JP2003188235A - アライナ装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】クランプローラが後退する際にウエハの位置ず
れを防止できるアライナ装置を提供すること。 【解決手段】 直線往復運動を行うクランプローラ２
と、固定された固定ローラ３，４をウエハ５の径に合わ
せて配置し、クランプローラ２と固定ローラ３,４にて
ウエハ５を支持することにより、ウエハ５の中心を一義
的に定めて位置合わせするようにする。そして、クラン
プローラ２の両側にサポートロッド２０，２１を配設
し、サポートロッド２０，２１がクランプローラ２に連
れられたウエハ５の移動を制限するようにする。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、直線往復運動可能
に設けられたクランプローラと、固定された２個の固定
ローラにてウエハを少なくとも３箇所で支持することに
より、ウエハの中心を一義的に定めて位置合わせするア
ライナ装置に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】従来より、ウエハを位置合わせするアラ
イナ装置が使用されている。その一例として、図２６に
示すアライナ装置１００がある。このアライナ装置１０
０は、テーパ部１０１ａの形成された４個のローラ１０
１…がウエハ１０２の径に合わせて配置され、ローラ１
０１…のテーパ部１０１ａにエッジ部を当てて載せられ
たウエハ１０２が、ローラ１０１…の回転に従って回転
する間にテーパ部１０１ａ…を滑り、ローラ１０１に当
たった４箇所のエッジ部の高さが一致して、中心の位置
決めが行われる。しかし、これでは、ウエハ１０２を位
置決めするのに時間がかかってしまっていた（特許文献
１参照。）。

【０００３】また、これと別の方法をとったアライナ装
置としては、ゴム製のクランプローラと２個の固定ロー
ラをウエハの径に合わせて予め同じ高さで配置し、クラ
ンプローラを２個の固定ローラに対して直線往復運動可
能に設けたものがある。このアライナ装置では、クラン
プローラ及び２個の固定ローラにウエハを水平に載せる
と、クランプローラが水平方向に前進して、２個の固定
ローラとの間でウエハのエッジ部を押さえ付ける。これ
により、ウエハは、エッジ部がクランプローラ及び２個
のローラに同じ高さで支持されて、中心の位置決めが行
われる。よって、かかるアライナ装置では、クランプロ
ーラを水平方向に移動させるだけでウエハの位置合わせ
を行うことができるので、ウエハの位置合わせに時間が
かからない。

【０００４】

【特許文献１】特開２００１−７７１７９号公報（段落
００１６〜００４４、第１図。）

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、後者の
アライナ装置では、ゴム製のクランプローラと２個の固
定ローラがウエハのエッジ部を押さえ付けるため、クラ
ンプローラを後退させる際に、ウエハがそのクランプロ
ーラに連れられて位置ずれすることがあった。そして、
このように位置ずれしたウエハは、予め定められた通り
に動作するロボットハンドに対して正確に位置決めされ
ないため、次の工程に位置ずれした状態で搬入されるこ
ととなり、好ましくない。また、一般的に、ロボットハ
ンドには、搬送中に位置ずれしたり、落下したりするこ
とを防止するために落とし込み溝が設けられているが、
搬出時にウエハが位置ずれしていると、ロボットハンド
の落とし込み溝に正確にはめ込むことができず、搬送中
にウエハを落下させる等の搬送ミスを引き起こす恐れが
ある。さらに、クランプローラが固定ローラにウエハを
押し付けるため、クランプローラが後退した後もウエハ
が固定ローラに付着したまま動かず、ロボットハンドで
ウエハを搬出するときに、ウエハが固定ローラに擦れて
ロボットハンド上でおどってしまったり、さらにはロボ
ットハンドから落下することがあった。

【０００６】そこで、本発明は、ウエハを確実に搬出す
ることができるアライナ装置を提供することを目的とす
る。

【０００７】

【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
に、請求項１に記載の発明は、ウエハを加工位置に位置
決めする２以上のクランプ部材と、クランプ部材の間に
配設されてウエハを搬出位置に位置決めする少なくとも
３以上の搬出位置決め部材とを有し、クランプ部材の少
なくとも１つが、ウエハの加工位置に向かって進退可能
に設けられるとともに、搬出位置決め部材の少なくとも
１つが、ウエハの搬出位置に向かって進退可能に設けら
れることを特徴とする。

【０００８】従って、可動式クランプ部材を前進させて
クランプ部材の間でウエハをクランプすることによりウ
エハを加工位置に位置合わせした後に、ウエハに所要の
加工を行い、その後、搬出位置決め部材の少なくとも１
つを前進させて、搬出位置決め部材の間でウエハを搬出
位置に位置合わせするので、ウエハを確実に搬出するこ
とができる。

【０００９】また、請求項２に記載の発明は、ウエハの
外縁部を複数のクランプ部材にて少なくとも３箇所以上
で支持することによりウエハの中心を一義的に定めて位
置合わせを行うアライナ装置において、クランプ部材が
直進往復可能に設けられた可動式クランプ部材を含み、
可動式クランプ部材の両側に配置され、ウエハの移動を
制限する係止部材を有することを特徴とする。

【００１０】従って、可動式クランプ部材が後退する際
に、ウエハが可動式クランプ部材に連れられて位置ずれ
しようとすると、係止部材が可動式クランプ部材の両側
においてウエハの移動を制限するため、ウエハの位置ず
れを防止し、ウエハを確実に搬出することができる。

【００１１】また、請求項３に記載の発明は、ウエハの
外縁部を複数のクランプ部材にて少なくとも３箇所以上
で支持することによりウエハの中心を一義的に定めて位
置合わせを行うアライナ装置において、クランプ部材が
直線往復運動可能に設けられた可動式クランプ部材を含
み、可動式クランプ部材を前進させてクランプ部材の間
で支持されたウエハをクランプ部材から引き離す方向に
押圧する押圧部材を有することを特徴とする。

【００１２】従って、押圧部材は、可動式クランプ部材
が前進してクランプ部材の間で支持されたウエハに当接
すると、ウエハをクランプ部材から引き離す方向に押圧
し、その後に可動式クランプ部材が後退してウエハの支
持を解除するときに、ウエハを押圧してクランプ部材か
ら引き離すので、ウエハとクランプ部材との付着を解除
して、ウエハを確実に搬出することができる。

【００１３】また、請求項４に記載の発明は、搬送手段
で搬入位置に搬入されたウエハの外縁部を複数のクラン
プ部材にて少なくとも３箇所以上で支持することにより
ウエハを加工位置に位置合わせし、加工終了後にウエハ
を搬送手段で搬出する搬出位置に位置合わせするアライ
ナ装置において、クランプ部材が直線往復運動可能に設
けられた可動式クランプ部材を含み、可動式クランプ部
材の両側に配置され、搬出位置でウエハの移動を制限す
る係止部材と、可動式クランプ部材が後退してウエハの
支持を解除するときに、ウエハを係止部材に当接させる
ようにウエハを押圧する押圧部材とを有することを特徴
とする。

【００１４】従って、搬送手段がウエハを搬入位置に搬
入すると、可動式クランプ部材が前進して他のクランプ
部材との間でウエハを支持することによりウエハを加工
位置に位置合わせし、その後に、可動式クランプ部材が
後退してウエハの支持を解除するときに、押圧部材がウ
エハを押圧して係止部材に当接させ、ウエハを搬出位置
に位置合わせするので、ウエハを確実に搬出することが
できるとともに、ウエハを係止部材や押圧部材に擦り合
わせることなく加工位置又は搬出位置に位置合わせして
塵芥等の発生を抑制することができる。尚、ウエハの搬
入位置、加工位置、搬出位置は、一致していてもよい
し、異なっていてもよい。

【００１５】また、請求項５に記載の発明は、請求項２
又は請求項４に記載の発明において、係止部材を可動式
クランプ部材と同一方向に直線往復運動させる第１移動
ユニットを有することを特徴とする。従って、係止部材
は、ウエハを搬入するときや、可動式クランプ部材が他
のクランプ部材との間でウエハを押さえ付けるとき等に
は、ウエハから離れており、可動式クランプ部材を後退
させるときだけ、ウエハの移動を制限するためにウエハ
に近づくため、ウエハの搬入や、ウエハの位置合わせ等
の邪魔にならない。

【００１６】また、請求項６に記載の発明は、請求項５
に記載する発明において、第１移動ユニットは、係止部
材が立設された支持ブロックを第１駆動手段により直線
往復運動させるものであって、支持ブロックに取り付け
られた止め具を第１駆動手段側に固定された当接部材と
当接させて位置決めするようにしたものであることを特
徴とする。従って、係止部材は、止め具が当接部材に当
接するまで移動し、止め具の位置調節を行うことにより
係止部材のウエハに対する位置を任意に設定することが
できるので、組立精度に厳しい寸法公差が要求されず、
組立や製造が容易になる。

