JPH08219727A - 寸法測定装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 被測定対象物の明部の輝度むらや暗部に入射
する外乱光の影響を受けることなく、被測定対象物の寸
法を連続的に正確に測定する。 【構成】 光電変換素子から出力される映像信号と隣接
する光電変換素子から出力される映像信号との差を取り
差分信号として出力する差分信号出力手段８と、前記差
分信号から所定レベルを超える映像信号を最大差分信号
として出力する最大差分信号出力手段（１２、１３、１
４）と、前記最大差分信号の前後所定ビットの映像信号
の総和を算出して出力する総和算出手段（１５、１６）
と、光電変換素子から出力される映像信号の最大波高値
を検出する最大波高値検出手段（１１）と、映像信号の
総和と、映像信号の最大波高値から被測定対象物のエッ
ジ位置を演算するエッジ位置演算手段（１７）とを具備
した寸法測定装置である。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、被測定対象物の寸法を
測定する寸法測定装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】被測定対象物、例えば、製造行程中にお
ける鋼板等が、基準となる寸法に対して、どの程度変化
するかを連続的に測定するものとして寸法測定装置があ
る。この寸法測定装置による被測定対象物の寸法の測定
は、被測定対象物のエッジ位置を検出することにより行
なわれる。以下、このエッジ位置の算出方法について説
明する。

【０００３】まず、被測定対象物の表面を照明光により
所定方向に走査する。次に、被測定対象物表面で反射
し、寸法測定装置の受光器に入射した光学的信号を、光
電変換素子により電気信号である映像信号に変換し、こ
の映像信号とエッジ検出レベル（しきい値）とを比較し
てエッジアドレスを検出する。

【０００４】そして、検出されたエッジアドレスの前後
Ｍビットの映像信号を積算し、積算した映像信号を明部
安定領域の波高平均値で割り、長方形換算することによ
りエッジ位置を算出する。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】図８を用いて、従来の
寸法測定装置における被測定対象物のエッジ位置の検出
方法の課題を説明する。図８（ａ）の波線に示すよう
に、被測定対象物の明部に輝度むらがあり、映像信号の
立ち上がりが緩やかになっている場合、被測定対象物の
エッジ位置は、真のエッジ位置よりもΔε分内側に検出
されてしまい、実際の幅よりも狭く判定されてしまう。

【０００６】また、図８（ｂ）に示すように、被測定対
象物の暗部に外乱光が入射し、被測定対象物の視野範囲
外で映像信号の立ち上がりが発生すると、エッジ位置は
Δε分だけ外側に検出されてしまい、実際の幅よりも広
く判定されてしまう。

【０００７】本発明は、上記実情に鑑みてなされたもの
であり、被測定対象物の明部の輝度むらや暗部に入射す
る外乱光の影響を受けることなく、被測定対象物の寸法
を光電変換素子の単位分解能以上の精度で連続的に測定
することのできる寸法測定装置を提供することを目的と
する。

【０００８】

【課題を解決するための手段】従って、まず、上記目的
を達成するために請求項１に係る発明は、被測定対象物
の表面を所定方向に走査することにより得られる光学的
信号を光電変換素子によりアナログ映像信号に変換して
エッジ位置を算出し、このエッジ位置に基づいて被測定
対象物の寸法を測定する寸法測定装置において、前記ア
ナログ映像信号を連続的にデジタル映像信号に変換して
出力するＡ／Ｄ変換手段と、前記Ａ／Ｄ変換手段から出
力されるデジタル映像信号の内、対象となる第１のデジ
タル映像信号と、この第１のデジタル映像信号に対して
所定方向側に隣接する第２のデジタル映像信号との差を
第１の差分信号として出力する第１の差分信号出力手段
と、前記第１の差分信号出力手段から出力された第１の
差分信号から第１の所定レベルを超える第１の差分信号
を第２の差分信号として出力する第２の差分信号出力手
段と、前記第２の差分信号出力手段から出力された第２
の差分信号の前後所定ビットのデジタル映像信号の総和
を算出する総和算出手段と、前記デジタル映像信号の最
大波高値を検出する最大波高値検出手段と、前記総和算
出手段にて算出されたデジタル映像信号の総和と、前記
最大波高値検出手段で検出されたデジタル映像信号の最
大波高値から前記被測定対象物のエッジ位置を演算する
エッジ位置演算手段とを具備した寸法測定装置である。

