JP2798112B2 - ウェーハノッチ寸法測定装置及び方法 - Google Patents
ウェーハノッチ寸法測定装置及び方法Info
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- JP2798112B2 JP2798112B2 JP5560494A JP5560494A JP2798112B2 JP 2798112 B2 JP2798112 B2 JP 2798112B2 JP 5560494 A JP5560494 A JP 5560494A JP 5560494 A JP5560494 A JP 5560494A JP 2798112 B2 JP2798112 B2 JP 2798112B2
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- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L22/00—Testing or measuring during manufacture or treatment; Reliability measurements, i.e. testing of parts without further processing to modify the parts as such; Structural arrangements therefor
- H01L22/10—Measuring as part of the manufacturing process
- H01L22/12—Measuring as part of the manufacturing process for structural parameters, e.g. thickness, line width, refractive index, temperature, warp, bond strength, defects, optical inspection, electrical measurement of structural dimensions, metallurgic measurement of diffusions
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- Engineering & Computer Science (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
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- Power Engineering (AREA)
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、ウェーハの位置決めと
して外周部に付けられたノッチ部におけるノッチ寸法の
測定装置及び方法に関する。
して外周部に付けられたノッチ部におけるノッチ寸法の
測定装置及び方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、ウェーハのノッチ寸法測定装置と
して、万能投影器が一般に用いられている。この万能投
影器においては、ステージにウェーハを乗せ、ウェーハ
ノッチ部を回転スクリーンに拡大してノッチ寸法を測定
する方法がとられている。
して、万能投影器が一般に用いられている。この万能投
影器においては、ステージにウェーハを乗せ、ウェーハ
ノッチ部を回転スクリーンに拡大してノッチ寸法を測定
する方法がとられている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】上記万能投影器による
ウェーハノッチ寸法測定では、ノッチ深さ及び角度を同
時に測定することが出来ず、又、測定するときに測定者
がスクリーンのノッチ形状に基準線を合わせ、ステージ
