JPH05218179A - ノッチ付ウエハの位置検出装置 - Google Patents
ノッチ付ウエハの位置検出装置Info
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- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims abstract description 20
- 238000012544 monitoring process Methods 0.000 claims description 3
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 abstract description 10
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 description 68
- 238000005070 sampling Methods 0.000 description 21
- 238000000034 method Methods 0.000 description 13
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 7
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 5
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 2
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 1
- 230000010355 oscillation Effects 0.000 description 1
- 229920002120 photoresistant polymer Polymers 0.000 description 1
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- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/68—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for positioning, orientation or alignment
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- G01—MEASURING; TESTING
- G01D—MEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
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- G01D5/26—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light
- G01D5/32—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with attenuation or whole or partial obturation of beams of light
- G01D5/34—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with attenuation or whole or partial obturation of beams of light the beams of light being detected by photocells
- G01D5/342—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with attenuation or whole or partial obturation of beams of light the beams of light being detected by photocells the sensed object being the obturating part
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 Ｖ字形のノッチが形成された半導体ウエハの
ノッチを迅速、かつ精度良く検出する。 【構成】 テーブルに保持された半導体ウエハをステッ
ピングモータ２で粗くステップ送りする。このとき、Ｃ
ＣＤラインセンサ３からの出力信号を比較器９1〜９5
に与える。ＣＰＵ１０は、比較器９1 〜９5 の出力信号
の変化を監視することにより、ウエハに形成されたノッ
チを検出する。ノッチ検出後、ウエハを細かくステップ
送りし、ノッチ領域の周辺位置データ（Ａ／Ｄ変換器８
の出力）をサンプリングしてＲＡＭ１１に記憶する。Ｃ
ＰＵ１０は、ＲＡＭ１１に記憶された周辺位置データに
基づき、ノッチ位置を算出する。
ノッチを迅速、かつ精度良く検出する。 【構成】 テーブルに保持された半導体ウエハをステッ
ピングモータ２で粗くステップ送りする。このとき、Ｃ
ＣＤラインセンサ３からの出力信号を比較器９1〜９5
に与える。ＣＰＵ１０は、比較器９1 〜９5 の出力信号
の変化を監視することにより、ウエハに形成されたノッ
チを検出する。ノッチ検出後、ウエハを細かくステップ
送りし、ノッチ領域の周辺位置データ（Ａ／Ｄ変換器８
の出力）をサンプリングしてＲＡＭ１１に記憶する。Ｃ
ＰＵ１０は、ＲＡＭ１１に記憶された周辺位置データに
基づき、ノッチ位置を算出する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、半導体ウエハの位置検
出装置に係り、特に、外周部にＶ字形のノッチが形成さ
れた半導体ウエハのノッチ位置を検出する装置に関す
る。
出装置に係り、特に、外周部にＶ字形のノッチが形成さ
れた半導体ウエハのノッチ位置を検出する装置に関す
る。
【０００２】
【従来の技術】従来、半導体ウエハの多くは、その周辺
端部を直線状に切り欠いたオリエンテーションフラット
と呼ばれる切り欠き部を利用して位置決めされている。
例えば、特開平３−７３５５３号公報に開示されたウエ
ハの位置検出装置は、次のようにしてオリエンテーショ
ンフラットの位置を検出している。まず、オリエンテー
ションフラットが形成されたウエハを回転駆動手段に載
置した状態で、ウエハを所定角度でステップ送りする。
