JP4224278B2 - アライナ装置 - Google Patents
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Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、直線往復運動可能に設けられたクランプローラと、固定された２個の固定ローラにてウエハを少なくとも３箇所で支持することにより、ウエハの中心を一義的に定めて位置合わせするアライナ装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
従来より、ウエハを位置合わせするアライナ装置が使用されている。その一例として、図２６に示すアライナ装置１００がある。
このアライナ装置１００は、テーパ部１０１ａの形成された４個のローラ１０１…がウエハ１０２の径に合わせて配置され、ローラ１０１…のテーパ部１０１ａにエッジ部を当てて載せられたウエハ１０２が、ローラ１０１…の回転に従って回転する間にテーパ部１０１ａ…を滑り、ローラ１０１に当たった４箇所のエッジ部の高さが一致して、中心の位置決めが行われる。しかし、これでは、ウエハ１０２を位置決めするのに時間がかかってしまっていた（特許文献１参照。）。
【０００３】
また、これと別の方法をとったアライナ装置としては、ゴム製のクランプローラと２個の固定ローラをウエハの径に合わせて予め同じ高さで配置し、クランプローラを２個の固定ローラに対して直線往復運動可能に設けたものがある。このアライナ装置では、クランプローラ及び２個の固定ローラにウエハを水平に載せると、クランプローラが水平方向に前進して、２個の固定ローラとの間でウエハのエッジ部を押さえ付ける。これにより、ウエハは、エッジ部がクランプローラ及び２個のローラに同じ高さで支持されて、中心の位置決めが行われる。よって、かかるアライナ装置では、クランプローラを水平方向に移動させるだけでウエハの位置合わせを行うことができるので、ウエハの位置合わせに時間がかからない。
【０００４】
【特許文献１】
特開２００１−７７１７９号公報（段落００１６〜００４４、第１図。）
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、後者のアライナ装置では、ゴム製のクランプローラと２個の固定ローラがウエハのエッジ部を押さえ付けるため、クランプローラを後退させる際に、ウエハがそのクランプローラに連れられて位置ずれすることがあった。
そして、このように位置ずれしたウエハは、予め定められた通りに動作するロボットハンドに対して正確に位置決めされないため、次の工程に位置ずれした状態で搬入されることとなり、好ましくない。
また、一般的に、ロボットハンドには、搬送中に位置ずれしたり、落下したりすることを防止するために落とし込み溝が設けられているが、搬出時にウエハが位置ずれしていると、ロボットハンドの落とし込み溝に正確にはめ込むことができず、搬送中にウエハを落下させる等の搬送ミスを引き起こす恐れがある。
さらに、クランプローラが固定ローラにウエハを押し付けるため、クランプローラが後退した後もウエハが固定ローラに付着したまま動かず、ロボットハンドでウエハを搬出するときに、ウエハが固定ローラに擦れてロボットハンド上でおどってしまったり、さらにはロボットハンドから落下することがあった。
【０００６】
そこで、本発明は、ウエハを確実に搬出することができるアライナ装置を提供することを目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決するために、請求項１に記載の発明は、ウエハを加工位置に位置決めする２以上のクランプ部材と、クランプ部材の間に配設されてウエハを搬出位置に位置決めする少なくとも３以上の搬出位置決め部材とを有し、クランプ部材の少なくとも１つが、ウエハの加工位置に向かって進退可能に設けられるとともに、搬出位置決め部材の少なくとも１つが、ウエハの搬出位置に向かって進退可能に設けられることを特徴とする。
【０００８】
従って、可動式クランプ部材を前進させてクランプ部材の間でウエハをクランプすることによりウエハを加工位置に位置合わせした後に、ウエハに所要の加工を行い、その後、搬出位置決め部材の少なくとも１つを前進させて、搬出位置決め部材の間でウエハを搬出位置に位置合わせするので、ウエハを確実に搬出することができる。
【０００９】
また、請求項２に記載の発明は、ウエハの外縁部を複数のクランプ部材にて少なくとも３箇所以上で支持することによりウエハの中心を一義的に定めて位置合わせを行うアライナ装置において、クランプ部材が直進往復可能に設けられた可動式クランプ部材を含み、可動式クランプ部材の両側に配置され、ウエハの移動を制限する係止部材を有することを特徴とする。
【００１０】
従って、可動式クランプ部材が後退する際に、ウエハが可動式クランプ部材に連れられて位置ずれしようとすると、係止部材が可動式クランプ部材の両側においてウエハの移動を制限するため、ウエハの位置ずれを防止し、ウエハを確実に搬出することができる。
【００１１】
また、請求項３に記載の発明は、ウエハの外縁部を複数のクランプ部材にて少なくとも３箇所以上で支持することによりウエハの中心を一義的に定めて位置合わせを行うアライナ装置において、クランプ部材が直線往復運動可能に設けられた可動式クランプ部材を含み、可動式クランプ部材を前進させてクランプ部材の間で支持されたウエハをクランプ部材から引き離す方向に押圧する押圧部材を有することを特徴とする。
【００１２】
従って、押圧部材は、可動式クランプ部材が前進してクランプ部材の間で支持されたウエハに当接すると、ウエハをクランプ部材から引き離す方向に押圧し、その後に可動式クランプ部材が後退してウエハの支持を解除するときに、ウエハを押圧してクランプ部材から引き離すので、ウエハとクランプ部材との付着を解除して、ウエハを確実に搬出することができる。
【００１３】
また、請求項４に記載の発明は、搬送手段で搬入位置に搬入されたウエハの外縁部を複数のクランプ部材にて少なくとも３箇所以上で支持することによりウエハを加工位置に位置合わせし、加工終了後にウエハを搬送手段で搬出する搬出位置に位置合わせするアライナ装置において、クランプ部材が直線往復運動可能に設けられた可動式クランプ部材を含み、可動式クランプ部材の両側に配置され、搬出位置でウエハの移動を制限する係止部材と、可動式クランプ部材が後退してウエハの支持を解除するときに、ウエハを係止部材に当接させるようにウエハを押圧する押圧部材とを有することを特徴とする。
【００１４】
従って、搬送手段がウエハを搬入位置に搬入すると、可動式クランプ部材が前進して他のクランプ部材との間でウエハを支持することによりウエハを加工位置に位置合わせし、その後に、可動式クランプ部材が後退してウエハの支持を解除するときに、押圧部材がウエハを押圧して係止部材に当接させ、ウエハを搬出位置に位置合わせするので、ウエハを確実に搬出することができるとともに、ウエハを係止部材や押圧部材に擦り合わせることなく加工位置又は搬出位置に位置合わせして塵芥等の発生を抑制することができる。尚、ウエハの搬入位置、加工位置、搬出位置は、一致していてもよいし、異なっていてもよい。
【００１５】
また、請求項５に記載の発明は、請求項２又は請求項４に記載の発明において、係止部材を可動式クランプ部材と同一方向に直線往復運動させる第１移動ユニットを有することを特徴とする。
従って、係止部材は、ウエハを搬入するときや、可動式クランプ部材が他のクランプ部材との間でウエハを押さえ付けるとき等には、ウエハから離れており、可動式クランプ部材を後退させるときだけ、ウエハの移動を制限するためにウエハに近づくため、ウエハの搬入や、ウエハの位置合わせ等の邪魔にならない。
【００１６】
また、請求項６に記載の発明は、請求項５に記載する発明において、第１移動ユニットは、係止部材が立設された支持ブロックを第１駆動手段により直線往復運動させるものであって、支持ブロックに取り付けられた止め具を第１駆動手段側に固定された当接部材と当接させて位置決めするようにしたものであることを特徴とする。
従って、係止部材は、止め具が当接部材に当接するまで移動し、止め具の位置調節を行うことにより係止部材のウエハに対する位置を任意に設定することができるので、組立精度に厳しい寸法公差が要求されず、組立や製造が容易になる。
【００１７】
また、請求項７に記載の発明は、請求項１乃至請求項６の何れか１つに記載の発明において、可動式クランプ部材を保持する可動プレートの脚部に連結する第２駆動手段が、所定方向の出力を脚部の反第２駆動手段側に配設される圧縮ばねを介して間接的に可動式クランプ部材に伝達する一方、所定方向と反対方向の出力を圧縮ばねを介さずに直接的に可動式クランプ部材に伝達することを特徴とする。
従って、第２駆動手段が可動式クランプ部材をウエハに押し付けるときに、圧縮ばねが第２駆動手段の駆動力を吸収するので、可動式クランプ部材をウエハに強く押さえ付けすぎない。
【００１８】
また、請求項８に記載の発明は、請求項３乃至請求項７の何れか１つに記載の発明において、押圧部材をウエハに対して当接又は離間する方向に直進往復運動させる第２移動ユニットを有することを特徴とする。
従って、押圧部材は、ウエハを搬入するときや、可動式クランプ部材が他のクランプ部材との間でウエハを押さえ付けるとき等には、ウエハから離れており、ウエハの位置合わせを行うときだけウエハに当接してウエハをクランプ部材から引き離す方向に押圧するため、ウエハの搬入等の邪魔にならない。
【００１９】
また、請求項９に記載の発明は、請求項８に記載の発明において、第２移動ユニットは、押圧部材と一体的に移動するスライド部材と第３駆動手段の出力方向に従って移動可能な連結部材とを圧縮ばねを介して連結し、圧縮ばねは、第３駆動手段の所定方向の出力を連結部材からスライド部材に間接的に伝達する一方、第３駆動手段の所定方向と反対方向の出力を連結部材からスライド部材に直接的に伝達することを特徴とする。
従って、第３駆動手段が押圧部材でウエハを押圧するときに、圧縮ばねが第３駆動手段の駆動力を吸収するので、押圧部材でウエハを適度に押圧することができる。
【００２０】
また、請求項１０に記載の発明は、請求項１乃至請求項９の何れか１つに記載の発明において、搬出位置決め部材、係止部材又は押圧部材はウエハと点接触又は線接触することを特徴とする。
また、請求項１１に記載の発明は、請求項１乃至請求項１０の何れか１つに記載の発明において、クランプ部材は、ウエハの周縁の一部を載置する載置部と、ウエハのエッジ部に点接触又は線接触する接触部とを有することを特徴とする。
従って、クランプ部材、搬出位置決め部材、係止部材、押圧部材がウエハと接触する面積を小さくして塵芥等の発生を抑制することができる。
【００２１】
【発明の実施の形態】
（第１実施の形態）
次に、本発明に係るアライナ装置の形態について図面を参照して以下に説明する。図１は、本実施の形態のアライナ装置１の平面図である。
本実施の形態のアライナ装置１は、クランプローラ（「クランプ部材」、「可動式クランプ部材」に相当するもの。）２と２個の固定ローラ（「クランプ部材」に相当するもの。）３，４がウエハ５の径に合わせて配置されている。クランプローラ２は、可動プレート６に回転可能に軸支されており、固定ローラ３，４は、固定プレート７，８に回転可能に軸支されている。可動プレート６は、メインプレート９に直線往復運動可能に設けられる一方、固定プレート７，８は、メインプレート９に固定されている。
【００２２】
図２は、図１をＡ方向から見た図である。可動プレート６とメインプレート９との間には、摺動部材１０が配設されており、可動プレート６は、メインプレート９に固定されたクランプシリンダ（「第２駆動手段」に相当するもの。）１３の駆動力を伝達されて直線往復運動するようになっている。こうした可動プレート６には、クランプシリンダ１３の縮み方向の出力が伝達される脚部１１と、クランプシリンダ１３の伸び方向の出力が伝達される係止部１２が固定されている。
【００２３】
クランプシリンダ１３は、メインプレート９に固定され、そのシリンダロッド１４にフリージョイント１５を介してバッファロッド１６が連結されている。そのバッファロッド１６は、先端を係止部１２に突き当てられるように脚部１１に挿通されている。バッファロッド１６には、圧縮ばね１７が先端のばね受け１８と脚部１１との間に嵌め合わされており、クランプシリンダ１３の縮み方向の出力が、圧縮ばね１７を介して脚部１１に伝達されるように構成されている。また、バッファロッド１６は、圧縮ばね１７により図中左方向に付勢されて、先端を係止部１２に連結されたストッパボルト１９に押し当てられており、クランプシリンダ１３の伸び方向の出力が、ストッパボルト１９を介して係止部１２に伝達されるように構成されている。
【００２４】
また、図１に示すように、可動プレート６には、長孔６ａ，６ｂがクランプローラ２を挟んで左右対称に形成され、その長孔６ａ，６ｂにサポートロッド（「搬出位置決め部材」、「係止部材」に相当するもの。）２０，２１がそれぞれ挿通されている。
【００２５】
図３は、図１をＢ方向から見た図である。図２及び図３に示すように、サポートロッド２０，２１は、メインプレート９に固定されたサポートシリンダ（「第１駆動手段」に相当するもの。）２２の駆動力により、サポートシリンダ２２の出力方向に沿って長く形成された長孔６ａ，６ｂ内を直線往復運動するようになっている。
サポートシリンダ２２は、クランプシリンダ１３と同一方向に出力するように配設され、そのシリンダロッド２３に連結されたサポートブロック（「支持ブロック」に相当するもの。）２４に、サポートロッド２０，２１が立設されている。サポートロッド２０，２１は、ウエハ５の移動を制限するために、先端がウエハ５より高く突き出るように長孔６ａ，６ｂに貫かれており、クランプローラ２と独立して長孔６ａ，６ｂ内を直線往復運動するようになっている。
【００２６】
こうしたサポートロッド２０，２１は、サポートストッパ（「当接部材」に相当するもの。）２５に止められて、前進を制限されるようになっている。サポートストッパ２５は、先端がサポートブロック２４と対向するようにメインプレート９に固定されている。サポートブロック２４には、サポートロッド２０，２１のウエハ５に対する位置を調節するためのストッパボルト（「止め具」に相当するもの。）２６が、サポートストッパ２５に対応する位置にサポートシリンダ２２側に突き出るように螺合されている。サポートストッパ２５とストッパボルト２６との間には、隙間が形成され、サポートロッド２０，２１はその隙間分だけ前進可能となっている。本実施の形態では、サポートロッド２０，２１が、クランプローラ２及び固定ローラ３，４に支持されたウエハ５のエッジ部から０．３ｍｍ程度離れる位置まで接近するように、ストッパボルト２６を位置調節している。
【００２７】
尚、クランプローラ２及び固定ローラ３，４には、ウエハ５を損傷させないように保持するために、フランジ部を有するゴム製の保持部材２Ａ，３Ａ，４Ａが装着されている。そして、保持部材２Ａ，３Ａ，４Ａのフランジ部は、ウエハ５を水平に載せられるように、同じ高さに設定されている。
また、ウエハ５の回転方向の位置決めをするために、固定プレート７には、図３に示すように、ウエハ５のＶノッチを検出するためのセンサ２７，２８や、固定ローラ３の回転量を検出するためのエンコーダユニット２９等が連結される一方、固定プレート８には、固定ローラ４に回転力を与える駆動ユニット３０等が連結されている。