の移動量及び回転スクリーンの回転角にて測定する為、
測定に時間がかかる上、測定者により測定値のバラツキ
が生じるという欠点がある。本発明は、短時間にノッチ
寸法、即ちノッチ深さ及びノッチ角度を同時に測定する
とともに、測定者による測定値のバラツキをなくすこと
を可能とした新規なウェーハノッチ寸法測定装置及び方
法を提供することを目的とする。
ウェーハノッチ寸法測定では、ノッチ深さ及び角度を同
時に測定することが出来ず、又、測定するときに測定者
がスクリーンのノッチ形状に基準線を合わせ、ステージ
の移動量及び回転スクリーンの回転角にて測定する為、
測定に時間がかかる上、測定者により測定値のバラツキ
が生じるという欠点がある。本発明は、短時間にノッチ
寸法、即ちノッチ深さ及びノッチ角度を同時に測定する
とともに、測定者による測定値のバラツキをなくすこと
を可能とした新規なウェーハノッチ寸法測定装置及び方
法を提供することを目的とする。
【０００４】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
に、本発明のウェーハノッチ寸法測定装置においては、
（ａ）該ウェーハを回転せしめる回転手段と、（ｂ）投
光部と受光部とを該ウェーハの周縁形状を読み取るよう
に配置し、該ウェーハの周縁形状に応じたウェーハ周縁
検出信号を出力するウェーハ周縁検出手段と、（ｃ）該
ウェーハ周縁検出信号をデジタル信号に変換するアナロ
グ・デジタル変換回路と、（ｄ）デジタル信号に変換さ
れた該ウェーハ周縁検出信号からウェーハ周縁検出信号
の微分信号を得るための差分回路と、（ｅ）上記回転す
るウェーハの回転角位置を検出し、ウェーハ回転角位置
検出信号を出力するウェーハ回転角位置検出手段と、
（ｆ）該ウェーハ周縁検出信号と該ウェーハ周縁検出信
号の微分信号とウェーハ回転角位置検出信号とからノッ
チ角度及びノッチ深さを演算する演算手段と、が設けら
れている。
に、本発明のウェーハノッチ寸法測定装置においては、
（ａ）該ウェーハを回転せしめる回転手段と、（ｂ）投
光部と受光部とを該ウェーハの周縁形状を読み取るよう
に配置し、該ウェーハの周縁形状に応じたウェーハ周縁
検出信号を出力するウェーハ周縁検出手段と、（ｃ）該
ウェーハ周縁検出信号をデジタル信号に変換するアナロ
グ・デジタル変換回路と、（ｄ）デジタル信号に変換さ
れた該ウェーハ周縁検出信号からウェーハ周縁検出信号
の微分信号を得るための差分回路と、（ｅ）上記回転す
るウェーハの回転角位置を検出し、ウェーハ回転角位置
検出信号を出力するウェーハ回転角位置検出手段と、
（ｆ）該ウェーハ周縁検出信号と該ウェーハ周縁検出信
号の微分信号とウェーハ回転角位置検出信号とからノッ
チ角度及びノッチ深さを演算する演算手段と、が設けら
れている。
【０００５】即ち、本発明は、拡大したノッチの影を測
定するのではなく、ウェーハの周縁に平行光束を照射さ
せウェーハの周縁形状に応じた検出信号を演算すること
でノッチ寸法、即ち、ノッチ角度及びノッチ深さを測定
するようにしたものである。
定するのではなく、ウェーハの周縁に平行光束を照射さ
せウェーハの周縁形状に応じた検出信号を演算すること
でノッチ寸法、即ち、ノッチ角度及びノッチ深さを測定
するようにしたものである。
【０００６】前記投光部と前記受光部とは、該投光部か
らの平行光束が、ウェーハの円形部分にあるときに、該
投光部からの平行光束がわずかに前記受光部に入射し、
該投光部と該受光部との間に前記ノッチがくると該受光
部への入射光量が増えるように設置されている。
らの平行光束が、ウェーハの円形部分にあるときに、該
投光部からの平行光束がわずかに前記受光部に入射し、
該投光部と該受光部との間に前記ノッチがくると該受光
部への入射光量が増えるように設置されている。
【０００７】前記差分回路に引算回路を設け、前記ウェ
ーハ周縁検出信号をデジタル信号に変換し、該デジタル