ステップ送りが停止するごとに一次元イメージセンサで
ウエハの周辺位置データを順に取り込む。これらの周辺
位置データを各々のサンプリング点の変位角度に対応づ
けて記憶する。そして、記憶された周辺位置データ群の
中で最大（前記一次元イメージセンサにおいて、ウエハ
の半径方向外側の特定位置を起点として、対応するウエ
ハ周縁位置までの距離が最大）の周辺位置データをもつ
サンプリング点を挟む二つのサンプリング点を決定す
る。前記二つのサンプリング点の各々の変位角度と周辺
位置データとに基づき、回転中心からオリエンテーショ
ンフラットに下した垂線の、基準点からの変位角度を求
める。
端部を直線状に切り欠いたオリエンテーションフラット
と呼ばれる切り欠き部を利用して位置決めされている。
例えば、特開平３−７３５５３号公報に開示されたウエ
ハの位置検出装置は、次のようにしてオリエンテーショ
ンフラットの位置を検出している。まず、オリエンテー
ションフラットが形成されたウエハを回転駆動手段に載
置した状態で、ウエハを所定角度でステップ送りする。
ステップ送りが停止するごとに一次元イメージセンサで
ウエハの周辺位置データを順に取り込む。これらの周辺
位置データを各々のサンプリング点の変位角度に対応づ
けて記憶する。そして、記憶された周辺位置データ群の
中で最大（前記一次元イメージセンサにおいて、ウエハ
の半径方向外側の特定位置を起点として、対応するウエ
ハ周縁位置までの距離が最大）の周辺位置データをもつ
サンプリング点を挟む二つのサンプリング点を決定す
る。前記二つのサンプリング点の各々の変位角度と周辺
位置データとに基づき、回転中心からオリエンテーショ
ンフラットに下した垂線の、基準点からの変位角度を求
める。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、このよ
うな構成を有する従来例の場合には、次のような問題が
ある。最近、半導体ウエハの大型化に伴い、オリエンテ
ーションフラットに替えて、ウエハ周辺部にＶ字形のノ
ッチが形成された半導体ウエハが使用され始めている。
このノッチは、開き角度が略９０°で、その頂点からウ
エハ外周までの距離が１．０ｍｍ程度の小さなものであ
るので、上述した従来手法によってノッチ位置を検出し
ようとすると、ウエハのステップ送り角度を相当小さく
して多数のサンプリング点で周辺位置データを採取しな
ければならず、ノッチ検出に長時間を要するという問題
点がある。
うな構成を有する従来例の場合には、次のような問題が
ある。最近、半導体ウエハの大型化に伴い、オリエンテ
ーションフラットに替えて、ウエハ周辺部にＶ字形のノ
ッチが形成された半導体ウエハが使用され始めている。
このノッチは、開き角度が略９０°で、その頂点からウ
エハ外周までの距離が１．０ｍｍ程度の小さなものであ
るので、上述した従来手法によってノッチ位置を検出し
ようとすると、ウエハのステップ送り角度を相当小さく
して多数のサンプリング点で周辺位置データを採取しな
ければならず、ノッチ検出に長時間を要するという問題
点がある。
【０００４】本発明は、このような事情に鑑みてなされ
たものであって、Ｖ字形のノッチが形成された半導体ウ
エハのノッチ検出を迅速、かつ精度良く行うことができ
るノッチ付ウエハの位置検出装置を提供することを目的
としている。
たものであって、Ｖ字形のノッチが形成された半導体ウ
エハのノッチ検出を迅速、かつ精度良く行うことができ
るノッチ付ウエハの位置検出装置を提供することを目的
としている。
【０００５】
【課題を解決するための手段】本発明は、このような目
的を達成するために、次のような構成をとる。すなわ
ち、本発明は、外周部にノッチが形成されたウエハの位
置を検出する装置であって、ウエハを回転駆動するウエ
ハ回転駆動手段と、ウエハの周辺位置を検出する一次元
イメージセンサと、前記ウエハ回転駆動手段を予め定め
られた粗いピッチと細かいピッチと切替えてステップ送
りする回転駆動制御手段と、前記回転駆動制御手段がウ
エハ回転駆動手段を粗いピッチでステップ送りしている
ときに、前記一次元イメージセンサの出力変化を監視す
ることにより、ウエハのノッチを検出するノッチ検出手
段と、前記ノッチが検出されたことに基づき、前記回転
駆動制御手段がウエハ回転駆動手段を細かいピッチでス
テップ送りしているときに、前記一次元イメージセンサ
で検出されたノッチ領域の周辺位置データを記憶する記
憶手段と、前記一次元イメージセンサから前記記憶手段
に周辺位置データを取り込むタイミングを付与するデー
タ取り込みタイミング制御手段と、前記記憶手段に記憶
されたノッチ領域の周辺位置データに基づき、ノッチ位
置を算出するノッチ位置算出手段と、を備えたものであ
る。
的を達成するために、次のような構成をとる。すなわ
ち、本発明は、外周部にノッチが形成されたウエハの位
置を検出する装置であって、ウエハを回転駆動するウエ
ハ回転駆動手段と、ウエハの周辺位置を検出する一次元
イメージセンサと、前記ウエハ回転駆動手段を予め定め
られた粗いピッチと細かいピッチと切替えてステップ送
りする回転駆動制御手段と、前記回転駆動制御手段がウ
エハ回転駆動手段を粗いピッチでステップ送りしている
ときに、前記一次元イメージセンサの出力変化を監視す
ることにより、ウエハのノッチを検出するノッチ検出手
段と、前記ノッチが検出されたことに基づき、前記回転
駆動制御手段がウエハ回転駆動手段を細かいピッチでス
テップ送りしているときに、前記一次元イメージセンサ
で検出されたノッチ領域の周辺位置データを記憶する記
憶手段と、前記一次元イメージセンサから前記記憶手段
に周辺位置データを取り込むタイミングを付与するデー
タ取り込みタイミング制御手段と、前記記憶手段に記憶
されたノッチ領域の周辺位置データに基づき、ノッチ位
置を算出するノッチ位置算出手段と、を備えたものであ
る。
【０００６】
【作用】本発明の作用は次のとおりである。まず、回転
駆動制御手段は、ウエハ回転駆動手段を粗いピッチでス
テップ送りする。このステップ送りの間、ノッチ検出手
段は、一次元イメージセンサの出力変化を監視してい
る。ウエハに形成されたノッチが一次元イメージセンサ
を通過する際、前記センサの出力は固有の変化を呈す
る。ノッチ検出手段は、この変化を捉えることにより、
ノッチ部分が一次元イメージセンサに略対向する位置に
まで来たことを検出する。ノッチが検出されると、回転
駆動制御手段は、ウエハ回転駆動手段を細かいピッチで
ステップ送りする。データ取り込みタイミング制御手段