【００１７】また、請求項７に記載の発明は、請求項１
乃至請求項６の何れか１つに記載の発明において、可動
式クランプ部材を保持する可動プレートの脚部に連結す
る第２駆動手段が、所定方向の出力を脚部の反第２駆動
手段側に配設される圧縮ばねを介して間接的に可動式ク
ランプ部材に伝達する一方、所定方向と反対方向の出力
を圧縮ばねを介さずに直接的に可動式クランプ部材に伝
達することを特徴とする。従って、第２駆動手段が可動
式クランプ部材をウエハに押し付けるときに、圧縮ばね
が第２駆動手段の駆動力を吸収するので、可動式クラン
プ部材をウエハに強く押さえ付けすぎない。

【００１８】また、請求項８に記載の発明は、請求項３
乃至請求項７の何れか１つに記載の発明において、押圧
部材をウエハに対して当接又は離間する方向に直進往復
運動させる第２移動ユニットを有することを特徴とす
る。従って、押圧部材は、ウエハを搬入するときや、可
動式クランプ部材が他のクランプ部材との間でウエハを
押さえ付けるとき等には、ウエハから離れており、ウエ
ハの位置合わせを行うときだけウエハに当接してウエハ
をクランプ部材から引き離す方向に押圧するため、ウエ
ハの搬入等の邪魔にならない。

【００１９】また、請求項９に記載の発明は、請求項８
に記載の発明において、第２移動ユニットは、押圧部材
と一体的に移動するスライド部材と第３駆動手段の出力
方向に従って移動可能な連結部材とを圧縮ばねを介して
連結し、圧縮ばねは、第３駆動手段の所定方向の出力を
連結部材からスライド部材に間接的に伝達する一方、第
３駆動手段の所定方向と反対方向の出力を連結部材から
スライド部材に直接的に伝達することを特徴とする。従
って、第３駆動手段が押圧部材でウエハを押圧するとき
に、圧縮ばねが第３駆動手段の駆動力を吸収するので、
押圧部材でウエハを適度に押圧することができる。

【００２０】また、請求項１０に記載の発明は、請求項
１乃至請求項９の何れか１つに記載の発明において、搬
出位置決め部材、係止部材又は押圧部材はウエハと点接
触又は線接触することを特徴とする。また、請求項１１
に記載の発明は、請求項１乃至請求項１０の何れか１つ
に記載の発明において、クランプ部材は、ウエハの周縁
の一部を載置する載置部と、ウエハのエッジ部に点接触
又は線接触する接触部とを有することを特徴とする。従
って、クランプ部材、搬出位置決め部材、係止部材、押
圧部材がウエハと接触する面積を小さくして塵芥等の発
生を抑制することができる。

【００２１】

【発明の実施の形態】（第１実施の形態）次に、本発明
に係るアライナ装置の形態について図面を参照して以下
に説明する。図１は、本実施の形態のアライナ装置１の
平面図である。本実施の形態のアライナ装置１は、クラ
ンプローラ（「クランプ部材」、「可動式クランプ部
材」に相当するもの。）２と２個の固定ローラ（「クラ
ンプ部材」に相当するもの。）３，４がウエハ５の径に
合わせて配置されている。クランプローラ２は、可動プ
レート６に回転可能に軸支されており、固定ローラ３，
４は、固定プレート７，８に回転可能に軸支されてい
る。可動プレート６は、メインプレート９に直線往復運
動可能に設けられる一方、固定プレート７，８は、メイ
ンプレート９に固定されている。

【００２２】図２は、図１をＡ方向から見た図である。
可動プレート６とメインプレート９との間には、摺動部
材１０が配設されており、可動プレート６は、メインプ
レート９に固定されたクランプシリンダ（「第２駆動手
段」に相当するもの。）１３の駆動力を伝達されて直線
往復運動するようになっている。こうした可動プレート
６には、クランプシリンダ１３の縮み方向の出力が伝達
される脚部１１と、クランプシリンダ１３の伸び方向の
出力が伝達される係止部１２が固定されている。

【００２３】クランプシリンダ１３は、メインプレート
９に固定され、そのシリンダロッド１４にフリージョイ
ント１５を介してバッファロッド１６が連結されてい
る。そのバッファロッド１６は、先端を係止部１２に突
き当てられるように脚部１１に挿通されている。バッフ
ァロッド１６には、圧縮ばね１７が先端のばね受け１８
と脚部１１との間に嵌め合わされており、クランプシリ
ンダ１３の縮み方向の出力が、圧縮ばね１７を介して脚
部１１に伝達されるように構成されている。また、バッ
ファロッド１６は、圧縮ばね１７により図中左方向に付
勢されて、先端を係止部１２に連結されたストッパボル
ト１９に押し当てられており、クランプシリンダ１３の
伸び方向の出力が、ストッパボルト１９を介して係止部
１２に伝達されるように構成されている。

【００２４】また、図１に示すように、可動プレート６
には、長孔６ａ，６ｂがクランプローラ２を挟んで左右
対称に形成され、その長孔６ａ，６ｂにサポートロッド
（「搬出位置決め部材」、「係止部材」に相当するも
の。）２０，２１がそれぞれ挿通されている。

【００２５】図３は、図１をＢ方向から見た図である。
図２及び図３に示すように、サポートロッド２０，２１
は、メインプレート９に固定されたサポートシリンダ
（「第１駆動手段」に相当するもの。）２２の駆動力に
より、サポートシリンダ２２の出力方向に沿って長く形
成された長孔６ａ，６ｂ内を直線往復運動するようにな
っている。サポートシリンダ２２は、クランプシリンダ
１３と同一方向に出力するように配設され、そのシリン
ダロッド２３に連結されたサポートブロック（「支持ブ
ロック」に相当するもの。）２４に、サポートロッド２
０，２１が立設されている。サポートロッド２０，２１
は、ウエハ５の移動を制限するために、先端がウエハ５
より高く突き出るように長孔６ａ，６ｂに貫かれてお
り、クランプローラ２と独立して長孔６ａ，６ｂ内を直
線往復運動するようになっている。

【００２６】こうしたサポートロッド２０，２１は、サ
ポートストッパ（「当接部材」に相当するもの。）２５
に止められて、前進を制限されるようになっている。サ
ポートストッパ２５は、先端がサポートブロック２４と
対向するようにメインプレート９に固定されている。サ
ポートブロック２４には、サポートロッド２０，２１の
ウエハ５に対する位置を調節するためのストッパボルト
（「止め具」に相当するもの。）２６が、サポートスト
ッパ２５に対応する位置にサポートシリンダ２２側に突
き出るように螺合されている。サポートストッパ２５と
ストッパボルト２６との間には、隙間が形成され、サポ
ートロッド２０，２１はその隙間分だけ前進可能となっ
ている。本実施の形態では、サポートロッド２０，２１
が、クランプローラ２及び固定ローラ３，４に支持され
たウエハ５のエッジ部から０．３ｍｍ程度離れる位置ま
で接近するように、ストッパボルト２６を位置調節して
いる。

【００２７】尚、クランプローラ２及び固定ローラ３，
４には、ウエハ５を損傷させないように保持するため
に、フランジ部を有するゴム製の保持部材２Ａ，３Ａ，
４Ａが装着されている。そして、保持部材２Ａ，３Ａ，
４Ａのフランジ部は、ウエハ５を水平に載せられるよう
に、同じ高さに設定されている。また、ウエハ５の回転
方向の位置決めをするために、固定プレート７には、図
３に示すように、ウエハ５のＶノッチを検出するための
センサ２７，２８や、固定ローラ３の回転量を検出する
ためのエンコーダユニット２９等が連結される一方、固
定プレート８には、固定ローラ４に回転力を与える駆動
ユニット３０等が連結されている。

【００２８】続いて、このようなアライナ装置１の動作
について図面を参照して具体的に説明する。図４〜図６
は、アライナ装置１の平面図であって、クランプローラ
２とサポートロッド２０，２１の位置関係を示す図であ
る。アライナ装置１は、ウエハ５を搬入される前の初期
状態では、クランプシリンダ１３とサポートシリンダ２
２が停止しており、図１に示すように、クランプローラ
２及びサポートロッド２０，２１は後退している。

【００２９】図示しないロボットハンドが、保持部材２
Ａ，３Ａ，４Ａのフランジ部にウエハ５を載せると、ク
ランプシリンダ１３がシリンダロッド１４を縮めて、ク
ランプローラ２を前進させる。すなわち、クランプシリ
ンダ１３は、バッファロッド１６を図２の右方向に引っ
張ることにより、圧縮ばね１７を介して脚部１１を図２
の右方向に押圧し、可動プレート６を図２の右方向に移
動させる。このとき、脚部１１に作用する押圧力が、脚
部１１から可動プレート６、係止部１２、ストッパボル
ト１９、バッファロッド１６へと伝達され、可動プレー
ト６とバッファロッド１６とが一体的に移動するため、
圧縮ばね１７は圧縮されない。

