CN207637769U - 承载于承载板的可挠性基板的剥离装置的吸附结构 - Google Patents

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Abstract

本实用新型提供一种承载于承载板的可挠性基板的剥离装置的吸附结构,包含剥离组件;设于该剥离组件底面的可挠性封圈,该可挠性封圈的截面呈L型;以及顶面连接该剥离组件的底面的第一多孔隙材料层,该第一多孔隙材料层设于该可挠性封圈内。借此,可将剥离组件设于剥离装置的相关抽气设备进行使用,而于吸附可挠性基板时,由于可挠性封圈与可挠性基板的接触面积小,容易使可挠性基板的周围产生形变,以达到使可挠性基板易于从承载板上剥离的功效。

Description

承载于承载板的可挠性基板的剥离装置的吸附结构
技术领域
本实用新型涉及一种承载于承载板的可挠性基板的剥离装置的吸附结构,尤指一种可运用于可挠性基板的剥离装置的吸附结构。
背景技术
一般现有承载于承载板的可挠性基板的剥离装置,通常会搭配剥离组件进行使用,而该剥离组件由相互层叠的支撑板与多孔隙材料所构成,而于该多孔隙材料的周缘分别设有密封件;借此,可以多孔隙材料接触该可挠性基板,并以抽气设备连接至该剥离组件,使该支撑板与多孔隙材料之间利用密封件形成气密,且由抽气设备的吸力而让可挠性基板压缩多孔隙材料与密封件产生形变,进而将可挠性基板加以从承载板上剥离,以便移至后续的相关制程。
然而,以现有的剥离组件而言,其以多孔隙材料直接接触可挠性基板而加以从承载板上吸附剥离可挠性基板,然而由于该多孔隙材料具有预定的体积与厚度,使得该多孔隙材料而的变形量有限,进而影响多孔隙材料的吸附效能。
因此,如何发明一种承载于承载板的可挠性基板的剥离装置的吸附结构,以使其可获得较佳的吸附方式,而达到使可挠性基板易于从承载板上剥离的目的,借以有效改善现有的缺失,将是本实用新型所欲积极披露之处。
实用新型内容
有鉴于上述现有技术的缺憾,发明人有感其未臻于完善,遂竭其心智悉心研究克服,进而研发出一种承载于承载板的可挠性基板的剥离装置的吸附结构,以期可达到使可挠性基板易于从承载板上剥离的目的。
为达上述目的及其他目的,本实用新型是提供一种承载于承载板的可挠性基板的剥离装置的吸附结构,其包含有:剥离组件;设于该剥离组件底面的可挠性封圈,该可挠性封圈的截面呈L型;以及设于该可挠性封圈内且顶面连接该剥离组件的底面的第一多孔隙材料层。
上述的承载于承载板的可挠性基板的剥离装置的吸附结构中,该剥离组件包括有透气下板、透气上板、至少一第二多孔隙材料层及可挠性密封环,该第二多孔隙材料层设于该透气下板的顶面,该透气上板层叠于该第二多孔隙材料层的顶面,使该第二多孔隙材料层夹设于该透气下板与该透气上板之间,而该可挠性封圈及该第一多孔隙材料层设于该透气下板的底面,该可挠性密封环密封该透气下板、该透气上板与该第二多孔隙材料层的周缘,该可挠性密封环的截面呈弧型。
上述的承载于承载板的可挠性基板的剥离装置的吸附结构中,该透气下板具有多个下通气孔,该等下通气孔位于该可挠性密封环内,该透气上板具有多个上通气孔,该等上通气孔位于该可挠性密封环内。
上述的承载于承载板的可挠性基板的剥离装置的吸附结构中,该可挠性密封环包含第一贴附环部、第二贴附环部及变形环部,该变形环部的截面呈弧型,该第一贴附环部与该第二贴附环部相对向,该变形环部连接于该第一贴附环部与该第二贴附环部的端缘,且该第一贴附环部的底面结合于该透气上板的顶面,该第二贴附环部的顶面结合于该透气下板的底面,而该变形环部位于该透气下板、该透气上板与该第二等多孔隙材料层的周缘。
上述的承载于承载板的可挠性基板的剥离装置的吸附结构中,该可挠性密封环为橡胶、硅胶、PU或PE的材质。
上述的承载于承载板的可挠性基板的剥离装置的吸附结构中,该可挠性封圈包括第一表面、第二表面及缺口部,该第一表面位于该可挠性封圈的顶面且连接至该剥离组件的底面,该第二表面位于该可挠性封圈的底面,该缺口部位于该可挠性封圈的外侧且邻近该第二表面。
上述的承载于承载板的可挠性基板的剥离装置的吸附结构中,该第一表面大于该第二表面。
