JPS62298705A - リニアセンサ光源制御方式 - Google Patents

リニアセンサ光源制御方式

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JPS62298705A
JPS62298705A JP14247786A JP14247786A JPS62298705A JP S62298705 A JPS62298705 A JP S62298705A JP 14247786 A JP14247786 A JP 14247786A JP 14247786 A JP14247786 A JP 14247786A JP S62298705 A JPS62298705 A JP S62298705A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
average value
linear sensor
light source
level
data
Prior art date
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Pending
Application number
JP14247786A
Other languages
English (en)
Inventor
Yasuo Takenaka
竹中 泰雄
Nobuyuki Miyataka
宮高 信之
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Hitachi High Tech Corp
Original Assignee
Hitachi Electronics Engineering Co Ltd
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Publication date
Application filed by Hitachi Electronics Engineering Co Ltd filed Critical Hitachi Electronics Engineering Co Ltd
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  • Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
  • Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 3、発明の詳細な説明 [産業上の利用分督] この発明はCCI)素rによるリニアセンサを用いた物
体の形状、寸法を測定する光学式測定装置の光源に関す
るものである。
[従来の技術] エレクトロニクス製品の構成部品である、プリント基板
の外観検査においては、光学的な方法が使われており、
受光センサとして静電結合素子(CCl) )によるリ
ニアセンサが回路構成が簡≧11でよく利用される。こ
のリニアセンサは1インチ当たり例えば、1000個の
CCI)素子を直線」1に配列し、各素子は受光量に比
例した電荷をチャージするもので、走査により逐次各素
子の電荷を取り出して、対応する対称物の反射光#iを
検出することにより物体の形杖の認識または寸法の測定
を行うものである。なお検出分解性能は素子の間隔で定
まる。
このようなリニアセンサのCCD素子は大きさが微小の
ため、チャージする電萄量もまた微小であり、受光量に
比例して電荷をチャージする動作範囲は比較的狭いもの
である。従って、受光量が過大であるときは、飽和点に
達して物体の識別が不能となり、また過小のときはS/
Nが悪くてやはり識別が困難となる。一方、測定対称物
の表面は、反射率が一般にまちまちで、反射光の光度の
変化範囲は幅広い。特に、プリント基板においては反射
率の大きい部品が任意の個数配置されており、部品の配
置杖況によって反射光の光度が大きく変化する。そこで
、このような反射光の光度変化範囲の大きい測定対称物
に対しては、なんらがの対策を講することが必要とされ
ている。
[発明の目的コ この発明は上記したリニアセンサの欠点を排除して、対
称物を安定、正確に測定することのできるリニアセンサ
光源制御方式を提供することを目的とするものである。
[問題点を解決するための手段] 第1図(a)、(b)はこの発明による、リニアセンサ
光源制御方式の原理を説明するもので、図(a)におい
て、光源9より測定対象物10に対して投光し、その反
射光をレンズ系(図示しない)により受光して測定対象
物IOの実像をリニアセンサ2に結ぶ。リニアセンサ2
には自己走査機能があり、一定周期で走査して各素子の
電荷を検出データとして出力する。この検出データは−
・1tバツフアメモリ4に記憶されるが、同時にレベル
演算・判定回路6に入力し、ここで・走査の検出データ
のレベルの平均値が算出される。
レベル演算・判定回路6にはあらかじめ、CCD素子の
動作範囲の中心点に相当して、図(b)に示す標準レベ
ルSと、これを中心として」−限Uおよび下限dとが設
定されており、l−記の検出データの平均値がこのUと
dの範囲内にあるときは、レベル演算・判定回路6より
判定良の信号をデータ処理装置5に割込み入力する。こ
れにより、バッファメモリ4に記憶されている検出デー
タはデータ処理装置5に取り込まれて処理される。いま
もし、上記平均値が図(c)に示すように、上限Uヨリ
高いレベルS+mのp点にあるときは、光源制御回路8
により、mに相当するだけ光源の光度を下げるように制
御する。この反対に下限dより低いレベルS−mのp′
点にあるときは、mに相当するだけ光度を」―げるよう
に制御する、いわゆるフィードバック系を構成するもの
である。
さて、例えば、プリント基板に反射率の大きい部品が任
意の個数配置された場合などにおいて、部品が基板全体
に占める面積の割合が大幅に変動し、レベルの平均値が
必ずしも妥当でないことが生ずる。これに対処してこの
