CN205521462U - 一种真空吸附平台 - Google Patents

Abstract

本实用新型提供一种真空吸附平台，包括真空吸盘和底座，真空吸盘与底座能够形成真空腔，所述真空吸盘包括第一吸盘、第二吸盘和隔膜，第二吸盘邻近所述真空腔；第一吸盘上设置多个第一吸盘孔，第二吸盘上设置多个第二吸盘孔，所述第一吸盘孔、第二吸盘孔和真空腔相连通；隔膜设置于第一吸盘和第二吸盘之间，并隔离所述第一吸盘孔与第二吸盘孔，可以避免真空吸盘上放置基板之外的区域破真空，在吸附异形基板时，不但不会出现盲区，吸附效果得到保证，而且无需额外覆盖吸附区域之外的区域，使用方便，能够大幅提高基板运载作业效率。

Description

一种真空吸附平台

技术领域

本实用新型属于液晶显示设备制造技术领域，具体涉及一种真空吸附平台。

背景技术

液晶显示设备制造行业经常涉及基板运载作业，基板的运载通常依靠真空吸附平台实现吸附固定，现有的真空吸附平台多采用吸盘吸孔一体式设计或并排式设计。

然而，现有的一体式真空吸附平台在吸附不同尺寸的基板时，需要用真空贴纸贴覆基板吸附区域之外的区域，以防止破真空造成基板无法正常吸附，使用不便，费时费力。

现有的并排式真空吸附平台通过关闭整排或整列吸盘吸孔的方式实现真空关闭，以解决上述问题，但是，并排式真空吸附平台在吸附异形的基板时存在盲区，吸附效果不佳。另外，有些并排式真空吸附平台需要更换通孔卡位治具Jig，在一定程度上也会对使用造成不便，影响基板运载的效率。

因此，亟需一种真空吸附平台以解决上述技术问题。

实用新型内容

本实用新型针对现有技术中存在的上述不足，提供一种真空吸附平台，用以解决现有的真空吸附平台使用不便、异形基板吸附效果不佳的问题。

本实用新型提供一种真空吸附平台，包括真空吸盘和底座，真空吸盘与底座能够形成真空腔，所述真空吸盘包括第一吸盘、第二吸盘和隔膜，第二吸盘邻近所述真空腔；

第一吸盘上设置多个第一吸盘孔，第二吸盘上设置多个第二 吸盘孔，所述第一吸盘孔、第二吸盘孔和真空腔相连通；

隔膜设置于第一吸盘和第二吸盘之间，并隔离所述第一吸盘孔与第二吸盘孔。

优选的，所述第一吸盘孔的直径小于第二吸盘孔的直径。

优选的，所述第二吸盘孔与第一吸盘相接触的一端设置有倒角或倒圆。

优选的，所述第一吸盘孔和第二吸盘孔均匀分布。

优选的，所述隔膜采用弹性材料制造。

优选的，所述真空吸附平台还包括抽气装置，所述抽气装置用于对真空吸盘和底座形成的空腔抽真空，以形成真空腔；

所述抽气装置包括真空泵、气阀和抽气管线，气阀设置于抽气管线上，抽气管线设置于所述底座的一侧，抽气管线的一端与真空吸盘和底座形成的空腔相连通，另一端与真空泵相连。

实用新型本实用新型具有如下有益效果：

本实用新型所提供的真空吸附平台采用双吸盘设计，双吸盘之间采用隔膜隔离，可以避免真空吸盘上放置基板之外的区域破真空，在吸附异形基板时，不但不会出现盲区，吸附效果得到保证，而且无需额外覆盖吸附区域之外的区域，使用方便，能够大幅提高基板运载作业效率。

