JPS61155804A - 光学式水膜厚計 - Google Patents

光学式水膜厚計

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JPS61155804A
JPS61155804A JP59275680A JP27568084A JPS61155804A JP S61155804 A JPS61155804 A JP S61155804A JP 59275680 A JP59275680 A JP 59275680A JP 27568084 A JP27568084 A JP 27568084A JP S61155804 A JPS61155804 A JP S61155804A
Authority
JP
Japan
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water film
film thickness
signal
light
amplifier
Prior art date
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Pending
Application number
JP59275680A
Other languages
English (en)
Inventor
Suzuo Odajima
小田嶋 鈴雄
Takao Hida
隆夫 飛田
Mitsuru Mitamura
三田村 充
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Toshiba Electro Wave Products Co Ltd
Shibaura Machine Co Ltd
Original Assignee
Toshiba Machine Co Ltd
Toshiba Electronic Systems Co Ltd
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Filing date
Publication date
Application filed by Toshiba Machine Co Ltd, Toshiba Electronic Systems Co Ltd filed Critical Toshiba Machine Co Ltd
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Priority to US06/810,257 priority patent/US4687333A/en
Priority to DE19853545366 priority patent/DE3545366A1/de
Publication of JPS61155804A publication Critical patent/JPS61155804A/ja
Pending legal-status Critical Current

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    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01BMEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B11/00Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
    • G01B11/02Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring length, width or thickness
    • G01B11/06Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring length, width or thickness for measuring thickness ; e.g. of sheet material
    • G01B11/0616Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring length, width or thickness for measuring thickness ; e.g. of sheet material of coating
    • G01B11/0625Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring length, width or thickness for measuring thickness ; e.g. of sheet material of coating with measurement of absorption or reflection
    • G01B11/0633Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring length, width or thickness for measuring thickness ; e.g. of sheet material of coating with measurement of absorption or reflection using one or more discrete wavelengths