信号に変換されたウェーハ周縁検出信号を差分回路に入
力し、該差分回路に入力されたデジタル検出信号を２つ
に分岐し、一方は該差分回路中の遅延回路を通すことに
より遅延させ、かつ他方のデジタル検出信号から一方の
遅延させたデジタル検出信号を該引算回路により引き算
し、該デジタル検出信号の微分信号をデジタル的に得る
ことができる。
ーハ周縁検出信号をデジタル信号に変換し、該デジタル
信号に変換されたウェーハ周縁検出信号を差分回路に入
力し、該差分回路に入力されたデジタル検出信号を２つ
に分岐し、一方は該差分回路中の遅延回路を通すことに
より遅延させ、かつ他方のデジタル検出信号から一方の
遅延させたデジタル検出信号を該引算回路により引き算
し、該デジタル検出信号の微分信号をデジタル的に得る
ことができる。
【０００８】本発明のウェーハノッチ寸法測定方法は、
テーブル上にウェーハをセットし、該テーブルを回転さ
せかつウェーハ回転角位置検出信号を出力し、一方投光
部と受光部を有するウェーハ周縁検出手段によって該ウ
ェーハの周縁形状に応じたウェーハ周縁検出信号を出力
し、該ウェーハ周縁検出信号からウェーハ周縁検出信号
の微分信号を得、該ウェーハ周縁検出信号と該ウェーハ
周縁検出信号の微分信号とウェーハ回転角位置検出信号
とから演算手段によってノッチ角度及びノッチ深さを演
算するように構成されている。
テーブル上にウェーハをセットし、該テーブルを回転さ
せかつウェーハ回転角位置検出信号を出力し、一方投光
部と受光部を有するウェーハ周縁検出手段によって該ウ
ェーハの周縁形状に応じたウェーハ周縁検出信号を出力
し、該ウェーハ周縁検出信号からウェーハ周縁検出信号
の微分信号を得、該ウェーハ周縁検出信号と該ウェーハ
周縁検出信号の微分信号とウェーハ回転角位置検出信号
とから演算手段によってノッチ角度及びノッチ深さを演
算するように構成されている。
【０００９】前記投光部からの平行光束が、ウェーハの
円形部分にあるときには、該投光部からの平行光束がわ
ずかに前記受光部に入射し、該投光部と該受光部との間
に前記ノッチがくると該受光部への入射光量が増えるよ
うに該投光部と該受光部を設置するのが好適である。
円形部分にあるときには、該投光部からの平行光束がわ
ずかに前記受光部に入射し、該投光部と該受光部との間
に前記ノッチがくると該受光部への入射光量が増えるよ
うに該投光部と該受光部を設置するのが好適である。
【００１０】前記ウェーハ周縁検出信号をデジタル信号
に変換し、該デジタル信号に変換されたウェーハ周縁検
出信号を差分回路に入力し、該差分回路に入力されたデ
ジタル検出信号を２つに分岐し、一方は該差分回路中の
遅延回路を通すことにより遅延させ、かつ他方のデジタ
ル検出信号から一方の遅延させたデジタル検出信号を引
き算し、該デジタル検出信号の微分信号をデジタル的に
得ることができる。この引き算は上記差分回路中の引算
回路により行われる。
に変換し、該デジタル信号に変換されたウェーハ周縁検
出信号を差分回路に入力し、該差分回路に入力されたデ
ジタル検出信号を２つに分岐し、一方は該差分回路中の
遅延回路を通すことにより遅延させ、かつ他方のデジタ
ル検出信号から一方の遅延させたデジタル検出信号を引
き算し、該デジタル検出信号の微分信号をデジタル的に
得ることができる。この引き算は上記差分回路中の引算
回路により行われる。
【００１１】
【作用】本発明のウェーハノッチ寸法測定装置及び方法
によれば、光電センサーの投光器と受光器の間の平行光
束をウェーハの円形部に照射してウェーハの周縁形状に
応じたウェーハ周縁検出信号の微分信号を求め、ウェー
ハ周縁検出信号、ウェーハ周縁検出信号の微分信号及び
ウェーハ回転角位置検出信号を演算することによりウェ
ーハノッチ寸法、即ち、ノッチ角度及びノッチ深さを正
確に測定することができる。
によれば、光電センサーの投光器と受光器の間の平行光
束をウェーハの円形部に照射してウェーハの周縁形状に