【０００９】また、請求項２に係る発明は、請求項１記
載の寸法測定装置において、前記総和算出手段に、デジ
タル映像信号の最大波高値に対して一定割合以下のデジ
タル映像信号が存在する場合に、このデジタル映像信号
を除外して総和を求める機能を付加した寸法測定装置で
ある。

【００１０】さらに、請求項３に係る発明は、請求項１
記載の寸法測定装置において、前記エッジ位置演算手段
に、前記第２の差分信号出力手段により出力された第２
の差分信号が第１の所定レベル以下の場合に、前記デジ
タル映像信号と第２の所定レベルとを比較することによ
り前記被測定対象物のエッジ位置を検出するエッジ位置
検出手段を付加した寸法測定装置である。

【００１１】さらに、請求項４に係る発明は、請求項１
記載の寸法測定装置において、前記第２の差分信号出力
手段に、第１の所定レベルを超える第１の差分信号が複
数存在する場合に、前記複数の第１の差分信号の内、デ
ジタル映像信号のアップエッジアドレス、或いはダウン
エッジアドレス最近傍の第１の差分信号のみを第２の差
分信号として選択して出力する第２の差分信号選択手段
を付加した寸法測定装置である。

【００１２】

【作用】請求項１に係る発明は、第１の差分信号出力手
段が、Ａ／Ｄ変換手段から出力されるデジタル映像信号
の内、対象となる第１のデジタル映像信号と、この第１
のデジタル映像信号に対して所定方向側に隣接する第２
のデジタル映像信号との差を第１の差分信号として出力
する。次に、第２の差分信号出力手段によって、第１の
差分信号出力手段から出力された第１の差分信号から第
１の所定レベルを超える第１の差分信号を第２の差分信
号として出力する。総和算出手段は、第２の差分信号出
力手段から出力された第２の差分信号の前後所定ビット
のデジタル映像信号の総和を算出して出力する。そし
て、エッジ位置演算手段により、総和算出手段にて算出
されたデジタル映像信号の総和と、最大波高値検出手段
で検出されたデジタル映像信号の最大波高値から被測定
対象物のエッジ位置を演算するので、光電変換素子の単
位分解能以上の精度で被測定対象物の寸法を正確に測定
することができる。

【００１３】請求項２に係る発明は、請求項１記載の寸
法測定装置において、総和算出手段に、デジタル映像信
号の最大波高値に対して一定割合以下のデジタル映像信
号が存在する場合に、このデジタル映像信号を除外して
総和を求める機能を付加することにより、さらに、正確
に被測定対象物の寸法を測定することができる。

【００１４】請求項３に係る発明は、請求項１記載の寸
法測定装置において、エッジ位置演算手段に、第２の差
分信号出力手段により出力された第２の差分信号が第１
の所定レベル以下の場合に、デジタル映像信号と第２の
所定レベルとを比較することにより、被測定対象物のエ
ッジ位置を検出するエッジ位置検出手段を付加すること
により、確実に被測定対象物のエッジ位置を検出するこ
とができ、その結果、連続的に被測定対象物の寸法を測
定することができる。

【００１５】請求項４に係る発明は、請求項１記載の寸
法測定装置において、第２の差分信号選択手段により、
第１の所定レベルを超える第１の差分信号が複数存在す
る場合に、複数の第１の差分信号の内、デジタル映像信
号のアップエッジアドレス、或いはダウンエッジアドレ
ス最近傍の第１の差分信号のみを第２の差分信号として
選択して出力するので、エッジ誤検出を防止することが
でき、その結果、被測定対象物の寸法を正確に測定する
ことができる。

【００１６】

【実施例】以下、図面を参照して本発明の一実施例に係
る寸法測定装置について説明する。図１は、本発明の一
実施例に係る寸法測定装置の構成を示す図である。

【００１７】被測定対象物１の上部には、検出部２に設
けられた受光器３及び受光器４が２つ対向配置されてい
る。この受光器３，４は、被測定対象物１の表面を所定
方向に走査して得られる光学的信号を光受光素子により
電気信号である映像信号に変換して出力するものであ
る。この光受光素子は、例えば、ＣＣＤ等で構成され
る。

【００１８】受光器３，４の出力側には、検出部２内に
設けられた映像信号インターフェイス５の入力側が接続
されており、この映像信号インターフェイス５の出力側
は、制御部６に設けられた映像信号インターフェイス７
の入力側に接続されている。