【００３０】クランプローラ２は、可動プレート６と一
体的に前進し、図４に示すようにウエハ５のエッジ部に
当接すると、ウエハ５を介して固定ローラ３，４に前進
を制限される。それに伴って、可動プレート６が、図２
の図中右方向に移動することができなくなって停止する
が、クランプシリンダ１３は、シリンダロッド１４をさ
らに縮めて、ウエハ５にクランプ荷重を加える。すなわ
ち、クランプシリンダ１３がバッファロッド１６を図２
の右方向に引っ張ると、バッファロッド１６は、圧縮ば
ね１７の付勢力に反して脚部１１内を摺動し、クランプ
ローラ２が固定ローラ３，４との間でウエハ５を押さえ
付ける。このとき、圧縮ばね１７がクランプシリンダ１
３の駆動力を吸収するため、クランプローラ２は、固定
ローラ３，４の間でウエハ５を強く押さえ付けすぎな
い。このようにして、ウエハ５は、エッジ部が３箇所で
支持されるため、中心を一義的に定められて位置合わせ
される。

【００３１】そして、ウエハ５のＶノッチアライニング
を行う。具体的には、駆動ユニット３０を駆動させ、固
定ローラ４を図４の矢印方向に回転させる。固定ローラ
４は、ウエハ５を図４の矢印方向に回転させ、クランプ
ローラ２と固定ローラ３はウエハ５と連れ回りする。ウ
エハ５のＶノッチがセンサ２７を通過し、Ｖノッチが検
出されると、駆動ユニット３０は減速する。ウエハ５の
Ｖノッチがセンサ２８を通過し、Ｖノッチが精密に検出
されると、その位置がウエハ５の基準位置に設定され
る。その後、ウエハ５は指定されたＶノッチ位置まで回
転され、停止する。

【００３２】それから、サポートシリンダ２２は、シリ
ンダロッド２３を縮め、サポートブロック２４を介して
サポートロッド２０，２１を図２の右方向に前進させ
る。ストッパボルト２６がサポートストッパ２５に当接
すると、サポートロッド２０，２１は、図５に示すよう
に、クランプローラ２及び固定ローラ３，４に支持され
たウエハ５のエッジ部から０．３ｍｍ程度離れる位置ま
で接近して停止する。

【００３３】そして、クランプシリンダ１３が、シリン
ダロッド１４を伸ばして、クランプローラ２を後退させ
る。このとき、クランプシリンダ１３は、バッファロッ
ド１６を図２の左方向に押し戻し、先ず圧縮ばね１７の
圧縮を解除する。そのため、クランプローラ２が、固定
ローラ３，４との間でウエハ５を押さえ付けなくなるた
め、クランプ荷重が解除される。そして、クランプシリ
ンダ１３は、バッファロッド１６の先端をストッパボル
ト１９に突き当て、係止部１２を介して可動プレート６
を図２の左方向に押し戻す。このとき、バッファロッド
１６は、圧縮ばね１７に付勢されて先端をストッパボル
ト１９に確実に押し当てられるため、クランプシリンダ
１３の図２の左方向への駆動力を無駄なく伝達する。そ
して、クランプローラ２は、可動プレート６と一体的に
後退し、図６に示す初期状態に戻る。

【００３４】ここで、クランプローラ２は、後退する直
前まで、固定ローラ３，４との間でウエハ５のエッジ部
を押さえ付けており、ウエハ５のエッジ部が保持部材２
Ａ，３Ａ，４Ａにひっついている。そのため、ウエハ５
は、クランプローラ２が後退する際に、クランプローラ
２に連れられて位置ずれしようとすることがある。この
場合、ウエハ５は、クランプローラ２に連れられること
により保持部材３Ａ，４Ａとの連れが解消する。そし
て、ウエハ５は、クランプローラ２に連れられて０．３
ｍｍ程度移動すると、保持部材２Ａにひっついたエッジ
部の両脇が、サポートロッド２０，２１に接触する。サ
ポートロッド２０，２１は、後退するクランプローラ２
に対して停止しているので、ウエハ５の移動を止めて、
後退するクランプローラ２からウエハ５を引き離す。よ
って、ウエハ５は、位置合わせされた位置から０．３ｍ
ｍ以上移動しない。

【００３５】このようにしてクランプローラ２が後退す
ると、サポートシリンダ２２は、シリンダロッド２３を
伸ばして、サポートブロック２４を図２の左方向に押し
戻し、サポートロッド２０，２１を図１に示す初期状態
まで後退させる。そして、図示しないロボットハンドが
ウエハ５を搬出すると、アライナ装置１は、そのまま次
のウエハ５が搬入されるまで待機する。

【００３６】従って、本実施の形態のアライナ装置１に
よれば、クランプローラ２の両側にウエハ５の移動を止
めるサポートロッド２０，２１を設けたので、クランプ
ローラ２を後退させる際にウエハ５の位置ずれを防止す
ることができる。そのため、ウエハ５は、図示しないロ
ボットハンドに対して正確に位置決めされ、次の場所に
位置ずれすることなく搬入される。また、ウエハ５を図
示しないロボットハンドの落とし込み溝に正確にはめ込
むことができ、搬送中にウエハ５を落下させる等の搬送
ミスを引き起こしにくい。

【００３７】また、本実施の形態のアライナ装置１によ
れば、サポートロッド２０，２１を水平方向に直線往復
運動可能に設け、クランプローラ２を後退させるときの
みサポートロッド２０，２１をウエハ５に近づけるの
で、サポートロッド２０，２１がウエハ５の搬入、位置
合わせ、搬出等の邪魔にならない。

【００３８】また、本実施の形態のアライナ装置１は、
できるだけウエハ５の位置ずれをなくすために、サポー
トロッド２０，２１をウエハ５のエッジ部から０．３ｍ
ｍ程度と極めて接近させるようにしているが、ストッパ
ボルト２６をサポートシリンダ２２側に突き出すように
サポートブロック２４に螺合するとともに、ストッパボ
ルト２６と当接してサポートロッド２０，２１の移動を
止めるサポートストッパ２５をサポートシリンダ２２側
に固定し、サポートロッド２０，２１のウエハ５に対す
る位置を任意に設定できるようにしたので、組立精度に
厳しい寸法公差が要求されず、組立や製造が容易にな
る。

【００３９】また、バッファロッド１６に連結されるば
ね受け１８と脚部１１の反クランプシリンダ１３側の側
面との間に圧縮ばね１７を設け、クランプシリンダ１３
がクランプローラ２をウエハ５に押し付けるときに、圧
縮ばね１７がクランプシリンダ１３の駆動力を吸収する
ようにしたので、クランプローラ２をウエハ５に強く押
さえ付けすぎない。

【００４０】（第２実施の形態）続いて、本発明の第２
実施の形態について図面を参照して説明する。図７は、
クランプローラ２、クランプローラ側サポートロッド２
０，２１及び固定ローラ側サポートロッド４１，４２が
後退した状態のアライナ装置４０の平面図である。第２
実施の形態のアライナ装置４０は、第１実施の形態のア
ライナ装置１を改良したものであり、クランプローラ側
サポートロッド（「搬出位置決め部材」、「係止部材」
に相当するもの。）２０，２１に加えて固定ローラ側サ
ポートロッド（「搬出位置決め部材」、「押圧部材」に
相当するもの。）４１，４２を設け、ウエハ５を搬出す
るときにウエハ５と固定ローラ３，４との付着を解除す
る点で第１実施の形態のアライナ装置１と相違する。よ
って、ここでは、第１実施の形態のアライナ装置１と相
違する点について詳細に説明する。尚、第１実施の形態
のアライナ装置１と同一の構造については同じ符号を用
いることにする。

【００４１】アライナ装置４０は、第１実施の形態のア
ライナ装置１と同様に、１個のクランプローラ２と２個
の固定ローラ３，４がウエハ５の径に合わせて配置さ
れ、クランプローラ２がウエハ５の中心部に向かって直
進往復運動可能に設けられている。クランプローラ２の
両側には、クランプローラ側サポートロッド２０，２１
がクランプローラ２と同一方向に直進往復運動可能に設
けられ、そのクランプローラ側サポートロッド２０，２
１とウエハ５を挟んで対向するように固定ローラ側サポ
ートロッド４１，４２が直線往復運動可能に設けられて
いる。

【００４２】図８は、図７をＣ方向から見た図である。
メインプレート９のクランプローラ２側下面には、クラ
ンプシリンダ１３とサポートシリンダ２２が反固定ロー
ラ３，４側に出力するよう配設されている。クランプシ
リンダ１３は、クランプローラ２を前進させたときにウ
エハ５を固定ローラ３，４に押しつけて加工位置に位置
合わせするよう出力調整されている。また、サポートシ
リンダ２２は、クランプローラ側サポートロッド２０，
２１を前進させたときに、加工位置にあるウエハ５のエ
ッジ部から僅かに離れた位置で停止させるよう出力調整
されている。