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  • Physics & Mathematics (AREA)
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔発明の技術分野〕 この発明は、光学的に金属などの表面に付着した水膜厚
量を測定する光学式水膜厚計に関する。
〔発明の技術的背景とその問題点〕
従来の水膜厚計は固定式のため取付は場所および測定方
法の難しさなどKよシ、どこへでも簡単に移動して測定
することはできなかった。
〔発明の目的〕
この発明は、上記の点に鑑みてなされたもので、任意の
場所に容易に移動でき、しかも容易に水膜厚の測定がで
きる光学式水腹厚計を提供することを目的とする。
〔発明の概要〕
この発明の光学式水膜厚計は、検出部内の光源からの光
を水膜厚面に照射してその反射光を受光して電気信号に
変換し、この電気信号を処理部に送って水膜厚値に変換
するようにしたものである。
〔発明の実施例〕
以下、この発明の光学式水膜厚計の実施例について図面
に基づき説明する。第1図はその一実施例の構成を示す
斜視図である。この第1図に示すように、この発明は検
出部1と処理部2とKよシ構成されている。
検出部1は、水膜厚面3に光を照射し、反射光を受光し
、電気信号に変換するものであり、また、処理部2はこ
の電気信号を処理し、水膜厚値に変換するものである。
第2図は第1図の検出部1と処理部2の内部構成の詳細
を示すものであシ、まず、検出部1から述べる。検出部
1内には光源1oが設けられている。光源IQから発生
する光線は基準信号フィルタ14と測定信号フィルタ1
5と穴40(透孔)を通過して水膜厚面3を照射するよ
うKなっている。
水膜厚面3は金属などの表面に付着した微少水腹であシ
、また、基準信号フィルタ14と測定信号フィルタ15
はフィルタ盤xsVC取シ付けられている。
このフィルタ盤13はモータ12により回転されるよう
罠なっている。フィルタ盤13の外周近傍は同期信号検
出器43で検出され、その検出信号は処理部2内のマイ
クロコンピュータ33(以下CPUという)に位置検出
信号を送シ、それKよってフィルタ盤13とともに回転
する基準信号フィルタ14と測定信号フィルタ15が切
シ換わって水膜厚面3上に基準信号用光線と測定信号用
光線とを切シ換えて照射するようKなっている。
水膜厚面3の反射光は集光レンズ16で集光されて、検
出センサ17で受光されるようになっている。検出セン
サ17の出力はアンプ41からケーブル4(第1図参照
)を通して、処理部2内の第1増幅器28で増幅される
よう釦なっている。また、検出センサ17の出力は積分
器42で積分された後、同じくケーブル4を通して、処
理部2内の第2増幅器29で増幅されるようになってい
る。
また、検出部1内には表示器18が設けられておシ、こ
の表示器18は処理部2内のCPU33で計算された水
膜厚の値をケーブル4を通して入力されて表示するよう
Kなっている。
次に1処理部2の構成について説明する。第1増幅器2
8の出力はレベル設定器J O,でレベル設定が行われ
た後、アナログスイッチ31VC入力されるよう和なっ
ている。同様にして、第2増幅器29の出力もアナログ
スイッチ31に入力されるようKなっている。
アナログスイッチ31はCPUJJICより制御されて
、レベル設定器3Qの出力と第2増幅器29の出力とを
切シ換えて、A/i)(アナログ/ディジタル)変換器
32Vc送シ、そこでディジタル信号に変換して、CP
U 33 K送るようになっている。このCPUJjは
レベル設定器30゜φ変換器32および音発生回路26
の制御も行うようKなっている。
なお、パワテリ19は検出部1および処理部2内の各部
に電力を供給するようになっている。
次に、以上のように構成されたこの発明の光学式水膜厚
計の動作について第3図および第4図を併用して説明す
る。まず、第4図のフローチャートにおいて、ステ、プ
s1で光源1oのランプを点灯するとともにモータ12
にも電源を供給する。
この状態で検出部1は光源1oより照射された光をモー
タ12に取シ付けられたフィルタ盤13上の水膜厚面3
に付着した水膜によって吸収されない波長の参照光を通
過させるフィルタ14と、水膜によって吸収される波長
の測定光を通過させるフィルタ15とを経由して、交互
に水膜厚面3に照射される。
ま九、フィルタ盤13!/cはもう一つ可視光を通す穴
40が明けられておシ、参照光、測定光の照射位置を示
すように可視光を照射する。この人には必要に応じて色
フィルタまたはUDフィルタを取付ける。
参照光と測定光の水膜厚面3からの反射光は集光レンズ
16によシ集光され、検出器/す17で電気信号に変換
される。この電気信号は一方で増幅器41で増幅され、
もう一方では積分器42によシ積分されて暗電流レベル
が検出される。
一方、処理部2は前記増幅器41で増幅された電気信号
を第1増幅器28で増幅し、積分器41で検出された暗
電流レベルは第2増幅器29で増幅される。
第1増幅器28の出力はレベル設定器30において、信
号レベルの補正が行われ、CPU、?、?からの信号に
基づいてアナログスイッチ3・1を経てい変換器32で
ディジタル信号に変換され、CPUJjに入力する。
同様にして、第2増幅器29の出力もCPU 33の信
号に基づいてアナログスイッチ31を切シ換えて、この
アナログスイッチ31を経て、〜Φ変換器32でディジ
タル信号に変換されCPU33に入力する。
ところで、検出器12で変換された電気信号は第3図に
示されている。この第3図において、34はモータ12
の回転に同期して得られるモータ同期信号であシ、この
モータ同期信号34は同期信号検出器43によシタイミ
ングT1で発生されている。
また、35は検出センサ17で変換された電気信号であ
シ、水膜に吸収されかい基準信号36と水膜に吸収され
る測定信号31、検出センサ17の温度補正用信号38
よりなる。
これらの電気信号35をディジタル化するために、同期
信号検出器43で検出される。モータ同期信号34によ
シアナログーディジタル変換f−ト39をタイミングT
2でCPU33が発生し、タイミングT3で基準信号3
6のレベル値、タイミングT4で測定信号37のレベル
値および直流信号38のレベル値をCPU33に入力す
る。
レベル設定器30は所定の入力レベル範囲においてレベ
ル設定器30の出力が一定になるようCPUJjから制
御信号が入力される。
検出部1と水膜厚面3との距離を測定に適当な所に設定
するため、レベル設定器30の入力信号レベルを検出し
、設定されたレベル範囲内であれば音響を発せず、また
、この設定レベルを越えた場合はCPUJJによシ音発
生回路26が駆動されて音響を発生する。設定範囲から
遠ざかる方で音量または周波数を変化するようCPUj
Jによシ信号を発生し、イヤホンなどの音響発生器に送
るようにしておくと、容易に適正な距離設定ができる(
ステップS 2.)。
また、光の照射位置を示すために可視光が照射され、そ
の光の当っている位置を確認した後、測定が開始される
。直流信号38のレベルから、前記検出センサ17の温
度補正処理が行なわれ(ステ、fs 3 )、次に基準
信号36の情報よシ、CPUJJは正確なレベル値の設
定処理を行(ステ、デ84)って、ステ、デS5でデー
タ入力の処理を行う。
さら忙、再度、基準信号36、測定信号37および直流
信号38をステラ7”S6でN回入力し、ステップS5
で再度データ入力を処理した後、ステ、プS7でその平
均値を求める。この平均値より次の弐によって水膜厚比
例出力値を求める(ステ、プSS)。
このように求められた水膜厚比例出力値は、CPUjj
によシ操作員の必要な表示情報に変換され、表示器18
で表示される。
〔発明の効果〕
以上詳述したように、この発明の光学式水膜厚計によれ
ば、検出部と処理部を分け、操作員が検出部を手でもっ
て金属などに付着している水膜厚面に光を照射すること
によシ水膜厚を測定でき、極めて良好な光学式水膜厚計
を提供することが可能となる。
【図面の簡単な説明】
第1図はこの発明の光学式水膜厚計の一実施例の構成を
示す斜視図、第2図は同上光学式水膜厚計の詳細な構成
を示すブロック図、第3図は同上光学式水膜厚計の電気
信号関係を示すタイミングチャート、第4図は同上光学
式水膜厚計に訃けるマイクロコンビ、−夕の信号処理を
示すフローチャートである。 1・・・検出部、2・・・処理部、3・・・水膜厚面、
10・・・光源、12・・・モータ、13・・・フィル
タ盤、14・・・基準信号フィルタ、15・・・測定信
号フィルタ、17・・・検出センサ、18・・・表示器
、26・・・音発生回路、30・・・レベル設定器、3
1・・・アナログスイ、チ、32・・・N勺変換器、3
3・・・マイクロコンピュータ。 出願人代理人  弁理士 鈴 江 武 彦第3図 第4図

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 水膜厚面に光を照射してこの水膜厚面からの反射光を電
    気信号に変換するとともに表示手段を有する検出部と、
    この検出部で変換された電気信号を処理して上記水膜厚
    値を演算して上記表示手段にこの水膜厚値を表示させる
    処理部とを具備する光学式水膜厚計。
JP59275680A 1984-12-28 1984-12-28 光学式水膜厚計 Pending JPS61155804A (ja)

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JP59275680A JPS61155804A (ja) 1984-12-28 1984-12-28 光学式水膜厚計
US06/810,257 US4687333A (en) 1984-12-28 1985-12-18 Measuring apparatus for optically measuring the thickness of a water film
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DE3545366C2 (ja) 1992-08-27
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