【００２８】
続いて、このようなアライナ装置１の動作について図面を参照して具体的に説明する。図４〜図６は、アライナ装置１の平面図であって、クランプローラ２とサポートロッド２０，２１の位置関係を示す図である。
アライナ装置１は、ウエハ５を搬入される前の初期状態では、クランプシリンダ１３とサポートシリンダ２２が停止しており、図１に示すように、クランプローラ２及びサポートロッド２０，２１は後退している。
【００２９】
図示しないロボットハンドが、保持部材２Ａ，３Ａ，４Ａのフランジ部にウエハ５を載せると、クランプシリンダ１３がシリンダロッド１４を縮めて、クランプローラ２を前進させる。すなわち、クランプシリンダ１３は、バッファロッド１６を図２の右方向に引っ張ることにより、圧縮ばね１７を介して脚部１１を図２の右方向に押圧し、可動プレート６を図２の右方向に移動させる。このとき、脚部１１に作用する押圧力が、脚部１１から可動プレート６、係止部１２、ストッパボルト１９、バッファロッド１６へと伝達され、可動プレート６とバッファロッド１６とが一体的に移動するため、圧縮ばね１７は圧縮されない。
【００３０】
クランプローラ２は、可動プレート６と一体的に前進し、図４に示すようにウエハ５のエッジ部に当接すると、ウエハ５を介して固定ローラ３，４に前進を制限される。それに伴って、可動プレート６が、図２の図中右方向に移動することができなくなって停止するが、クランプシリンダ１３は、シリンダロッド１４をさらに縮めて、ウエハ５にクランプ荷重を加える。すなわち、クランプシリンダ１３がバッファロッド１６を図２の右方向に引っ張ると、バッファロッド１６は、圧縮ばね１７の付勢力に反して脚部１１内を摺動し、クランプローラ２が固定ローラ３，４との間でウエハ５を押さえ付ける。このとき、圧縮ばね１７がクランプシリンダ１３の駆動力を吸収するため、クランプローラ２は、固定ローラ３，４の間でウエハ５を強く押さえ付けすぎない。このようにして、ウエハ５は、エッジ部が３箇所で支持されるため、中心を一義的に定められて位置合わせされる。
【００３１】
そして、ウエハ５のＶノッチアライニングを行う。具体的には、駆動ユニット３０を駆動させ、固定ローラ４を図４の矢印方向に回転させる。固定ローラ４は、ウエハ５を図４の矢印方向に回転させ、クランプローラ２と固定ローラ３はウエハ５と連れ回りする。ウエハ５のＶノッチがセンサ２７を通過し、Ｖノッチが検出されると、駆動ユニット３０は減速する。ウエハ５のＶノッチがセンサ２８を通過し、Ｖノッチが精密に検出されると、その位置がウエハ５の基準位置に設定される。その後、ウエハ５は指定されたＶノッチ位置まで回転され、停止する。
【００３２】
それから、サポートシリンダ２２は、シリンダロッド２３を縮め、サポートブロック２４を介してサポートロッド２０，２１を図２の右方向に前進させる。ストッパボルト２６がサポートストッパ２５に当接すると、サポートロッド２０，２１は、図５に示すように、クランプローラ２及び固定ローラ３，４に支持されたウエハ５のエッジ部から０．３ｍｍ程度離れる位置まで接近して停止する。
【００３３】
そして、クランプシリンダ１３が、シリンダロッド１４を伸ばして、クランプローラ２を後退させる。このとき、クランプシリンダ１３は、バッファロッド１６を図２の左方向に押し戻し、先ず圧縮ばね１７の圧縮を解除する。そのため、クランプローラ２が、固定ローラ３，４との間でウエハ５を押さえ付けなくなるため、クランプ荷重が解除される。そして、クランプシリンダ１３は、バッファロッド１６の先端をストッパボルト１９に突き当て、係止部１２を介して可動プレート６を図２の左方向に押し戻す。このとき、バッファロッド１６は、圧縮ばね１７に付勢されて先端をストッパボルト１９に確実に押し当てられるため、クランプシリンダ１３の図２の左方向への駆動力を無駄なく伝達する。そして、クランプローラ２は、可動プレート６と一体的に後退し、図６に示す初期状態に戻る。
【００３４】
ここで、クランプローラ２は、後退する直前まで、固定ローラ３，４との間でウエハ５のエッジ部を押さえ付けており、ウエハ５のエッジ部が保持部材２Ａ，３Ａ，４Ａにひっついている。そのため、ウエハ５は、クランプローラ２が後退する際に、クランプローラ２に連れられて位置ずれしようとすることがある。この場合、ウエハ５は、クランプローラ２に連れられることにより保持部材３Ａ，４Ａとの連れが解消する。そして、ウエハ５は、クランプローラ２に連れられて０．３ｍｍ程度移動すると、保持部材２Ａにひっついたエッジ部の両脇が、サポートロッド２０，２１に接触する。サポートロッド２０，２１は、後退するクランプローラ２に対して停止しているので、ウエハ５の移動を止めて、後退するクランプローラ２からウエハ５を引き離す。よって、ウエハ５は、位置合わせされた位置から０．３ｍｍ以上移動しない。
【００３５】
このようにしてクランプローラ２が後退すると、サポートシリンダ２２は、シリンダロッド２３を伸ばして、サポートブロック２４を図２の左方向に押し戻し、サポートロッド２０，２１を図１に示す初期状態まで後退させる。
そして、図示しないロボットハンドがウエハ５を搬出すると、アライナ装置１は、そのまま次のウエハ５が搬入されるまで待機する。
【００３６】
従って、本実施の形態のアライナ装置１によれば、クランプローラ２の両側にウエハ５の移動を止めるサポートロッド２０，２１を設けたので、クランプローラ２を後退させる際にウエハ５の位置ずれを防止することができる。そのため、ウエハ５は、図示しないロボットハンドに対して正確に位置決めされ、次の場所に位置ずれすることなく搬入される。また、ウエハ５を図示しないロボットハンドの落とし込み溝に正確にはめ込むことができ、搬送中にウエハ５を落下させる等の搬送ミスを引き起こしにくい。
【００３７】
また、本実施の形態のアライナ装置１によれば、サポートロッド２０，２１を水平方向に直線往復運動可能に設け、クランプローラ２を後退させるときのみサポートロッド２０，２１をウエハ５に近づけるので、サポートロッド２０，２１がウエハ５の搬入、位置合わせ、搬出等の邪魔にならない。
【００３８】
また、本実施の形態のアライナ装置１は、できるだけウエハ５の位置ずれをなくすために、サポートロッド２０，２１をウエハ５のエッジ部から０．３ｍｍ程度と極めて接近させるようにしているが、ストッパボルト２６をサポートシリンダ２２側に突き出すようにサポートブロック２４に螺合するとともに、ストッパボルト２６と当接してサポートロッド２０，２１の移動を止めるサポートストッパ２５をサポートシリンダ２２側に固定し、サポートロッド２０，２１のウエハ５に対する位置を任意に設定できるようにしたので、組立精度に厳しい寸法公差が要求されず、組立や製造が容易になる。
【００３９】
また、バッファロッド１６に連結されるばね受け１８と脚部１１の反クランプシリンダ１３側の側面との間に圧縮ばね１７を設け、クランプシリンダ１３がクランプローラ２をウエハ５に押し付けるときに、圧縮ばね１７がクランプシリンダ１３の駆動力を吸収するようにしたので、クランプローラ２をウエハ５に強く押さえ付けすぎない。
【００４０】
（第２実施の形態）
続いて、本発明の第２実施の形態について図面を参照して説明する。図７は、クランプローラ２、クランプローラ側サポートロッド２０，２１及び固定ローラ側サポートロッド４１，４２が後退した状態のアライナ装置４０の平面図である。
第２実施の形態のアライナ装置４０は、第１実施の形態のアライナ装置１を改良したものであり、クランプローラ側サポートロッド（「搬出位置決め部材」、「係止部材」に相当するもの。）２０，２１に加えて固定ローラ側サポートロッド（「搬出位置決め部材」、「押圧部材」に相当するもの。）４１，４２を設け、ウエハ５を搬出するときにウエハ５と固定ローラ３，４との付着を解除する点で第１実施の形態のアライナ装置１と相違する。よって、ここでは、第１実施の形態のアライナ装置１と相違する点について詳細に説明する。尚、第１実施の形態のアライナ装置１と同一の構造については同じ符号を用いることにする。
【００４１】
アライナ装置４０は、第１実施の形態のアライナ装置１と同様に、１個のクランプローラ２と２個の固定ローラ３，４がウエハ５の径に合わせて配置され、クランプローラ２がウエハ５の中心部に向かって直進往復運動可能に設けられている。クランプローラ２の両側には、クランプローラ側サポートロッド２０，２１がクランプローラ２と同一方向に直進往復運動可能に設けられ、そのクランプローラ側サポートロッド２０，２１とウエハ５を挟んで対向するように固定ローラ側サポートロッド４１，４２が直線往復運動可能に設けられている。
【００４２】
図８は、図７をＣ方向から見た図である。
メインプレート９のクランプローラ２側下面には、クランプシリンダ１３とサポートシリンダ２２が反固定ローラ３，４側に出力するよう配設されている。クランプシリンダ１３は、クランプローラ２を前進させたときにウエハ５を固定ローラ３，４に押しつけて加工位置に位置合わせするよう出力調整されている。また、サポートシリンダ２２は、クランプローラ側サポートロッド２０，２１を前進させたときに、加工位置にあるウエハ５のエッジ部から僅かに離れた位置で停止させるよう出力調整されている。
【００４３】
一方、メインプレート９の固定ローラ３，４側下面には、固定ローラ側サポートロッド４１，４２と連結する第２移動ユニット５０が固定されている。第２移動ユニット５０は、クランプシリンダ１３やサポートシリンダ２２と反対方向、すなわち固定ローラ３，４側に出力するサポートシリンダ５１（「第３駆動手段」に相当するもの。）を備え、サポートシリンダ５１の出力により固定ローラ側サポートロッド４１，４２をクランプローラ側サポートロッド２０，２１と相対的に移動させている。
【００４４】
図９は、固定ローラ側サポートロッド４１，４２を動作させる第２移動ユニット５０の側面図である。図１０は、固定ローラ側サポートロッド４１，４２を動作させる第２移動ユニット５０の平面図である。
シリンダロッド５２は、軸受５３を介して連結部材５４に連結され、連結部材５４に図中左右方向への推力のみを伝達している。メインプレート９と連結部材５５との間には、ガイド５５が配設され、サポートシリンダ５１の出力方向に沿って連結部材５５を直線往復運動可能にしている。また、連結部材５５には、バッファロッド６０がネジ固定され、そのバッファロッド６０にスライドプレート（「スライド部材」に相当するもの。）５７の張出部５７Ａが摺動可能に挿通されて連結部材５５に当接されている。スライドプレート５７の張出部５７Ａから突き出したバッファロッド６０の端部には、ばね受け６１が固定され、ばね受け６１とスライドプレート５７の張出部５７Ａとの間に圧縮ばね６２が配設されている。従って、サポートシリンダ５１が図中左方向に縮んで出力した場合には、その出力が連結部材５４、バッファロッド６０、ばね受け６１、圧縮ばね６２、スライドプレート５７へと伝達され、また、サポートシリンダ５が図中右方向に伸びて出力する場合には、その出力が連結部材５４からスライドプレート５７の張出部５７Ａに直接伝達されることになる。
【００４５】
スライドプレート５７とメインプレート９との間には、摺動部材５６が配設され、スライドプレート５７をサポートシリンダ５１の出力方向に沿って移動可能にしている。スライドプレート５７には、Ｌ字形の支持ブロック５８がメインプレート９の下面側から上面側に向かって突き出るように設けられ、その突き出た部分に固定ローラ側サポートロッド４１，４２が立設することにより、固定ローラ側サポートロッド４１，４２をスライドプレート５７と一体的に移動させるようにしている。
【００４６】
続いて、このようなアライナ装置４０の動作について図面を参照して具体的に説明する。図１１〜図１３は、アライナ装置４０の平面図であって、クランプローラ２、クランプローラ側サポートロッド２０，２１、固定ローラ側サポートロッド４１，４２の位置関係を示す図である。
アライナ装置４０は、ウエハ５を搬入される前の初期状態では、クランプシリンダ１３とサポートシリンダ２２，５１が停止しており、図７に示すように、クランプローラ２、クランプローラ側サポートロッド２０，２１、固定ローラ側サポートロッド４１，４２は後退している。
【００４７】
図示しないロボットハンドがウエハ５を搬入すると、クランプシリンダ１３がシリンダロッド１４を縮めてクランプローラ２を前進させ、図１１に示すようにクランプローラ２をウエハ５のエッジ部に当接させる。このとき、クランプローラ２は、ウエハ５にクランプ荷重を加えてウエハ５を固定ローラ３，４に対して押さえ付けるため、ウエハ５がクランプローラ２と固定ローラ３，４との３箇所で支持されて中心を加工位置の中心に一義的に位置合わせされる。
【００４８】
そして、Ｖノッチアライニング等の所要の加工を完了すると、サポートシリンダ２２，５１が駆動して、クランプローラ側サポートロッド２０，２１と固定ローラ側サポートロッド４１，４２を一斉に前進させる。すなわち、サポートシリンダ２２は、シリンダロッド２３を縮めてクランプローラ側サポートロッド２０，２１を前進させ、図１２に示すようにウエハ５のエッジ部から僅かに離れる位置まで接近させて停止させる。
【００４９】
一方、サポートシリンダ５１は、縮み方向に出力し、シリンダロッド５２、軸受５３、連結部材５４を介してバッファロッド６０を図９及び図１０の図中左方向に引っ張る。サポートシリンダ５１の出力は、バッファロッド６０からばね受け６１、圧縮ばね６２を介してスライドプレート５７に伝達され、スライドプレート５７が図中左方向に移動する。このとき、スライドプレート５７は連結部材５４と一体的に移動するため、圧縮ばね６２は圧縮されない。
【００５０】
固定ローラ４１，４２側サポートロッド４１，４２が、スライドプレート５７と一体的に前進して、図１２に示すようにウエハ５のエッジ部に当接すると、ウエハ５を介してクランプローラ２に前進を制限される。それにともなって、スライドプレート５７は図中左方向に移動することができなくなって停止するが、サポートシリンダ５１は、シリンダロッド５２をさらに縮め、固定ローラ側サポートロッド４１，４２でウエハ５を図中左方向に軽く押圧する。すなわち、サポートシリンダ５１が連結部材５４を図９及び図１０の図中左方向に引っ張り続けると、スライドプレート５７は停止したままで、連結部材５４のみが図中左方向に移動する。そのため、バッファロッド６０は、連結部材５４により図中左方向に引っ張られて圧縮ばね６２の付勢力に反してスライドプレート５７内を摺動する。このとき、圧縮ばね６２がサポートシリンダ５１の駆動力を吸収するため、固定ローラ側サポートロッド４１，４２はクランプローラ２との間でウエハ５を押さえ付けすぎない程度にウエハ５をクランプローラ２側に押圧する。
【００５１】
その後、クランプシリンダ１３がシリンダロッド１４を伸ばして、図１３に示すようにクランプローラ２を後退させる。このとき、固定ローラ側サポートロッド４１，４２がウエハ５を図中左方向に押圧しているため、ウエハ５がクランプローラ２にならって図中左方向に移動し、固定ローラ３，４の保持部材３Ａ，４Ａとの連れを解消する。ウエハ５は、クランプローラ２に連れられて図中左方向に移動すると、クランプローラ２の保持部材２Ａにひっついたエッジ部の両側がクランプローラ側サポートロッド２０，２１に接触する。クランプローラ側サポートロッド２０，２１は、クランプローラ２に対して停止しているので、ウエハ５の移動を制限し、ウエハ５をクランプローラ２から引き離す。これにより、ウエハ５は搬出位置に位置決めされる。