附图说明

图1为本实用新型提供的真空吸附平台的爆炸图；

图2a为本实用新型提供的真空吸盘的截面示意图之一；

图2b为本实用新型提供的真空吸盘的截面示意图之二；

图3为本实用新型提供的真空吸附平台的工作原理图。

附图标记：

1、真空吸盘 2、底座 3、真空腔； 4、基板

11、第一吸盘 12、第二吸盘 13、隔膜 111、第一吸盘孔

121、第二吸盘孔 41、气阀 42、抽气管线

具体实施方式

为使本领域技术人员更好地理解本实用新型的技术方案，下面结合附图和具体实施方式对本实用新型作进一步详细描述。

参见图1，本实用新型提供一种真空吸附平台，该真空吸附平台包括真空吸盘1和底座2，真空吸盘1与底座2能够形成真空腔3，其中，真空吸盘1包括第一吸盘11、第二吸盘12和隔膜13，隔膜13设置于第一吸盘11和第二吸盘12之间，第二吸盘12邻近所述真空腔3。也就是说，第一吸盘11的一面以及第二吸盘的一面与隔膜13的两面分别贴合，第一吸盘11的另一面朝向真空吸附平台的外侧，第二吸盘12的另一面朝向真空吸附平台的内侧，如图1所示，在本实用新型实施例中，第一吸盘11位于隔膜13的上方，第二吸盘12位于隔膜13的下方。

第一吸盘11上设置多个第一吸盘孔111，第二吸盘12上设置多个第二吸盘孔121，第一吸盘孔111、第二吸盘孔121和真空腔3相连通，隔膜13隔离第一吸盘孔111与第二吸盘孔121。

本实用新型所提供的真空吸附平台采用双吸盘设计，在双吸盘之间用隔膜隔离，可以避免真空吸盘上放置基板之外的区域破真空，在吸附异形基板时，不但不会出现盲区，吸附效果得到保证，而且无需额外覆盖吸附区域之外的区域，使用方便，能够大幅提高基板运载作业效率。

为了实现均匀吸附，保证吸附效果，优选的，第一吸盘孔111在第一吸盘11上均匀分布，第二吸盘孔121在第二吸盘12上均匀分布。

底座2包括底面和四个侧面，四个侧面围在底面的四周，形成开口向上的凹槽结构。真空吸盘1卡合于底座2的开口处，从而在第二吸盘12的下表面与底座2之间形成空腔。

所述真空吸附平台还包括抽气装置，所述抽气装置用于对真空吸盘与底座形成的空腔抽真空，从而形成真空腔3。所述抽气装置包括真空泵(图中未绘示)、气阀41和抽气管线42，气阀41设置于抽气管线42上，抽气管线42设置于底座2的一侧，抽气 管线42的一端与真空吸盘1和底座2形成的空腔相连通，另一端与真空泵相连。

当真空泵和气阀41开启，抽气装置开始对真空吸盘1和底座2形成的空腔抽真空，从而借助真空吸附平台内真空与外界的大气压之间的压差，将放置在真空吸盘1(也就是第一吸盘11)上的基板等物品牢固吸附。

如图2a所示，当真空吸附平台工作时，在真空作用下，隔膜13向第二吸盘孔12的方向发生形变。第一吸盘孔111的直径可以与第二吸盘孔121的直径相同，当隔膜13向第二吸盘孔12方向发生形变时，第二吸盘孔12在一定程度上会阻挡隔膜13。因此，为了为隔膜13形变提供便利，可以将第二吸盘孔12设计为较大尺寸。

如图2b所示，第一吸盘孔111的直径小于第二吸盘孔121的直径。这样，将第一吸盘孔111设计为较小尺寸，将第二吸盘孔121设计为较大尺寸，一方面，保证了隔膜13的形变面积，减少形变时产生的物理阻碍。另一方面，在隔膜13发生相同形变的状态下，保证第一吸盘孔111空间内的大气压更低，进一步提高第一吸盘孔111与外界大气压的压差，使得第一吸盘11吸附更为牢固，提高吸附效果。