は、一次元イメージセンサでノッチ領域の周辺位置デー
タを細かくサンプリングするタイミングを付与する。こ
の周辺位置データは記憶手段に記憶される。ノッチ位置
算出手段は、前記記憶手段に記憶されたノッチ領域の周
辺位置データに基づき、ノッチ位置を算出する。
駆動制御手段は、ウエハ回転駆動手段を粗いピッチでス
テップ送りする。このステップ送りの間、ノッチ検出手
段は、一次元イメージセンサの出力変化を監視してい
る。ウエハに形成されたノッチが一次元イメージセンサ
を通過する際、前記センサの出力は固有の変化を呈す
る。ノッチ検出手段は、この変化を捉えることにより、
ノッチ部分が一次元イメージセンサに略対向する位置に
まで来たことを検出する。ノッチが検出されると、回転
駆動制御手段は、ウエハ回転駆動手段を細かいピッチで
ステップ送りする。データ取り込みタイミング制御手段
は、一次元イメージセンサでノッチ領域の周辺位置デー
タを細かくサンプリングするタイミングを付与する。こ
の周辺位置データは記憶手段に記憶される。ノッチ位置
算出手段は、前記記憶手段に記憶されたノッチ領域の周
辺位置データに基づき、ノッチ位置を算出する。
【０００７】
【実施例】以下、本発明の一実施例を図面を参照して説
明する。図１は、実施例に係るウエハの位置検出装置の
概略構成を示したブロック図、図２はウエハの回転駆動
部の正面図、図３はその平面図である。
明する。図１は、実施例に係るウエハの位置検出装置の
概略構成を示したブロック図、図２はウエハの回転駆動
部の正面図、図３はその平面図である。
【０００８】図２および図３において、符号Ｗは半導体
ウエハであり、その周辺部にウエハ位置決めの基準とな
るＶ字形のノッチＮが形成されている。１は、ウエハＷ
を吸着保持するテーブルであり、このテーブル１はウエ
ハ回転駆動手段としてのステッピングモータ２によって
正逆回転駆動される。３は、ウエハＷの周辺位置を検出
する一次元イメージセンサとしてのＣＣＤラインセンサ
であり、このＣＣＤラインセンサ３の上方に周辺位置検
出用の光源４および光学系５が設けられている。
ウエハであり、その周辺部にウエハ位置決めの基準とな
るＶ字形のノッチＮが形成されている。１は、ウエハＷ
を吸着保持するテーブルであり、このテーブル１はウエ
ハ回転駆動手段としてのステッピングモータ２によって
正逆回転駆動される。３は、ウエハＷの周辺位置を検出
する一次元イメージセンサとしてのＣＣＤラインセンサ
であり、このＣＣＤラインセンサ３の上方に周辺位置検
出用の光源４および光学系５が設けられている。
【０００９】図１を参照する。ＣＣＤラインセンサ３は
ＣＣＤ駆動回路６によって、ステッピングモータ２の回
転とは無関係（非同期）に連続的にウエハＷの周辺位置
を検出しており、その検出信号は信号処理回路７に逐次
与えられる。ＣＣＤラインセンサ３からの検出信号に基
づき、信号処理回路７は光源４からの照射光を受光した
ＣＣＤラインセンサ３の画素数に比例したアナログ信号
を出力する。このアナログ信号はＡ／Ｄ変換器８および
比較器９1 〜９5 に与えられる。ＣＰＵ１０は、Ａ／Ｄ
変換器８にデータ取り込みタイミング信号ａを与え、こ
のタイミング信号ａに基づいて前記入力アナログ信号が
デジタル信号に変換される。このデジタル信号は、ウエ
ハＷの周辺位置データとしてＣＰＵ１０を介してＲＡＭ
１１に記憶される。
ＣＣＤ駆動回路６によって、ステッピングモータ２の回
転とは無関係（非同期）に連続的にウエハＷの周辺位置
を検出しており、その検出信号は信号処理回路７に逐次
与えられる。ＣＣＤラインセンサ３からの検出信号に基
づき、信号処理回路７は光源４からの照射光を受光した
ＣＣＤラインセンサ３の画素数に比例したアナログ信号
を出力する。このアナログ信号はＡ／Ｄ変換器８および
比較器９1 〜９5 に与えられる。ＣＰＵ１０は、Ａ／Ｄ
変換器８にデータ取り込みタイミング信号ａを与え、こ
のタイミング信号ａに基づいて前記入力アナログ信号が
デジタル信号に変換される。このデジタル信号は、ウエ
ハＷの周辺位置データとしてＣＰＵ１０を介してＲＡＭ
１１に記憶される。
【００１０】比較器９1 〜９5 は、電圧ＶREF を分圧し
て得られたそれぞれ固有の基準電圧を一方入力として与
えられており、各基準電圧と信号処理回路７からのアナ
ログ信号とを比較することにより、ウエハＷの周縁がＣ
ＣＤラインセンサ３のどの領域に位置しているかを検出
するためのものである。すなわち、図４に示すように、
ＣＣＤラインセンサ３の受光領域を例えば、５つの領域
Ａ1 〜Ａ5 に仮想的に分割し、ウエハＷの周縁が領域Ａ
1 に位置していれば、比較器９1 が『Ｈ』レベルの信号
を出力し、領域Ａ2 に位置していれば、比較器９1 ，９
2 がともに『Ｈ』レベルの信号を出力するというように
なっている。
て得られたそれぞれ固有の基準電圧を一方入力として与
えられており、各基準電圧と信号処理回路７からのアナ
ログ信号とを比較することにより、ウエハＷの周縁がＣ
ＣＤラインセンサ３のどの領域に位置しているかを検出
するためのものである。すなわち、図４に示すように、
ＣＣＤラインセンサ３の受光領域を例えば、５つの領域
Ａ1 〜Ａ5 に仮想的に分割し、ウエハＷの周縁が領域Ａ
1 に位置していれば、比較器９1 が『Ｈ』レベルの信号
を出力し、領域Ａ2 に位置していれば、比較器９1 ，９
2 がともに『Ｈ』レベルの信号を出力するというように
なっている。
【００１１】ノッチＮがＣＣＤラインセンサ３を横切る
とき、比較器９1 〜９5 の出力信号ｍは固有の変化を呈
するので、この変化を捉えることにより、ノッチＮを検
出することができる。後に詳述するように、ＣＰＵ１０
は、ウエハＷのステップ送り中に複数回にわたって各比
較器９1 〜９5 にストローブ信号ｂを出力することによ
って、各時点で比較器９1 〜９5 の出力信号ｍを読み取
り、これらの出力信号ｍに基づいて、ウエハＷのノッチ
ＮがＣＣＤラインセンサ３を横切ったかどうかを判断す
る。したがって、比較器９1 〜９5 およびＣＰＵ１０
は、本発明におけるノッチ検出手段に相当する。
とき、比較器９1 〜９5 の出力信号ｍは固有の変化を呈
するので、この変化を捉えることにより、ノッチＮを検
出することができる。後に詳述するように、ＣＰＵ１０
は、ウエハＷのステップ送り中に複数回にわたって各比
較器９1 〜９5 にストローブ信号ｂを出力することによ
って、各時点で比較器９1 〜９5 の出力信号ｍを読み取
り、これらの出力信号ｍに基づいて、ウエハＷのノッチ
ＮがＣＣＤラインセンサ３を横切ったかどうかを判断す