【００５２】
そして、サポートシリンダ２２，５１のシリンダロッド２３，５２を伸ばして、クランプローラ側サポートロッド２０，２１と固定ローラ側サポートロッド４１，４２を後退させ、図示しないロボットハンドでウエハ５を搬出する。
【００５３】
従って、第２実施の形態のアライナ装置によれば、固定ローラ側サポートロッド４１，４２は、クランプローラ２が前進して固定ローラ３，４の間で支持されたウエハ５に当接すると、ウエハ５を固定ローラ３，４から引き離す方向に押圧し、その後にクランプローラ２が後退してウエハ５の支持を解除するときに、ウエハ５を押圧して固定ローラ３，４から引き離すので、ウエハ５と固定ローラ３，４との付着を解除して、ウエハを確実に搬出することができる。
【００５４】
また、図示しないロボットハンドがウエハ５を所定の搬入位置に搬入すると、クランプローラ２が前進して固定ローラ３，４との間でウエハ５を支持することによりウエハ５を加工位置に位置合わせし、その後に、クランプローラ２が後退してウエハ５の支持を解除するときに、固定ローラ側サポートロッド４１，４２がウエハ５を押圧してクランプローラ２の後退する方向に移動させることによりクランプローラ側サポートロッド２０，２１に当接させ、ウエハ５を搬出位置に位置合わせするので、ウエハ５を確実に搬出することができるとともに、ウエハ５をクランプローラ側サポートロッド２０，２１や固定ローラ側サポートロッド４１，４２に擦り合わせることなく加工位置又は搬出位置に位置合わせして塵芥等の発生を抑制することができる。特に、クランプローラ側サポートロッド２０，２１と固定ローラ側サポートロッド４１，４２が対向配置されているので、ウエハ５を加工位置や搬出位置に位置合わせする際に回転させず、塵芥等の発生を効率的に抑制できる。尚、ウエハ５の搬入位置、加工位置、搬出位置は、一致していてもよいし、異なっていてもよい。
【００５５】
また、固定ローラ側サポートロッド４１，４２は、ウエハ５を搬入するときや、クランプローラ２が固定ローラ３，４との間でウエハ５を押さえ付けるとき等には、ウエハ５から離れており、ウエハ５の位置合わせを行うときだけウエハ５に当接してウエハ５を固定ローラ３，４から引き離す方向に押圧するため、ウエハ５の搬入等の邪魔にならない。
【００５６】
さらに、サポートシリンダ５１が固定ローラ側サポートロッド４１，４２でウエハ５を押圧するときに、圧縮ばね６２がサポートシリンダ５１の駆動力を吸収するので、固定ローラ側サポートロッド４１，４２でウエハ５を適度に押圧することができる。
【００５７】
（第３実施の形態）
続いて、本発明のアライナ装置の第３実施の形態について図面を参照して説明する。図１４は、アライナ装置７０の平面図である。
本実施の形態のアライナ装置７０は、メインプレート７１にウエハ５の外縁部に沿ってクランプローラ（「クランプ部材」、「可動式クランプ部材」に相当するもの。）７２と固定ローラ（「クランプ部材」に相当するもの。）７３，７４を配設している。固定ローラ７３，７４は、メインプレート７１の定位置に回転可能に軸支され、クランプローラ７１は、固定ローラ７３，７４の中心を結ぶ線分の２等分線上に直線往復運動可能に設けられている。すなわち、メインプレート７１には、固定ローラ７３，７４の中心を結ぶ線分の２等分線に沿ってスリット７１ａが長く形成され、クランプローラ７２を回転可能に軸支する図示しないスピンドルが摺動可能に挿通されている。図示しないスピンドルは、図示しない駆動手段に連結され、駆動手段の駆動力によりクランプローラ７２をスリット７１ａに沿って移動させるとともに、クランプローラ７２を介してウエハ５にクランプ荷重を加えることができるようになっている。また、固定ローラ７３，７４の中心を結ぶ線分の２等分線上には、ウエハ５の加工中心位置が設けられている。
【００５８】
メインプレート７１には、クランプローラ７２の両側にクランプローラ側サポートロッド７５，７６が直線往復運動可能に設けられ、さらに、固定ローラ７３，７４側にクランプローラ側サポートロッド（「搬出位置決め部材」、「係止部材」に相当するもの。）７５，７６と対向するように固定ローラ側サポートロッド７７，７８（「搬出位置決め部材」、「押圧部材」に相当するもの。）が直線往復運動可能に設けられている。
【００５９】
メインプレート７１には、クランプローラ７２の両側にスリット７１ｂがスリット７１ａと平行に形成され、クランプローラ側サポートロッド７５，７６が摺動可能に挿通されている。サポートロッド７５，７６は、メインプレート７１の下面に設けられた図示しない移動ユニットに連結し、移動ユニットによりスリット７１ｂに沿ってクランプローラ２と同一方向に直線往復運動するよう構成されている。
【００６０】
また、メインプレート７１には、固定ローラ７３，７４側にスリット７１ｂがクランプローラ７２側のスリット７１ｂと同一方向に形成され、固定ローラ側サポートロッド７７，７８が摺動可能に挿通されている。固定ローラ側サポートロッド７７，７８は、メインプレート７１の下面に設けられた図示しない移動ユニットに連結し、移動ユニットによりスリット７１ｂに沿って固定ローラ側サポートロッド７７，７８を直線往復運動させるよう構成されている。
【００６１】
こうしたアライナ装置７０は、次のように動作する。図１５は、アライナ装置７０の動作説明図である。
図示しないロボットハンドがウエハ５をクランプローラ７２と固定ローラ７３，７４の間に載置すると、図１５（ａ）に示すように、クランプローラ２を図示しない駆動手段で前進させてウエハ５のエッジ部に当接させ、さらに固定ローラ３，４との間でクランプ荷重を加えることによりウエハ５を加工位置に位置合わせする。それから、所要の加工をウエハ５に行う。
【００６２】
所要の加工が終了したら、図１５（ｂ）に示すように、クランプローラ７２を駆動手段で後退させる。それから、図１５（ｃ）に示すように、サポートロッド７５，７６を第１移動ユニットで加工位置にあるウエハ５のエッジ部から僅かに離れた位置まで前進させるとともに、サポートロッド７７，７８を第２移動ユニットで前進させて図中二点鎖線で示す加工位置にあるウエハ５のエッジ部に当接させ、さらに前進させてウエハ５をクランプローラ７２側に押圧して移動させる。サポートロッド７５，７６は、ウエハ５をウエハ搬出位置に位置合わせしうる位置で停止しているため、ウエハ５のエッジ部に当接して移動を制限すると同時にウエハ５を図中実線で示すウエハ搬出位置に位置合わせする。それから、 図１５（ｄ）に示すように、サポートロッド７５〜７７を一斉に後退させ、図示しないロボットハンドでウエハ５を搬出する。
【００６３】
従って、本実施の形態のアライナ装置７０によれば、メインプレート７１にスリット７１ａ，７１ｂを形成して、クランプローラ７２と固定ローラ側サポートロッド７７，７８を直線往復運動させるようにしたので、第１，第２実施の形態のアライナ装置１，４０の可動プレート６や支持ブロック５８等を削減して部品点数を減らし、装置のコンパクト化及び軽量化を図ることができる。
また、ウエハ５の加工位置と搬出位置とが一致しないときでも加工を終えたウエハ５を回転させることなく搬出位置に位置合わせするので、ウエハ５のエッジ部を固定ローラ側サポートロッド４１，４２に擦り合わせるなどしてウエハ５を破損させることなく、確実に加工位置から搬出位置にずらすことができる。
【００６４】
（第４実施の形態）
続いて、本発明のアライナ装置に第４実施の形態について図面を参照して説明する。図１６は、アライナ装置８０の平面図である。
本実施の形態のアライナ装置８０は、サポートロッド８２〜８４をウエハ５を搬出するウエハ搬出中心位置に向かって進退させている点で、第３実施の形態のアライナ装置７０と相違する。よって、ここでは、第３実施の形態のアライナ装置７０と相違する点について詳細に説明する。尚、第３実施の形態のアライナ装置７０と同様の構造については同じ符号を用いて説明する。
【００６５】
アライナ装置８０は、メインプレート８１にウエハ５の加工中心位置を中心としてクランプローラ７２と固定ローラ７３，７４が円周方向に等間隔に配設されている。メインプレート８１には、クランプローラ７２と固定ローラ７３，７４の間にスリット８１ａが１２０度の位相差をもってウエハ５の搬出中心位置に向かって放射線状に長く形成され、そのスリット８１ａにサポートロッド（「搬出位置決め部材」、「係止部材」又は「押圧部材」に相当するもの。）８２〜８４が摺動可能に挿通されている。サポートロッド８２〜８４は、メインプレート８１の下面に設けられた図示しない移動ユニットに連結し、移動ユニットによりスリット８１ａ内を直線往復運動するよう構成されている。
【００６６】
こうしたアライナ装置８０は、クランプローラ７２を前進させると、ウエハ５を加工位置に位置合わせし、クランプローラ７２を後退させた後にサポートロッド８２〜８４を前進させると、サポートロッド８２〜８４がウエハ５を押圧して搬出位置に移動させるので、第１〜第３実施の形態のアライナ装置１，４０よりウエハ５とサポートロッド８２〜８４とが接触する箇所を減らし、ウエハ５を搬出位置に位置合わせするときに塵芥等の発生を抑制することができる。
【００６７】
（第５実施の形態）
続いて、本発明のアライナ装置の第５実施の形態について図面を参照して説明する。図１７は、アライナ装置９０の平面図である。図１８は、アライナ装置９０の要部側面図である。図１９は、サポートロッド９５（９６，９７）の先端部を示す図である。
本実施の形態のアライナ装置９０は、ウエハ５の加工中心位置を中心とする同一円周上に３つのクランプローラ（「クランプ部材」、「可動式クランプ部材」に相当するもの。）９２，９３，９４を直線往復運動可能に設けている点で、１個のクランプローラ２，７２のみを直線往復運動可能に設けた上記実施の形態と相違している。
【００６８】
メインプレート９１には、スリット９１ａが１２０度の位相差をもってウエハ５の加工位置の中心部に向けて放射線状に長く形成され、クランプローラ９２〜９４のスピンドル９２ａ〜９４ａがスリット９１ａに摺動可能に挿通されている。スピンドル９ａ〜９４ａの上端部には、回転自在に取り付けられた大径のウエハ載置部９２ｂ〜９４ｂと、同載置部９２ｂ〜９４ｂと同心上に立設する小径のウエハ接触部９２ｃ〜９４ｃとを備えている。また、スピンドル９２ａ〜９４ａの下端部には、メインプレート９１の下面に設けられた図示しない駆動手段が連結され、駆動手段によりスリット９１ａに沿ってクランプローラ９２〜９４を直線往復運動させるよう構成されている。
【００６９】
クランプローラ９２〜９４の間には、サポートロッド９５〜９７が直線往復運動可能に設けられている。メインプレート９１には、スリット９１ｂがスリット９１ａの中間位置に１２０度の位相差をもって、ウエハ５の搬出位置の中心部に向けて放射線状に長く形成され、そのスリット９１ｂにサポートロッド（「搬出位置決め部材」、「係止部材」又は「押圧部材」に相当するもの。）９５〜９７がそれぞれ摺動可能に挿通されている。ここで、ウエハ５の搬出位置は、ウエハ５の加工位置から僅かにずれた位置に設定してもよいし、加工位置と同じ位置に設定してもよい。サポートロッド９５〜９７の上端部には、円筒形状のピン部材９５ａ〜９７ａが取り付けられ、図１９に示すようにウエハ５のエッジ部に点接触又は線接触するようにしている。一方、サポートロッド９５〜９７の下端部にはメインプレート９の下面に設けられた図示しない移動ユニットが連結し、移動ユニットによりサポートロッド９５〜９７をスリット９１ｂに沿って直線往復運動させるよう構成されている。
【００７０】
次に、本実施の形態のアライナ装置９０の動作について説明する。
アライナ装置９０は、ウエハ５を搬入されていない初期状態では、図示しない駆動手段と移動ユニットとが停止し、クランプローラ９２〜９４及びサポートロッド９５〜９７は後退している。
【００７１】
後退したクランプローラ９２〜９４とサポートロッド９５〜９７は、ウエハ５の径より大きな径の円周上に予め決められた待機位置にあるため、図示しないロボットハンドでクランプローラ９２〜９４の載置部９２ｂ〜９４ｂにウエハ５を載置して搬入しても、ウエハ５はクランプローラ９２〜９４のウエハ接触部９２ｃ〜９４ｃ及びサポートロッド９５〜９７に接触しない。ウエハ５を搬入したことを確認すると、図示しない駆動手段がクランプローラ９２〜９４を前進させ、全てのウエハ接触部９２ｃ〜９４ｃをウエハ５のエッジ部に当接させる。このとき、たとえウエハ５の搬入位置と加工位置とにずれがあっても、クランプローラ９２〜９４のウエハ接触部９２ｃ〜９４ｃの一部がウエハ５を押して、ウエハ５を搬入位置から加工位置に移動させる。
【００７２】
そして、ウエハ５に所要の加工を施し、その後に、サポートロッド９５〜９７でウエハ５を加工位置から搬出位置に移動させて位置合わせし、図示しないロボットハンドでウエハ５を搬出する。ウエハ５を加工位置から搬出位置に移動させる手順としては、例えば図２０、図２１に示すようなものが考えられる。
【００７３】
すなわち、例えば、図２０（ａ）では、ウエハ５の加工終了時におけるクランプローラ９２〜９４とサポートロッド９５〜９７の位置関係を示しており、クランプローラ９２〜９４のウエハ接触部９２ｃ〜９４ｃは、何れもウエハ５のエッジ部に接触してウエハ５をクランプしているが、サポートロッド９５〜９７は、何れも後退してウエハ５のエッジ部に当接していない。
【００７４】
その後、図２０（ｂ）に示すように、クランプローラ９２〜９４が図示しない駆動手段により後退して初期位置に復帰する。このとき、ウエハ５のエッジ部がクランプローラ９２〜９４の何れか１つにひっついて移動し、図２０（ｃ）の点線で示す位置にずれることがある。この場合、クランプローラ９２〜９４の載置部９２ｂ〜９４ｂには、ウエハ５の僅かな動きによってはウエハ５を脱落させない十分な面積が確保されているため、ウエハ５はクランプローラ９２〜９４の載置部９２ｂ〜９４ｂから落下しない。それから、サポートロッド９５〜９７が図示しない移動ユニットにより前進して２点鎖線で示す加工位置にあるウエハ５のエッジ部に当接し、さらにウエハ５のエッジ部を進行方向に押圧して実線で示す搬出位置までウエハ５を移動させる。これにより、ウエハ５の中心が搬出位置の中心と一致し、位置決めを完了する。その後、図２０（ｄ）に示すように、サポートロッド９５〜９７を図示しない移動ユニットにより後退させ、図示しないロボットハンドで搬出する。
【００７５】
また、図２０に示す手順の別例である図２１（ａ）では、クランプローラ９２〜９４を前進させてウエハ５を加工位置に位置決めする。ウエハ５の加工を終了した時点では、クランプローラ９２〜９４のウエハ接触部９２ｃ〜９４ｃは、何れもウエハ５のエッジ部に接触してウエハ５をクランプしているが、サポートロッド９５〜９７は初期位置に後退しており、ウエハ５のエッジ部に接触していない。
【００７６】
それから、図２１（ｂ）に示すように、クランプローラ９２〜９４でウエハ５をクランプしたままサポートロッド９５〜９７を図示しない移動ユニットによりウエハ５の搬出位置に向けて前進させ、ウエハ５のエッジ部に接触させる。そして、図２１（ｃ）に示すように、クランプローラ９２〜９４を図示しない駆動手段で後退させるが、このとき、サポートロッド９５〜９７がウエハ５のエッジ部に当接してウエハ５の移動を制限するため、ウエハ５はクランプローラ９２〜９４の後退に伴って移動せず、クランプされた位置にある。この状態で、図２１（ｄ）に示すように、サポートロッド９５〜９７を図示しない移動ユニットで後退させ、ウエハ５のエッジ部から離間させ、図示しないロボットハンドでウエハ５を搬出する。
