JP2009272393A - ノッチを備えた半導体ウェハのための水中アライニング装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】
この水中アライニング装置は、半導体ウェハWの少なくとも一部が浸漬水中にある間は、鉛直方向Vを向いたウェハの平坦面Pに沿って半導体ウェハWを浸漬水槽11内に搬送する搬送装置5と、半導体ウェハWのノッチNが所定位置まで回転したことを光学的に検出するとともに付着した気泡を除去する気泡除去装置33を備えた光学式ノッチセンサ3、及び、ノッチセンサ3によるノッチ検出後に係合する係合爪41を備えた機械的ノッチ係合装置4とを備えている。
【選択図】 図1
Description
11 浸漬水槽
111 注入口
112 流出口
113 排出口
21 支持ローラ
211 回転軸
21p ローラプーリ
21q 駆動プーリ
22 支持ローラ
221 アーム固定軸
22p ローラプーリ
23 ローラアーム
231 縦溝
24 揺動駆動源
241 駆動アーム
242 揺動中心
243 揺動ピン
25 ベルト駆動装置
251 駆動ベルト
252 駆動プーリ
253 駆動ベルト
3 光学式ノッチセンサ
31 発受光装置
321、322 光ファイバセンサ
33 気泡除去装置
331 ノズル
4 機械的ノッチ係合装置
41 係合爪
411 軸棒
412 調整スリーブ
4121 ねじ部
4122 調整ナット
4123 水密用蛇腹
4124 フランジ
413 ブラケット
4131 取り付け穴
42 係合爪付勢装置
421 爪レバー
422 おもりレバー
43 係合センサ
44 調整おもり
441 板バネ
45 エアシリンダ
451 ピストンロッド
5 搬送装置
51 ハンド
52 搬送制御装置
6 制御装置
N ノッチ
P 平坦面
V 鉛直面
W 半導体ウェハ
Claims (7)
- 浸漬水を流入させるための注入口及び注入された浸漬水が予め定められた水位を超えたとき水面近傍から流出させるため流出口を備えた浸漬水槽、
上記浸漬水槽内の浸漬水中で、ノッチを備えた半導体ウェハを支持し、これを回転させる複数の支持ローラ、
上記支持ローラを回転させる駆動ベルト、
上記駆動ベルトを駆動するベルト駆動装置、
上記半導体ウェハの周縁部を望むようにして水中に配置され、前記周縁部に形成されたノッチがこの配置位置まで回転したとき、これを光学的に検出する光学式ノッチセンサ、
上記光学式ノッチセンサの光路を遮る気泡を除去する気泡除去装置、
機械的ノッチ係合装置であって、
上記ノッチに機械的に係合可能な係合爪、
上記半導体ウェハの周縁部に向けて上記係合爪を付勢することが可能であって、付勢状態と付勢解除状態とを切り換えることができる係合爪付勢装置、及び、
上記係合爪が上記ノッチに係合したとき、これを検出する係合センサ
を備えた機械的ノッチ係合装置、
上記半導体ウェハを上記支持ローラによる支持位置に搬入出するための搬送装置、及び、
制御装置であって、上記支持ローラに支持された半導体ウェハを回転させ、上記光学式ノッチセンサが上記ノッチを検出したとき、上記係合爪付勢装置を付勢状態に切り換え、上記半導体ウェハの更なる回転によって上記係合爪が上記ノッチに係合したことが上記係合センサによって検出されたとき、上記ベルト駆動装置を停止させるように制御する制御装置
を備えていることを特徴とするノッチを備えた半導体ウェハのための水中アライニング装置。 - 請求項1に記載されたノッチを備えた半導体ウェハのための水中アライニング装置において、
上記気泡除去装置は、上記光学式ノッチセンサの光路に向けて水を噴出するためのノズルを備えていること
を特徴とするノッチを備えた半導体ウェハのための水中アライニング装置。 - 請求項2に記載されたノッチを備えた半導体ウェハのための水中アライニング装置において、
上記光学式ノッチセンサは、一端が浸漬水槽外に設置された発受光装置に結合され、他端が互いに向き合って上記半導体ウェハの周縁部を望むように配置された一対の光ファイバセンサを備えていること
を特徴とするノッチを備えた半導体ウェハのための水中アライニング装置。 - 請求項3に記載されたノッチを備えた半導体ウェハのための水中アライニング装置において、
上記制御装置は、上記係合爪付勢装置を付勢状態に切り換えたとき、上記半導体ウェハの回転速度を第1速度からこれより低速の第2速度へと切り換えることが可能であること
を特徴とするノッチを備えた半導体ウェハのための水中アライニング装置。 - 請求項4に記載されたノッチを備えた半導体ウェハのための水中アライニング装置において、
上記係合爪は、上記半導体ウェハの回転軸方向に沿って同じ断面輪郭形状を有しており、上記ノッチとの接触位置をこの方向に沿って変更することが可能であること
を特徴とするノッチを備えた半導体ウェハのための水中アライニング装置。 - 請求項5に記載されたノッチを備えた半導体ウェハのための水中アライニング装置において、
上記複数の支持ローラの内の一部の支持ローラは、上記半導体ウェハの搬送路上に在り、上記搬送装置が上記半導体ウェハを搬送するとき、この搬送路から退避位置に一時的に退避するものであって、これにより、上記半導体ウェハが正面方向の大きい浸漬水の抵抗を受けることなく、その平坦面に沿って搬送することを可能とするものであること
を特徴とするノッチを備えた半導体ウェハのための水中アライニング装置。 - 請求項6に記載されたノッチを備えた半導体ウェハのための水中アライニング装置において、
上記支持ローラは、上記半導体ウェハをその平坦面が実質的に鉛直となる状態で支持するものであること
を特徴とするノッチを備えた半導体ウェハのための水中アライニング装置。
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