【００４３】一方、メインプレート９の固定ローラ３，
４側下面には、固定ローラ側サポートロッド４１，４２
と連結する第２移動ユニット５０が固定されている。第
２移動ユニット５０は、クランプシリンダ１３やサポー
トシリンダ２２と反対方向、すなわち固定ローラ３，４
側に出力するサポートシリンダ５１（「第３駆動手段」
に相当するもの。）を備え、サポートシリンダ５１の出
力により固定ローラ側サポートロッド４１，４２をクラ
ンプローラ側サポートロッド２０，２１と相対的に移動
させている。

【００４４】図９は、固定ローラ側サポートロッド４
１，４２を動作させる第２移動ユニット５０の側面図で
ある。図１０は、固定ローラ側サポートロッド４１，４
２を動作させる第２移動ユニット５０の平面図である。
シリンダロッド５２は、軸受５３を介して連結部材５４
に連結され、連結部材５４に図中左右方向への推力のみ
を伝達している。メインプレート９と連結部材５５との
間には、ガイド５５が配設され、サポートシリンダ５１
の出力方向に沿って連結部材５５を直線往復運動可能に
している。また、連結部材５５には、バッファロッド６
０がネジ固定され、そのバッファロッド６０にスライド
プレート（「スライド部材」に相当するもの。）５７の
張出部５７Ａが摺動可能に挿通されて連結部材５５に当
接されている。スライドプレート５７の張出部５７Ａか
ら突き出したバッファロッド６０の端部には、ばね受け
６１が固定され、ばね受け６１とスライドプレート５７
の張出部５７Ａとの間に圧縮ばね６２が配設されてい
る。従って、サポートシリンダ５１が図中左方向に縮ん
で出力した場合には、その出力が連結部材５４、バッフ
ァロッド６０、ばね受け６１、圧縮ばね６２、スライド
プレート５７へと伝達され、また、サポートシリンダ５
が図中右方向に伸びて出力する場合には、その出力が連
結部材５４からスライドプレート５７の張出部５７Ａに
直接伝達されることになる。

【００４５】スライドプレート５７とメインプレート９
との間には、摺動部材５６が配設され、スライドプレー
ト５７をサポートシリンダ５１の出力方向に沿って移動
可能にしている。スライドプレート５７には、Ｌ字形の
支持ブロック５８がメインプレート９の下面側から上面
側に向かって突き出るように設けられ、その突き出た部
分に固定ローラ側サポートロッド４１，４２が立設する
ことにより、固定ローラ側サポートロッド４１，４２を
スライドプレート５７と一体的に移動させるようにして
いる。

【００４６】続いて、このようなアライナ装置４０の動
作について図面を参照して具体的に説明する。図１１〜
図１３は、アライナ装置４０の平面図であって、クラン
プローラ２、クランプローラ側サポートロッド２０，２
１、固定ローラ側サポートロッド４１，４２の位置関係
を示す図である。アライナ装置４０は、ウエハ５を搬入
される前の初期状態では、クランプシリンダ１３とサポ
ートシリンダ２２，５１が停止しており、図７に示すよ
うに、クランプローラ２、クランプローラ側サポートロ
ッド２０，２１、固定ローラ側サポートロッド４１，４
２は後退している。

【００４７】図示しないロボットハンドがウエハ５を搬
入すると、クランプシリンダ１３がシリンダロッド１４
を縮めてクランプローラ２を前進させ、図１１に示すよ
うにクランプローラ２をウエハ５のエッジ部に当接させ
る。このとき、クランプローラ２は、ウエハ５にクラン
プ荷重を加えてウエハ５を固定ローラ３，４に対して押
さえ付けるため、ウエハ５がクランプローラ２と固定ロ
ーラ３，４との３箇所で支持されて中心を加工位置の中
心に一義的に位置合わせされる。

【００４８】そして、Ｖノッチアライニング等の所要の
加工を完了すると、サポートシリンダ２２，５１が駆動
して、クランプローラ側サポートロッド２０，２１と固
定ローラ側サポートロッド４１，４２を一斉に前進させ
る。すなわち、サポートシリンダ２２は、シリンダロッ
ド２３を縮めてクランプローラ側サポートロッド２０，
２１を前進させ、図１２に示すようにウエハ５のエッジ
部から僅かに離れる位置まで接近させて停止させる。

【００４９】一方、サポートシリンダ５１は、縮み方向
に出力し、シリンダロッド５２、軸受５３、連結部材５
４を介してバッファロッド６０を図９及び図１０の図中
左方向に引っ張る。サポートシリンダ５１の出力は、バ
ッファロッド６０からばね受け６１、圧縮ばね６２を介
してスライドプレート５７に伝達され、スライドプレー
ト５７が図中左方向に移動する。このとき、スライドプ
レート５７は連結部材５４と一体的に移動するため、圧
縮ばね６２は圧縮されない。

【００５０】固定ローラ４１，４２側サポートロッド４
１，４２が、スライドプレート５７と一体的に前進し
て、図１２に示すようにウエハ５のエッジ部に当接する
と、ウエハ５を介してクランプローラ２に前進を制限さ
れる。それにともなって、スライドプレート５７は図中
左方向に移動することができなくなって停止するが、サ
ポートシリンダ５１は、シリンダロッド５２をさらに縮
め、固定ローラ側サポートロッド４１，４２でウエハ５
を図中左方向に軽く押圧する。すなわち、サポートシリ
ンダ５１が連結部材５４を図９及び図１０の図中左方向
に引っ張り続けると、スライドプレート５７は停止した
ままで、連結部材５４のみが図中左方向に移動する。そ
のため、バッファロッド６０は、連結部材５４により図
中左方向に引っ張られて圧縮ばね６２の付勢力に反して
スライドプレート５７内を摺動する。このとき、圧縮ば
ね６２がサポートシリンダ５１の駆動力を吸収するた
め、固定ローラ側サポートロッド４１，４２はクランプ
ローラ２との間でウエハ５を押さえ付けすぎない程度に
ウエハ５をクランプローラ２側に押圧する。

【００５１】その後、クランプシリンダ１３がシリンダ
ロッド１４を伸ばして、図１３に示すようにクランプロ
ーラ２を後退させる。このとき、固定ローラ側サポート
ロッド４１，４２がウエハ５を図中左方向に押圧してい
るため、ウエハ５がクランプローラ２にならって図中左
方向に移動し、固定ローラ３，４の保持部材３Ａ，４Ａ
との連れを解消する。ウエハ５は、クランプローラ２に
連れられて図中左方向に移動すると、クランプローラ２
の保持部材２Ａにひっついたエッジ部の両側がクランプ
ローラ側サポートロッド２０，２１に接触する。クラン
プローラ側サポートロッド２０，２１は、クランプロー
ラ２に対して停止しているので、ウエハ５の移動を制限
し、ウエハ５をクランプローラ２から引き離す。これに
より、ウエハ５は搬出位置に位置決めされる。

【００５２】そして、サポートシリンダ２２，５１のシ
リンダロッド２３，５２を伸ばして、クランプローラ側
サポートロッド２０，２１と固定ローラ側サポートロッ
ド４１，４２を後退させ、図示しないロボットハンドで
ウエハ５を搬出する。

【００５３】従って、第２実施の形態のアライナ装置に
よれば、固定ローラ側サポートロッド４１，４２は、ク
ランプローラ２が前進して固定ローラ３，４の間で支持
されたウエハ５に当接すると、ウエハ５を固定ローラ
３，４から引き離す方向に押圧し、その後にクランプロ
ーラ２が後退してウエハ５の支持を解除するときに、ウ
エハ５を押圧して固定ローラ３，４から引き離すので、
ウエハ５と固定ローラ３，４との付着を解除して、ウエ
ハを確実に搬出することができる。

【００５４】また、図示しないロボットハンドがウエハ
５を所定の搬入位置に搬入すると、クランプローラ２が
前進して固定ローラ３，４との間でウエハ５を支持する
ことによりウエハ５を加工位置に位置合わせし、その後
に、クランプローラ２が後退してウエハ５の支持を解除
するときに、固定ローラ側サポートロッド４１，４２が
ウエハ５を押圧してクランプローラ２の後退する方向に
移動させることによりクランプローラ側サポートロッド
２０，２１に当接させ、ウエハ５を搬出位置に位置合わ
せするので、ウエハ５を確実に搬出することができると
ともに、ウエハ５をクランプローラ側サポートロッド２
０，２１や固定ローラ側サポートロッド４１，４２に擦
り合わせることなく加工位置又は搬出位置に位置合わせ
して塵芥等の発生を抑制することができる。特に、クラ
ンプローラ側サポートロッド２０，２１と固定ローラ側
サポートロッド４１，４２が対向配置されているので、
ウエハ５を加工位置や搬出位置に位置合わせする際に回
転させず、塵芥等の発生を効率的に抑制できる。尚、ウ
エハ５の搬入位置、加工位置、搬出位置は、一致してい
てもよいし、異なっていてもよい。