【００１９】映像信号インターフェイス７は、Ａ／Ｄ変
換器を備えており、映像信号インターフェイス５を介し
て入力されるアナログ映像信号を連続的にデジタル映像
信号に変換して出力するものである。

【００２０】映像信号インターフェイス７の出力側に
は、差分演算器８、映像信号用コンパレータ９、遅延器
１０及び指定領域波高最大値検出器１１の各々の入力側
が接続されている。

【００２１】差分演算器８は、受光器３，４の単位受光
素子毎に得られるデジタル映像信号の内、対象となる第
１のデジタル映像信号と、この第１のデジタル映像信号
に対して所定方向側に隣接する第２のデジタル映像信号
との差を差分信号として差分信号用コンパレータ１２及
びゲート回路１３に出力するものである。

【００２２】差分信号用コンパレータ１２は、ノイズ成
分を除去するために所定レベル（しきい値イ、しきい値
ウ）以上の差分信号のみ取り出して、ゲート回路１３に
出力するものである。

【００２３】ゲート回路１３は、差分信号用コンパレー
タ１２から信号が入力されている間、差分演算器８から
出力される差分信号を走査内最大値検出器１４に通過さ
せるものである。

【００２４】走査内最大値検出器１４は、ゲート回路１
３から出力されるしきい値イ或いはしきい値ウを超える
差分信号を、最大差分信号としてエッジアドレス検出器
１５に出力するものである。

【００２５】また、走査内最大値検出器１４は、しきい
値イ、或いはしきい値ウを超える差分信号が複数検出さ
れた場合、デジタル映像信号のアップ（或いはダウン）
エッジアドレス最近傍の差分信号を最大差分信号として
出力する機能をも有している。

【００２６】映像信号用コンパレータ９は、デジタル映
像信号がしきい値アを超えている場合に出力信号をエッ
ジアドレス検出器１５に出力するものである。エッジア
ドレス検出器１５は、走査内最大値検出器１４から出力
された最大差分信号の位置或いは映像信号用コンパレー
タ９から出力されたしきい値アを超えるデジタル映像信
号の位置から被測定対象物１のエッジアドレスを検出す
るものである。

【００２７】遅延器１０は、デジタル映像信号を所定時
間遅延させた後に、映像信号積分器１６に出力するもの
である。映像信号積分器１６は、最大差分信号の前後Ｍ
ビットに関し、遅延器１０から出力される所定時間遅延
したデジタル映像信号の総和Ｓを求めるものである。ま
た、この映像信号積分器１６は、図２に示すように、被
測定対象物１に異物が付着して暗部を生じている場合、
デジタル映像信号の総和Ｓに誤差を生ずるため、デジタ
ル映像信号の波高最大値ＶM に対して一定割合以上の暗
部が存在する場合には、該当する受光素子のデータＹビ
ット分のデータを除外して、（Ｍ−Ｙ）ビット分のデジ
タル映像信号の総和Ｓを求める機能をも有している。

【００２８】指定領域波高最大値検出器１１は、映像信
号インターフェイス７から出力されるデジタル映像信号
の立ち上がり後Ｎビット間でのデジタル映像信号の波高
最大値ＶM を検出するものである。

【００２９】エッジ位置演算器１７は、映像信号積分器
１６から出力されるデジタル映像信号の総和Ｓを指定領
域波高最大値検出器１１から出力されるデジタル映像信
号の波高最大値ＶM で割ることにより、受光器３或いは
受光器４の単位光電素子以上の分解能で被測定対象物の
エッジ位置の検出を行なうものである。（エッジ位置：
Ｘ＝Ｓ／ＶM ） 次に、上述のように構成した寸法測定装置の動作につい
て説明する。

【００３０】まず、被測定対象物１の表面を所定方向に
走査し、反射する光を受光器３，４の光受光素子により
映像信号に変換する。これにより、被測定対象物のエッ
ジ断面部の輝度むらの影響を受けることなく、エッジ立
ち上がり部の映像信号の傾斜（図８（ａ）のｘで示した
範囲）は、被測定対象物の浮き上がりによるボケに限定
され、エッジ立ち上がり以降の映像信号の変化（図８
（ａ）のｙで示した範囲）は、被測定対象物表面の輝度
ムラによるものとなる。