応じたウェーハ周縁検出信号の微分信号を求め、ウェー
ハ周縁検出信号、ウェーハ周縁検出信号の微分信号及び
ウェーハ回転角位置検出信号を演算することによりウェ
ーハノッチ寸法、即ち、ノッチ角度及びノッチ深さを正
確に測定することができる。
【００１２】
【実施例】以下に本発明の一実施例を添付図面に基づい
て説明する。
て説明する。
【００１３】図１は本発明のウェーハノッチ寸法測定装
置の測定対象とするノッチを有するウェーハの一例を示
す正面図、図２はウェーハの周縁を挟むように投光部と
受光部を配設したウェーハ周縁検出手段の一例を示す側
面説明図、図３は本発明装置における各機器の関係の一
例を示すブロック図、図４は図３の回路動作を説明する
ための波形図、図５は本発明装置の測定対象とするウェ
ーハのノッチ形状図である。
置の測定対象とするノッチを有するウェーハの一例を示
す正面図、図２はウェーハの周縁を挟むように投光部と
受光部を配設したウェーハ周縁検出手段の一例を示す側
面説明図、図３は本発明装置における各機器の関係の一
例を示すブロック図、図４は図３の回路動作を説明する
ための波形図、図５は本発明装置の測定対象とするウェ
ーハのノッチ形状図である。
【００１４】図１に示したように、ウェーハＷには周縁
にノッチ２が形成されている。このようなウェーハＷ
は、センタリング装置によって、図２に示したように、
テーブル４の回転中心にウェーハＷの中心が一致するよ
うにセットされ、テーブル４に不図示の真空吸着手段等
で保持されている。ウェーハＷの周縁を挟むように発光
ダイオードの如き光源を含む投光部６とフォトダイオー
ドの如き光電変換素子を含む光電センサー等の受光部８
からなるウェーハ周縁検出手段１０が配設されている。
にノッチ２が形成されている。このようなウェーハＷ
は、センタリング装置によって、図２に示したように、
テーブル４の回転中心にウェーハＷの中心が一致するよ
うにセットされ、テーブル４に不図示の真空吸着手段等
で保持されている。ウェーハＷの周縁を挟むように発光
ダイオードの如き光源を含む投光部６とフォトダイオー
ドの如き光電変換素子を含む光電センサー等の受光部８
からなるウェーハ周縁検出手段１０が配設されている。
【００１５】該投光部６と受光部８の位置は、例えば、
該投光部６からの平行光束１２が、ウェーハＷの円形部
分１４（ノッチ２以外の部分）にあるときに、該投光部
６からの平行光束１２がわずかに該受光部８に入射し、
両者の間に上記ノッチ２がくると該受光部８への入射光
量が増えるように定められている。なお、上記テーブル
４はモータ１６によって不図示の伝達装置を介して回転
される。
該投光部６からの平行光束１２が、ウェーハＷの円形部
分１４（ノッチ２以外の部分）にあるときに、該投光部
６からの平行光束１２がわずかに該受光部８に入射し、
両者の間に上記ノッチ２がくると該受光部８への入射光
量が増えるように定められている。なお、上記テーブル
４はモータ１６によって不図示の伝達装置を介して回転
される。
【００１６】図２における受光部８から得られた光電変
換信号は、不図示の増幅器により増幅され、ウェーハＷ
の周縁形状に応じた検出信号となり、図３における検出
回路１８より、アナログ・デジタル変換回路（以下Ａ／
Ｄコンバータと称す）２０に出力される。
換信号は、不図示の増幅器により増幅され、ウェーハＷ
の周縁形状に応じた検出信号となり、図３における検出
回路１８より、アナログ・デジタル変換回路（以下Ａ／
Ｄコンバータと称す）２０に出力される。
【００１７】Ａ／Ｄコンバータ２０に入力された検出信
号は、パルス発生器２２からのサンプリングパルスに同
期したデジタル信号に変換される。このデジタルに変換
された検出信号は差分回路２４に出力される。
号は、パルス発生器２２からのサンプリングパルスに同
期したデジタル信号に変換される。このデジタルに変換
された検出信号は差分回路２４に出力される。
【００１８】差分回路２４に入力された、デジタルに変