【００５５】また、固定ローラ側サポートロッド４１，
４２は、ウエハ５を搬入するときや、クランプローラ２
が固定ローラ３，４との間でウエハ５を押さえ付けると
き等には、ウエハ５から離れており、ウエハ５の位置合
わせを行うときだけウエハ５に当接してウエハ５を固定
ローラ３，４から引き離す方向に押圧するため、ウエハ
５の搬入等の邪魔にならない。

【００５６】さらに、サポートシリンダ５１が固定ロー
ラ側サポートロッド４１，４２でウエハ５を押圧すると
きに、圧縮ばね６２がサポートシリンダ５１の駆動力を
吸収するので、固定ローラ側サポートロッド４１，４２
でウエハ５を適度に押圧することができる。

【００５７】（第３実施の形態）続いて、本発明のアラ
イナ装置の第３実施の形態について図面を参照して説明
する。図１４は、アライナ装置７０の平面図である。本
実施の形態のアライナ装置７０は、メインプレート７１
にウエハ５の外縁部に沿ってクランプローラ（「クラン
プ部材」、「可動式クランプ部材」に相当するもの。）
７２と固定ローラ（「クランプ部材」に相当するも
の。）７３，７４を配設している。固定ローラ７３，７
４は、メインプレート７１の定位置に回転可能に軸支さ
れ、クランプローラ７１は、固定ローラ７３，７４の中
心を結ぶ線分の２等分線上に直線往復運動可能に設けら
れている。すなわち、メインプレート７１には、固定ロ
ーラ７３，７４の中心を結ぶ線分の２等分線に沿ってス
リット７１ａが長く形成され、クランプローラ７２を回
転可能に軸支する図示しないスピンドルが摺動可能に挿
通されている。図示しないスピンドルは、図示しない駆
動手段に連結され、駆動手段の駆動力によりクランプロ
ーラ７２をスリット７１ａに沿って移動させるととも
に、クランプローラ７２を介してウエハ５にクランプ荷
重を加えることができるようになっている。また、固定
ローラ７３，７４の中心を結ぶ線分の２等分線上には、
ウエハ５の加工中心位置が設けられている。

【００５８】メインプレート７１には、クランプローラ
７２の両側にクランプローラ側サポートロッド７５，７
６が直線往復運動可能に設けられ、さらに、固定ローラ
７３，７４側にクランプローラ側サポートロッド（「搬
出位置決め部材」、「係止部材」に相当するもの。）７
５，７６と対向するように固定ローラ側サポートロッド
７７，７８（「搬出位置決め部材」、「押圧部材」に相
当するもの。）が直線往復運動可能に設けられている。

【００５９】メインプレート７１には、クランプローラ
７２の両側にスリット７１ｂがスリット７１ａと平行に
形成され、クランプローラ側サポートロッド７５，７６
が摺動可能に挿通されている。サポートロッド７５，７
６は、メインプレート７１の下面に設けられた図示しな
い移動ユニットに連結し、移動ユニットによりスリット
７１ｂに沿ってクランプローラ２と同一方向に直線往復
運動するよう構成されている。

【００６０】また、メインプレート７１には、固定ロー
ラ７３，７４側にスリット７１ｂがクランプローラ７２
側のスリット７１ｂと同一方向に形成され、固定ローラ
側サポートロッド７７，７８が摺動可能に挿通されてい
る。固定ローラ側サポートロッド７７，７８は、メイン
プレート７１の下面に設けられた図示しない移動ユニッ
トに連結し、移動ユニットによりスリット７１ｂに沿っ
て固定ローラ側サポートロッド７７，７８を直線往復運
動させるよう構成されている。

【００６１】こうしたアライナ装置７０は、次のように
動作する。図１５は、アライナ装置７０の動作説明図で
ある。図示しないロボットハンドがウエハ５をクランプ
ローラ７２と固定ローラ７３，７４の間に載置すると、
図１５（ａ）に示すように、クランプローラ２を図示し
ない駆動手段で前進させてウエハ５のエッジ部に当接さ
せ、さらに固定ローラ３，４との間でクランプ荷重を加
えることによりウエハ５を加工位置に位置合わせする。
それから、所要の加工をウエハ５に行う。

【００６２】所要の加工が終了したら、図１５（ｂ）に
示すように、クランプローラ７２を駆動手段で後退させ
る。それから、図１５（ｃ）に示すように、サポートロ
ッド７５，７６を第１移動ユニットで加工位置にあるウ
エハ５のエッジ部から僅かに離れた位置まで前進させる
とともに、サポートロッド７７，７８を第２移動ユニッ
トで前進させて図中二点鎖線で示す加工位置にあるウエ
ハ５のエッジ部に当接させ、さらに前進させてウエハ５
をクランプローラ７２側に押圧して移動させる。サポー
トロッド７５，７６は、ウエハ５をウエハ搬出位置に位
置合わせしうる位置で停止しているため、ウエハ５のエ
ッジ部に当接して移動を制限すると同時にウエハ５を図
中実線で示すウエハ搬出位置に位置合わせする。それか
ら、 図１５（ｄ）に示すように、サポートロッド７５
〜７７を一斉に後退させ、図示しないロボットハンドで
ウエハ５を搬出する。

【００６３】従って、本実施の形態のアライナ装置７０
によれば、メインプレート７１にスリット７１ａ，７１
ｂを形成して、クランプローラ７２と固定ローラ側サポ
ートロッド７７，７８を直線往復運動させるようにした
ので、第１，第２実施の形態のアライナ装置１，４０の
可動プレート６や支持ブロック５８等を削減して部品点
数を減らし、装置のコンパクト化及び軽量化を図ること
ができる。また、ウエハ５の加工位置と搬出位置とが一
致しないときでも加工を終えたウエハ５を回転させるこ
となく搬出位置に位置合わせするので、ウエハ５のエッ
ジ部を固定ローラ側サポートロッド４１，４２に擦り合
わせるなどしてウエハ５を破損させることなく、確実に
加工位置から搬出位置にずらすことができる。

【００６４】（第４実施の形態）続いて、本発明のアラ
イナ装置に第４実施の形態について図面を参照して説明
する。図１６は、アライナ装置８０の平面図である。本
実施の形態のアライナ装置８０は、サポートロッド８２
〜８４をウエハ５を搬出するウエハ搬出中心位置に向か
って進退させている点で、第３実施の形態のアライナ装
置７０と相違する。よって、ここでは、第３実施の形態
のアライナ装置７０と相違する点について詳細に説明す
る。尚、第３実施の形態のアライナ装置７０と同様の構
造については同じ符号を用いて説明する。

【００６５】アライナ装置８０は、メインプレート８１
にウエハ５の加工中心位置を中心としてクランプローラ
７２と固定ローラ７３，７４が円周方向に等間隔に配設
されている。メインプレート８１には、クランプローラ
７２と固定ローラ７３，７４の間にスリット８１ａが１
２０度の位相差をもってウエハ５の搬出中心位置に向か
って放射線状に長く形成され、そのスリット８１ａにサ
ポートロッド（「搬出位置決め部材」、「係止部材」又
は「押圧部材」に相当するもの。）８２〜８４が摺動可
能に挿通されている。サポートロッド８２〜８４は、メ
インプレート８１の下面に設けられた図示しない移動ユ
ニットに連結し、移動ユニットによりスリット８１ａ内
を直線往復運動するよう構成されている。

【００６６】こうしたアライナ装置８０は、クランプロ
ーラ７２を前進させると、ウエハ５を加工位置に位置合
わせし、クランプローラ７２を後退させた後にサポート
ロッド８２〜８４を前進させると、サポートロッド８２
〜８４がウエハ５を押圧して搬出位置に移動させるの
で、第１〜第３実施の形態のアライナ装置１，４０より
ウエハ５とサポートロッド８２〜８４とが接触する箇所
を減らし、ウエハ５を搬出位置に位置合わせするときに
塵芥等の発生を抑制することができる。

【００６７】（第５実施の形態）続いて、本発明のアラ
イナ装置の第５実施の形態について図面を参照して説明
する。図１７は、アライナ装置９０の平面図である。図
１８は、アライナ装置９０の要部側面図である。図１９
は、サポートロッド９５（９６，９７）の先端部を示す
図である。本実施の形態のアライナ装置９０は、ウエハ
５の加工中心位置を中心とする同一円周上に３つのクラ
ンプローラ（「クランプ部材」、「可動式クランプ部
材」に相当するもの。）９２，９３，９４を直線往復運
動可能に設けている点で、１個のクランプローラ２，７
２のみを直線往復運動可能に設けた上記実施の形態と相
違している。