【００３１】この受光器３，４により変換された映像信
号は、検出部２に設けられた映像信号インターフェイス
５を通過して、制御部６に設けられた映像信号インター
フェイス７に出力され、この映像信号インターフェイス
７によりデジタル映像信号に変換された後に差分演算器
８、映像信号用コンパレータ９、遅延器１０及び指定領
域波高最大値検出器１１に出力される。

【００３２】差分演算器８に出力されたデジタル映像信
号は、隣接するデジタル映像信号との差が取られ、差分
信号として差分信号用コンパレータ１２及びゲート回路
１３に出力される。

【００３３】差分信号用コンパレータ１２に出力された
差分信号は、ノイズ成分を除去するために一定値（しき
い値イ、しきい値ウ）以上の差分信号のみ取り出され、
ゲート回路１３に出力される。

【００３４】ゲート回路１３は、差分信号用コンパレー
タ１２から信号が入力されている間、差分演算器８から
出力される差分信号を走査内最大値検出器１４に出力す
る。そして、走査内最大値検出器１４は、ゲート回路１
３から出力されるしきい値イ、或いはしきい値ウを超え
た差分信号を最大差分信号としてエッジアドレス検出器
１５に出力する。

【００３５】図３は、最大差分信号の算出方法を説明す
るためのフロチャートである。まず、定数ｍを１に設定
する（ｓｔｅｐ１）。次に、ゲート回路１３を介して入
力されるしきい値イ、ウを超える差分信号のｍビット目
の差分信号電圧ＶM と、ｍ−１ビット目の差分信号電圧
ＶM-1 との差分演算を行ない差分電圧ＶD を得る（ｓｔ
ｅｐ２）。

【００３６】次に、差分信号ＶD がしきい値イ以上か否
かを判定する（ｓｔｅｐ３）。差分信号ＶD がしきい値
イ以下と判定された場合、この差分信号ＶD が最大差分
電圧ＶMAX 以上か否かを判定する（ｓｔｅｐ４）。

【００３７】差分信号ＶD が最大差分電圧ＶMAX 以上と
判定された場合、最大差分電圧ＶMAX ＝差分信号ＶD と
する（ｓｔｅｐ５）。一方、差分信号ＶD が最大差分電
圧ＶMAX 以下と判定された場合、最大差分電圧ＶMAX の
値は保持される（ｓｔｅｐ６）。

【００３８】そして、定数ｍに１を加えて、ｓｔｅｐ２
の処理に戻る。ｓｔｅｐ３の処理において、差分信号Ｖ
D がしきい値イ以上でない判定された場合、最大差分電
圧ＶMAX が最大差分信号としてエッジアドレス検出器１
５に出力される。

【００３９】すなわち、差分信号がしきい値イを最初に
超える範囲から最大差分信号を算出する処理方法を採用
することにより、常にエッジ立ち上がり部のみから最大
差分信号を算出することができる。

【００４０】また、図４に示すように、しきい値イ或い
はしきい値ウを超える差分信号Ｄ１〜Ｄ６が複数検出さ
れた場合には、デジタル映像信号のアップ（又はダウ
ン）エッジアドレスｍ１（又はｍ２）に最も近いエッジ
位置が採用される。

【００４１】一方、映像信号用コンパレータ９は、デジ
タル映像信号がしきい値アを超えている場合に出力信号
をエッジアドレス検出器１５に出力する。エッジアドレ
ス検出器１５は、走査内最大値検出器１４から出力され
た最大差分信号の位置或いは映像信号用コンパレータ９
からのしきい値アを超えるデジタル映像信号の位置から
被測定対象物１のエッジアドレスを検出する。

【００４２】映像信号積分器１６は、図５に示すよう
に、走査内最大値検出器１４から出力される最大差分信
号の前後Ｍビットに関し、遅延器１０から出力される所
定時間遅延した映像信号の総和Ｓを求める。

【００４３】また、映像信号積分器１６は、図２に示す
ように、被測定対象物１の表面に何らかの異物が付着す
ることによりデジタル映像信号に暗部を生じている場
合、デジタル映像信号の総和Ｓに誤差が発生するため、
図２に示すように、映像信号の波高最大値ＶM に対し
て、図２に示すように、映像信号に一定割合以上の暗部
が存在する場合には、該当する受光素子のデータＹビッ
ト分のデータを除外して、（Ｍ−Ｙ）ビット分のデジタ
ル映像信号の総和Ｓを求める。