借此,本实用新型的承载于承载板的可挠性基板的剥离装置的吸附结构,可将剥离组件设于剥离装置的相关抽气设备进行使用,而于吸附可挠性基板时,由于可挠性封圈与可挠性基板的接触面积小,容易使可挠性基板的周围产生形变,以达到使可挠性基板易于从承载板上剥离的目的。
附图说明
图1是本实用新型较佳具体实施例的剖面状态示意图。
图2是本实用新型较佳具体实施例的可挠性封圈外观示意图。
符号说明:
1 剥离组件
11 透气下板
111 下通气孔
12 透气上板
121 上通气孔
13 第二多孔隙材料层
14 可挠性密封环
141 第一贴附环部
142 第二贴附环部
143 变形环部
2 可挠性封圈
21 第一表面
22 第二表面
23 缺口部
3 承载板
4 固定座
5 可挠性基板
6 第一多孔隙材料层
具体实施方式
为充分了解本实用新型的目的、特征及功效,兹借由下述具体的实施例,并配合所附的图式,对本实用新型做详细说明,说明如后:
请参阅图1至图2,如图所示:本实用新型是一种承载于承载板的可挠性基板的剥离装置的吸附结构,其至少由剥离组件1、可挠性封圈2以及第一多孔隙材料层6所构成。
该可挠性封圈2设于该剥离组件1的底面,该可挠性封圈2的截面呈L型。
该第一多孔隙材料层6设于该可挠性封圈2内且顶面连接该剥离组件1的底面。
于本实用新型的一实施例中,该剥离组件1包括有透气下板11、透气上板12、至少一第二多孔隙材料层13及可挠性密封环14,该第二多孔隙材料层13设于该透气下板11的顶面,该透气上板12层叠于该第二多孔隙材料层13的顶面,使该第二多孔隙材料层13夹设于该透气下板11与该透气上板12之间,而该可挠性封圈2的顶面及该第一多孔隙材料层6的顶面设于该透气下板11的底面,该可挠性密封环14密封该透气下板11、该透气上板12与该第二多孔隙材料层13的周缘,该可挠性密封环14的截面呈弧型,该透气下板11具有多个下通气孔111,该等下通气孔111位于该可挠性密封环14内,该透气上板12具有多个上通气孔121,该等上通气孔121位于该可挠性密封环14内。
另外,该可挠性密封环14包含第一贴附环部141、第二贴附环部142及变形环部143,该变形环部143的截面呈弧型,该第一贴附环部141与该第二贴附环部142相对向,该变形环部143连接于该第一贴附环部141与该第二贴附环部142的端缘,且该第一贴附环部141的底面结合于该透气上板12的顶面,该第二贴附环部142的顶面结合于该透气下板11的底面,而该变形环部143位于该透气下板11、该透气上板12与该第二多孔隙材料层13的周缘,该可挠性密封环14为橡胶、硅胶、PU或PE的材质。
于本实用新型的一实施例中,该可挠性封圈2包括有第一表面21、第二表面22及缺口部23,该第一表面21位于该可挠性封圈2的顶面且连接至该剥离组件1的透气下板11的底面,该第二表面22位于该可挠性封圈2的底面且连接至可挠性基板5的顶面,该缺口部23位于该可挠性封圈2的外侧且邻近该第二表面22,而该第一表面21大于该第二表面22。
当运用时,将该剥离组件1设于剥离装置的相关抽气设备的固定座4下方,并以该可挠性封圈2及该第一多孔隙材料层6接触该可挠性基板5,当该抽气设备启动时,由该透气上板12与该透气下板11压缩该第二多孔隙材料层13,并连带使得该可挠性密封环14产生形变,借以由该透气上板12的该等上通气孔121、该透气下板11的该等下通气孔111、该第二多孔隙材料层13以及该第一多孔隙材料层6相互配合,而对该可挠性基板5产生吸附力,进而将该可挠性基板5从承载板3上加以剥离,该承载板3可为承载玻璃且可由另一抽气设备吸附固定;由于该剥离组件1与该可挠性基板5之间设置该可挠性封圈2及该第一多孔隙材料层6,因此,于该承载板3上吸附该可挠性基板5时,可借由该可挠性封圈2的第二表面22,使该可挠性封圈2与该可挠性基板5间的接触面积较小,而于剥离组件1进行吸附时,容易使该可挠性基板5的周围产生形变,借以可获得较佳的吸附方式,而达到使可挠性基板易于从承载板上剥离的功效。
本实用新型在上文中已以较佳实施例说明,然本领域技术人员应理解的是,该实施例仅用于描绘本实用新型,而不应解读为限制本实用新型的范围。应注意的是,举凡与该实施例等效的变化与置换,均应设为涵盖于本实用新型的范围内。因此,本实用新型的保护范围当以权利要求书所界定的范围为准。