る。したがって、比較器９1 〜９5 およびＣＰＵ１０
は、本発明におけるノッチ検出手段に相当する。
【００１２】なお、本発明におけるノッチ検出手段は、
例えば、前記Ａ／Ｄ変換器８のデジタル信号を演算処理
（例えば、ＣＣＤラインセンサ３から出力されるＣＣＤ
ラインセンサ３の画素数に比例したアナログ信号をＡ／
Ｄ変換器８がデジタル変換した信号を、ＣＰＵがあるデ
ジタル値以上であるか以下であるか判別するようなソフ
ト的手法）のようにＣＰＵにその機能を受け持たせても
よく、ノッチ検出手段は、比較的９1 〜９5 に限定され
るものではない。
例えば、前記Ａ／Ｄ変換器８のデジタル信号を演算処理
（例えば、ＣＣＤラインセンサ３から出力されるＣＣＤ
ラインセンサ３の画素数に比例したアナログ信号をＡ／
Ｄ変換器８がデジタル変換した信号を、ＣＰＵがあるデ
ジタル値以上であるか以下であるか判別するようなソフ
ト的手法）のようにＣＰＵにその機能を受け持たせても
よく、ノッチ検出手段は、比較的９1 〜９5 に限定され
るものではない。
【００１３】ＣＰＵ１０、パルス発生回路１２およびカ
ウンタ１３は、ステッピングモータ２のステップ送りを
制御する回転駆動制御手段に相当する。パルス発生回路
１２は、ＣＰＵ１０から回転方向制御信号とともに与え
られた回転数データｃに基づき、モータ駆動回路１４に
所要個数のパルス信号を出力する。また、パルス発生回
路１２は、モータ駆動回路１４へ出力したパルス数を計
数する図示しない内部カウンタを備え、ＣＰＵ１０から
のラッチ信号ｄを与えられることにより、前記内部カウ
ンタの計数値をラッチする。前記計数値、すなわち、ス
テップ送り開始からラッチ信号入力時点までに出力した
パルスの個数（以下、積算パルスデータという）ｅはＣ
ＰＵ１０に与えられる。カウンタ１３は、ＣＰＵ１０か
ら前記回転数データｃをプリセットされるプログラマブ
ルカウンタで、パルス発生回路１２から回転数データｃ
に対応した個数のパルス信号が出力されたときに、カウ
ントアップ信号ｆをＣＰＵ１０に出力する。
ウンタ１３は、ステッピングモータ２のステップ送りを
制御する回転駆動制御手段に相当する。パルス発生回路
１２は、ＣＰＵ１０から回転方向制御信号とともに与え
られた回転数データｃに基づき、モータ駆動回路１４に
所要個数のパルス信号を出力する。また、パルス発生回
路１２は、モータ駆動回路１４へ出力したパルス数を計
数する図示しない内部カウンタを備え、ＣＰＵ１０から
のラッチ信号ｄを与えられることにより、前記内部カウ
ンタの計数値をラッチする。前記計数値、すなわち、ス
テップ送り開始からラッチ信号入力時点までに出力した
パルスの個数（以下、積算パルスデータという）ｅはＣ
ＰＵ１０に与えられる。カウンタ１３は、ＣＰＵ１０か
ら前記回転数データｃをプリセットされるプログラマブ
ルカウンタで、パルス発生回路１２から回転数データｃ
に対応した個数のパルス信号が出力されたときに、カウ
ントアップ信号ｆをＣＰＵ１０に出力する。
【００１４】また、ＣＰＵ１０は、上記した如く、一次
元イメージセンサから周辺位置データを取り込むタイミ
ングを付与するデータ取り込みタイミング制御手段とし
ての機能のほか、記憶手段としてのＲＡＭ１１に記憶さ
れた周辺位置データに基づいて、ウエハＷのノッチ位置
を算出するノッチ位置算出手段としての機能も備えてお
り、この機能については、後述する動作説明において詳
述する。
元イメージセンサから周辺位置データを取り込むタイミ
ングを付与するデータ取り込みタイミング制御手段とし
ての機能のほか、記憶手段としてのＲＡＭ１１に記憶さ
れた周辺位置データに基づいて、ウエハＷのノッチ位置
を算出するノッチ位置算出手段としての機能も備えてお
り、この機能については、後述する動作説明において詳
述する。
【００１５】次に、図５に示したフローチャートを参照
して、本実施例装置の動作を説明する。テーブル１にウ
エハＷがセットされると、ＣＰＵ１０はＡ／Ｄ変換器８
に対して、周辺位置データの取り込みタイミング信号ａ
を出力する。これにより、θアドレスが０°のサンプリ
ング点、すなわち、ＣＣＤラインセンサ３に最初に対向
していた点の周辺位置データがＣＰＵ１０を介してＲＡ
Ｍ１１に記憶される（ステップＳ１）。
して、本実施例装置の動作を説明する。テーブル１にウ
エハＷがセットされると、ＣＰＵ１０はＡ／Ｄ変換器８
に対して、周辺位置データの取り込みタイミング信号ａ
を出力する。これにより、θアドレスが０°のサンプリ
ング点、すなわち、ＣＣＤラインセンサ３に最初に対向
していた点の周辺位置データがＣＰＵ１０を介してＲＡ
Ｍ１１に記憶される（ステップＳ１）。
【００１６】最初の周辺位置データが取り込まれると、
ＣＰＵ１０は、パルス発生回路１２に対して、ウエハＷ
を粗いピッチでステップ送りするための回転数データｃ
を回転方向制御信号とともに与える。ここでは、例えば
９°のステップ送り角度に対応した『５００パルス』の
回転数データｃが与えられる。この回転数データｃは、
カウンタ１３にも与えられプリセットされる。これによ
りパルス発生回路１２から回転数データｃに対応した個
数のパルス信号が出力されて、ステッピングモータ２が
駆動される結果、ウエハＷが粗いピッチでステップ送り
される（ステップＳ２）。
ＣＰＵ１０は、パルス発生回路１２に対して、ウエハＷ
を粗いピッチでステップ送りするための回転数データｃ
を回転方向制御信号とともに与える。ここでは、例えば
９°のステップ送り角度に対応した『５００パルス』の
回転数データｃが与えられる。この回転数データｃは、
カウンタ１３にも与えられプリセットされる。これによ
りパルス発生回路１２から回転数データｃに対応した個
数のパルス信号が出力されて、ステッピングモータ２が
駆動される結果、ウエハＷが粗いピッチでステップ送り
される（ステップＳ２）。
【００１７】ウエハＷが粗いピッチでステップ送りされ
ている間、ＣＰＵ１０は所定時間ごと（例えば、１ｍse
c ごと）に割り込み処理を行って、比較器９1 〜９5 の
出力を取り込んでノッチＮの有無を検出し、ノッチＮが
検出された場合には、その近辺の周辺位置データを細か
くサンプリングし、その結果に基づいてノッチＮの位置
を算出する（ステップＳ３）。以下、図６に示したフロ
ーチャートを参照して、この処理の手順を詳しく説明す
る。
ている間、ＣＰＵ１０は所定時間ごと（例えば、１ｍse
c ごと）に割り込み処理を行って、比較器９1 〜９5 の
出力を取り込んでノッチＮの有無を検出し、ノッチＮが
検出された場合には、その近辺の周辺位置データを細か