【００７７】
ここで、仮にウエハ５の加工位置と搬出位置とが異なる場合には、図２１の操作ではウエハ５をウエハ搬出位置に位置決めしたとはいえず、図示しないロボットハンドでウエハ５を搬出するときに、ウエハ５がロボットハンドから落下する恐れがある。そこで、このような場合には、サポートロッド９５〜９７を所定の弾力をもって常にウエハ５を搬出位置の中心に向かって付勢するよう構成することが望ましい。なぜなら、サポートロッド９５〜９７に付勢力を与えておくとともに、サポートロッド９５〜９７の前進距離を一定にしておけば、図２１（ｃ）に示すように、クランプローラ９２〜９４が後退するときに、サポートロッド９４〜９７の付勢力によりウエハ５を必要な方向に押し出して移動させて、そのバランスがとれたところでウエハ５を搬出位置に位置決めすることができるからである。
【００７８】
従って、本実施の形態のアライナ装置９０によれば、全てのクランプローラ０２〜９４を直進往復運動可能に設けたことにより、サポートロッド９５〜９７の直進往復運動と絡めて位置合わせ手順を多様化し、ウエハ５の加工位置と搬出位置とが一致する場合でも、異なる場合でも、ウエハ５を搬出位置に位置合わせして図示しないロボットハンドでウエハ５を確実に且つ円滑に搬出することができる。
また、クランプローラ９２〜９４に載置部９２ｂ〜９４ｃと接触部９２ｃ〜９４ｃを設けるとともに、サポートロッド９５〜９７の先端部に円筒形状のピン部材９５ａ〜９７ａを設け、クランプローラ９２〜９４とサポートロッド９５〜９７がウエハ５に点接触又は線接触するようにしたので、接触面積を小さくして塵芥等の発生を抑制することができる。
【００７９】
（第６実施の形態）
続いて、本発明のアライナ装置の第６実施の形態について図面を参照して説明する。図２２は、サポートロッド９５〜９７の先端部の側面図である。図２３、図２４は、動作説明図である。
本実施の形態のアライナ装置９８は、第５実施の形態のピン部材９２ａ〜９４ａの形状に関するものであり、主な構造は第５実施の形態のものと共通する。よって、ここでは、第５実施の形態と異なる点について詳細に説明する。尚、第５実施の形態と同様の構造については同一符号を用いる。
【００８０】
アライナ装置９８のサポートロッド９５〜９７では、円錐台形状のピン部材９９を取り付けられている。そのため、本実施の形態のアライナ装置９８では、例えば、ウエハ５の加工が終了した時点では、図２３（ａ）に示すように、ウエハ５はクランプローラ９２〜９４でクランプされた状態にある。ウエハ５の加工が終了すると、図２３（ｂ）に示すように、クランプローラ９２〜９４が後退してウエハ５のエッジ部から離間する。この移動が完了すると、図２３（ｃ）に示すように、サポートロッド９５〜９７がウエハ５の搬出位置に向けて前進してウエハ５のエッジ部に接触し、さらに前進してウエハ５を押圧する。このとき、クランプローラ９２〜９４の何れかの前進量がその前の前進量と僅かに異なっている場合には、先端部６７の傾斜面によりウエハ５との接触位置を上下に変位させてウエハ５の中心を搬出位置に位置決めする。そして、図２３（ｄ）に示すように、サポートロッド９５〜９７でウエハ５を搬出位置に位置決めした状態で図示しないロボットハンドでウエハ５を上方へ持ち上げて搬出する。このとき、ピン部材９９が円錐台形状をもつため、ウエハ５はピン部材６８の間を何ら干渉することなく移動することができる。そして、図２３の（ｅ）に示すように、サポートロッド９５〜９７を後退させて初期位置に復帰させる。
【００８１】
また、例えば、図２３に示す手順の別例である図２４（ａ）では、クランプローラ９２〜９４を前進させてウエハ５を加工位置に位置決めした状態で、図２４（ｂ）に示すようにサポートロッド９５〜９７を前進させてウエハ５のエッジ部に接触させる。ここで、ウエハ５の加工位置と搬出位置とが一致しない場合には、サポートロッド９５〜９７にウエハ５を押し出す方向の付勢力を与えるようにしておくのが望ましい。
【００８２】
それから、図２４（ｃ）に示すように、クランプローラ９２〜９４を後退させ、図２４（ｄ）に示すようにサポートロッド９５〜９７でウエハ５を搬出位置に位置合わせした状態で図示しないロボットハンドでウエハ５を持ち上げて搬出する。ウエハ５の搬出が完了したら、図２４（ｅ）に示すように、サポートロッド９５〜９７を後退させて初期位置に復帰させる。
【００８３】
従って、本実施の形態のアライナ装置９０によれば、クランプローラ９２〜９４の前進量に誤差を生じた場合でも、ウエハ５のエッジ部をピン部材９９の傾斜面に沿って変位させてウエハ５の中心位置を矯正するので、常にウエハ５を搬出位置に位置合わせすることができる。
また、サポートロッド９５〜９７でウエハ５を位置合わせした状態でウエハ５を図示しないロボットハンドで搬出することができるので、ウエハ５の搬出時間を短縮することができる。
【００８４】
以上、本発明に係るアライナ装置の一実施の形態について説明したが、本発明はこれに限定されるわけではなく、その趣旨を逸脱しない範囲で様々な変更が可能である。
【００８５】
（１）例えば、上記実施の形態では、サポートロッド２０，２１を水平方向に直線往復運動するように設けた。それに対し、サポートロッド２０，２１を定位置に固定するようにしてもよい。また、サポートロッド２０，２１を垂直方向に直線往復運動するように設け、クランプローラ２が後退する際に可動プレート６上に突出させるようにしてもよい。
【００８６】
（２）例えば、上記実施の形態では、サポートロッド２０，２１の移動量を設定するためのストッパボルト２６をサポートブロック２４に取り付けた。それに対しストッパボルト２６をサポートストッパ２５に取り付けるようにしてもよい。
【００８７】
（３）例えば、上記実施の形態では、バッファロッド１６の先端を係止部１２のストッパボルト１９に突き当てて、クランプシリンダ１３の伸び方向の出力をクランプローラ２に直接的に伝達するようにした。それに対し、バッファロッド１６に脚部１１のクランプシリンダ１３側の側面に当接する当接部材を設け、シリンダロッド１６の伸び方向の出力をクランプローラ２に直接的に伝達するようにしてもよい。
【００８８】
（４）例えば、上記実施の形態では、第１，第２駆動手段としてサポートシリンダ２２，クランプシリンダ１３を使用した。それに対し、電動モータ等を使用してもよい。
【００８９】
（５）上記第３実施の形態では、クランプローラ側のサポートロッド７５，７６に付勢力を与えていない。それに対して、クランプローラ側のサポートロッド７５，７６にも所定の付勢力を与え、付勢力を有する固定ローラ側のサポートロッド７７，７８との間でウエハ５を位置合わせするようにしてもよい。これにより、クランプローラ側のサポートロッド７５，７６と固定ローラ側のサポートロッド７７，７８による４点支持が確実となり、付勢力のバランスがとれた位置を搬出位置にすることにより位置決め精度を向上させることができる。
【００９０】
（６）例えば、上記実施の形態では、クランプローラ２，７２，９２〜９４と固定ローラ３，４，７３，７４からなるウエハ５を支持するためのローラを３個設けたが、４個以上であってもよい。
【００９１】
（７）例えば、上記実施の形態では、クランプ部材としてクランプローラ２，７２，９２〜９４、固定ローラ３，４，７３，７４を用いた。それに対して、ウエハ５のエッジ部を保持するガイドプレートなどのガイド部材を直線往復運動可能に設けたり、固定位置に設けるようにしてもよい。
【００９２】
（８）上記第５実施の形態では、ピン部材９２ａ〜９４ａを円筒形状に形成し、また、第６実施の形態では、ピン部材９９を円錐台形状に形成した。それに対して、図２５に示すように、クランプローラ側サポートロッド２０及び固定ローラ側サポートロッド４１，４２の先端部６６を鼓形状に形成してもよい。この場合、ウエハ５のエッジ部分に先端部６６が接触しようとするときにウエハ５が傾斜していても、クランプローラ側サポートロッド２０及び固定ローラ側サポートロッド４１，４２の押付方向の動きに伴ってウエハ５の傾斜を矯正して水平にすることができるとともに、水平なウエハ５に接触したときに、軸芯方向に形成された上下テーパ面の２点によりウエハ５のエッジ部を支持して、ウエハ５をクランプすることができる。また、ピン部材は、サポートロッドの先端部に回動可能に取り付けることによりウエハ５が回転するのと一緒に回動するようにし、ウエハ５との摩擦を少なくするようにしてもよい。
【００９３】
【発明の効果】
本発明のアライナ装置は、ウエハを加工位置に位置決めする２以上のクランプ部材と、クランプ部材の間に配設されてウエハを搬出位置に位置決めする少なくとも３以上の搬出位置決め部材とを有し、クランプ部材の少なくとも１つが、ウエハの加工位置に向かって進退可能に設けられるとともに、搬出位置決め部材の少なくとも１つが、ウエハの搬出位置に向かって進退可能に設けられているので、ウエハを確実に搬出することができる。
【００９４】
また、本発明のアライナ装置は、ローラが直線往復運動可能に設けられた可動式クランプ部材を含み、可動式クランプ部材の両側に配設され、ウエハの移動を制限する係止部材を有するので、可動式クランプ部材が後退する際にウエハの位置ずれを防止することができる。
【００９５】
また、本発明のアライナ装置は、ローラが直線往復運動可能に設けられた可動式クランプ部材を含み、可動式クランプ部材を前進させてローラの間で支持されたウエハをローラから引き離す方向に押圧する押圧部材を有するので、可動式クランプローラが後退するときにウエハとローラとの付着を解除して、ウエハを確実に搬出することができる。
【００９６】
また、本発明のアライナ装置は、ローラが直線往復運動可能に設けられた可動式クランプ部材を含み、可動式クランプ部材の両側に配置され、搬出位置でウエハの移動を制限する係止部材と、可動式クランプ部材が後退してウエハの支持を解除するときに、ウエハを係止部材に当接させるようにウエハを押圧する押圧部材とを有するので、ウエハを確実に搬出することができるとともに、ウエハを係止部材や押圧部材などに擦り合わせることなく加工位置又は搬出位置に位置合わせして塵芥等の発生を抑制することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の第１実施の形態において、クランプローラ及びサポートロッドが後退した状態のアライナ装置の平面図である。
【図２】同じく、図１をＡ方向から見た図である。
【図３】同じく、図１をＢ方向から見た図である。
【図４】同じく、クランプローラが前進した状態で、サポートロッドが後退した状態のアライナ装置の平面図である。
【図５】同じく、クランプローラ及びサポートロッドが前進した状態のアライナ装置の平面図である。
【図６】同じく、クランプローラが後退した状態で、サポートロッドが前進した状態のアライナ装置の平面図である。
【図７】本発明の第２実施の形態において、クランプローラ、クランプローラ側サポートロッド及び固定ローラ側サポートロッドが後退した状態のアライナ装置の平面図である。
【図８】同じく、図７をＣ方向から見た図である。
【図９】同じく、固定ローラ側のサポートロッドを動作させる第２移動ユニットの側面図である。
【図１０】同じく、固定ローラ側のサポートロッドを動作させる第２移動ユニットの平面図である。
【図１１】同じく、クランプローラが前進した状態で、クランプローラ側サポートロッド及び固定ローラ側サポートロッドが後退した状態のアライナ装置の平面図である。
【図１２】同じく、クランプローラ、クランプローラ側サポートロッド及び固定ローラ側サポートロッドが前進した状態のアライナ装置の平面図である。
【図１３】同じく、クランプローラが後退した状態で、クランプローラ側サポートロッド及び固定ローラ側サポートロッドが前進した状態のアライナ装置の平面図である。
【図１４】本発明の第３実施の形態において、アライナ装置の平面図である。
【図１５】同じく、アライナ装置の動作説明図である。
【図１６】本発明の第４実施の形態において、アライナ装置の平面図である。
【図１７】本発明の第５実施の形態において、アライナ装置の平面図である。
【図１８】同じく、アライナ装置の要部側面図である。
【図１９】クランプローラ側サポートロッド（固定ローラ側サポートロッド）の先端部を示す図である。
【図２０】同じく、アライナ装置の動作の一例を示す説明図である。
【図２１】同じく、アライナ装置の動作の一例を示す説明図である。
【図２２】本発明の第６実施の形態において、サポートロッドの先端部の側面図である。
【図２３】同じく、アライナ装置の動作の一例を示す説明図である。
【図２４】同じく、アライナ装置の動作の一例を示す説明図である。
【図２５】クランプローラ側サポートロッド（固定ローラ側サポートロッド）の先端部の変更例である。
【図２６】従来から使用されているアライナ装置の側面図である。
【符号の説明】
１，４０，７０，８０，９０、９８ アライナ装置
２，７２，９２，９３，９４ クランプローラ
３，４，７３，７４ 固定ローラ
５ ウエハ
６ 可動プレート
１１ 脚部
１３ クランプシリンダ
１７ 圧縮ばね
２０，２１ サポートロッド
２２ サポートシリンダ
２４ サポートブロック
２５ サポートストッパ
２６ ストッパボルト
２７，２８ センサ
２９ エンコーダユニット
３０ 駆動ユニット
【発明の属する技術分野】
本発明は、直線往復運動可能に設けられたクランプローラと、固定された２個の固定ローラにてウエハを少なくとも３箇所で支持することにより、ウエハの中心を一義的に定めて位置合わせするアライナ装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
従来より、ウエハを位置合わせするアライナ装置が使用されている。その一例として、図２６に示すアライナ装置１００がある。
このアライナ装置１００は、テーパ部１０１ａの形成された４個のローラ１０１…がウエハ１０２の径に合わせて配置され、ローラ１０１…のテーパ部１０１ａにエッジ部を当てて載せられたウエハ１０２が、ローラ１０１…の回転に従って回転する間にテーパ部１０１ａ…を滑り、ローラ１０１に当たった４箇所のエッジ部の高さが一致して、中心の位置決めが行われる。しかし、これでは、ウエハ１０２を位置決めするのに時間がかかってしまっていた（特許文献１参照。）。
【０００３】
また、これと別の方法をとったアライナ装置としては、ゴム製のクランプローラと２個の固定ローラをウエハの径に合わせて予め同じ高さで配置し、クランプローラを２個の固定ローラに対して直線往復運動可能に設けたものがある。このアライナ装置では、クランプローラ及び２個の固定ローラにウエハを水平に載せると、クランプローラが水平方向に前進して、２個の固定ローラとの間でウエハのエッジ部を押さえ付ける。これにより、ウエハは、エッジ部がクランプローラ及び２個のローラに同じ高さで支持されて、中心の位置決めが行われる。よって、かかるアライナ装置では、クランプローラを水平方向に移動させるだけでウエハの位置合わせを行うことができるので、ウエハの位置合わせに時間がかからない。
【０００４】
【特許文献１】
特開２００１−７７１７９号公報（段落００１６〜００４４、第１図。）