【００６８】メインプレート９１には、スリット９１ａ
が１２０度の位相差をもってウエハ５の加工位置の中心
部に向けて放射線状に長く形成され、クランプローラ９
２〜９４のスピンドル９２ａ〜９４ａがスリット９１ａ
に摺動可能に挿通されている。スピンドル９ａ〜９４ａ
の上端部には、回転自在に取り付けられた大径のウエハ
載置部９２ｂ〜９４ｂと、同載置部９２ｂ〜９４ｂと同
心上に立設する小径のウエハ接触部９２ｃ〜９４ｃとを
備えている。また、スピンドル９２ａ〜９４ａの下端部
には、メインプレート９１の下面に設けられた図示しな
い駆動手段が連結され、駆動手段によりスリット９１ａ
に沿ってクランプローラ９２〜９４を直線往復運動させ
るよう構成されている。

【００６９】クランプローラ９２〜９４の間には、サポ
ートロッド９５〜９７が直線往復運動可能に設けられて
いる。メインプレート９１には、スリット９１ｂがスリ
ット９１ａの中間位置に１２０度の位相差をもって、ウ
エハ５の搬出位置の中心部に向けて放射線状に長く形成
され、そのスリット９１ｂにサポートロッド（「搬出位
置決め部材」、「係止部材」又は「押圧部材」に相当す
るもの。）９５〜９７がそれぞれ摺動可能に挿通されて
いる。ここで、ウエハ５の搬出位置は、ウエハ５の加工
位置から僅かにずれた位置に設定してもよいし、加工位
置と同じ位置に設定してもよい。サポートロッド９５〜
９７の上端部には、円筒形状のピン部材９５ａ〜９７ａ
が取り付けられ、図１９に示すようにウエハ５のエッジ
部に点接触又は線接触するようにしている。一方、サポ
ートロッド９５〜９７の下端部にはメインプレート９の
下面に設けられた図示しない移動ユニットが連結し、移
動ユニットによりサポートロッド９５〜９７をスリット
９１ｂに沿って直線往復運動させるよう構成されてい
る。

【００７０】次に、本実施の形態のアライナ装置９０の
動作について説明する。アライナ装置９０は、ウエハ５
を搬入されていない初期状態では、図示しない駆動手段
と移動ユニットとが停止し、クランプローラ９２〜９４
及びサポートロッド９５〜９７は後退している。

【００７１】後退したクランプローラ９２〜９４とサポ
ートロッド９５〜９７は、ウエハ５の径より大きな径の
円周上に予め決められた待機位置にあるため、図示しな
いロボットハンドでクランプローラ９２〜９４の載置部
９２ｂ〜９４ｂにウエハ５を載置して搬入しても、ウエ
ハ５はクランプローラ９２〜９４のウエハ接触部９２ｃ
〜９４ｃ及びサポートロッド９５〜９７に接触しない。
ウエハ５を搬入したことを確認すると、図示しない駆動
手段がクランプローラ９２〜９４を前進させ、全てのウ
エハ接触部９２ｃ〜９４ｃをウエハ５のエッジ部に当接
させる。このとき、たとえウエハ５の搬入位置と加工位
置とにずれがあっても、クランプローラ９２〜９４のウ
エハ接触部９２ｃ〜９４ｃの一部がウエハ５を押して、
ウエハ５を搬入位置から加工位置に移動させる。

【００７２】そして、ウエハ５に所要の加工を施し、そ
の後に、サポートロッド９５〜９７でウエハ５を加工位
置から搬出位置に移動させて位置合わせし、図示しない
ロボットハンドでウエハ５を搬出する。ウエハ５を加工
位置から搬出位置に移動させる手順としては、例えば図
２０、図２１に示すようなものが考えられる。

【００７３】すなわち、例えば、図２０（ａ）では、ウ
エハ５の加工終了時におけるクランプローラ９２〜９４
とサポートロッド９５〜９７の位置関係を示しており、
クランプローラ９２〜９４のウエハ接触部９２ｃ〜９４
ｃは、何れもウエハ５のエッジ部に接触してウエハ５を
クランプしているが、サポートロッド９５〜９７は、何
れも後退してウエハ５のエッジ部に当接していない。

【００７４】その後、図２０（ｂ）に示すように、クラ
ンプローラ９２〜９４が図示しない駆動手段により後退
して初期位置に復帰する。このとき、ウエハ５のエッジ
部がクランプローラ９２〜９４の何れか１つにひっつい
て移動し、図２０（ｃ）の点線で示す位置にずれること
がある。この場合、クランプローラ９２〜９４の載置部
９２ｂ〜９４ｂには、ウエハ５の僅かな動きによっては
ウエハ５を脱落させない十分な面積が確保されているた
め、ウエハ５はクランプローラ９２〜９４の載置部９２
ｂ〜９４ｂから落下しない。それから、サポートロッド
９５〜９７が図示しない移動ユニットにより前進して２
点鎖線で示す加工位置にあるウエハ５のエッジ部に当接
し、さらにウエハ５のエッジ部を進行方向に押圧して実
線で示す搬出位置までウエハ５を移動させる。これによ
り、ウエハ５の中心が搬出位置の中心と一致し、位置決
めを完了する。その後、図２０（ｄ）に示すように、サ
ポートロッド９５〜９７を図示しない移動ユニットによ
り後退させ、図示しないロボットハンドで搬出する。

【００７５】また、図２０に示す手順の別例である図２
１（ａ）では、クランプローラ９２〜９４を前進させて
ウエハ５を加工位置に位置決めする。ウエハ５の加工を
終了した時点では、クランプローラ９２〜９４のウエハ
接触部９２ｃ〜９４ｃは、何れもウエハ５のエッジ部に
接触してウエハ５をクランプしているが、サポートロッ
ド９５〜９７は初期位置に後退しており、ウエハ５のエ
ッジ部に接触していない。

【００７６】それから、図２１（ｂ）に示すように、ク
ランプローラ９２〜９４でウエハ５をクランプしたまま
サポートロッド９５〜９７を図示しない移動ユニットに
よりウエハ５の搬出位置に向けて前進させ、ウエハ５の
エッジ部に接触させる。そして、図２１（ｃ）に示すよ
うに、クランプローラ９２〜９４を図示しない駆動手段
で後退させるが、このとき、サポートロッド９５〜９７
がウエハ５のエッジ部に当接してウエハ５の移動を制限
するため、ウエハ５はクランプローラ９２〜９４の後退
に伴って移動せず、クランプされた位置にある。この状
態で、図２１（ｄ）に示すように、サポートロッド９５
〜９７を図示しない移動ユニットで後退させ、ウエハ５
のエッジ部から離間させ、図示しないロボットハンドで
ウエハ５を搬出する。

【００７７】ここで、仮にウエハ５の加工位置と搬出位
置とが異なる場合には、図２１の操作ではウエハ５をウ
エハ搬出位置に位置決めしたとはいえず、図示しないロ
ボットハンドでウエハ５を搬出するときに、ウエハ５が
ロボットハンドから落下する恐れがある。そこで、この
ような場合には、サポートロッド９５〜９７を所定の弾
力をもって常にウエハ５を搬出位置の中心に向かって付
勢するよう構成することが望ましい。なぜなら、サポー
トロッド９５〜９７に付勢力を与えておくとともに、サ
ポートロッド９５〜９７の前進距離を一定にしておけ
ば、図２１（ｃ）に示すように、クランプローラ９２〜
９４が後退するときに、サポートロッド９４〜９７の付
勢力によりウエハ５を必要な方向に押し出して移動させ
て、そのバランスがとれたところでウエハ５を搬出位置
に位置決めすることができるからである。

【００７８】従って、本実施の形態のアライナ装置９０
によれば、全てのクランプローラ０２〜９４を直進往復
運動可能に設けたことにより、サポートロッド９５〜９
７の直進往復運動と絡めて位置合わせ手順を多様化し、
ウエハ５の加工位置と搬出位置とが一致する場合でも、
異なる場合でも、ウエハ５を搬出位置に位置合わせして
図示しないロボットハンドでウエハ５を確実に且つ円滑
に搬出することができる。また、クランプローラ９２〜
９４に載置部９２ｂ〜９４ｃと接触部９２ｃ〜９４ｃを
設けるとともに、サポートロッド９５〜９７の先端部に
円筒形状のピン部材９５ａ〜９７ａを設け、クランプロ
ーラ９２〜９４とサポートロッド９５〜９７がウエハ５
に点接触又は線接触するようにしたので、接触面積を小
さくして塵芥等の発生を抑制することができる。