【００４４】指定領域波高最大値検出器１１は、映像信
号インターフェイス７から出力されるデジタル映像信号
の立ち上がり後Ｎビット間での映像信号の波高最大値Ｖ
M を検出する。

【００４５】エッジ位置演算器１７は、映像信号積分器
１６から出力されるデジタル映像信号の総和Ｓを指定領
域波高最大値検出器１１から出力されるデジタル映像信
号の波高最大値ＶM で割ることにより、受光器３或いは
受光器４の単位光電素子以上の分解能で被測定対象物１
のエッジ位置の検出を行なう。なお、このエッジ位置の
計算は、２^-nの精度で行なわれる。

【００４６】次に、デジタル映像信号がしきい値イ、ウ
を超えず、その結果、最大差分信号が検出されない場合
の処理を図６のフロチャートを参照して説明する。ま
ず、デジタル映像信号としきい値アを比較して、被測定
対象物１のエッジが検出されたか否かを判定する（ｓｔ
ｅｐ１１）。

【００４７】ｓｔｅｐ１１により、エッジが検出された
場合、しきい値イを超える最大差分信号が検出されたか
否かの判定を行なう（ｓｔｅｐ１２）。最大差分信号が
検出された場合、最大差分信号の位置がエッジアドレス
とされ（ｓｔｅｐ１３）、超えなかった場合には、デジ
タル映像信号がしきい値アを超えた位置をエッジアドレ
スとする（ｓｔｅｐ１４）。

【００４８】一方、ｓｔｅｐ１１にて行なわれる判定に
おいて、被測定対象物１のエッジが検出されなかった場
合、しきい値イを超える最大差分信号が検出されたか否
かを判定する（ｓｔｅｐ１５）。

【００４９】しきい値イを超える最大差分信号が検出さ
れた場合、最大差分信号を回路の誤動作によるノイズと
して取扱い（ｓｔｅｐ１６）、アラームを出力する（ｓ
ｔｅｐ１７）。

【００５０】しきい値イを超える最大差分信号が検出さ
れない場合、デジタル映像信号と差分信号とが双方とも
一定時間間隔連続して未検出か否かを判定する（ｓｔｅ
ｐ１８）。

【００５１】ｓｔｅｐ１８の処理において、一定時間連
続して最大差分信号が未検出であると判定された場合、
被測定対象物１のエッジ未検出アラームを出力する（ｓ
ｔｅｐ１９）。

【００５２】また、一定時間連続して未検出でないと判
定された場合には、前回走査時におけるエッジアドレス
の値が採用される（ｓｔｅｐ２０）。なお、図７に示す
ように、しきい値イを超えた差分信号の範囲に相当する
デジタル映像信号の総和Ｘを求め、長方形換算を行なう
ことによってもボケ補正が行われた被測定対象物１のエ
ッジ位置の算出を行なうことができる。

【００５３】従って、本実施例によれば、最大差分信号
を基に、被測定対象物１のエッジ位置の演算を行なうこ
とにより、被測定対象物１の寸法を測定するので、被測
定対象物の明部の輝度むらや暗部に入射する外乱光の影
響を受けることなく、被測定対象物１の寸法を正確に測
定することができる。

【００５４】また、デジタル映像信号の最大波高値に対
して一定割合以下のデジタル映像信号が存在する場合
に、このデジタル映像信号を除外して総和を求めるの
で、さらに、正確に被測定対象物の寸法を測定すること
ができる。

【００５５】さらに、エッジ位置演算器１７に、走査内
最大値検出器１４から最大査分信号が出力されない場合
に、しきい値アを超えたデジタル映像信号から被測定対
象物１のエッジ位置を検出する機能を付加することによ
り、確実に被測定対象物１のエッジ位置を検出すること
ができ、その結果、連続的に被測定対象１物の寸法を測
定することができる。

【００５６】さらに、走査内最大値検出器１４は、複数
の最大差分信号が検出された場合に、映像信号のアップ
（或いはダウン）エッジアドレス最近傍の差分信号を最
大差分信号として出力するので、エッジ誤検出を防止す
ることができ、その結果、被測定対象物の寸法を正確に
測定することができる。