くサンプリングし、その結果に基づいてノッチＮの位置
を算出する（ステップＳ３）。以下、図６に示したフロ
ーチャートを参照して、この処理の手順を詳しく説明す
る。
【００１８】ＣＰＵ１０は、逐次取り込んだ比較器９1
〜９5 の出力信号ｍ（ｍ1 ，ｍ2 ，ｍ3 ，…）を内部レ
ジスタＲ（Ｒ１，Ｒ２，…）に順にセットする（ステッ
プＳ３１）。ここでは、最初に取り込まれた出力信号ｍ
1 が内部レジスタＲ１にセットされ、次に取り込まれた
出力信号ｍ2 が内部レジスタＲ２にセットされる。そし
て、内部レジスタＲ１にセットされたデータ〔Ｒ１〕
と、内部レジスタＲ２にセットされたデータ〔Ｒ２〕の
大小を比較する（ステップＳ３２）。データ〔Ｒ２〕が
データ〔Ｒ１〕よりも大きい場合は、次のステップＳ３
３に進み、レジスタＲ３にセットされたデータ〔Ｒ３〕
（すなわち、出力信号ｍ3 ）と、前記データ〔Ｒ２〕
（出力信号ｍ2 ）の大小を比較し、データ〔Ｒ３〕がデ
ータ〔Ｒ２〕よりも小さい場合には、ノッチＮが検出さ
れたものとして、ステップＳ３７に進む。
〜９5 の出力信号ｍ（ｍ1 ，ｍ2 ，ｍ3 ，…）を内部レ
ジスタＲ（Ｒ１，Ｒ２，…）に順にセットする（ステッ
プＳ３１）。ここでは、最初に取り込まれた出力信号ｍ
1 が内部レジスタＲ１にセットされ、次に取り込まれた
出力信号ｍ2 が内部レジスタＲ２にセットされる。そし
て、内部レジスタＲ１にセットされたデータ〔Ｒ１〕
と、内部レジスタＲ２にセットされたデータ〔Ｒ２〕の
大小を比較する（ステップＳ３２）。データ〔Ｒ２〕が
データ〔Ｒ１〕よりも大きい場合は、次のステップＳ３
３に進み、レジスタＲ３にセットされたデータ〔Ｒ３〕
（すなわち、出力信号ｍ3 ）と、前記データ〔Ｒ２〕
（出力信号ｍ2 ）の大小を比較し、データ〔Ｒ３〕がデ
ータ〔Ｒ２〕よりも小さい場合には、ノッチＮが検出さ
れたものとして、ステップＳ３７に進む。
【００１９】図７を参照して、ステップＳ３２，Ｓ３３
のノッチ検出処理を具体的に説明する。図７中のＰ1 ，
Ｐ2 ，Ｐ3 ，…は、ＣＰＵ１０が比較器９1 〜９5 の出
力信号ｍを割り込み処理によって取り込むタイミングを
示しており、ｍ1 ，ｍ2 ，ｍ3 ，…が各タイミング
Ｐ1 ，Ｐ2 ，Ｐ3 ，…でＣＰＵ１０に取り込まれた比較
器９1 〜９5 の出力信号に相当している。ノッチＮがＣ
ＣＤラインセンサ３を横切るとき、比較器９1 〜９5 の
出力信号ｍは、ｍ2 ＞ｍ1 、ｍ3 ＜ｍ2 の関係を満たす
ように変化する。したがって、上述のように、内部レジ
スタＲ１，Ｒ２，Ｒ３の内容を比較することにより、ノ
ッチＮを検出することができる。
のノッチ検出処理を具体的に説明する。図７中のＰ1 ，
Ｐ2 ，Ｐ3 ，…は、ＣＰＵ１０が比較器９1 〜９5 の出
力信号ｍを割り込み処理によって取り込むタイミングを
示しており、ｍ1 ，ｍ2 ，ｍ3 ，…が各タイミング
Ｐ1 ，Ｐ2 ，Ｐ3 ，…でＣＰＵ１０に取り込まれた比較
器９1 〜９5 の出力信号に相当している。ノッチＮがＣ
ＣＤラインセンサ３を横切るとき、比較器９1 〜９5 の
出力信号ｍは、ｍ2 ＞ｍ1 、ｍ3 ＜ｍ2 の関係を満たす
ように変化する。したがって、上述のように、内部レジ
スタＲ１，Ｒ２，Ｒ３の内容を比較することにより、ノ
ッチＮを検出することができる。
【００２０】ステップＳ３２で、〔Ｒ２〕＞〔Ｒ１〕の
関係を満足しない場合は、ステップＳ３４に進み、レジ
スタＲ２のデータ〔Ｒ２〕（出力信号ｍ2 ）をレジスタ
Ｒ１にセットする。そして、ステップＳ３２に戻り、次
に取り込まれた出力信号ｍ3をレジスタＲ２にセットし
て、データ〔Ｒ１〕とデータ〔Ｒ２〕の大小の比較を繰
り返し行う。
関係を満足しない場合は、ステップＳ３４に進み、レジ
スタＲ２のデータ〔Ｒ２〕（出力信号ｍ2 ）をレジスタ
Ｒ１にセットする。そして、ステップＳ３２に戻り、次
に取り込まれた出力信号ｍ3をレジスタＲ２にセットし
て、データ〔Ｒ１〕とデータ〔Ｒ２〕の大小の比較を繰
り返し行う。
【００２１】ステップＳ３３で、〔Ｒ３〕＜〔Ｒ２〕の
関係を満足しない場合は、ステップＳ３５に進み、レジ
スタＲ４にセットされたデータ〔Ｒ４〕（出力信号
ｍ4 ）とレジスタＲ３のデータ〔Ｒ３〕（出力信号
ｍ3 ）の大小関係を判断する。データ〔Ｒ４〕がデータ
〔Ｒ３〕よりも小さい場合には、ノッチＮが検出された
ものとして、ステップＳ３７に進む。
関係を満足しない場合は、ステップＳ３５に進み、レジ
スタＲ４にセットされたデータ〔Ｒ４〕（出力信号
ｍ4 ）とレジスタＲ３のデータ〔Ｒ３〕（出力信号
ｍ3 ）の大小関係を判断する。データ〔Ｒ４〕がデータ
〔Ｒ３〕よりも小さい場合には、ノッチＮが検出された
ものとして、ステップＳ３７に進む。
【００２２】図８を参照して、ステップＳ３５における
ノッチ検出処理を具体的に説明する。比較器９1 〜９5
の出力信号ｍの取り込みタイミングによっては、図８に
示すように、ｍ2 ＞ｍ1 、ｍ3 ＞ｍ2 となる場合もあ
る。このような場合、出力信号ｍ3 とｍ4 の大小関係を
判断し、ｍ4 ＜ｍ3 であれば、ノッチＮがＣＣＤライン
センサ３を横切ったことになる。そこで、上述のように
ステップＳ３３で、〔Ｒ3 〕＜〔Ｒ2 〕の関係を満たさ
ない場合は、更にステップＳ３５で、データ〔Ｒ4 〕と
〔Ｒ3 〕の大小関係を判断しているのである。
ノッチ検出処理を具体的に説明する。比較器９1 〜９5
の出力信号ｍの取り込みタイミングによっては、図８に
示すように、ｍ2 ＞ｍ1 、ｍ3 ＞ｍ2 となる場合もあ
る。このような場合、出力信号ｍ3 とｍ4 の大小関係を
判断し、ｍ4 ＜ｍ3 であれば、ノッチＮがＣＣＤライン
センサ３を横切ったことになる。そこで、上述のように
ステップＳ３３で、〔Ｒ3 〕＜〔Ｒ2 〕の関係を満たさ
ない場合は、更にステップＳ３５で、データ〔Ｒ4 〕と
〔Ｒ3 〕の大小関係を判断しているのである。
【００２３】ステップＳ３５で、〔Ｒ4 〕＜〔Ｒ3 〕の
関係を満足しない場合（例えば、ウエハＷが偏心してテ
ーブル１の中心からずれて載置されている場合で、ノッ
チＮが検出されていない場合）は、ステップＳ３６に進
み、レジスタＲ４のデータ〔Ｒ4 〕（出力信号ｍ4 ）を
レジスタＲ１にセットする。そして、ステップＳ３２に
戻り、次に取り込まれた出力信号ｍ5 をレジスタＲ２に
セットして、データ〔Ｒ１〕とデータ〔Ｒ２〕の大小の
比較を繰り返し行う。
関係を満足しない場合（例えば、ウエハＷが偏心してテ
ーブル１の中心からずれて載置されている場合で、ノッ
チＮが検出されていない場合）は、ステップＳ３６に進