【００７９】（第６実施の形態）続いて、本発明のアラ
イナ装置の第６実施の形態について図面を参照して説明
する。図２２は、サポートロッド９５〜９７の先端部の
側面図である。図２３、図２４は、動作説明図である。
本実施の形態のアライナ装置９８は、第５実施の形態の
ピン部材９２ａ〜９４ａの形状に関するものであり、主
な構造は第５実施の形態のものと共通する。よって、こ
こでは、第５実施の形態と異なる点について詳細に説明
する。尚、第５実施の形態と同様の構造については同一
符号を用いる。

【００８０】アライナ装置９８のサポートロッド９５〜
９７では、円錐台形状のピン部材９９を取り付けられて
いる。そのため、本実施の形態のアライナ装置９８で
は、例えば、ウエハ５の加工が終了した時点では、図２
３（ａ）に示すように、ウエハ５はクランプローラ９２
〜９４でクランプされた状態にある。ウエハ５の加工が
終了すると、図２３（ｂ）に示すように、クランプロー
ラ９２〜９４が後退してウエハ５のエッジ部から離間す
る。この移動が完了すると、図２３（ｃ）に示すよう
に、サポートロッド９５〜９７がウエハ５の搬出位置に
向けて前進してウエハ５のエッジ部に接触し、さらに前
進してウエハ５を押圧する。このとき、クランプローラ
９２〜９４の何れかの前進量がその前の前進量と僅かに
異なっている場合には、先端部６７の傾斜面によりウエ
ハ５との接触位置を上下に変位させてウエハ５の中心を
搬出位置に位置決めする。そして、図２３（ｄ）に示す
ように、サポートロッド９５〜９７でウエハ５を搬出位
置に位置決めした状態で図示しないロボットハンドでウ
エハ５を上方へ持ち上げて搬出する。このとき、ピン部
材９９が円錐台形状をもつため、ウエハ５はピン部材６
８の間を何ら干渉することなく移動することができる。
そして、図２３の（ｅ）に示すように、サポートロッド
９５〜９７を後退させて初期位置に復帰させる。

【００８１】また、例えば、図２３に示す手順の別例で
ある図２４（ａ）では、クランプローラ９２〜９４を前
進させてウエハ５を加工位置に位置決めした状態で、図
２４（ｂ）に示すようにサポートロッド９５〜９７を前
進させてウエハ５のエッジ部に接触させる。ここで、ウ
エハ５の加工位置と搬出位置とが一致しない場合には、
サポートロッド９５〜９７にウエハ５を押し出す方向の
付勢力を与えるようにしておくのが望ましい。

【００８２】それから、図２４（ｃ）に示すように、ク
ランプローラ９２〜９４を後退させ、図２４（ｄ）に示
すようにサポートロッド９５〜９７でウエハ５を搬出位
置に位置合わせした状態で図示しないロボットハンドで
ウエハ５を持ち上げて搬出する。ウエハ５の搬出が完了
したら、図２４（ｅ）に示すように、サポートロッド９
５〜９７を後退させて初期位置に復帰させる。

【００８３】従って、本実施の形態のアライナ装置９０
によれば、クランプローラ９２〜９４の前進量に誤差を
生じた場合でも、ウエハ５のエッジ部をピン部材９９の
傾斜面に沿って変位させてウエハ５の中心位置を矯正す
るので、常にウエハ５を搬出位置に位置合わせすること
ができる。また、サポートロッド９５〜９７でウエハ５
を位置合わせした状態でウエハ５を図示しないロボット
ハンドで搬出することができるので、ウエハ５の搬出時
間を短縮することができる。

【００８４】以上、本発明に係るアライナ装置の一実施
の形態について説明したが、本発明はこれに限定される
わけではなく、その趣旨を逸脱しない範囲で様々な変更
が可能である。

【００８５】（１）例えば、上記実施の形態では、サポ
ートロッド２０，２１を水平方向に直線往復運動するよ
うに設けた。それに対し、サポートロッド２０，２１を
定位置に固定するようにしてもよい。また、サポートロ
ッド２０，２１を垂直方向に直線往復運動するように設
け、クランプローラ２が後退する際に可動プレート６上
に突出させるようにしてもよい。

【００８６】（２）例えば、上記実施の形態では、サポ
ートロッド２０，２１の移動量を設定するためのストッ
パボルト２６をサポートブロック２４に取り付けた。そ
れに対しストッパボルト２６をサポートストッパ２５に
取り付けるようにしてもよい。

【００８７】（３）例えば、上記実施の形態では、バッ
ファロッド１６の先端を係止部１２のストッパボルト１
９に突き当てて、クランプシリンダ１３の伸び方向の出
力をクランプローラ２に直接的に伝達するようにした。
それに対し、バッファロッド１６に脚部１１のクランプ
シリンダ１３側の側面に当接する当接部材を設け、シリ
ンダロッド１６の伸び方向の出力をクランプローラ２に
直接的に伝達するようにしてもよい。

【００８８】（４）例えば、上記実施の形態では、第
１，第２駆動手段としてサポートシリンダ２２，クラン
プシリンダ１３を使用した。それに対し、電動モータ等
を使用してもよい。

【００８９】（５）上記第３実施の形態では、クランプ
ローラ側のサポートロッド７５，７６に付勢力を与えて
いない。それに対して、クランプローラ側のサポートロ
ッド７５，７６にも所定の付勢力を与え、付勢力を有す
る固定ローラ側のサポートロッド７７，７８との間でウ
エハ５を位置合わせするようにしてもよい。これによ
り、クランプローラ側のサポートロッド７５，７６と固
定ローラ側のサポートロッド７７，７８による４点支持
が確実となり、付勢力のバランスがとれた位置を搬出位
置にすることにより位置決め精度を向上させることがで
きる。

【００９０】（６）例えば、上記実施の形態では、クラ
ンプローラ２，７２，９２〜９４と固定ローラ３，４，
７３，７４からなるウエハ５を支持するためのローラを
３個設けたが、４個以上であってもよい。

【００９１】（７）例えば、上記実施の形態では、クラ
ンプ部材としてクランプローラ２，７２，９２〜９４、
固定ローラ３，４，７３，７４を用いた。それに対し
て、ウエハ５のエッジ部を保持するガイドプレートなど
のガイド部材を直線往復運動可能に設けたり、固定位置
に設けるようにしてもよい。

【００９２】（８）上記第５実施の形態では、ピン部材
９２ａ〜９４ａを円筒形状に形成し、また、第６実施の
形態では、ピン部材９９を円錐台形状に形成した。それ
に対して、図２５に示すように、クランプローラ側サポ
ートロッド２０及び固定ローラ側サポートロッド４１，
４２の先端部６６を鼓形状に形成してもよい。この場
合、ウエハ５のエッジ部分に先端部６６が接触しようと
するときにウエハ５が傾斜していても、クランプローラ
側サポートロッド２０及び固定ローラ側サポートロッド
４１，４２の押付方向の動きに伴ってウエハ５の傾斜を
矯正して水平にすることができるとともに、水平なウエ
ハ５に接触したときに、軸芯方向に形成された上下テー
パ面の２点によりウエハ５のエッジ部を支持して、ウエ
ハ５をクランプすることができる。また、ピン部材は、
サポートロッドの先端部に回動可能に取り付けることに
よりウエハ５が回転するのと一緒に回動するようにし、
ウエハ５との摩擦を少なくするようにしてもよい。

【００９３】

【発明の効果】本発明のアライナ装置は、ウエハを加工
位置に位置決めする２以上のクランプ部材と、クランプ
部材の間に配設されてウエハを搬出位置に位置決めする
少なくとも３以上の搬出位置決め部材とを有し、クラン
プ部材の少なくとも１つが、ウエハの加工位置に向かっ
て進退可能に設けられるとともに、搬出位置決め部材の
少なくとも１つが、ウエハの搬出位置に向かって進退可
能に設けられているので、ウエハを確実に搬出すること
ができる。

【００９４】また、本発明のアライナ装置は、ローラが
直線往復運動可能に設けられた可動式クランプ部材を含
み、可動式クランプ部材の両側に配設され、ウエハの移
動を制限する係止部材を有するので、可動式クランプ部
材が後退する際にウエハの位置ずれを防止することがで
きる。

【００９５】また、本発明のアライナ装置は、ローラが
直線往復運動可能に設けられた可動式クランプ部材を含
み、可動式クランプ部材を前進させてローラの間で支持
されたウエハをローラから引き離す方向に押圧する押圧
部材を有するので、可動式クランプローラが後退すると
きにウエハとローラとの付着を解除して、ウエハを確実
に搬出することができる。