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、後者のアライナ装置では、ゴム製のクランプローラと２個の固定ローラがウエハのエッジ部を押さえ付けるため、クランプローラを後退させる際に、ウエハがそのクランプローラに連れられて位置ずれすることがあった。
そして、このように位置ずれしたウエハは、予め定められた通りに動作するロボットハンドに対して正確に位置決めされないため、次の工程に位置ずれした状態で搬入されることとなり、好ましくない。
また、一般的に、ロボットハンドには、搬送中に位置ずれしたり、落下したりすることを防止するために落とし込み溝が設けられているが、搬出時にウエハが位置ずれしていると、ロボットハンドの落とし込み溝に正確にはめ込むことができず、搬送中にウエハを落下させる等の搬送ミスを引き起こす恐れがある。
さらに、クランプローラが固定ローラにウエハを押し付けるため、クランプローラが後退した後もウエハが固定ローラに付着したまま動かず、ロボットハンドでウエハを搬出するときに、ウエハが固定ローラに擦れてロボットハンド上でおどってしまったり、さらにはロボットハンドから落下することがあった。
【０００６】
そこで、本発明は、ウエハを確実に搬出することができるアライナ装置を提供することを目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決するために、請求項１に記載の発明は、ウエハを加工位置に位置決めする２以上のクランプ部材と、クランプ部材の間に配設されてウエハを搬出位置に位置決めする少なくとも３以上の搬出位置決め部材とを有し、クランプ部材の少なくとも１つが、ウエハの加工位置に向かって進退可能に設けられるとともに、搬出位置決め部材の少なくとも１つが、ウエハの搬出位置に向かって進退可能に設けられることを特徴とする。
【０００８】
従って、可動式クランプ部材を前進させてクランプ部材の間でウエハをクランプすることによりウエハを加工位置に位置合わせした後に、ウエハに所要の加工を行い、その後、搬出位置決め部材の少なくとも１つを前進させて、搬出位置決め部材の間でウエハを搬出位置に位置合わせするので、ウエハを確実に搬出することができる。
【０００９】
また、請求項２に記載の発明は、ウエハの外縁部を複数のクランプ部材にて少なくとも３箇所以上で支持することによりウエハの中心を一義的に定めて位置合わせを行うアライナ装置において、クランプ部材が直進往復可能に設けられた可動式クランプ部材を含み、可動式クランプ部材の両側に配置され、ウエハの移動を制限する係止部材を有することを特徴とする。
【００１０】
従って、可動式クランプ部材が後退する際に、ウエハが可動式クランプ部材に連れられて位置ずれしようとすると、係止部材が可動式クランプ部材の両側においてウエハの移動を制限するため、ウエハの位置ずれを防止し、ウエハを確実に搬出することができる。
【００１１】
また、請求項３に記載の発明は、ウエハの外縁部を複数のクランプ部材にて少なくとも３箇所以上で支持することによりウエハの中心を一義的に定めて位置合わせを行うアライナ装置において、クランプ部材が直線往復運動可能に設けられた可動式クランプ部材を含み、可動式クランプ部材を前進させてクランプ部材の間で支持されたウエハをクランプ部材から引き離す方向に押圧する押圧部材を有することを特徴とする。
【００１２】
従って、押圧部材は、可動式クランプ部材が前進してクランプ部材の間で支持されたウエハに当接すると、ウエハをクランプ部材から引き離す方向に押圧し、その後に可動式クランプ部材が後退してウエハの支持を解除するときに、ウエハを押圧してクランプ部材から引き離すので、ウエハとクランプ部材との付着を解除して、ウエハを確実に搬出することができる。
【００１３】
また、請求項４に記載の発明は、搬送手段で搬入位置に搬入されたウエハの外縁部を複数のクランプ部材にて少なくとも３箇所以上で支持することによりウエハを加工位置に位置合わせし、加工終了後にウエハを搬送手段で搬出する搬出位置に位置合わせするアライナ装置において、クランプ部材が直線往復運動可能に設けられた可動式クランプ部材を含み、可動式クランプ部材の両側に配置され、搬出位置でウエハの移動を制限する係止部材と、可動式クランプ部材が後退してウエハの支持を解除するときに、ウエハを係止部材に当接させるようにウエハを押圧する押圧部材とを有することを特徴とする。
【００１４】
従って、搬送手段がウエハを搬入位置に搬入すると、可動式クランプ部材が前進して他のクランプ部材との間でウエハを支持することによりウエハを加工位置に位置合わせし、その後に、可動式クランプ部材が後退してウエハの支持を解除するときに、押圧部材がウエハを押圧して係止部材に当接させ、ウエハを搬出位置に位置合わせするので、ウエハを確実に搬出することができるとともに、ウエハを係止部材や押圧部材に擦り合わせることなく加工位置又は搬出位置に位置合わせして塵芥等の発生を抑制することができる。尚、ウエハの搬入位置、加工位置、搬出位置は、一致していてもよいし、異なっていてもよい。
【００１５】
また、請求項５に記載の発明は、請求項２又は請求項４に記載の発明において、係止部材を可動式クランプ部材と同一方向に直線往復運動させる第１移動ユニットを有することを特徴とする。
従って、係止部材は、ウエハを搬入するときや、可動式クランプ部材が他のクランプ部材との間でウエハを押さえ付けるとき等には、ウエハから離れており、可動式クランプ部材を後退させるときだけ、ウエハの移動を制限するためにウエハに近づくため、ウエハの搬入や、ウエハの位置合わせ等の邪魔にならない。
【００１６】
また、請求項６に記載の発明は、請求項５に記載する発明において、第１移動ユニットは、係止部材が立設された支持ブロックを第１駆動手段により直線往復運動させるものであって、支持ブロックに取り付けられた止め具を第１駆動手段側に固定された当接部材と当接させて位置決めするようにしたものであることを特徴とする。
従って、係止部材は、止め具が当接部材に当接するまで移動し、止め具の位置調節を行うことにより係止部材のウエハに対する位置を任意に設定することができるので、組立精度に厳しい寸法公差が要求されず、組立や製造が容易になる。
【００１７】
また、請求項７に記載の発明は、請求項１乃至請求項６の何れか１つに記載の発明において、可動式クランプ部材を保持する可動プレートの脚部に連結する第２駆動手段が、所定方向の出力を脚部の反第２駆動手段側に配設される圧縮ばねを介して間接的に可動式クランプ部材に伝達する一方、所定方向と反対方向の出力を圧縮ばねを介さずに直接的に可動式クランプ部材に伝達することを特徴とする。
従って、第２駆動手段が可動式クランプ部材をウエハに押し付けるときに、圧縮ばねが第２駆動手段の駆動力を吸収するので、可動式クランプ部材をウエハに強く押さえ付けすぎない。
【００１８】
また、請求項８に記載の発明は、請求項３乃至請求項７の何れか１つに記載の発明において、押圧部材をウエハに対して当接又は離間する方向に直進往復運動させる第２移動ユニットを有することを特徴とする。
従って、押圧部材は、ウエハを搬入するときや、可動式クランプ部材が他のクランプ部材との間でウエハを押さえ付けるとき等には、ウエハから離れており、ウエハの位置合わせを行うときだけウエハに当接してウエハをクランプ部材から引き離す方向に押圧するため、ウエハの搬入等の邪魔にならない。
【００１９】
また、請求項９に記載の発明は、請求項８に記載の発明において、第２移動ユニットは、押圧部材と一体的に移動するスライド部材と第３駆動手段の出力方向に従って移動可能な連結部材とを圧縮ばねを介して連結し、圧縮ばねは、第３駆動手段の所定方向の出力を連結部材からスライド部材に間接的に伝達する一方、第３駆動手段の所定方向と反対方向の出力を連結部材からスライド部材に直接的に伝達することを特徴とする。
従って、第３駆動手段が押圧部材でウエハを押圧するときに、圧縮ばねが第３駆動手段の駆動力を吸収するので、押圧部材でウエハを適度に押圧することができる。
【００２０】
また、請求項１０に記載の発明は、請求項１乃至請求項９の何れか１つに記載の発明において、搬出位置決め部材、係止部材又は押圧部材はウエハと点接触又は線接触することを特徴とする。
また、請求項１１に記載の発明は、請求項１乃至請求項１０の何れか１つに記載の発明において、クランプ部材は、ウエハの周縁の一部を載置する載置部と、ウエハのエッジ部に点接触又は線接触する接触部とを有することを特徴とする。
従って、クランプ部材、搬出位置決め部材、係止部材、押圧部材がウエハと接触する面積を小さくして塵芥等の発生を抑制することができる。
【００２１】
【発明の実施の形態】
（第１実施の形態）
次に、本発明に係るアライナ装置の形態について図面を参照して以下に説明する。図１は、本実施の形態のアライナ装置１の平面図である。
本実施の形態のアライナ装置１は、クランプローラ（「クランプ部材」、「可動式クランプ部材」に相当するもの。）２と２個の固定ローラ（「クランプ部材」に相当するもの。）３，４がウエハ５の径に合わせて配置されている。クランプローラ２は、可動プレート６に回転可能に軸支されており、固定ローラ３，４は、固定プレート７，８に回転可能に軸支されている。可動プレート６は、メインプレート９に直線往復運動可能に設けられる一方、固定プレート７，８は、メインプレート９に固定されている。
【００２２】
図２は、図１をＡ方向から見た図である。可動プレート６とメインプレート９との間には、摺動部材１０が配設されており、可動プレート６は、メインプレート９に固定されたクランプシリンダ（「第２駆動手段」に相当するもの。）１３の駆動力を伝達されて直線往復運動するようになっている。こうした可動プレート６には、クランプシリンダ１３の縮み方向の出力が伝達される脚部１１と、クランプシリンダ１３の伸び方向の出力が伝達される係止部１２が固定されている。
【００２３】
クランプシリンダ１３は、メインプレート９に固定され、そのシリンダロッド１４にフリージョイント１５を介してバッファロッド１６が連結されている。そのバッファロッド１６は、先端を係止部１２に突き当てられるように脚部１１に挿通されている。バッファロッド１６には、圧縮ばね１７が先端のばね受け１８と脚部１１との間に嵌め合わされており、クランプシリンダ１３の縮み方向の出力が、圧縮ばね１７を介して脚部１１に伝達されるように構成されている。また、バッファロッド１６は、圧縮ばね１７により図中左方向に付勢されて、先端を係止部１２に連結されたストッパボルト１９に押し当てられており、クランプシリンダ１３の伸び方向の出力が、ストッパボルト１９を介して係止部１２に伝達されるように構成されている。
【００２４】
また、図１に示すように、可動プレート６には、長孔６ａ，６ｂがクランプローラ２を挟んで左右対称に形成され、その長孔６ａ，６ｂにサポートロッド（「搬出位置決め部材」、「係止部材」に相当するもの。）２０，２１がそれぞれ挿通されている。
【００２５】
図３は、図１をＢ方向から見た図である。図２及び図３に示すように、サポートロッド２０，２１は、メインプレート９に固定されたサポートシリンダ（「第１駆動手段」に相当するもの。）２２の駆動力により、サポートシリンダ２２の出力方向に沿って長く形成された長孔６ａ，６ｂ内を直線往復運動するようになっている。
サポートシリンダ２２は、クランプシリンダ１３と同一方向に出力するように配設され、そのシリンダロッド２３に連結されたサポートブロック（「支持ブロック」に相当するもの。）２４に、サポートロッド２０，２１が立設されている。サポートロッド２０，２１は、ウエハ５の移動を制限するために、先端がウエハ５より高く突き出るように長孔６ａ，６ｂに貫かれており、クランプローラ２と独立して長孔６ａ，６ｂ内を直線往復運動するようになっている。
【００２６】
こうしたサポートロッド２０，２１は、サポートストッパ（「当接部材」に相当するもの。）２５に止められて、前進を制限されるようになっている。サポートストッパ２５は、先端がサポートブロック２４と対向するようにメインプレート９に固定されている。サポートブロック２４には、サポートロッド２０，２１のウエハ５に対する位置を調節するためのストッパボルト（「止め具」に相当するもの。）２６が、サポートストッパ２５に対応する位置にサポートシリンダ２２側に突き出るように螺合されている。サポートストッパ２５とストッパボルト２６との間には、隙間が形成され、サポートロッド２０，２１はその隙間分だけ前進可能となっている。本実施の形態では、サポートロッド２０，２１が、クランプローラ２及び固定ローラ３，４に支持されたウエハ５のエッジ部から０．３ｍｍ程度離れる位置まで接近するように、ストッパボルト２６を位置調節している。
【００２７】
尚、クランプローラ２及び固定ローラ３，４には、ウエハ５を損傷させないように保持するために、フランジ部を有するゴム製の保持部材２Ａ，３Ａ，４Ａが装着されている。そして、保持部材２Ａ，３Ａ，４Ａのフランジ部は、ウエハ５を水平に載せられるように、同じ高さに設定されている。
また、ウエハ５の回転方向の位置決めをするために、固定プレート７には、図３に示すように、ウエハ５のＶノッチを検出するためのセンサ２７，２８や、固定ローラ３の回転量を検出するためのエンコーダユニット２９等が連結される一方、固定プレート８には、固定ローラ４に回転力を与える駆動ユニット３０等が連結されている。
【００２８】
続いて、このようなアライナ装置１の動作について図面を参照して具体的に説明する。図４〜図６は、アライナ装置１の平面図であって、クランプローラ２とサポートロッド２０，２１の位置関係を示す図である。
アライナ装置１は、ウエハ５を搬入される前の初期状態では、クランプシリンダ１３とサポートシリンダ２２が停止しており、図１に示すように、クランプローラ２及びサポートロッド２０，２１は後退している。
【００２９】
図示しないロボットハンドが、保持部材２Ａ，３Ａ，４Ａのフランジ部にウエハ５を載せると、クランプシリンダ１３がシリンダロッド１４を縮めて、クランプローラ２を前進させる。すなわち、クランプシリンダ１３は、バッファロッド１６を図２の右方向に引っ張ることにより、圧縮ばね１７を介して脚部１１を図２の右方向に押圧し、可動プレート６を図２の右方向に移動させる。このとき、脚部１１に作用する押圧力が、脚部１１から可動プレート６、係止部１２、ストッパボルト１９、バッファロッド１６へと伝達され、可動プレート６とバッファロッド１６とが一体的に移動するため、圧縮ばね１７は圧縮されない。
【００３０】
クランプローラ２は、可動プレート６と一体的に前進し、図４に示すようにウエハ５のエッジ部に当接すると、ウエハ５を介して固定ローラ３，４に前進を制限される。それに伴って、可動プレート６が、図２の図中右方向に移動することができなくなって停止するが、クランプシリンダ１３は、シリンダロッド１４をさらに縮めて、ウエハ５にクランプ荷重を加える。すなわち、クランプシリンダ１３がバッファロッド１６を図２の右方向に引っ張ると、バッファロッド１６は、圧縮ばね１７の付勢力に反して脚部１１内を摺動し、クランプローラ２が固定ローラ３，４との間でウエハ５を押さえ付ける。このとき、圧縮ばね１７がクランプシリンダ１３の駆動力を吸収するため、クランプローラ２は、固定ローラ３，４の間でウエハ５を強く押さえ付けすぎない。このようにして、ウエハ５は、エッジ部が３箇所で支持されるため、中心を一義的に定められて位置合わせされる。