み、レジスタＲ４のデータ〔Ｒ4 〕（出力信号ｍ4 ）を
レジスタＲ１にセットする。そして、ステップＳ３２に
戻り、次に取り込まれた出力信号ｍ5 をレジスタＲ２に
セットして、データ〔Ｒ１〕とデータ〔Ｒ２〕の大小の
比較を繰り返し行う。
【００２４】ノッチＮを検出すると、ステップＳ３７に
おいて、ＣＰＵ１０はパルス発生回路１２にラッチ信号
ｄを出力する。これにより、パルス発生回路１２は、設
定されたパルス数に対し、発振開始からラッチ信号ｄを
入力するまでの積算パルスデータｅを内部回路にラッチ
し、これをＣＰＵ１０に送る（ステップＳ３８ａ）。Ｃ
ＰＵ１０は、ラッチ信号ｄを出力した後、回転数データ
ｃの出力を一時的に中止する。これにより、パルス発生
回路１２は、当該粗ステップ送りのパルス（ここでは、
５００個のパルス）を出力した後、パルスの出力を停止
するので、ウエハＷの粗ステップ送りが中断される（ス
テップＳ３８ｂ）。図９はこの様子を示している。すな
わち、図中、θi は粗ステップ送りの開始位置、Ｐ0 は
ノッチＮを検出した位置（前記ステップＳ３７に移行し
たタイミングに相当する）、θi+ 1 は粗ステップ送りを
中断した位置である。
おいて、ＣＰＵ１０はパルス発生回路１２にラッチ信号
ｄを出力する。これにより、パルス発生回路１２は、設
定されたパルス数に対し、発振開始からラッチ信号ｄを
入力するまでの積算パルスデータｅを内部回路にラッチ
し、これをＣＰＵ１０に送る（ステップＳ３８ａ）。Ｃ
ＰＵ１０は、ラッチ信号ｄを出力した後、回転数データ
ｃの出力を一時的に中止する。これにより、パルス発生
回路１２は、当該粗ステップ送りのパルス（ここでは、
５００個のパルス）を出力した後、パルスの出力を停止
するので、ウエハＷの粗ステップ送りが中断される（ス
テップＳ３８ｂ）。図９はこの様子を示している。すな
わち、図中、θi は粗ステップ送りの開始位置、Ｐ0 は
ノッチＮを検出した位置（前記ステップＳ３７に移行し
たタイミングに相当する）、θi+ 1 は粗ステップ送りを
中断した位置である。
【００２５】このようにステップＳ３７から、ステップ
Ｓ３８ａとステップＳ３８ｂの一連の動作により、粗ス
テップ送り停止位置が、粗ステップ送り時の慣性のため
に、ノッチＮを検出した位置Ｐ0 から不安定にずれて
も、本実施例では、後述する積算パルスデータｅを利用
することで、ノッチ検出位置Ｐ0 へ正確に停止すること
ができる。粗ステップ送りが中断されると、ＣＰＵ１０
はパルス発生回路１２に、粗ステップ送りのパルス数か
ら積算パルスデータｅを差し引いた回転数データ（５０
０−ｅ）を、逆方向に回転させる回転方向制御信号とと
もに与える。これにより、ウエハＷが逆回転して、ノッ
チＮを検出した位置Ｐ0 で停止する（ステップＳ３
９）。
Ｓ３８ａとステップＳ３８ｂの一連の動作により、粗ス
テップ送り停止位置が、粗ステップ送り時の慣性のため
に、ノッチＮを検出した位置Ｐ0 から不安定にずれて
も、本実施例では、後述する積算パルスデータｅを利用
することで、ノッチ検出位置Ｐ0 へ正確に停止すること
ができる。粗ステップ送りが中断されると、ＣＰＵ１０
はパルス発生回路１２に、粗ステップ送りのパルス数か
ら積算パルスデータｅを差し引いた回転数データ（５０
０−ｅ）を、逆方向に回転させる回転方向制御信号とと
もに与える。これにより、ウエハＷが逆回転して、ノッ
チＮを検出した位置Ｐ0 で停止する（ステップＳ３
９）。
【００２６】その後、ＣＰＵ１０は、パルス発生回路１
２に予め定められた微小回転数データ（本実施例では、
１４パルス）を設定し、ウエハＷを逆回転方向に細かく
ステップ送りしながら、各ステップ送り位置での周辺位
置データをサンプリングして、ＲＡＭ１１に記憶する
（ステップＳ４０）。図９中の、符号ｎ1 ，ｎ2 ，…，
ｎ10は、前記ノッチ位置検出のために細かく設定された
サンプリング位置を示しており、Ｄ1 〜Ｄ10は各サンプ
リング位置ｎ1 〜ｎ10で採取されたウエハＷのノッチ領
域の周辺位置データに対応している。
２に予め定められた微小回転数データ（本実施例では、
１４パルス）を設定し、ウエハＷを逆回転方向に細かく
ステップ送りしながら、各ステップ送り位置での周辺位
置データをサンプリングして、ＲＡＭ１１に記憶する
（ステップＳ４０）。図９中の、符号ｎ1 ，ｎ2 ，…，
ｎ10は、前記ノッチ位置検出のために細かく設定された
サンプリング位置を示しており、Ｄ1 〜Ｄ10は各サンプ
リング位置ｎ1 〜ｎ10で採取されたウエハＷのノッチ領
域の周辺位置データに対応している。
【００２７】予め定められた個数の周辺位置データＤ1
〜Ｄ10を採取し終わると、ＣＰＵ１０は、ＲＡＭ１１に
記憶したこれらの周辺位置データから、次のようにして
ノッチ位置を算出する（ステップＳ４１）。以下、図１
０を参照して説明する。図１０は、サンプリング位置ｎ
1 を原点として、縦軸に周辺位置データを割り当て、横
軸に各サンプリング位置を割り当てている。以下、この
グラフ上にプロットされた各点をサンプリング点と呼
び、その座標をＮi （ｘi ，ｙi ）で表す。
〜Ｄ10を採取し終わると、ＣＰＵ１０は、ＲＡＭ１１に
記憶したこれらの周辺位置データから、次のようにして
ノッチ位置を算出する（ステップＳ４１）。以下、図１
０を参照して説明する。図１０は、サンプリング位置ｎ
1 を原点として、縦軸に周辺位置データを割り当て、横
軸に各サンプリング位置を割り当てている。以下、この
グラフ上にプロットされた各点をサンプリング点と呼
び、その座標をＮi （ｘi ，ｙi ）で表す。
【００２８】ＣＰＵ１０は、隣接するサンプリング点の
周辺位置データの差分、すなわち、Δｙ＝ｙi −ｙi-1
を順に算出し、最大ΔｙMAX （正の最大差分）と最小Δ
ｙMI N （負の最大差分）となる隣接するサンプリング点
をそれぞれ求める。変位量が同じである場合には、ｉの
大きい方のサンプリング点を選択する。
周辺位置データの差分、すなわち、Δｙ＝ｙi −ｙi-1
を順に算出し、最大ΔｙMAX （正の最大差分）と最小Δ
ｙMI N （負の最大差分）となる隣接するサンプリング点
をそれぞれ求める。変位量が同じである場合には、ｉの
大きい方のサンプリング点を選択する。
【００２９】ΔｙMAX となる二つのサンプリング点
Ｎn ，Ｎn-1 を通る直線を求めると、この直線は“数
１”によって表される。
Ｎn ，Ｎn-1 を通る直線を求めると、この直線は“数
１”によって表される。
【００３０】
【数１】
【００３１】“数１”において、『０．４４』は、隣接