換された検出信号は、２つに分岐され、一方は該差分回
路２４中の遅延回路を通すことによりわずかに遅延さ
せ、他方の検出信号と、これも該差分回路２４中の引算
回路により引き算をし、その結果、上記検出回路１８で
出力される検出信号の微分信号をデジタル的に得てい
る。
換された検出信号は、２つに分岐され、一方は該差分回
路２４中の遅延回路を通すことによりわずかに遅延さ
せ、他方の検出信号と、これも該差分回路２４中の引算
回路により引き算をし、その結果、上記検出回路１８で
出力される検出信号の微分信号をデジタル的に得てい
る。
【００１９】２６はエンコーダで、前記モータ１６の回
転角位置を検出し、その検出信号はカウンタ２８に入力
されて、ウェーハ回転角位置検出信号に変換される。該
差分回路２４からの微分信号、該Ａ／Ｄコンバータ２０
からの検出信号、及び該カウンタ２８からの回転角位置
検出信号は演算回路３０に入力される。
転角位置を検出し、その検出信号はカウンタ２８に入力
されて、ウェーハ回転角位置検出信号に変換される。該
差分回路２４からの微分信号、該Ａ／Ｄコンバータ２０
からの検出信号、及び該カウンタ２８からの回転角位置
検出信号は演算回路３０に入力される。
【００２０】該演算回路３０はマイクロコンピュータを
有し、該微分信号、該検出信号及び該ウェーハ回転角位
置信号をソフト的に処理を行いノッチ深さ、ノッチ角度
を演算し、その結果が判定回路３２と表示回路３４へ出
力される。該判定回路３２において、ノッチ深さ閾値発
生回路３６及びノッチ角度閾値発生回路３８からの閾値
Ｔｈ1 及びＴｈ2 が比較され、判定結果が表示回路３４
へ出力される。
有し、該微分信号、該検出信号及び該ウェーハ回転角位
置信号をソフト的に処理を行いノッチ深さ、ノッチ角度
を演算し、その結果が判定回路３２と表示回路３４へ出
力される。該判定回路３２において、ノッチ深さ閾値発
生回路３６及びノッチ角度閾値発生回路３８からの閾値
Ｔｈ1 及びＴｈ2 が比較され、判定結果が表示回路３４
へ出力される。
【００２１】４０は回転制御回路で、パルスモータ又
は、ロータリーエンコーダーなど回転角度検出器を兼備
したモータ１６を制御する。
は、ロータリーエンコーダーなど回転角度検出器を兼備
したモータ１６を制御する。
【００２２】次に、図４を用いてノッチ深さ、ノッチ角
度の算出論理を詳述する。図４（ａ）の如き時刻ｔ1 で
回転スタート信号が生ずるとモータ１６が回転し、前記
テーブル４も回転するからウェーハＷが回転する。ウェ
ーハＷの回転によって図４（ｂ）の如き検出信号が発生
する。
度の算出論理を詳述する。図４（ａ）の如き時刻ｔ1 で
回転スタート信号が生ずるとモータ１６が回転し、前記
テーブル４も回転するからウェーハＷが回転する。ウェ
ーハＷの回転によって図４（ｂ）の如き検出信号が発生
する。
【００２３】この図４（ｂ）の検出信号は、モータ１６
が一定速度で回転しているため、ノッチ２が投光部６と
受光部８との間にきた場合の山形波形を示している。図
４（ｂ）の検出信号はＡ／Ｄコンバータ２０でデジタル
信号に変換されて差分回路２４に入力されるのである
が、説明を容易にするためにアナログ波形によって説明
すると、該差分回路２４は図４（ｂ）の検出信号と図４
（ｂ）の検出信号をわずかに遅延させた図４（ｃ）との
差信号である図４（ｄ）の信号に対応したデジタル信号
を出力する。図４（ｄ）の信号は、図４（ｂ）の微分信
号に近似の信号である。
が一定速度で回転しているため、ノッチ２が投光部６と
受光部８との間にきた場合の山形波形を示している。図
４（ｂ）の検出信号はＡ／Ｄコンバータ２０でデジタル
信号に変換されて差分回路２４に入力されるのである
が、説明を容易にするためにアナログ波形によって説明
すると、該差分回路２４は図４（ｂ）の検出信号と図４
（ｂ）の検出信号をわずかに遅延させた図４（ｃ）との
差信号である図４（ｄ）の信号に対応したデジタル信号
