起边口250流体连通。如此，可提升柔性基板从承载基板210上剥离的速度，并且是剥离后的柔性基板与承载基板210之间保持有供气体流向的间隙。
进一步地，形变面113用于分隔第一剥离腔13与形变腔112，柔性基板及承载基板210均设置于第一剥离腔13内。压缩气体在进入第一剥离腔13后可在第一剥离腔13内保持一定压力，更有利于使剥离后的柔性基板与承载基板210之间保持有供气体流向的间隙。
更进一步地，第一进气口14与形变面113相对设置。压缩气体可通过第一进气口14吹向与其相对设置的形变面113，形变面113受力向吹气方向形变，从而带动柔性基板从承载基板210剥离。具体地，第一进气口14可与起边口250设置于柔性基板及承载基板210的同一侧。
需要指出的是，形变面113的面积应当大于柔性基板的面积，如此，可在柔性基板以外留有一定形变面113供接收压缩气体使用，以使形变面113产生形变。
为了更好地使柔性基板从承载基板210剥离，设置形变面113沿竖直方向位于固定面12的下侧。如此，对应的放置于剥离装置100中的柔性基板位于承载基板210的下侧，当压缩气体从第一进气口14吹向形变面113时，形变面113发生形变，从而带动柔性基板从承载基板210剥离，此时，由于柔性基板的重力作用，使得柔性基板被剥离的部分不会轻易地再次与载体基板210粘接，故使得剥离效果更好。
一些实施例中，起边口250的尺寸范围为3毫米～5毫米。该尺寸小，相较于大尺寸的起边口250，当气体进入小尺寸的起边口250后,作用在柔性基板与承载基板210之间的力更大，使得柔性基板更为容易地从承载基板210剥离。
图3示出了本发明另一实施例中的剥离装置剥离柔性基板的截面示意图；图4示出了图3中的剥离装置剥离柔性基板的另一状态的截面示意图。为便于描述，附图仅示出了与本发明实施例相关的结构。
一些实施例中，形变腔112具有形变介质，通过改变形变腔112内形变介质的容量，以致形变腔112的腔体大小改变，从而使形变面113形变。具体地，形变介质可以为气体或水等，在此不作限制。
进一步地，固定机构10内形成有与形变腔112独立设置的第二剥离腔15，固定机构10还开设有与第二剥离腔15连通的第二进气口16，第二剥离腔15与形变面113流体连通，当形变腔112的腔体大小改变以使形变面113形变时，气体从第二进气口16吸入。如此，可提升柔性基板从承载基板210上剥离的速度，并且使剥离后的柔性基板段与承载基板210之间保持有供气体流向的间隙。具体地，柔性基板及承载基板210均设置于第二剥离腔15内。
更进一步地，固定机构10还包括弹性密封圈17，弹性密封圈17、固定机构、柔性基板及承载基板210之间形成密封的第二剥离腔15。具体地，弹性密封圈17包括第一密封圈171和第二密封圈172，固定机构10包括具有固定面12的第一固定机构和具有形变面113的第二固定机构，第一密封圈171的一端固定于第一固定机构，第二密封圈172的一端固定于第二固定机构，第一密封圈171的另一端与第二密封圈172的另一端抵接压紧，以在第一密封圈171、第二密封圈172、固定机构10、柔性基板及承载基板210之间形成密封的第二剥离腔15。
图5示出了本申请一实施例中的柔性基板剥离方法的流程框图。
参阅附图1～图4，为便于更佳的理解本申请的技术效果，本发明还提供一种柔性基板剥离方法，用于剥离承载基板210上的待剥离件220，待剥离件220剥离方法包括：
步骤S110：提供一剥离装置100，包括固定机构10、变形机构11及形变源，形变源设置于变形机构11外侧；
其中，变形机构11包括形变腔112及与形变腔112相连的形变面113。
变形源用于向变形机构11提供致形变的形变信号和/或形变介质。
进一步地，变形机构11能够感应的形变信号包括热信号、电信号、压力信号和磁场信号。
步骤S120：将承载基板210固定于固定机构10；
具体地，固定机构10可使用吸附装置将承载基板21吸附固定于固定机构10，具体地，该吸附装置可包括第一真空吸附装置。具体地，固定机构10包括与形变面113相对且间隔设置的固定面12，承载基板210固定于固定面12。
步骤S130：将待剥离件220连接于变形机构11；
具体地，变形机构11可使用第二真空吸附装置将待剥离件220固定于形变面113，也可以在形变面113上设置吸附层吸附待剥离件220。
步骤S140：控制形变源驱动变形机构11形变，致待剥离件220形变从承载基板210剥离。