発明においては、反射率の大きい部品のみに着目する、
すなわち受光レベルの高い検出データのみについて、レ
ベルの平均値を算出し、この平均値に対して一ヒ限、下
限の範囲を参照して上記のフィードバックを行うもので
ある。
[作用コ 上記したところにより明らかなように、この発明による
リニアセンサ光源制御方式によれば、光源の投光光度の
強さに応じた受光量を示す、リニアセンサの検出データ
から1走査毎に平均値を算出し、これが一定の範囲内に
あるときは、検出データを処理し、もし範囲外のときは
、この平均値にもとすいた制御信号をフィードバックす
ることにより、光源の光度を制御しリニアセンサの受光
量をCCD素子の何効な動作範囲に調整し、再度走査を
行うもので、反射率が大幅に変動する測定対象物に対し
ても、常に安定、正確な測定が行われる。さらに、プリ
ント基板において反射率の大きい部品が任意に配置され
た場合など、1走査の全体の検出データの平均値が必ず
しも妥当なレベルとならないので、1走査毎に一定植以
1−のレベルの検出データのみについて、−]i均値を
算出して制御信号をつ(リフイードバックするものであ
る。
従って、プリント基板においては、部分品の配置、個数
に拘わらず適切な光度の投、受光がなされ安定な測定が
可能となるものである。
[実施例] 第2図はこの発明によるリニアセンサ光源側aノJ式の
実施例におけるブロック構成図、第3図は第2図に対す
る、各部の信号のタイムチャートで、以下両図を併用し
て説明する。
測定開始に当たって、まずデータ処理装置5より、リセ
ット信号■がレベル演算・判定回路6に与えられ、これ
により光源のさしあたりの光度を設定するため、デジタ
ルの基準数[P]■が数(flテーブル7に与えられる
。(以下[]でデジタル数を表す)。数値テーブル7に
はあらかじめ、入力するデジタル数に対応して、光源9
の電流を制御するための数値が格納されており、上記の
基準数[P]■に対して基準光度数[Q10が数値テー
ブル7より光源制御回路8に送出され、光源制御回路8
はこれにより基準光度電流(R)■を光源9に′j6え
、投光光度hす、(準光度■に設定される。
このような数値テーブル7を設けた理由は、光源9のラ
ンプの電流と光度の関係が非直線であるため、この間に
あって受光レベルと電流の対応を節中にするためである
。。
一方、レベル演算・判定回路6より、走査開始信号ST
■がタイミング発生回路1に与えられ、ここよりクロッ
ク信号■がリニアセンサ2に入力する。リニアセンサ2
はクロック信号毎に、CCDの検出データ(A)■をシ
フトして出力する。
このデータ■はA/D変換器3によりデジタル化されて
検出データ[D]■とじて、クロック信号■によりバッ
ファメモリ4に記憶されるとともに、レベル演算・判定
回路6に入力する。
レベル演算・判定回路6においては、入力した検出デー
タ[0]■より平均値を算出し、その値が前述した第1
図(b)に示した標甲値Sを中心とする一1ユ限Uと下
限dの範囲内にあるときは、データ処理装置5に判定O
K倍信号相]を送出し、これを受けてバッファメモリ4
より検出データが取り込まれ■、データ処理が行われる
。もし平均値が第1図(c)に示したように、この範囲
外のp点またはp′点にあるときは、判定NGとし、光
度レベルをm低下するかまたはm増加するように、基準
数[P]より調整数[nlを減するかまたは加えた数■
′が数値テーブル7に与えられ、調整光度数[Q′]■
′が出力される。ついで、光源制御回路8より調整光度
電流(R′)■′が送出されて光源9より調整光度光■
′が投光される。
以−1−において、レベル演算・判定回路6における平
均値の算出については、■走査の検出データの全体の平
均値をとることも、勿論可能であるが、プリント基板の
ごとく基板自身に比較して反射率の大きい部品が任意の
個数配置されている場合は、その平均値は投光光度を決
めるためには必ずしも適当しない。例えば、もし部品数
が小数のときは、平均値は小さく、従って投光光度が増
加されるが一〇− これは基板自身よりの反射光の光度を増して部品とのS
/Nを劣化させてしまう。このような欠点に対して、こ
の発明においてはレベル演算・判定回路6において、各
CCI)素子の検出レベルのうち一定しベル以−にのも
のを選択してその平均レベルを算出して、これを標準レ
ベルSに比較する方法をとるものである。これにより、
プリント基板にかぎらず、反射率の大きいものが任意の
個数配置された対象物に対しても安定、正確な測定が行
われる。
[発明の効果] 以上の説明により明らかなように、この発明によるリニ
アセンサ光源制御方式によれば、反射率が大きく変化す
る対象物の測定において、リニアセンサの受光量に対す
る狭い動作範囲に拘わらず、受光量の平均値をフィード
バックして、投光光度を適切に制御するのでCCI)素
子の飽和ないしはS/Hの劣化が防11.され、安定、
正確な測定を可能とする。さらに、反射率の大きい部品
などが、任意の個数配置n去れた場合においても、それ
らの部品のみに対する平均値を算出してこれをフィード
バックする方法をとるもので、適切な投光光度に制御さ
れるものであり、これらにより、この発明はプリント基
板検査装置のみならず、リニアセンサを用いる各種の検
査、測定装置の性能向]−に効果が大きいものである。
【図面の簡単な説明】
第1図(a)、(b)、(c)は、“この発明によるリ
ニアセンサ光源制御方式の原理を説明する図で、図(a
)は概略のブロック構成図、図(b)、(C)は受光レ
ベル図、第2図は、この発明によるリニアセンサ光源制
御方式の実施例におけるブロック構成図、第3図は第2
図に対するタイムチャートである。 ■・・・タイミング発生回路、2・・・リニアセンサ、
3・・・A/D変換器、  4・・・バッファメモリ、
5・・・データ処理装置、6・・・レベル演算・判定回
路7・・・数値テーブル、  8・・・光源制御回路、
9・・・光源、璽0・・・測定対象物。 第  1   図 (α) (b)     (C)