优选的，参见图2a和2b，第二吸盘孔121与第一吸盘孔111相接触的一端设置有倒角或倒圆，在本实用新型实施例中，在第二吸盘孔的上端(第二吸盘12的上表面处)设置倒角或倒圆。这样，一方面，倒角或倒圆可以为隔膜13向第二吸盘12方向发生形变起导向作用，另一方面，避免第二吸盘孔121开口处的棱角刺破隔膜13，从而对隔膜13起到保护作用，延长隔膜13的使用寿命。

隔膜13采用弹性材料制造，用以保证在真空作用下，隔膜13能够向第二吸盘孔12的方向发生形变。为了使隔膜13能够产生足够的形变面积，保证吸附效果，优选的，隔膜13可以选用天然乳胶材料制造，具有高弹性，不透气，环保等特点。

为了清楚说明本实用新型的技术方案，以下结合图3，对本实用新型的真空吸附平台的工作原理进行详细说明。

如图3所示，当真空吸附平台吸附基板4时，在基板4吸附区域范围内，大气、第一吸盘孔111、第二吸盘孔121、真空腔3形成联动系统，第二吸盘孔121内形成较低真空度的真空空间，第一吸盘孔111内形成更低真空度的真空空间，大气为高真空，这样基板4就会被大气压压在第一吸盘11的上表面上。第一吸盘吸孔与第二吸盘孔采用非对称设计，“上小下大”的结构可以保证基板吸附区域的第一吸盘吸孔内可以形成更低的真空度，从而保证更强的吸附力。

需要说明的是，所述真空吸附平台可以适用于任何形状和尺寸的基板等物品的吸附，双层吸盘之间由具有弹性的隔膜隔离，保证第一吸盘上未吸附区域在抽真空时不会破真空。基板吸附区域的第一吸盘吸孔内会形成低真空区域，在大气压的作用下，真空吸附平台可以将基板或其他物品牢固吸附住。所述真空吸附平台可以根据实际需要修改设计，灵活性强，具有广泛的推广价值，其实现原理简单，经济实用，有着广泛的应用前景。

可以理解的是，以上实施方式仅仅是为了说明本实用新型的原理而采用的示例性实施方式，然而本实用新型并不局限于此。对于本领域内的普通技术人员而言，在不脱离本实用新型的精神和实质的情况下，可以做出各种变型和改进，这些变型和改进也视为本实用新型的保护范围。

Claims (6)

1.一种真空吸附平台，包括真空吸盘和底座，真空吸盘与底座能够形成真空腔，其特征在于，所述真空吸盘包括第一吸盘、第二吸盘和隔膜，第二吸盘邻近所述真空腔；

第一吸盘上设置多个第一吸盘孔，第二吸盘上设置多个第二吸盘孔，所述第一吸盘孔、第二吸盘孔和真空腔相连通；

隔膜设置于第一吸盘和第二吸盘之间，并隔离所述第一吸盘孔与第二吸盘孔。

2.如权利要求1所述的真空吸附平台，其特征在于，所述第一吸盘孔的直径小于第二吸盘孔的直径。

3.如权利要求1所述的真空吸附平台，其特征在于，所述第二吸盘孔与第一吸盘相接触的一端设置有倒角或倒圆。

4.如权利要求1所述的真空吸附平台，其特征在于，所述第一吸盘孔和第二吸盘孔均匀分布。

5.如权利要求1所述的真空吸附平台，其特征在于，所述隔膜采用弹性材料制造。

6.如权利要求1-5任一项所述的真空吸附平台，其特征在于，所述真空吸附平台还包括抽气装置，所述抽气装置用于对真空吸盘和底座形成的空腔抽真空，以形成真空腔；

所述抽气装置包括真空泵、气阀和抽气管线，气阀设置于抽气管线上，抽气管线设置于所述底座的一侧，抽气管线的一端与真空吸盘和底座形成的空腔相连通，另一端与真空泵相连。