【００３１】
そして、ウエハ５のＶノッチアライニングを行う。具体的には、駆動ユニット３０を駆動させ、固定ローラ４を図４の矢印方向に回転させる。固定ローラ４は、ウエハ５を図４の矢印方向に回転させ、クランプローラ２と固定ローラ３はウエハ５と連れ回りする。ウエハ５のＶノッチがセンサ２７を通過し、Ｖノッチが検出されると、駆動ユニット３０は減速する。ウエハ５のＶノッチがセンサ２８を通過し、Ｖノッチが精密に検出されると、その位置がウエハ５の基準位置に設定される。その後、ウエハ５は指定されたＶノッチ位置まで回転され、停止する。
【００３２】
それから、サポートシリンダ２２は、シリンダロッド２３を縮め、サポートブロック２４を介してサポートロッド２０，２１を図２の右方向に前進させる。ストッパボルト２６がサポートストッパ２５に当接すると、サポートロッド２０，２１は、図５に示すように、クランプローラ２及び固定ローラ３，４に支持されたウエハ５のエッジ部から０．３ｍｍ程度離れる位置まで接近して停止する。
【００３３】
そして、クランプシリンダ１３が、シリンダロッド１４を伸ばして、クランプローラ２を後退させる。このとき、クランプシリンダ１３は、バッファロッド１６を図２の左方向に押し戻し、先ず圧縮ばね１７の圧縮を解除する。そのため、クランプローラ２が、固定ローラ３，４との間でウエハ５を押さえ付けなくなるため、クランプ荷重が解除される。そして、クランプシリンダ１３は、バッファロッド１６の先端をストッパボルト１９に突き当て、係止部１２を介して可動プレート６を図２の左方向に押し戻す。このとき、バッファロッド１６は、圧縮ばね１７に付勢されて先端をストッパボルト１９に確実に押し当てられるため、クランプシリンダ１３の図２の左方向への駆動力を無駄なく伝達する。そして、クランプローラ２は、可動プレート６と一体的に後退し、図６に示す初期状態に戻る。
【００３４】
ここで、クランプローラ２は、後退する直前まで、固定ローラ３，４との間でウエハ５のエッジ部を押さえ付けており、ウエハ５のエッジ部が保持部材２Ａ，３Ａ，４Ａにひっついている。そのため、ウエハ５は、クランプローラ２が後退する際に、クランプローラ２に連れられて位置ずれしようとすることがある。この場合、ウエハ５は、クランプローラ２に連れられることにより保持部材３Ａ，４Ａとの連れが解消する。そして、ウエハ５は、クランプローラ２に連れられて０．３ｍｍ程度移動すると、保持部材２Ａにひっついたエッジ部の両脇が、サポートロッド２０，２１に接触する。サポートロッド２０，２１は、後退するクランプローラ２に対して停止しているので、ウエハ５の移動を止めて、後退するクランプローラ２からウエハ５を引き離す。よって、ウエハ５は、位置合わせされた位置から０．３ｍｍ以上移動しない。
【００３５】
このようにしてクランプローラ２が後退すると、サポートシリンダ２２は、シリンダロッド２３を伸ばして、サポートブロック２４を図２の左方向に押し戻し、サポートロッド２０，２１を図１に示す初期状態まで後退させる。
そして、図示しないロボットハンドがウエハ５を搬出すると、アライナ装置１は、そのまま次のウエハ５が搬入されるまで待機する。
【００３６】
従って、本実施の形態のアライナ装置１によれば、クランプローラ２の両側にウエハ５の移動を止めるサポートロッド２０，２１を設けたので、クランプローラ２を後退させる際にウエハ５の位置ずれを防止することができる。そのため、ウエハ５は、図示しないロボットハンドに対して正確に位置決めされ、次の場所に位置ずれすることなく搬入される。また、ウエハ５を図示しないロボットハンドの落とし込み溝に正確にはめ込むことができ、搬送中にウエハ５を落下させる等の搬送ミスを引き起こしにくい。
【００３７】
また、本実施の形態のアライナ装置１によれば、サポートロッド２０，２１を水平方向に直線往復運動可能に設け、クランプローラ２を後退させるときのみサポートロッド２０，２１をウエハ５に近づけるので、サポートロッド２０，２１がウエハ５の搬入、位置合わせ、搬出等の邪魔にならない。
【００３８】
また、本実施の形態のアライナ装置１は、できるだけウエハ５の位置ずれをなくすために、サポートロッド２０，２１をウエハ５のエッジ部から０．３ｍｍ程度と極めて接近させるようにしているが、ストッパボルト２６をサポートシリンダ２２側に突き出すようにサポートブロック２４に螺合するとともに、ストッパボルト２６と当接してサポートロッド２０，２１の移動を止めるサポートストッパ２５をサポートシリンダ２２側に固定し、サポートロッド２０，２１のウエハ５に対する位置を任意に設定できるようにしたので、組立精度に厳しい寸法公差が要求されず、組立や製造が容易になる。
【００３９】
また、バッファロッド１６に連結されるばね受け１８と脚部１１の反クランプシリンダ１３側の側面との間に圧縮ばね１７を設け、クランプシリンダ１３がクランプローラ２をウエハ５に押し付けるときに、圧縮ばね１７がクランプシリンダ１３の駆動力を吸収するようにしたので、クランプローラ２をウエハ５に強く押さえ付けすぎない。
【００４０】
（第２実施の形態）
続いて、本発明の第２実施の形態について図面を参照して説明する。図７は、クランプローラ２、クランプローラ側サポートロッド２０，２１及び固定ローラ側サポートロッド４１，４２が後退した状態のアライナ装置４０の平面図である。
第２実施の形態のアライナ装置４０は、第１実施の形態のアライナ装置１を改良したものであり、クランプローラ側サポートロッド（「搬出位置決め部材」、「係止部材」に相当するもの。）２０，２１に加えて固定ローラ側サポートロッド（「搬出位置決め部材」、「押圧部材」に相当するもの。）４１，４２を設け、ウエハ５を搬出するときにウエハ５と固定ローラ３，４との付着を解除する点で第１実施の形態のアライナ装置１と相違する。よって、ここでは、第１実施の形態のアライナ装置１と相違する点について詳細に説明する。尚、第１実施の形態のアライナ装置１と同一の構造については同じ符号を用いることにする。
【００４１】
アライナ装置４０は、第１実施の形態のアライナ装置１と同様に、１個のクランプローラ２と２個の固定ローラ３，４がウエハ５の径に合わせて配置され、クランプローラ２がウエハ５の中心部に向かって直進往復運動可能に設けられている。クランプローラ２の両側には、クランプローラ側サポートロッド２０，２１がクランプローラ２と同一方向に直進往復運動可能に設けられ、そのクランプローラ側サポートロッド２０，２１とウエハ５を挟んで対向するように固定ローラ側サポートロッド４１，４２が直線往復運動可能に設けられている。
【００４２】
図８は、図７をＣ方向から見た図である。
メインプレート９のクランプローラ２側下面には、クランプシリンダ１３とサポートシリンダ２２が反固定ローラ３，４側に出力するよう配設されている。クランプシリンダ１３は、クランプローラ２を前進させたときにウエハ５を固定ローラ３，４に押しつけて加工位置に位置合わせするよう出力調整されている。また、サポートシリンダ２２は、クランプローラ側サポートロッド２０，２１を前進させたときに、加工位置にあるウエハ５のエッジ部から僅かに離れた位置で停止させるよう出力調整されている。
【００４３】
一方、メインプレート９の固定ローラ３，４側下面には、固定ローラ側サポートロッド４１，４２と連結する第２移動ユニット５０が固定されている。第２移動ユニット５０は、クランプシリンダ１３やサポートシリンダ２２と反対方向、すなわち固定ローラ３，４側に出力するサポートシリンダ５１（「第３駆動手段」に相当するもの。）を備え、サポートシリンダ５１の出力により固定ローラ側サポートロッド４１，４２をクランプローラ側サポートロッド２０，２１と相対的に移動させている。
【００４４】
図９は、固定ローラ側サポートロッド４１，４２を動作させる第２移動ユニット５０の側面図である。図１０は、固定ローラ側サポートロッド４１，４２を動作させる第２移動ユニット５０の平面図である。
シリンダロッド５２は、軸受５３を介して連結部材５４に連結され、連結部材５４に図中左右方向への推力のみを伝達している。メインプレート９と連結部材５５との間には、ガイド５５が配設され、サポートシリンダ５１の出力方向に沿って連結部材５５を直線往復運動可能にしている。また、連結部材５５には、バッファロッド６０がネジ固定され、そのバッファロッド６０にスライドプレート（「スライド部材」に相当するもの。）５７の張出部５７Ａが摺動可能に挿通されて連結部材５５に当接されている。スライドプレート５７の張出部５７Ａから突き出したバッファロッド６０の端部には、ばね受け６１が固定され、ばね受け６１とスライドプレート５７の張出部５７Ａとの間に圧縮ばね６２が配設されている。従って、サポートシリンダ５１が図中左方向に縮んで出力した場合には、その出力が連結部材５４、バッファロッド６０、ばね受け６１、圧縮ばね６２、スライドプレート５７へと伝達され、また、サポートシリンダ５が図中右方向に伸びて出力する場合には、その出力が連結部材５４からスライドプレート５７の張出部５７Ａに直接伝達されることになる。
【００４５】
スライドプレート５７とメインプレート９との間には、摺動部材５６が配設され、スライドプレート５７をサポートシリンダ５１の出力方向に沿って移動可能にしている。スライドプレート５７には、Ｌ字形の支持ブロック５８がメインプレート９の下面側から上面側に向かって突き出るように設けられ、その突き出た部分に固定ローラ側サポートロッド４１，４２が立設することにより、固定ローラ側サポートロッド４１，４２をスライドプレート５７と一体的に移動させるようにしている。
【００４６】
続いて、このようなアライナ装置４０の動作について図面を参照して具体的に説明する。図１１〜図１３は、アライナ装置４０の平面図であって、クランプローラ２、クランプローラ側サポートロッド２０，２１、固定ローラ側サポートロッド４１，４２の位置関係を示す図である。
アライナ装置４０は、ウエハ５を搬入される前の初期状態では、クランプシリンダ１３とサポートシリンダ２２，５１が停止しており、図７に示すように、クランプローラ２、クランプローラ側サポートロッド２０，２１、固定ローラ側サポートロッド４１，４２は後退している。
【００４７】
図示しないロボットハンドがウエハ５を搬入すると、クランプシリンダ１３がシリンダロッド１４を縮めてクランプローラ２を前進させ、図１１に示すようにクランプローラ２をウエハ５のエッジ部に当接させる。このとき、クランプローラ２は、ウエハ５にクランプ荷重を加えてウエハ５を固定ローラ３，４に対して押さえ付けるため、ウエハ５がクランプローラ２と固定ローラ３，４との３箇所で支持されて中心を加工位置の中心に一義的に位置合わせされる。
【００４８】
そして、Ｖノッチアライニング等の所要の加工を完了すると、サポートシリンダ２２，５１が駆動して、クランプローラ側サポートロッド２０，２１と固定ローラ側サポートロッド４１，４２を一斉に前進させる。すなわち、サポートシリンダ２２は、シリンダロッド２３を縮めてクランプローラ側サポートロッド２０，２１を前進させ、図１２に示すようにウエハ５のエッジ部から僅かに離れる位置まで接近させて停止させる。
【００４９】
一方、サポートシリンダ５１は、縮み方向に出力し、シリンダロッド５２、軸受５３、連結部材５４を介してバッファロッド６０を図９及び図１０の図中左方向に引っ張る。サポートシリンダ５１の出力は、バッファロッド６０からばね受け６１、圧縮ばね６２を介してスライドプレート５７に伝達され、スライドプレート５７が図中左方向に移動する。このとき、スライドプレート５７は連結部材５４と一体的に移動するため、圧縮ばね６２は圧縮されない。
【００５０】
固定ローラ４１，４２側サポートロッド４１，４２が、スライドプレート５７と一体的に前進して、図１２に示すようにウエハ５のエッジ部に当接すると、ウエハ５を介してクランプローラ２に前進を制限される。それにともなって、スライドプレート５７は図中左方向に移動することができなくなって停止するが、サポートシリンダ５１は、シリンダロッド５２をさらに縮め、固定ローラ側サポートロッド４１，４２でウエハ５を図中左方向に軽く押圧する。すなわち、サポートシリンダ５１が連結部材５４を図９及び図１０の図中左方向に引っ張り続けると、スライドプレート５７は停止したままで、連結部材５４のみが図中左方向に移動する。そのため、バッファロッド６０は、連結部材５４により図中左方向に引っ張られて圧縮ばね６２の付勢力に反してスライドプレート５７内を摺動する。このとき、圧縮ばね６２がサポートシリンダ５１の駆動力を吸収するため、固定ローラ側サポートロッド４１，４２はクランプローラ２との間でウエハ５を押さえ付けすぎない程度にウエハ５をクランプローラ２側に押圧する。
【００５１】
その後、クランプシリンダ１３がシリンダロッド１４を伸ばして、図１３に示すようにクランプローラ２を後退させる。このとき、固定ローラ側サポートロッド４１，４２がウエハ５を図中左方向に押圧しているため、ウエハ５がクランプローラ２にならって図中左方向に移動し、固定ローラ３，４の保持部材３Ａ，４Ａとの連れを解消する。ウエハ５は、クランプローラ２に連れられて図中左方向に移動すると、クランプローラ２の保持部材２Ａにひっついたエッジ部の両側がクランプローラ側サポートロッド２０，２１に接触する。クランプローラ側サポートロッド２０，２１は、クランプローラ２に対して停止しているので、ウエハ５の移動を制限し、ウエハ５をクランプローラ２から引き離す。これにより、ウエハ５は搬出位置に位置決めされる。
【００５２】
そして、サポートシリンダ２２，５１のシリンダロッド２３，５２を伸ばして、クランプローラ側サポートロッド２０，２１と固定ローラ側サポートロッド４１，４２を後退させ、図示しないロボットハンドでウエハ５を搬出する。
【００５３】
従って、第２実施の形態のアライナ装置によれば、固定ローラ側サポートロッド４１，４２は、クランプローラ２が前進して固定ローラ３，４の間で支持されたウエハ５に当接すると、ウエハ５を固定ローラ３，４から引き離す方向に押圧し、その後にクランプローラ２が後退してウエハ５の支持を解除するときに、ウエハ５を押圧して固定ローラ３，４から引き離すので、ウエハ５と固定ローラ３，４との付着を解除して、ウエハを確実に搬出することができる。
【００５４】
また、図示しないロボットハンドがウエハ５を所定の搬入位置に搬入すると、クランプローラ２が前進して固定ローラ３，４との間でウエハ５を支持することによりウエハ５を加工位置に位置合わせし、その後に、クランプローラ２が後退してウエハ５の支持を解除するときに、固定ローラ側サポートロッド４１，４２がウエハ５を押圧してクランプローラ２の後退する方向に移動させることによりクランプローラ側サポートロッド２０，２１に当接させ、ウエハ５を搬出位置に位置合わせするので、ウエハ５を確実に搬出することができるとともに、ウエハ５をクランプローラ側サポートロッド２０，２１や固定ローラ側サポートロッド４１，４２に擦り合わせることなく加工位置又は搬出位置に位置合わせして塵芥等の発生を抑制することができる。特に、クランプローラ側サポートロッド２０，２１と固定ローラ側サポートロッド４１，４２が対向配置されているので、ウエハ５を加工位置や搬出位置に位置合わせする際に回転させず、塵芥等の発生を効率的に抑制できる。尚、ウエハ５の搬入位置、加工位置、搬出位置は、一致していてもよいし、異なっていてもよい。
【００５５】