するサンプリング位置間の距離をｍｍ単位で示してい
る。
するサンプリング位置間の距離をｍｍ単位で示してい
る。
【００３２】同様に、ΔｙMIN となる二つのサンプリン
グ点Ｎm-1 ，Ｎm を通る直線を求めと、この直線は“数
２”によって表される。
グ点Ｎm-1 ，Ｎm を通る直線を求めと、この直線は“数
２”によって表される。
【００３３】
【数２】
【００３４】次に、“数１”，“数２”で表された二つ
の直線の交点を求めると、そのｘ座標は“数３”によっ
て表される。この交点をノッチＮの頂点の位置とみな
す。
の直線の交点を求めると、そのｘ座標は“数３”によっ
て表される。この交点をノッチＮの頂点の位置とみな
す。
【００３５】
【数３】
【００３６】上述のようにして求められたノッチＮの座
標ｘC を、ノッチ検出位置Ｐ0 （図１０の座標の原点）
を基準とした移動パルス数ＰC に変換する。本実施例で
は、ウエハＷの１回転が２００００パルスに相当し、ウ
エハＷの半径ｒが１００ｍｍであるので、移動パルスＰ
C は“数４”によって表される。
標ｘC を、ノッチ検出位置Ｐ0 （図１０の座標の原点）
を基準とした移動パルス数ＰC に変換する。本実施例で
は、ウエハＷの１回転が２００００パルスに相当し、ウ
エハＷの半径ｒが１００ｍｍであるので、移動パルスＰ
C は“数４”によって表される。
【００３７】
【数４】
【００３８】次に、ノッチ開始点とノッチ終了点を次の
ようにして求める。まず、二つのサンプリング点Ｎm+1
とＮm+2 を通る直線を“数５”によって求める。
ようにして求める。まず、二つのサンプリング点Ｎm+1
とＮm+2 を通る直線を“数５”によって求める。
【００３９】
【数５】
【００４０】“数５”で表された直線と、“数１”で表
された直線との交点が、ノッチ開始点であり、その位置
ｘS は“数６”で表される。
された直線との交点が、ノッチ開始点であり、その位置
ｘS は“数６”で表される。
【００４１】
【数６】
【００４２】また、“数５”で表された直線と、“数
２”で表された直線との交点が、ノッチ終了点であり、
その位置ｘE は“数７”で表される。
２”で表された直線との交点が、ノッチ終了点であり、
その位置ｘE は“数７”で表される。
【００４３】
【数７】
【００４４】“数６”，“数７”で求められた位置
ｘS ，ｘE を、ノッチ頂点からの移動パルス数ＰS ，Ｐ
E で表すと、“数８”，“数９”のようになる。
ｘS ，ｘE を、ノッチ頂点からの移動パルス数ＰS ，Ｐ
E で表すと、“数８”，“数９”のようになる。
【００４５】
【数８】
【００４６】
【数９】
【００４７】以上のようにして、図６に示したステップ
Ｓ４１で、ノッチＮの頂点、開始点、終了点を求める
と、ステップＳ４２に進み、ＣＰＵ１０は、パルス発生
回路１２に対して、粗ステップ送りのパルス数から積算
パルスデータｅを差し引いた回転数データ（５００−
ｅ）を、正方向に回転させる回転方向制御信号とともに
与える。これにより、ウエハＷが正方向に回転し、粗ス
テップ送りを中断した位置θi+1 （図９参照）へ戻る。
Ｓ４１で、ノッチＮの頂点、開始点、終了点を求める
と、ステップＳ４２に進み、ＣＰＵ１０は、パルス発生
回路１２に対して、粗ステップ送りのパルス数から積算
パルスデータｅを差し引いた回転数データ（５００−
ｅ）を、正方向に回転させる回転方向制御信号とともに
与える。これにより、ウエハＷが正方向に回転し、粗ス
テップ送りを中断した位置θi+1 （図９参照）へ戻る。
【００４８】上述したステップＳ３の割り込み処理が実
行されると、図５に示したメインのフローに戻る。すな
わち、ＣＰＵ１０は、粗ピッチのステップ送りを開始し
た後、カウンタ１３からのカウントアップ信号ｆを監視
し、この信号ｆを与えられることにより、ステッピング
モータ２が停止したものと判断する（ステップＳ４）。
そして、粗ピッチ送りの停止位置で、Ａ／Ｄ変換器８に
データ取り込みタイミング信号ａを与えることにより、
その位置における周辺位置データをＡ／Ｄ変換器８から
取り込んで、ＲＡＭ１１に記憶する。
行されると、図５に示したメインのフローに戻る。すな
わち、ＣＰＵ１０は、粗ピッチのステップ送りを開始し
た後、カウンタ１３からのカウントアップ信号ｆを監視
し、この信号ｆを与えられることにより、ステッピング
モータ２が停止したものと判断する（ステップＳ４）。
そして、粗ピッチ送りの停止位置で、Ａ／Ｄ変換器８に
データ取り込みタイミング信号ａを与えることにより、
その位置における周辺位置データをＡ／Ｄ変換器８から
取り込んで、ＲＡＭ１１に記憶する。
【００４９】次のステップＳ６で、全ての周辺位置デー
タの取り込み、すなわち、ウエハＷが１回転したかどう
かを判断し、データの取り囲みが完了していなければ、
ステップＳ２に戻り、上述した処理を繰り返す。
タの取り込み、すなわち、ウエハＷが１回転したかどう
かを判断し、データの取り囲みが完了していなければ、
ステップＳ２に戻り、上述した処理を繰り返す。
【００５０】全ての周辺位置データの取り込みが完了す
ると、ＣＰＵ１０はＲＡＭ１１から移動パルス数ＰC で
表されたノッチＮの頂点の位置データを読み出し、この
移動パルス数ＰC と、粗ステップ送り回数と、ノッチ検
出位置に対応した積算パルスデータｅとに基づき、ノッ
チＮを所定位置、例えばＣＣＤラインセンサ３に対応す
る位置に位置決めする（ステップＳ７）。具体的には、
ｉ回目からｉ＋１回目の粗ステップ送りの途中でノッチ
Ｎが検出された場合には、１０００×（ｉ＋１）−ｅ−
ＰC の回転数データをパルス発生回路１２に設定するこ
とにより、ノッチＮをＣＣＤラインセンサ３に対向する
位置に設定することができる。
ると、ＣＰＵ１０はＲＡＭ１１から移動パルス数ＰC で
表されたノッチＮの頂点の位置データを読み出し、この
移動パルス数ＰC と、粗ステップ送り回数と、ノッチ検
出位置に対応した積算パルスデータｅとに基づき、ノッ
チＮを所定位置、例えばＣＣＤラインセンサ３に対応す
る位置に位置決めする（ステップＳ７）。具体的には、
ｉ回目からｉ＋１回目の粗ステップ送りの途中でノッチ
Ｎが検出された場合には、１０００×（ｉ＋１）−ｅ−
ＰC の回転数データをパルス発生回路１２に設定するこ
とにより、ノッチＮをＣＣＤラインセンサ３に対向する
位置に設定することができる。
【００５１】なお、上述の実施例では、比較器９1 〜９
5 の出力変化を監視することによりノッチを検出するよ
うに構成したが、本発明におけるノッチ検出手段はこれ