具体到一实施例中，形变介质作用于形变面113。更进一步地，固定机构10内形成有与形变腔112独立设置的第一剥离腔13，固定机构10开设有与第一剥离腔13连通的第一进气口14，第一剥离腔13与形变面113流体连通，形变介质为向第一进气口14充入的压缩气体，压缩气体的压力大于形变腔112内气体的压力。
具体到一实施方式中，形变面113为弹性形变面，形变腔112为密封腔13。具体地，弹性形变面作为形成形变腔112的一侧表面。弹性形变面的材质包含聚甲基丙烯酸甲酯(PMMA)。在一实施方式中，该变形机构11包括具有弹性形变面的弹性膜。
一些实施例中，第一剥离腔13与起边口250流体连通。
一些实施例中，设形变面113沿竖直方向位于固定面12的下侧。
具体到另一实施例中，形变腔112具有形变介质，通过改变形变腔112内形变介质的容量，以致形变腔112的腔体大小改变，从而使形变面113形变。
进一步地，固定机构10内形成有与形变腔112独立设置的第二剥离腔15，固定机构10还开设有与第二剥离腔15连通的第二进气口16，第二剥离腔15与形变面113流体连通，当形变腔112的腔体大小改变以使形变面113形变时，气体从第二进气口16吸入。
基于同样的发明构思，本申请还提供一种柔性显示面板，由上述的柔性基板剥离方法制成。
上述剥离装置100、剥离方法及柔性显示面板，将承载基板210固定于固定机构10，与待剥离件220连接于变形机构11，再控制形变源使变形机构11形变，从而使待剥离件220从承载基板300上剥离。通过使用变形机构11形变的方式将待剥离件220机械式地从承载基板210上剥离，相较于激光碳化剥离的方式，避免了激光能量对显示效果的影响，并且待剥离件220在剥离过程中因形变面的缓冲作用，而不会受到直接作用的强拉力，进而保证了剥离的可靠性及剥离后显示面板的显示效果。
以上所述实施例的各技术特征可以进行任意的组合，为使描述简洁，未对上述实施例中的各个技术特征所有可能的组合都进行描述，然而，只要这些技术特征的组合不存在矛盾，都应当认为是本说明书记载的范围。
以上所述实施例仅表达了本发明的几种实施方式，其描述较为具体和详细，但并不能因此而理解为对发明专利范围的限制。应当指出的是，对于本领域的普通技术人员来说，在不脱离本发明构思的前提下，还可以做出若干变形和改进，这些都属于本发明的保护范围。因此，本发明专利的保护范围应以所附权利要求为准。

Claims (10)

1.一种剥离装置，用于剥离承载基板上的待剥离件，其特征在于，所述剥离装置包括：
固定机构，用于固定所述承载基板；
变形机构，包括形变腔及与所述形变腔相连的弹性形变面，所述待剥离件设于所述弹性形变面上，所述变形机构外侧设置形变源，所述形变源受控驱动所述弹性形变面产生弹性形变，致所述待剥离件形变从所述承载基板剥离；
其中，所述形变腔为密封腔。
2.根据权利要求1所述的剥离装置，其特征在于，所述形变源用于向所述变形机构提供致形变的形变信号和/或形变介质。
3.根据权利要求2所述的剥离装置，其特征在于，所述变形机构能够感应的形变信号包括热信号、电信号、压力信号和磁场信号。
4.根据权利要求2所述的剥离装置，其特征在于，所述形变介质作用于所述形变面，以使所述形变面形变。
5.根据权利要求4所述的剥离装置，其特征在于，所述固定机构包括与所述形变腔独立设置的第一剥离腔；
所述固定机构开设有与所述第一剥离腔连通的第一进气口，所述第一剥离腔与所述弹性形变面流体连通；
所述形变介质为向所述第一进气口充入的压缩气体，且所述压缩气体的压力大于所述形变腔内气体的压力。
6.根据权利要求5所述的剥离装置，其特征在于，所述弹性形变面用于分隔所述第一剥离腔与所述形变腔。
7.根据权利要求5所述的剥离装置，其特征在于，所述第一进气口与所述弹性形变面相对设置。
8.根据权利要求7所述的剥离装置，其特征在于，所述固定机构具有固定面，所述固定面用于固定所述承载基板，所述弹性形变 面沿竖直方向位于所述固定面的下侧。
9.根据权利要求1所述的剥离装置，其特征在于，所述变形机构包括具有所述弹性形变面的弹性膜。
10.一种剥离方法，用于剥离承载基板上的待剥离件，其特征在于，所述剥离方法包括：
提供一剥离装置，包括固定机构、变形机构及形变源，其中，所述变形机构包括形变腔及与所述形变腔相连的弹性形变面，所述形变源设置于所述变形机构外侧，所述形变腔为密封腔；
将所述承载基板固定于所述固定机构；
将所述待剥离件设于所述弹性形变面上；
控制所述形变源驱动所述弹性形变面产生形变，致所述待剥离件形变从所述承载基板剥离。
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