を出力する。図４（ｄ）の信号は、図４（ｂ）の微分信
号に近似の信号である。
【００２４】ウェーハＷの中心とテーブル４の回転中心
とは完全には一致しないので、円形部分１４のデータか
らウェーハＷの中心を算出し、検出信号、微分信号に補
正値を加え、ウェーハＷの中心で回転したときのデータ
とする。その後、ノッチ深さの演算はウェーハＷの円形
部分１４（ノッチ２部分以外）とノッチ２部分のピーク
値ＤＰ1 の引き算で算出される。図５のＶ1 ，Ｖ2 直線
部では微分信号は図４（ｄ）のように一定となり、一定
となるときの幅ｈ1 ，ｈ2 と、そのときの検出信号の変
化量ＤＰ2 ，ＤＰ3 から、ノッチ角度θは算出される。
とは完全には一致しないので、円形部分１４のデータか
らウェーハＷの中心を算出し、検出信号、微分信号に補
正値を加え、ウェーハＷの中心で回転したときのデータ
とする。その後、ノッチ深さの演算はウェーハＷの円形
部分１４（ノッチ２部分以外）とノッチ２部分のピーク
値ＤＰ1 の引き算で算出される。図５のＶ1 ，Ｖ2 直線
部では微分信号は図４（ｄ）のように一定となり、一定
となるときの幅ｈ1 ，ｈ2 と、そのときの検出信号の変
化量ＤＰ2 ，ＤＰ3 から、ノッチ角度θは算出される。
【００２５】
【数１】 ノッチ角度θ（ｄｅｇ）＝ｔａｎ-1（ｈ1 ／ＤＰ2 ） ＋ ｔａｎ-1（ｈ2 ／ＤＰ3 ）
【００２６】続いて、１０枚のウェーハについて、ノッ
チ深さ及びノッチ角度を、従来の万能投影器〔Ｖ−１６
Ｅ（株）ニコン製〕及び本発明装置によってそれぞれ測
定し、その結果を表１に示した。表１の結果から、本発
明装置により、従来の万能投影器による測定と同等の測
定数値が得られ、かつ測定値のバラツキ範囲が極めて小
さくなることが確認できた。
チ深さ及びノッチ角度を、従来の万能投影器〔Ｖ−１６
Ｅ（株）ニコン製〕及び本発明装置によってそれぞれ測
定し、その結果を表１に示した。表１の結果から、本発
明装置により、従来の万能投影器による測定と同等の測
定数値が得られ、かつ測定値のバラツキ範囲が極めて小
さくなることが確認できた。
【００２７】
【表１】
【００２８】なお、ノッチ深さ，ノッチ角度の測定精度
は光電センサー，エンコーダー分解能，モータ減速比等
によって決定される。
は光電センサー，エンコーダー分解能，モータ減速比等
によって決定される。
【００２９】
【発明の効果】以上述べたごとく、本発明によれば、ウ
ェーハの周縁に平行光束を照射させウェーハの周縁形状
に応じた検出信号を演算することでウェーハのノッチ寸
法、即ちノッチ深さ及びノッチ角度、を同時に非接触に
て迅速かつ正確に測定することができるとともに、測定
者による測定値のバラツキをなくすことことが可能とな
った。
ェーハの周縁に平行光束を照射させウェーハの周縁形状
に応じた検出信号を演算することでウェーハのノッチ寸
法、即ちノッチ深さ及びノッチ角度、を同時に非接触に
て迅速かつ正確に測定することができるとともに、測定
者による測定値のバラツキをなくすことことが可能とな
った。
【図１】本発明のウェーハノッチ寸法測定装置の測定対
象とするノッチを有するウェーハの一例を示す正面図で
ある。
象とするノッチを有するウェーハの一例を示す正面図で
ある。
【図２】本発明装置のウェーハの周縁を挟むように投光
部と受光部を配設したウェーハ周縁検出手段の一例を示
す側面説明図である。
部と受光部を配設したウェーハ周縁検出手段の一例を示
す側面説明図である。
【図３】本発明装置における各機器の関連の一例を示す
ブロック図である。
ブロック図である。
【図４】図３の回路動作を説明するための波形図であ
る。
る。
【図５】本発明装置の測定対象とするウェーハのノッチ
形状図である。
形状図である。
Ｗ ウェーハ ２ ノッチ ４ テーブル ６ 投光部 ８ 受光部 １０ ウェーハ周縁検出手段 １２ 平行光束 １４ 円形部分 １６ モータ １８ 検出回路 ２０ Ａ／Ｄコンバータ ２２ パルス発生器 ２４ 差分回路 ２６ エンコーダ ２８ カウンタ ３０ 演算回路 ３２ 判定回路 ３４ 表示回路 ３６ ノッチ深さ閾値発生回路 ３８ ノッチ角度閾値発生回路 ４０ 回転制御回路