に限定されない。例えば、粗いステップ送りごとに採取
されてＲＡＭ１１に記憶された周辺位置データの固有の
変化を捉えることにより、ノッチを検出するようにして
もよい。
5 の出力変化を監視することによりノッチを検出するよ
うに構成したが、本発明におけるノッチ検出手段はこれ
に限定されない。例えば、粗いステップ送りごとに採取
されてＲＡＭ１１に記憶された周辺位置データの固有の
変化を捉えることにより、ノッチを検出するようにして
もよい。
【００５２】また、実施例において、粗いステップ送り
によってウエハＷの全周囲の周辺位置データを取り込み
および記憶したのは次の理由による。例えば、フォトレ
ジストが塗布されたウエハＷの周辺部を光ビームで所定
幅で露光するような場合に、ウエハＷの回転に伴って露
光用光源をウエハＷの半径方向に変位させる必要があ
る。このような露光用光源の変位制御等にウエハＷの全
周囲の周辺位置データを利用しようとしたからである。
したがって、ウエハＷのノッチＮを検出する目的だけの
ためには、粗いステップ送りの際に周辺位置データを採
取する必要はなく、ノッチ検出後の細かなステップ送り
時にノッチ領域についてのみ周辺位置データを採取すれ
ば足りる。
によってウエハＷの全周囲の周辺位置データを取り込み
および記憶したのは次の理由による。例えば、フォトレ
ジストが塗布されたウエハＷの周辺部を光ビームで所定
幅で露光するような場合に、ウエハＷの回転に伴って露
光用光源をウエハＷの半径方向に変位させる必要があ
る。このような露光用光源の変位制御等にウエハＷの全
周囲の周辺位置データを利用しようとしたからである。
したがって、ウエハＷのノッチＮを検出する目的だけの
ためには、粗いステップ送りの際に周辺位置データを採
取する必要はなく、ノッチ検出後の細かなステップ送り
時にノッチ領域についてのみ周辺位置データを採取すれ
ば足りる。
【００５３】さらに、上述の実施例ではノッチＮの開始
点と終了点の位置も算出しているが、特にノッチＮの領
域を求める必要のない場合には、ノッチＮの頂点位置を
算出するだけでよいことは勿論である。
点と終了点の位置も算出しているが、特にノッチＮの領
域を求める必要のない場合には、ノッチＮの頂点位置を
算出するだけでよいことは勿論である。
【００５４】
【発明の効果】以上の説明から明らかなように、本発明
によれば、最初にウエハを粗いピッチでステップ送りす
ることによって、ウエハに形成されたノッチを検出し、
その後、ウエハを細かいピッチでステップ送りすること
により、ノッチ領域の周辺位置データを細かくサンプリ
ングし、その周辺位置データに基づいて、ノッチ位置を
算出しているので、従来装置のように、最初からウエハ
を細かくステップ送りすることにより、ウエハ全周囲の
多数の周辺位置データをサンプリングしてノッチ位置を
検出するものに比較して、ノッチ位置を迅速に検出する
ことができる。
によれば、最初にウエハを粗いピッチでステップ送りす
ることによって、ウエハに形成されたノッチを検出し、
その後、ウエハを細かいピッチでステップ送りすること
により、ノッチ領域の周辺位置データを細かくサンプリ
ングし、その周辺位置データに基づいて、ノッチ位置を
算出しているので、従来装置のように、最初からウエハ
を細かくステップ送りすることにより、ウエハ全周囲の
多数の周辺位置データをサンプリングしてノッチ位置を
検出するものに比較して、ノッチ位置を迅速に検出する
ことができる。
【００５５】また、本発明によれば、粗いステップ送り
でノッチ領域を迅速に検出しているので、ノッチ領域の
周辺位置データについては、相当細かくサンプリングす
る時間的余裕を持つことができ、それだけノッチ位置の
検出精度を高めることもできる。
でノッチ領域を迅速に検出しているので、ノッチ領域の
周辺位置データについては、相当細かくサンプリングす
る時間的余裕を持つことができ、それだけノッチ位置の
検出精度を高めることもできる。
【図１】本発明の一実施例に係るノッチ付ウエハの位置
検出装置の概略構成を示したブロック図である。
検出装置の概略構成を示したブロック図である。
【図２】実施例装置のウエハの回転駆動部の正面図であ
る。
る。
【図３】ウエハの回転駆動部の平面図である。
【図４】ＣＣＤラインセンサの分割領域の説明図であ
る。
る。
【図５】実施例装置の動作順序を示したメインフローチ
ャートである。
ャートである。
【図６】実施例装置のノッチ検出処理の詳細を示したフ
ローチャートである。
ローチャートである。
【図７】ノッチ検出処理に伴う割り込み処理のタイミン
グの一例を示した説明図である。
グの一例を示した説明図である。
【図８】ノッチ検出処理に伴う割り込み処理のタイミン
グのその他の例を示した説明図である。
グのその他の例を示した説明図である。
【図９】ノッチ領域の周辺位置データのサンプリング動
作を説明するための図である。
作を説明するための図である。
【図１０】ノッチ位置算出処理の説明図である。
Ｗ…ウエハ Ｎ…ノッチ １…テーブル ２…ステッピングモータ ３…ＣＣＤラインセンサ ４…光源 ５…光学系 ６…ＣＣＤ駆動回路 ７…信号処理回路 ８…Ａ／Ｄ変換器 ９1 〜９5 …比較器 １０…ＣＰＵ １１…ＲＡＭ １２…パルス発生回路 １３…カウンタ １４…モータ駆動回路
Claims (1)
- 【請求項１】 外周部にノッチが形成されたウエハの位
置を検出する装置であって、 ウエハを回転駆動するウエハ回転駆動手段と、 ウエハの周辺位置を検出する一次元イメージセンサと、 前記ウエハ回転駆動手段を予め定められた粗いピッチと
細かいピッチと切替えてステップ送りする回転駆動制御
手段と、 前記回転駆動制御手段がウエハ回転駆動手段を粗いピッ
チでステップ送りしているときに、前記一次元イメージ
センサの出力変化を監視することにより、ウエハのノッ
チを検出するノッチ検出手段と、 前記ノッチが検出されたことに基づき、前記回転駆動制
御手段がウエハ回転駆動手段を細かいピッチでステップ
送りしているときに、前記一次元イメージセンサで検出
されたノッチ領域の周辺位置データを記憶する記憶手段
と、 前記一次元イメージセンサから前記記憶手段に周辺位置
データを取り込むタイミングを付与するデータ取り込み
タイミング制御手段と、 前記記憶手段に記憶されたノッチ領域の周辺位置データ
に基づき、ノッチ位置を算出するノッチ位置算出手段
と、 を備えたことを特徴とするノッチ付ウエハの位置検出装
置。
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