Claims (7)

1.一种承载于承载板的可挠性基板的剥离装置的吸附结构,其特征在于,包含:
剥离组件;
可挠性封圈,设于该剥离组件的底面,该可挠性封圈的截面呈L型;以及第一多孔隙材料层,其设于该可挠性封圈内且顶面连接该剥离组件的底面。
2.如权利要求1所述的承载于承载板的可挠性基板的剥离装置的吸附结构,其特征在于,该剥离组件包括透气下板、透气上板、至少一第二多孔隙材料层及可挠性密封环,该第二多孔隙材料层设于该透气下板的顶面,该透气上板层叠于该第二多孔隙材料层的顶面,使该第二多孔隙材料层夹设于该透气下板与该透气上板之间,而该可挠性封圈及该第一多孔隙材料层设于该透气下板的底面,该可挠性密封环密封该透气下板、该透气上板与该第二多孔隙材料层的周缘,该可挠性密封环的截面呈弧型。
3.如权利要求2所述的承载于承载板的可挠性基板的剥离装置的吸附结构,其特征在于,该透气下板具有多个下通气孔,所述下通气孔位于该可挠性密封环内,该透气上板具有多个上通气孔,所述上通气孔位于该可挠性密封环内。
4.如权利要求2所述的承载于承载板的可挠性基板的剥离装置的吸附结构,其特征在于,该可挠性密封环包含第一贴附环部、第二贴附环部及变形环部,该变形环部的截面呈弧型,该第一贴附环部与该第二贴附环部相对向,该变形环部连接于该第一贴附环部与该第二贴附环部的端缘,且该第一贴附环部的底面结合于该透气上板的顶面,该第二贴附环部的顶面结合于该透气下板的底面,而该变形环部位于该透气下板、该透气上板与该第二多孔隙材料层的周缘。
5.如权利要求2所述的承载于承载板的可挠性基板的剥离装置的吸附结构,其特征在于,该可挠性密封环为橡胶、硅胶、PU或PE的材质。
6.如权利要求1所述的承载于承载板的可挠性基板的剥离装置的吸附结构,其特征在于,该可挠性封圈包括第一表面、第二表面及缺口部,该第一表面位于该可挠性封圈的顶面且连接至该剥离组件的底面,该第二表面位于该可挠性封圈的底面,该缺口部位于该可挠性封圈的外侧且邻近该第二表面。
7.如权利要求6所述的承载于承载板的可挠性基板的剥离装置的吸附结构,其特征在于,该第一表面大于该第二表面。
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CN110690158A (zh) * 2019-09-25 2020-01-14 云谷(固安)科技有限公司 剥离装置及剥离方法

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