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.6，ＤＢ名) G01B 11/00 - 11/30 G01B 21/00 - 21/32 H01L 21/64 - 21/68
Claims (7)
- 【請求項１】 ノッチを有するウェーハのノッチ寸法を
測定するウェーハノッチ寸法測定装置において、（ａ）
該ウェーハを回転せしめる回転手段と、（ｂ）投光部と
受光部とを該ウェーハの周縁形状を読み取るように配置
し、該ウェーハの周縁形状に応じたウェーハ周縁検出信
号を出力するウェーハ周縁検出手段と、（ｃ）該ウェー
ハ周縁検出信号をデジタル信号に変換するアナログ・デ
ジタル変換回路と、（ｄ）デジタル信号に変換された該
ウェーハ周縁検出信号からウェーハ周縁検出信号の微分
信号を得るための差分回路と、（ｅ）上記回転するウェ
ーハの回転角位置を検出し、ウェーハ回転角位置検出信
号を出力するウェーハ回転角位置検出手段と、（ｆ）該
ウェーハ周縁検出信号と該ウェーハ周縁検出信号の微分
信号とウェーハ回転角位置検出信号とからノッチ角度及
びノッチ深さを演算する演算手段と、を有するウェーハ
ノッチ寸法測定装置。 - 【請求項２】 前記投光部からの平行光束が、ウェーハ
の円形部分にあるときに、該投光部からの平行光束がわ
ずかに前記受光部に入射し、該投光部と該受光部との間
に前記ノッチがくると該受光部への入射光量が増えるよ
うに該投光部と該受光部が設置されている請求項１記載
のウェーハノッチ寸法測定装置。 - 【請求項３】 前記差分回路に引算回路を設け、前記ウ
ェーハ周縁検出信号をデジタル信号に変換し、該デジタ
ル信号に変換されたウェーハ周縁検出信号を差分回路に
入力し、該差分回路に入力されたデジタル検出信号を２
つに分岐し、一方は該差分回路中の遅延回路を通すこと
により遅延させ、かつ他方のデジタル検出信号から一方
の遅延させたデジタル検出信号を該引算回路により引き
算し、該デジタル検出信号の微分信号をデジタル的に得
る請求項１又は２記載のウェーハノッチ寸法測定装置。 - 【請求項４】 テーブル上にウェーハをセットし、該テ
ーブルを回転させかつウェーハ回転角位置検出手段によ
ってウェーハ回転角位置検出信号を出力し、一方投光部
と受光部を有するウェーハ周縁検出手段によって該ウェ
ーハの周縁形状に応じたウェーハ周縁検出信号を出力
し、該ウェーハ周縁検出信号からウェーハ周縁検出信号
の微分信号を得、該ウェーハ周縁検出信号と該ウェーハ
周縁検出信号の微分信号とウェーハ回転角位置検出信号
とから演算手段によってノッチ角度及びノッチ深さを演
算するウェーハノッチ寸法測定方法。 - 【請求項５】 前記投光部からの平行光束が、ウェーハ
の円形部分にあるときには、該投光部からの平行光束が
わずかに前記受光部に入射し、該投光部と該受光部との
間に前記ノッチがくると該受光部への入射光量が増える
ように該投光部と該受光部が設置されている請求項４記
載のウェーハノッチ寸法測定方法。 - 【請求項６】 前記ウェーハ周縁検出信号をデジタル信
号に変換し、該デジタル信号に変換されたウェーハ周縁
検出信号を差分回路に入力し、該差分回路に入力された
デジタル検出信号を２つに分岐し、一方は該差分回路中
の遅延回路を通すことにより遅延させ、かつ他方のデジ
タル検出信号から一方の遅延させたデジタル検出信号を
引き算し、該デジタル検出信号の微分信号をデジタル的
に得る請求項４又は５記載のウェーハノッチ寸法測定方
法。 - 【請求項７】 前記引き算を前記差分回路中の引算回路
により行う請求項６記載のウェーハノッチ寸法測定方
法。
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