Claims (2)

    【特許請求の範囲】
  1. (1)測定対称物に投光照射する光源と、該投光照射に
    よる反射光を受光して、該測定対称物の形状、寸法を測
    定するリニアセンサを設けてなる光学式測定装置におい
    て、該リニアセンサの検出データを走査して1走査毎に
    一旦バッファメモリに記憶するとともに、レベル演算・
    判定回路により該検出データより該リニアセンサの1走
    査の受光レベルの平均値を算出して、該平均値が一定の
    上限と下限の範囲内にあるとき該レベル演算・判定回路
    より判定良の信号を出力し、該信号を入力することによ
    り、データ処理装置が上記バッファメモリに記憶された
    上記検出データを取り込んでデータ処理を行い、また上
    記平均値が上記範囲外にあるときは、上記平均値に応じ
    て上記レベル演算・判定回路より上記光源の光度を増加
    または減少する制御信号を光源制御回路にフィードバッ
    クし、上記リニアセンサの検出データの平均値が上記範
    囲内に入るように制御することを特徴とするリニアセン
    サ光源制御方式。
  2. (2)上記リニアセンサの検出データのうち、1走査中
    の一定レベル値を越えるデータについて該データの個数
    に対する平均値を算出し、該平均値が上記範囲内にある
    とき判定良の信号を上記データ処理装置に出力し、該平
    均値が上記範囲外にあるときは、該平均値に応じて上記
    光源の光度を増加または減少す制御信号を出力する上記
    レベル演算・判定回路を有することを特徴とする特許請
    求の範囲第1項記載のリニアセンサ光源制御方式。
JP14247786A 1986-06-18 1986-06-18 リニアセンサ光源制御方式 Pending JPS62298705A (ja)

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JP14247786A JPS62298705A (ja) 1986-06-18 1986-06-18 リニアセンサ光源制御方式

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JPS62298705A true JPS62298705A (ja) 1987-12-25

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Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH02304336A (ja) * 1989-05-19 1990-12-18 Kyodo Printing Co Ltd 光学的検査における光量調整装置
JPH03269242A (ja) * 1990-03-19 1991-11-29 Toshiba Eng Co Ltd 金属材料検査方法及び金属材料検査装置
US5696370A (en) * 1995-02-28 1997-12-09 Psc Inc. Bar code scanning system for automatically calculating the optical power output levels of the light source

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