【００５７】さらに、走査内最大差分検出器１４で検出
された最大差分信号の前後Ｍビット映像信号の総和を映
像信号積分器１６で算出し、指定領域波高最大値検出器
１１にて検出された映像信号の最大波高値で割るエッジ
位置演算を２^-nの精度で行なうことにより、単位受光素
子以上の精度の分解能で被測定対象物１の寸法を測定す
ることができる。

【００５８】

【発明の効果】従って、以上詳記したように本発明によ
れば、被測定対象物の明部の輝度むらや暗部に入射する
外乱光の影響を受けることなく、被測定対象物の寸法を
光電変換素子の単位分解能以上の精度で連続的に測定す
ることのできる寸法測定装置を提供することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施例に係る寸法測定装置の構成を
示す図である。

【図２】同実施例における寸法測定装置の映像信号積分
器の動作を説明するための図である。

【図３】同実施例における寸法測定装置の最大差分信号
の算出方法を説明するためのフロチャートである。

【図４】同実施例における寸法測定装置の映像信号積分
器の動作を説明するための図である。

【図５】同実施例における寸法測定装置の最大差分信号
出力を説明するための図である。

【図６】同実施例における寸法測定装置の最大差分信号
が検出されない場合の処理を説明するためのフロチャー
トである。

【図７】同実施例における寸法測定装置のエッジアドレ
スの他の算出方法を説明するための図である。

【図８】従来の寸法測定装置におけるエッジ位置検出方
法を説明するための図である。

【符号の説明】

１…被測定対象物、２…検出部、３，４…受光器、８…
差分演算器、９…映像信号用コンパレータ、１０…遅延
器、１１…指定領域波高最大値検出器、１２…差分信号
用コンパレータ、１３…ゲート回路、１４…走査内最大
値検出器、１５…エッジアドレス検出器、１６…映像信
号積分器、１７…エッジ位置演算器。

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 田辺 正敏 東京都府中市東芝町１番地 株式会社東芝 府中工場内

Claims (4)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 被測定対象物の表面を所定方向に走査す
   ることにより得られる光学的信号を光電変換素子により
   アナログ映像信号に変換してエッジ位置を算出し、この
   エッジ位置に基づいて被測定対象物の寸法を測定する寸
   法測定装置において、 前記アナログ映像信号を連続的にデジタル映像信号に変
   換して出力するＡ／Ｄ変換手段と、 前記Ａ／Ｄ変換手段から出力されるデジタル映像信号の
   内、対象となる第１のデジタル映像信号と、この第１の
   デジタル映像信号に対して所定方向側に隣接する第２の
   デジタル映像信号との差を第１の差分信号として出力す
   る第１の差分信号出力手段と、 前記第１の差分信号出力手段から出力された第１の差分
   信号から第１の所定レベルを超える第１の差分信号を第
   ２の差分信号として出力する第２の差分信号出力手段
   と、 前記第２の差分信号出力手段から出力された第２の差分
   信号の前後所定ビットのデジタル映像信号の総和を算出
   する総和算出手段と、 前記デジタル映像信号の最大波高値を検出する最大波高
   値検出手段と、 前記総和算出手段にて算出されたデジタル映像信号の総
   和と、前記最大波高値検出手段で検出されたデジタル映
   像信号の最大波高値から前記被測定対象物のエッジ位置
   を演算するエッジ位置演算手段とを具備したことを特徴
   とする寸法測定装置。
2. 【請求項２】 前記総和算出手段に、デジタル映像信号
   の最大波高値に対して一定割合以下のデジタル映像信号
   が存在する場合に、このデジタル映像信号を除外して総
   和を求める機能を付加したことを特徴とする請求項１記
   載の寸法測定装置。
3. 【請求項３】 前記エッジ位置演算手段に、前記第２の
   差分信号出力手段により出力された第２の差分信号が第
   １の所定レベル以下の場合に、前記デジタル映像信号と
   第２の所定レベルとを比較することにより前記被測定対
   象物のエッジ位置を検出するエッジ位置検出手段を付加
   したことを特徴とする請求項１記載の寸法測定装置。
4. 【請求項４】 前記第２の差分信号出力手段に、第１の
   所定レベルを超える第１の差分信号が複数存在する場合
   に、前記複数の第１の差分信号の内、デジタル映像信号
   のアップエッジアドレス、或いはダウンエッジアドレス
   最近傍の第１の差分信号のみを第２の差分信号として選
   択して出力する第２の差分信号選択手段を付加したこと
   を特徴とする請求項１記載の寸法測定装置。