また、固定ローラ側サポートロッド４１，４２は、ウエハ５を搬入するときや、クランプローラ２が固定ローラ３，４との間でウエハ５を押さえ付けるとき等には、ウエハ５から離れており、ウエハ５の位置合わせを行うときだけウエハ５に当接してウエハ５を固定ローラ３，４から引き離す方向に押圧するため、ウエハ５の搬入等の邪魔にならない。
【００５６】
さらに、サポートシリンダ５１が固定ローラ側サポートロッド４１，４２でウエハ５を押圧するときに、圧縮ばね６２がサポートシリンダ５１の駆動力を吸収するので、固定ローラ側サポートロッド４１，４２でウエハ５を適度に押圧することができる。
【００５７】
（第３実施の形態）
続いて、本発明のアライナ装置の第３実施の形態について図面を参照して説明する。図１４は、アライナ装置７０の平面図である。
本実施の形態のアライナ装置７０は、メインプレート７１にウエハ５の外縁部に沿ってクランプローラ（「クランプ部材」、「可動式クランプ部材」に相当するもの。）７２と固定ローラ（「クランプ部材」に相当するもの。）７３，７４を配設している。固定ローラ７３，７４は、メインプレート７１の定位置に回転可能に軸支され、クランプローラ７１は、固定ローラ７３，７４の中心を結ぶ線分の２等分線上に直線往復運動可能に設けられている。すなわち、メインプレート７１には、固定ローラ７３，７４の中心を結ぶ線分の２等分線に沿ってスリット７１ａが長く形成され、クランプローラ７２を回転可能に軸支する図示しないスピンドルが摺動可能に挿通されている。図示しないスピンドルは、図示しない駆動手段に連結され、駆動手段の駆動力によりクランプローラ７２をスリット７１ａに沿って移動させるとともに、クランプローラ７２を介してウエハ５にクランプ荷重を加えることができるようになっている。また、固定ローラ７３，７４の中心を結ぶ線分の２等分線上には、ウエハ５の加工中心位置が設けられている。
【００５８】
メインプレート７１には、クランプローラ７２の両側にクランプローラ側サポートロッド７５，７６が直線往復運動可能に設けられ、さらに、固定ローラ７３，７４側にクランプローラ側サポートロッド（「搬出位置決め部材」、「係止部材」に相当するもの。）７５，７６と対向するように固定ローラ側サポートロッド７７，７８（「搬出位置決め部材」、「押圧部材」に相当するもの。）が直線往復運動可能に設けられている。
【００５９】
メインプレート７１には、クランプローラ７２の両側にスリット７１ｂがスリット７１ａと平行に形成され、クランプローラ側サポートロッド７５，７６が摺動可能に挿通されている。サポートロッド７５，７６は、メインプレート７１の下面に設けられた図示しない移動ユニットに連結し、移動ユニットによりスリット７１ｂに沿ってクランプローラ２と同一方向に直線往復運動するよう構成されている。
【００６０】
また、メインプレート７１には、固定ローラ７３，７４側にスリット７１ｂがクランプローラ７２側のスリット７１ｂと同一方向に形成され、固定ローラ側サポートロッド７７，７８が摺動可能に挿通されている。固定ローラ側サポートロッド７７，７８は、メインプレート７１の下面に設けられた図示しない移動ユニットに連結し、移動ユニットによりスリット７１ｂに沿って固定ローラ側サポートロッド７７，７８を直線往復運動させるよう構成されている。
【００６１】
こうしたアライナ装置７０は、次のように動作する。図１５は、アライナ装置７０の動作説明図である。
図示しないロボットハンドがウエハ５をクランプローラ７２と固定ローラ７３，７４の間に載置すると、図１５（ａ）に示すように、クランプローラ２を図示しない駆動手段で前進させてウエハ５のエッジ部に当接させ、さらに固定ローラ３，４との間でクランプ荷重を加えることによりウエハ５を加工位置に位置合わせする。それから、所要の加工をウエハ５に行う。
【００６２】
所要の加工が終了したら、図１５（ｂ）に示すように、クランプローラ７２を駆動手段で後退させる。それから、図１５（ｃ）に示すように、サポートロッド７５，７６を第１移動ユニットで加工位置にあるウエハ５のエッジ部から僅かに離れた位置まで前進させるとともに、サポートロッド７７，７８を第２移動ユニットで前進させて図中二点鎖線で示す加工位置にあるウエハ５のエッジ部に当接させ、さらに前進させてウエハ５をクランプローラ７２側に押圧して移動させる。サポートロッド７５，７６は、ウエハ５をウエハ搬出位置に位置合わせしうる位置で停止しているため、ウエハ５のエッジ部に当接して移動を制限すると同時にウエハ５を図中実線で示すウエハ搬出位置に位置合わせする。それから、 図１５（ｄ）に示すように、サポートロッド７５〜７７を一斉に後退させ、図示しないロボットハンドでウエハ５を搬出する。
【００６３】
従って、本実施の形態のアライナ装置７０によれば、メインプレート７１にスリット７１ａ，７１ｂを形成して、クランプローラ７２と固定ローラ側サポートロッド７７，７８を直線往復運動させるようにしたので、第１，第２実施の形態のアライナ装置１，４０の可動プレート６や支持ブロック５８等を削減して部品点数を減らし、装置のコンパクト化及び軽量化を図ることができる。
また、ウエハ５の加工位置と搬出位置とが一致しないときでも加工を終えたウエハ５を回転させることなく搬出位置に位置合わせするので、ウエハ５のエッジ部を固定ローラ側サポートロッド４１，４２に擦り合わせるなどしてウエハ５を破損させることなく、確実に加工位置から搬出位置にずらすことができる。
【００６４】
（第４実施の形態）
続いて、本発明のアライナ装置に第４実施の形態について図面を参照して説明する。図１６は、アライナ装置８０の平面図である。
本実施の形態のアライナ装置８０は、サポートロッド８２〜８４をウエハ５を搬出するウエハ搬出中心位置に向かって進退させている点で、第３実施の形態のアライナ装置７０と相違する。よって、ここでは、第３実施の形態のアライナ装置７０と相違する点について詳細に説明する。尚、第３実施の形態のアライナ装置７０と同様の構造については同じ符号を用いて説明する。
【００６５】
アライナ装置８０は、メインプレート８１にウエハ５の加工中心位置を中心としてクランプローラ７２と固定ローラ７３，７４が円周方向に等間隔に配設されている。メインプレート８１には、クランプローラ７２と固定ローラ７３，７４の間にスリット８１ａが１２０度の位相差をもってウエハ５の搬出中心位置に向かって放射線状に長く形成され、そのスリット８１ａにサポートロッド（「搬出位置決め部材」、「係止部材」又は「押圧部材」に相当するもの。）８２〜８４が摺動可能に挿通されている。サポートロッド８２〜８４は、メインプレート８１の下面に設けられた図示しない移動ユニットに連結し、移動ユニットによりスリット８１ａ内を直線往復運動するよう構成されている。
【００６６】
こうしたアライナ装置８０は、クランプローラ７２を前進させると、ウエハ５を加工位置に位置合わせし、クランプローラ７２を後退させた後にサポートロッド８２〜８４を前進させると、サポートロッド８２〜８４がウエハ５を押圧して搬出位置に移動させるので、第１〜第３実施の形態のアライナ装置１，４０よりウエハ５とサポートロッド８２〜８４とが接触する箇所を減らし、ウエハ５を搬出位置に位置合わせするときに塵芥等の発生を抑制することができる。
【００６７】
（第５実施の形態）
続いて、本発明のアライナ装置の第５実施の形態について図面を参照して説明する。図１７は、アライナ装置９０の平面図である。図１８は、アライナ装置９０の要部側面図である。図１９は、サポートロッド９５（９６，９７）の先端部を示す図である。
本実施の形態のアライナ装置９０は、ウエハ５の加工中心位置を中心とする同一円周上に３つのクランプローラ（「クランプ部材」、「可動式クランプ部材」に相当するもの。）９２，９３，９４を直線往復運動可能に設けている点で、１個のクランプローラ２，７２のみを直線往復運動可能に設けた上記実施の形態と相違している。
【００６８】
メインプレート９１には、スリット９１ａが１２０度の位相差をもってウエハ５の加工位置の中心部に向けて放射線状に長く形成され、クランプローラ９２〜９４のスピンドル９２ａ〜９４ａがスリット９１ａに摺動可能に挿通されている。スピンドル９ａ〜９４ａの上端部には、回転自在に取り付けられた大径のウエハ載置部９２ｂ〜９４ｂと、同載置部９２ｂ〜９４ｂと同心上に立設する小径のウエハ接触部９２ｃ〜９４ｃとを備えている。また、スピンドル９２ａ〜９４ａの下端部には、メインプレート９１の下面に設けられた図示しない駆動手段が連結され、駆動手段によりスリット９１ａに沿ってクランプローラ９２〜９４を直線往復運動させるよう構成されている。
【００６９】
クランプローラ９２〜９４の間には、サポートロッド９５〜９７が直線往復運動可能に設けられている。メインプレート９１には、スリット９１ｂがスリット９１ａの中間位置に１２０度の位相差をもって、ウエハ５の搬出位置の中心部に向けて放射線状に長く形成され、そのスリット９１ｂにサポートロッド（「搬出位置決め部材」、「係止部材」又は「押圧部材」に相当するもの。）９５〜９７がそれぞれ摺動可能に挿通されている。ここで、ウエハ５の搬出位置は、ウエハ５の加工位置から僅かにずれた位置に設定してもよいし、加工位置と同じ位置に設定してもよい。サポートロッド９５〜９７の上端部には、円筒形状のピン部材９５ａ〜９７ａが取り付けられ、図１９に示すようにウエハ５のエッジ部に点接触又は線接触するようにしている。一方、サポートロッド９５〜９７の下端部にはメインプレート９の下面に設けられた図示しない移動ユニットが連結し、移動ユニットによりサポートロッド９５〜９７をスリット９１ｂに沿って直線往復運動させるよう構成されている。
【００７０】
次に、本実施の形態のアライナ装置９０の動作について説明する。
アライナ装置９０は、ウエハ５を搬入されていない初期状態では、図示しない駆動手段と移動ユニットとが停止し、クランプローラ９２〜９４及びサポートロッド９５〜９７は後退している。
【００７１】
後退したクランプローラ９２〜９４とサポートロッド９５〜９７は、ウエハ５の径より大きな径の円周上に予め決められた待機位置にあるため、図示しないロボットハンドでクランプローラ９２〜９４の載置部９２ｂ〜９４ｂにウエハ５を載置して搬入しても、ウエハ５はクランプローラ９２〜９４のウエハ接触部９２ｃ〜９４ｃ及びサポートロッド９５〜９７に接触しない。ウエハ５を搬入したことを確認すると、図示しない駆動手段がクランプローラ９２〜９４を前進させ、全てのウエハ接触部９２ｃ〜９４ｃをウエハ５のエッジ部に当接させる。このとき、たとえウエハ５の搬入位置と加工位置とにずれがあっても、クランプローラ９２〜９４のウエハ接触部９２ｃ〜９４ｃの一部がウエハ５を押して、ウエハ５を搬入位置から加工位置に移動させる。
【００７２】
そして、ウエハ５に所要の加工を施し、その後に、サポートロッド９５〜９７でウエハ５を加工位置から搬出位置に移動させて位置合わせし、図示しないロボットハンドでウエハ５を搬出する。ウエハ５を加工位置から搬出位置に移動させる手順としては、例えば図２０、図２１に示すようなものが考えられる。
【００７３】
すなわち、例えば、図２０（ａ）では、ウエハ５の加工終了時におけるクランプローラ９２〜９４とサポートロッド９５〜９７の位置関係を示しており、クランプローラ９２〜９４のウエハ接触部９２ｃ〜９４ｃは、何れもウエハ５のエッジ部に接触してウエハ５をクランプしているが、サポートロッド９５〜９７は、何れも後退してウエハ５のエッジ部に当接していない。
【００７４】
その後、図２０（ｂ）に示すように、クランプローラ９２〜９４が図示しない駆動手段により後退して初期位置に復帰する。このとき、ウエハ５のエッジ部がクランプローラ９２〜９４の何れか１つにひっついて移動し、図２０（ｃ）の点線で示す位置にずれることがある。この場合、クランプローラ９２〜９４の載置部９２ｂ〜９４ｂには、ウエハ５の僅かな動きによってはウエハ５を脱落させない十分な面積が確保されているため、ウエハ５はクランプローラ９２〜９４の載置部９２ｂ〜９４ｂから落下しない。それから、サポートロッド９５〜９７が図示しない移動ユニットにより前進して２点鎖線で示す加工位置にあるウエハ５のエッジ部に当接し、さらにウエハ５のエッジ部を進行方向に押圧して実線で示す搬出位置までウエハ５を移動させる。これにより、ウエハ５の中心が搬出位置の中心と一致し、位置決めを完了する。その後、図２０（ｄ）に示すように、サポートロッド９５〜９７を図示しない移動ユニットにより後退させ、図示しないロボットハンドで搬出する。
【００７５】
また、図２０に示す手順の別例である図２１（ａ）では、クランプローラ９２〜９４を前進させてウエハ５を加工位置に位置決めする。ウエハ５の加工を終了した時点では、クランプローラ９２〜９４のウエハ接触部９２ｃ〜９４ｃは、何れもウエハ５のエッジ部に接触してウエハ５をクランプしているが、サポートロッド９５〜９７は初期位置に後退しており、ウエハ５のエッジ部に接触していない。
【００７６】
それから、図２１（ｂ）に示すように、クランプローラ９２〜９４でウエハ５をクランプしたままサポートロッド９５〜９７を図示しない移動ユニットによりウエハ５の搬出位置に向けて前進させ、ウエハ５のエッジ部に接触させる。そして、図２１（ｃ）に示すように、クランプローラ９２〜９４を図示しない駆動手段で後退させるが、このとき、サポートロッド９５〜９７がウエハ５のエッジ部に当接してウエハ５の移動を制限するため、ウエハ５はクランプローラ９２〜９４の後退に伴って移動せず、クランプされた位置にある。この状態で、図２１（ｄ）に示すように、サポートロッド９５〜９７を図示しない移動ユニットで後退させ、ウエハ５のエッジ部から離間させ、図示しないロボットハンドでウエハ５を搬出する。
【００７７】
ここで、仮にウエハ５の加工位置と搬出位置とが異なる場合には、図２１の操作ではウエハ５をウエハ搬出位置に位置決めしたとはいえず、図示しないロボットハンドでウエハ５を搬出するときに、ウエハ５がロボットハンドから落下する恐れがある。そこで、このような場合には、サポートロッド９５〜９７を所定の弾力をもって常にウエハ５を搬出位置の中心に向かって付勢するよう構成することが望ましい。なぜなら、サポートロッド９５〜９７に付勢力を与えておくとともに、サポートロッド９５〜９７の前進距離を一定にしておけば、図２１（ｃ）に示すように、クランプローラ９２〜９４が後退するときに、サポートロッド９４〜９７の付勢力によりウエハ５を必要な方向に押し出して移動させて、そのバランスがとれたところでウエハ５を搬出位置に位置決めすることができるからである。
【００７８】
従って、本実施の形態のアライナ装置９０によれば、全てのクランプローラ０２〜９４を直進往復運動可能に設けたことにより、サポートロッド９５〜９７の直進往復運動と絡めて位置合わせ手順を多様化し、ウエハ５の加工位置と搬出位置とが一致する場合でも、異なる場合でも、ウエハ５を搬出位置に位置合わせして図示しないロボットハンドでウエハ５を確実に且つ円滑に搬出することができる。
また、クランプローラ９２〜９４に載置部９２ｂ〜９４ｃと接触部９２ｃ〜９４ｃを設けるとともに、サポートロッド９５〜９７の先端部に円筒形状のピン部材９５ａ〜９７ａを設け、クランプローラ９２〜９４とサポートロッド９５〜９７がウエハ５に点接触又は線接触するようにしたので、接触面積を小さくして塵芥等の発生を抑制することができる。
【００７９】
（第６実施の形態）
続いて、本発明のアライナ装置の第６実施の形態について図面を参照して説明する。図２２は、サポートロッド９５〜９７の先端部の側面図である。図２３、図２４は、動作説明図である。