【００９６】また、本発明のアライナ装置は、ローラが
直線往復運動可能に設けられた可動式クランプ部材を含
み、可動式クランプ部材の両側に配置され、搬出位置で
ウエハの移動を制限する係止部材と、可動式クランプ部
材が後退してウエハの支持を解除するときに、ウエハを
係止部材に当接させるようにウエハを押圧する押圧部材
とを有するので、ウエハを確実に搬出することができる
とともに、ウエハを係止部材や押圧部材などに擦り合わ
せることなく加工位置又は搬出位置に位置合わせして塵
芥等の発生を抑制することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の第１実施の形態において、クランプロ
ーラ及びサポートロッドが後退した状態のアライナ装置
の平面図である。

【図２】同じく、図１をＡ方向から見た図である。

【図３】同じく、図１をＢ方向から見た図である。

【図４】同じく、クランプローラが前進した状態で、サ
ポートロッドが後退した状態のアライナ装置の平面図で
ある。

【図５】同じく、クランプローラ及びサポートロッドが
前進した状態のアライナ装置の平面図である。

【図６】同じく、クランプローラが後退した状態で、サ
ポートロッドが前進した状態のアライナ装置の平面図で
ある。

【図７】本発明の第２実施の形態において、クランプロ
ーラ、クランプローラ側サポートロッド及び固定ローラ
側サポートロッドが後退した状態のアライナ装置の平面
図である。

【図８】同じく、図７をＣ方向から見た図である。

【図９】同じく、固定ローラ側のサポートロッドを動作
させる第２移動ユニットの側面図である。

【図１０】同じく、固定ローラ側のサポートロッドを動
作させる第２移動ユニットの平面図である。

【図１１】同じく、クランプローラが前進した状態で、
クランプローラ側サポートロッド及び固定ローラ側サポ
ートロッドが後退した状態のアライナ装置の平面図であ
る。

【図１２】同じく、クランプローラ、クランプローラ側
サポートロッド及び固定ローラ側サポートロッドが前進
した状態のアライナ装置の平面図である。

【図１３】同じく、クランプローラが後退した状態で、
クランプローラ側サポートロッド及び固定ローラ側サポ
ートロッドが前進した状態のアライナ装置の平面図であ
る。

【図１４】本発明の第３実施の形態において、アライナ
装置の平面図である。

【図１５】同じく、アライナ装置の動作説明図である。

【図１６】本発明の第４実施の形態において、アライナ
装置の平面図である。

【図１７】本発明の第５実施の形態において、アライナ
装置の平面図である。

【図１８】同じく、アライナ装置の要部側面図である。

【図１９】クランプローラ側サポートロッド（固定ロー
ラ側サポートロッド）の先端部を示す図である。

【図２０】同じく、アライナ装置の動作の一例を示す説
明図である。

【図２１】同じく、アライナ装置の動作の一例を示す説
明図である。

【図２２】本発明の第６実施の形態において、サポート
ロッドの先端部の側面図である。

【図２３】同じく、アライナ装置の動作の一例を示す説
明図である。

【図２４】同じく、アライナ装置の動作の一例を示す説
明図である。

【図２５】クランプローラ側サポートロッド（固定ロー
ラ側サポートロッド）の先端部の変更例である。

【図２６】従来から使用されているアライナ装置の側面
図である。

【符号の説明】

１，４０，７０，８０，９０、９８ アライナ装置 ２，７２，９２，９３，９４ クランプローラ ３，４，７３，７４ 固定ローラ ５ ウエハ ６ 可動プレート １１ 脚部 １３ クランプシリンダ １７ 圧縮ばね ２０，２１ サポートロッド ２２ サポートシリンダ ２４ サポートブロック ２５ サポートストッパ ２６ ストッパボルト ２７，２８ センサ ２９ エンコーダユニット ３０ 駆動ユニット

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 田貫 富和 神奈川県平塚市万田1200 株式会社小松製 作所研究本部内 (72)発明者 小山内 仁 神奈川県平塚市万田1200 株式会社小松製 作所研究本部内 Ｆターム(参考） 5F031 CA02 FA12 HA24 HA27 HA30 JA05 JA15 JA17 JA35 JA45 KA02 KA03 KA04 KA11 KA14 KA15 KA18 LA15 PA26

Claims (11)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 ウエハを加工位置に位置決めする２以上
   のクランプ部材と、前記クランプ部材の間に配設されて
   前記ウエハを搬出位置に位置決めする少なくとも３以上
   の搬出位置決め部材とを有し、 前記クランプ部材の少なくとも１つが、前記ウエハの加
   工位置に向かって進退可能に設けられるとともに、 前記搬出位置決め部材の少なくとも１つが、前記ウエハ
   の搬出位置に向かって進退可能に設けられることを特徴
   とするアライナ装置。
2. 【請求項２】 ウエハの外縁部を複数のクランプ部材に
   て少なくとも３箇所以上で支持することによりウエハの
   中心を一義的に定めて位置合わせを行うアライナ装置に
   おいて、 前記クランプ部材が直進往復可能に設けられた可動式ク
   ランプ部材を含み、 前記可動式クランプ部材の両側に配置され、前記ウエハ
   の移動を制限する係止部材を有することを特徴とするア
   ライナ装置。
3. 【請求項３】 ウエハの外縁部を複数のクランプ部材に
   て少なくとも３箇所以上で支持することによりウエハの
   中心を一義的に定めて位置合わせを行うアライナ装置に
   おいて、 前記クランプ部材が直線往復運動可能に設けられた可動
   式クランプ部材を含み、 前記可動式クランプ部材を前進させて前記クランプ部材
   の間で支持された前記ウエハを前記クランプ部材から引
   き離す方向に押圧する押圧部材を有することを特徴とす
   るアライナ装置。
4. 【請求項４】 搬送手段で搬入位置に搬入されたウエハ
   の外縁部を複数のクランプ部材にて少なくとも３箇所以
   上で支持することによりウエハを加工位置に位置合わせ
   し、加工終了後に前記ウエハを前記搬送手段で搬出する
   搬出位置に位置合わせするアライナ装置において、 前記クランプ部材が直線往復運動可能に設けられた可動
   式クランプ部材を含み、 前記可動式クランプ部材の両側に配置され、前記搬出位
   置で前記ウエハの移動を制限する係止部材と、 前記可動式クランプ部材が後退して前記ウエハの支持を
   解除するときに、前記ウエハを前記係止部材に当接させ
   るように前記ウエハを押圧する押圧部材とを有すること
   を特徴とするアライナ装置。
5. 【請求項５】 請求項２又は請求項４に記載するアライ
   ナ装置において、 前記係止部材を前記可動式クランプ部材と同一方向に直
   線往復運動させる第１移動ユニットを有することを特徴
   とするアライナ装置。
6. 【請求項６】 請求項５に記載するアライナ装置におい
   て、 前記第１移動ユニットは、前記係止部材が立設された支
   持ブロックを第１駆動手段により直線往復運動させるも
   のであって、前記支持ブロックに取り付けられた止め具
   を前記第１駆動手段側に固定された当接部材と当接させ
   て位置決めするようにしたものであることを特徴とする
   アライナ装置。
7. 【請求項７】 請求項１乃至請求項６の何れか１つに記
   載するアライナ装置において、 前記可動式クランプ部材を保持する可動プレートの脚部
   に連結する第２駆動手段が、所定方向の出力を前記脚部
   の反第２駆動手段側に配設される圧縮ばねを介して間接
   的に前記可動式クランプ部材に伝達する一方、前記所定
   方向と反対方向の出力を前記圧縮ばねを介さずに直接的
   に前記可動式クランプ部材に伝達することを特徴とする
   アライナ装置。
8. 【請求項８】 請求項３乃至請求項７の何れか１つに記
   載するアライナ装置において、 前記押圧部材を前記ウエハに対して当接又は離間する方
   向に直進往復運動させる第２移動ユニットを有すること
   を特徴とするアライナ装置。
9. 【請求項９】 請求項８に記載するアライナ装置におい
   て、 前記第２移動ユニットは、 前記押圧部材と一体的に移動するスライド部材と第３駆
   動手段の出力方向に従って移動可能な連結部材とを圧縮
   ばねを介して連結し、前記圧縮ばねは、前記第３駆動手
   段の所定方向の出力を前記連結部材から前記スライド部
   材に間接的に伝達する一方、前記第３駆動手段の所定方
   向と反対方向の出力を前記連結部材から前記スライド部
   材に直接的に伝達することを特徴とするアライナ装置。
10. 【請求項１０】 請求項１乃至請求項９の何れか１つに
    記載するアライナ装置において、 前記搬出位置決め部材、前記係止部材又は前記押圧部材
    は、前記ウエハと点接触又は線接触することを特徴とす
    るアライナ装置。
11. 【請求項１１】 請求項１乃至請求項１０の何れか１つ
    に記載するアライナ装置において、 前記クランプ部材は、前記ウエハの周縁の一部を載置す
    る載置部と、前記ウエハのエッジ部に点接触又は線接触
    する接触部とを有することを特徴とするアライナ装置。