本実施の形態のアライナ装置９８は、第５実施の形態のピン部材９２ａ〜９４ａの形状に関するものであり、主な構造は第５実施の形態のものと共通する。よって、ここでは、第５実施の形態と異なる点について詳細に説明する。尚、第５実施の形態と同様の構造については同一符号を用いる。
【００８０】
アライナ装置９８のサポートロッド９５〜９７では、円錐台形状のピン部材９９を取り付けられている。そのため、本実施の形態のアライナ装置９８では、例えば、ウエハ５の加工が終了した時点では、図２３（ａ）に示すように、ウエハ５はクランプローラ９２〜９４でクランプされた状態にある。ウエハ５の加工が終了すると、図２３（ｂ）に示すように、クランプローラ９２〜９４が後退してウエハ５のエッジ部から離間する。この移動が完了すると、図２３（ｃ）に示すように、サポートロッド９５〜９７がウエハ５の搬出位置に向けて前進してウエハ５のエッジ部に接触し、さらに前進してウエハ５を押圧する。このとき、クランプローラ９２〜９４の何れかの前進量がその前の前進量と僅かに異なっている場合には、先端部６７の傾斜面によりウエハ５との接触位置を上下に変位させてウエハ５の中心を搬出位置に位置決めする。そして、図２３（ｄ）に示すように、サポートロッド９５〜９７でウエハ５を搬出位置に位置決めした状態で図示しないロボットハンドでウエハ５を上方へ持ち上げて搬出する。このとき、ピン部材９９が円錐台形状をもつため、ウエハ５はピン部材６８の間を何ら干渉することなく移動することができる。そして、図２３の（ｅ）に示すように、サポートロッド９５〜９７を後退させて初期位置に復帰させる。
【００８１】
また、例えば、図２３に示す手順の別例である図２４（ａ）では、クランプローラ９２〜９４を前進させてウエハ５を加工位置に位置決めした状態で、図２４（ｂ）に示すようにサポートロッド９５〜９７を前進させてウエハ５のエッジ部に接触させる。ここで、ウエハ５の加工位置と搬出位置とが一致しない場合には、サポートロッド９５〜９７にウエハ５を押し出す方向の付勢力を与えるようにしておくのが望ましい。
【００８２】
それから、図２４（ｃ）に示すように、クランプローラ９２〜９４を後退させ、図２４（ｄ）に示すようにサポートロッド９５〜９７でウエハ５を搬出位置に位置合わせした状態で図示しないロボットハンドでウエハ５を持ち上げて搬出する。ウエハ５の搬出が完了したら、図２４（ｅ）に示すように、サポートロッド９５〜９７を後退させて初期位置に復帰させる。
【００８３】
従って、本実施の形態のアライナ装置９０によれば、クランプローラ９２〜９４の前進量に誤差を生じた場合でも、ウエハ５のエッジ部をピン部材９９の傾斜面に沿って変位させてウエハ５の中心位置を矯正するので、常にウエハ５を搬出位置に位置合わせすることができる。
また、サポートロッド９５〜９７でウエハ５を位置合わせした状態でウエハ５を図示しないロボットハンドで搬出することができるので、ウエハ５の搬出時間を短縮することができる。
【００８４】
以上、本発明に係るアライナ装置の一実施の形態について説明したが、本発明はこれに限定されるわけではなく、その趣旨を逸脱しない範囲で様々な変更が可能である。
【００８５】
（１）例えば、上記実施の形態では、サポートロッド２０，２１を水平方向に直線往復運動するように設けた。それに対し、サポートロッド２０，２１を定位置に固定するようにしてもよい。また、サポートロッド２０，２１を垂直方向に直線往復運動するように設け、クランプローラ２が後退する際に可動プレート６上に突出させるようにしてもよい。
【００８６】
（２）例えば、上記実施の形態では、サポートロッド２０，２１の移動量を設定するためのストッパボルト２６をサポートブロック２４に取り付けた。それに対しストッパボルト２６をサポートストッパ２５に取り付けるようにしてもよい。
【００８７】
（３）例えば、上記実施の形態では、バッファロッド１６の先端を係止部１２のストッパボルト１９に突き当てて、クランプシリンダ１３の伸び方向の出力をクランプローラ２に直接的に伝達するようにした。それに対し、バッファロッド１６に脚部１１のクランプシリンダ１３側の側面に当接する当接部材を設け、シリンダロッド１６の伸び方向の出力をクランプローラ２に直接的に伝達するようにしてもよい。
【００８８】
（４）例えば、上記実施の形態では、第１，第２駆動手段としてサポートシリンダ２２，クランプシリンダ１３を使用した。それに対し、電動モータ等を使用してもよい。
【００８９】
（５）上記第３実施の形態では、クランプローラ側のサポートロッド７５，７６に付勢力を与えていない。それに対して、クランプローラ側のサポートロッド７５，７６にも所定の付勢力を与え、付勢力を有する固定ローラ側のサポートロッド７７，７８との間でウエハ５を位置合わせするようにしてもよい。これにより、クランプローラ側のサポートロッド７５，７６と固定ローラ側のサポートロッド７７，７８による４点支持が確実となり、付勢力のバランスがとれた位置を搬出位置にすることにより位置決め精度を向上させることができる。
【００９０】
（６）例えば、上記実施の形態では、クランプローラ２，７２，９２〜９４と固定ローラ３，４，７３，７４からなるウエハ５を支持するためのローラを３個設けたが、４個以上であってもよい。
【００９１】
（７）例えば、上記実施の形態では、クランプ部材としてクランプローラ２，７２，９２〜９４、固定ローラ３，４，７３，７４を用いた。それに対して、ウエハ５のエッジ部を保持するガイドプレートなどのガイド部材を直線往復運動可能に設けたり、固定位置に設けるようにしてもよい。
【００９２】
（８）上記第５実施の形態では、ピン部材９２ａ〜９４ａを円筒形状に形成し、また、第６実施の形態では、ピン部材９９を円錐台形状に形成した。それに対して、図２５に示すように、クランプローラ側サポートロッド２０及び固定ローラ側サポートロッド４１，４２の先端部６６を鼓形状に形成してもよい。この場合、ウエハ５のエッジ部分に先端部６６が接触しようとするときにウエハ５が傾斜していても、クランプローラ側サポートロッド２０及び固定ローラ側サポートロッド４１，４２の押付方向の動きに伴ってウエハ５の傾斜を矯正して水平にすることができるとともに、水平なウエハ５に接触したときに、軸芯方向に形成された上下テーパ面の２点によりウエハ５のエッジ部を支持して、ウエハ５をクランプすることができる。また、ピン部材は、サポートロッドの先端部に回動可能に取り付けることによりウエハ５が回転するのと一緒に回動するようにし、ウエハ５との摩擦を少なくするようにしてもよい。
【００９３】
【発明の効果】
本発明のアライナ装置は、ウエハを加工位置に位置決めする２以上のクランプ部材と、クランプ部材の間に配設されてウエハを搬出位置に位置決めする少なくとも３以上の搬出位置決め部材とを有し、クランプ部材の少なくとも１つが、ウエハの加工位置に向かって進退可能に設けられるとともに、搬出位置決め部材の少なくとも１つが、ウエハの搬出位置に向かって進退可能に設けられているので、ウエハを確実に搬出することができる。
【００９４】
また、本発明のアライナ装置は、ローラが直線往復運動可能に設けられた可動式クランプ部材を含み、可動式クランプ部材の両側に配設され、ウエハの移動を制限する係止部材を有するので、可動式クランプ部材が後退する際にウエハの位置ずれを防止することができる。
【００９５】
また、本発明のアライナ装置は、ローラが直線往復運動可能に設けられた可動式クランプ部材を含み、可動式クランプ部材を前進させてローラの間で支持されたウエハをローラから引き離す方向に押圧する押圧部材を有するので、可動式クランプローラが後退するときにウエハとローラとの付着を解除して、ウエハを確実に搬出することができる。
【００９６】
また、本発明のアライナ装置は、ローラが直線往復運動可能に設けられた可動式クランプ部材を含み、可動式クランプ部材の両側に配置され、搬出位置でウエハの移動を制限する係止部材と、可動式クランプ部材が後退してウエハの支持を解除するときに、ウエハを係止部材に当接させるようにウエハを押圧する押圧部材とを有するので、ウエハを確実に搬出することができるとともに、ウエハを係止部材や押圧部材などに擦り合わせることなく加工位置又は搬出位置に位置合わせして塵芥等の発生を抑制することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の第１実施の形態において、クランプローラ及びサポートロッドが後退した状態のアライナ装置の平面図である。
【図２】同じく、図１をＡ方向から見た図である。
【図３】同じく、図１をＢ方向から見た図である。
【図４】同じく、クランプローラが前進した状態で、サポートロッドが後退した状態のアライナ装置の平面図である。
【図５】同じく、クランプローラ及びサポートロッドが前進した状態のアライナ装置の平面図である。
【図６】同じく、クランプローラが後退した状態で、サポートロッドが前進した状態のアライナ装置の平面図である。
【図７】本発明の第２実施の形態において、クランプローラ、クランプローラ側サポートロッド及び固定ローラ側サポートロッドが後退した状態のアライナ装置の平面図である。
【図８】同じく、図７をＣ方向から見た図である。
【図９】同じく、固定ローラ側のサポートロッドを動作させる第２移動ユニットの側面図である。
【図１０】同じく、固定ローラ側のサポートロッドを動作させる第２移動ユニットの平面図である。
【図１１】同じく、クランプローラが前進した状態で、クランプローラ側サポートロッド及び固定ローラ側サポートロッドが後退した状態のアライナ装置の平面図である。
【図１２】同じく、クランプローラ、クランプローラ側サポートロッド及び固定ローラ側サポートロッドが前進した状態のアライナ装置の平面図である。
【図１３】同じく、クランプローラが後退した状態で、クランプローラ側サポートロッド及び固定ローラ側サポートロッドが前進した状態のアライナ装置の平面図である。
【図１４】本発明の第３実施の形態において、アライナ装置の平面図である。
【図１５】同じく、アライナ装置の動作説明図である。
【図１６】本発明の第４実施の形態において、アライナ装置の平面図である。
【図１７】本発明の第５実施の形態において、アライナ装置の平面図である。
【図１８】同じく、アライナ装置の要部側面図である。
【図１９】クランプローラ側サポートロッド（固定ローラ側サポートロッド）の先端部を示す図である。
【図２０】同じく、アライナ装置の動作の一例を示す説明図である。
【図２１】同じく、アライナ装置の動作の一例を示す説明図である。
【図２２】本発明の第６実施の形態において、サポートロッドの先端部の側面図である。
【図２３】同じく、アライナ装置の動作の一例を示す説明図である。
【図２４】同じく、アライナ装置の動作の一例を示す説明図である。
【図２５】クランプローラ側サポートロッド（固定ローラ側サポートロッド）の先端部の変更例である。
【図２６】従来から使用されているアライナ装置の側面図である。
【符号の説明】
１，４０，７０，８０，９０、９８ アライナ装置
２，７２，９２，９３，９４ クランプローラ
３，４，７３，７４ 固定ローラ
５ ウエハ
６ 可動プレート
１１ 脚部
１３ クランプシリンダ
１７ 圧縮ばね
２０，２１ サポートロッド
２２ サポートシリンダ
２４ サポートブロック
２５ サポートストッパ
２６ ストッパボルト
２７，２８ センサ
２９ エンコーダユニット
３０ 駆動ユニット
Claims (11)
- ウエハの外縁部を前記ウエハの中心に向かって押圧することにより、前記ウエハを加工位置に位置決めする３以上のクランプローラと、
前記クランプローラの少なくとも一つに回転力を与えることにより前記ウエハを前記加工位置で回転させる回転付与手段と、
前記３以上のクランプローラが、前記ウエハの前記加工位置に向かって進退可能に設けられていることと、
進退可能に設けられた前記クランプローラの間に配設されて前記ウエハに向かって進退可能に設けられたサポートロッドと、を有する
ことを特徴とするアライナ装置。 - ウエハの外縁部を前記ウエハの中心に向かって押圧することにより、前記ウエハを加工位置に位置決めする３以上のクランプローラと、
前記クランプローラの少なくとも一つに回転力を与えることにより前記ウエハを前記加工位置で回転させる回転付与手段と、
前記クランプローラの少なくとも一つが、前記ウエハの前記加工位置に向かって進退可能に設けられていることと、
前記クランプローラの両側に配設されて前記ウエハに向かって進退可能に設けられたサポートロッドと、を有する
ことを特徴とするアライナ装置。 - 請求項２に記載するアライナ装置において、
前記進退可能に設けられたクランプローラが前記加工位置へ向かって前進することにより前記３以上のクランプローラの間で支持された前記ウエハを前記進退可能に設けられたクランプローラ以外のクランプローラから引き離す方向に押圧する押圧部材を有することを特徴とするアライナ装置。 - 請求項２又は請求項３に記載するアライナ装置において、
前記進退可能に設けられたクランプローラと同一方向に前記サポートロッドを直線往復運動させる第１移動ユニットを有することを特徴とするアライナ装置。 - 請求項４に記載するアライナ装置において、
前記第１移動ユニットは、前記サポートロッドが立設された支持ブロックを第１駆動手段により直線往復運動させるものであって、前記支持ブロックに取り付けられた止め具を前記第１駆動手段側に固定された当接部材と当接させて位置決めするようにしたものであることを特徴とするアライナ装置。 - 請求項１乃至請求項５の何れか一つに記載するアライナ装置において、
前記進退可能に設けられたクランプローラを保持する可動プレートの脚部に連結する第２駆動手段が、所定方向の出力を前記脚部の反第２駆動手段側に配設される圧縮ばねを介して間接的に前記進退可能に設けられたクランプローラに伝達する一方、前記所定方向と反対方向の出力を前記圧縮ばねを介さずに直接的に前記進退可能に設けられたクランプローラに伝達することを特徴とするアライナ装置。 - 請求項３乃至請求項６の何れか１つに記載するアライナ装置において、
前記押圧部材を前記ウエハに対して当接又は離間する方向に直進往復運動させる第２移動ユニットを有することを特徴とするアライナ装置。 - 請求項７に記載するアライナ装置において、
前記第２移動ユニットは、
前記押圧部材と一体的に移動するスライド部材と第３駆動手段の出力方向に従って移動可能な連結部材とを圧縮ばねを介して連結し、前記圧縮ばねは、前記第３駆動手段の所定方向の出力を前記連結部材から前記スライド部材に間接的に伝達する一方、前記第３駆動手段の所定方向と反対方向の出力を前記連結部材から前記スライド部材に直接的に伝達することを特徴とするアライナ装置。 - 請求項１乃至請求項８の何れか１つに記載するアライナ装置において、
前記サポートロッドは、前記ウエハと点接触又は線接触することを特徴とするアライナ装置。 - 請求項３乃至請求項９の何れか１つに記載するアライナ装置において、
前記押圧部材は、前記ウエハと点接触又は線接触することを特徴とするアライナ装置。 - 請求項１乃至請求項１０の何れか１つに記載するアライナ装置において、
前記クランプローラは、前記ウエハの周縁の一部を載置する載置部と、前記ウエハのエッジ部に点接触又は線接触する接触部とを有することを特徴とするアライナ装置。
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