JPS5858404A - 信号の浮動２値方式 - Google Patents
信号の浮動２値方式Info
- Publication number
- JPS5858404A JPS5858404A JP56157547A JP15754781A JPS5858404A JP S5858404 A JPS5858404 A JP S5858404A JP 56157547 A JP56157547 A JP 56157547A JP 15754781 A JP15754781 A JP 15754781A JP S5858404 A JPS5858404 A JP S5858404A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- pattern
- signal
- floating
- detection signal
- memory
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G06—COMPUTING; CALCULATING OR COUNTING
- G06K—GRAPHICAL DATA READING; PRESENTATION OF DATA; RECORD CARRIERS; HANDLING RECORD CARRIERS
- G06K7/00—Methods or arrangements for sensing record carriers, e.g. for reading patterns
- G06K7/10—Methods or arrangements for sensing record carriers, e.g. for reading patterns by electromagnetic radiation, e.g. optical sensing; by corpuscular radiation
- G06K7/10544—Methods or arrangements for sensing record carriers, e.g. for reading patterns by electromagnetic radiation, e.g. optical sensing; by corpuscular radiation by scanning of the records by radiation in the optical part of the electromagnetic spectrum
- G06K7/10821—Methods or arrangements for sensing record carriers, e.g. for reading patterns by electromagnetic radiation, e.g. optical sensing; by corpuscular radiation by scanning of the records by radiation in the optical part of the electromagnetic spectrum further details of bar or optical code scanning devices
- G06K7/10851—Circuits for pulse shaping, amplifying, eliminating noise signals, checking the function of the sensing device
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
- Artificial Intelligence (AREA)
- Toxicology (AREA)
- General Health & Medical Sciences (AREA)
- Health & Medical Sciences (AREA)
- Computer Vision & Pattern Recognition (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Theoretical Computer Science (AREA)
- Preparing Plates And Mask In Photomechanical Process (AREA)
- Image Input (AREA)
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は、信号の、浮動２値化方式、特にプリント基板
等に印刷されたパターンの検査あるいは寸法の計測を行
なう際に、パターンを光学的に検出して得た信号を２値
化する揚台に用いて効果的な信号の浮動型値化方式に関
する。
等に印刷されたパターンの検査あるいは寸法の計測を行
なう際に、パターンを光学的に検出して得た信号を２値
化する揚台に用いて効果的な信号の浮動型値化方式に関
する。
一般に、プリント基板等に印刷されたパターンの検査、
計測に際しては、プリントパターンの像を光学検出器上
に投影し、その検出器からの検出信号を一宇レベルの２
値化レベル信号と比較することによって検出信号を２値
化している。
計測に際しては、プリントパターンの像を光学検出器上
に投影し、その検出器からの検出信号を一宇レベルの２
値化レベル信号と比較することによって検出信号を２値
化している。
以下、このような従来技術による信号の２値化方式を図
面について説明する。
面について説明する。
第１図、＄１２図、第３図及び第４図は、従粂技術によ
る信号の２値化方式を説明するためのもので、＃１１図
はプリンシ基板等に印刷されたパターン−を検出器上に
投影する光学系の構成図、１２図はパターンの濃度を示
す説明図、＃１３図は検出器よりの検出信号の波形と一
定レベルの８値化レベル信号の説明図、Ｉ ａ図は１１
３図に示す検出信号から得た２値化信号の波形図であり
、鯖１図において、１は１リシト基板等に印刷されたパ
ターン、２は一次元光学検出器、３はレンズ、４はハー
フ竜う−、５は照明光である。
る信号の２値化方式を説明するためのもので、＃１１図
はプリンシ基板等に印刷されたパターン−を検出器上に
投影する光学系の構成図、１２図はパターンの濃度を示
す説明図、＃１３図は検出器よりの検出信号の波形と一
定レベルの８値化レベル信号の説明図、Ｉ ａ図は１１
３図に示す検出信号から得た２値化信号の波形図であり
、鯖１図において、１は１リシト基板等に印刷されたパ
ターン、２は一次元光学検出器、３はレンズ、４はハー
フ竜う−、５は照明光である。
ｗＩ１図において、検査または計測をすべきパターンｌ
は１ハーフ鷹ラー４により反射された照明光５により落
射照明され、そのパターン像がハーフ鷹う−４、レンズ
３を介して一次元光学検出器２上に結像される。・なお
パターン１の照明は、パターン１が印刷されたプリント
板が透明材料め場合、ハーフミラ−を用いることなくプ
リント板下部から透過形式で行なってもよい。−次元光
学検出器２は、リニアイメージセンサ−のような自己走
査型の一次元光学センサであり、パターン１のＸ軸方向
に沿ったパターンの検出信号を時系列信号として出力端
子ｏ ｕ ｔ 、より出力する。パターンｌの全平面に
ついて検出信号を得る必要がある場合は、パターン１を
Ｘ軸方向に順次移動させることによって行い得る。パタ
ーン１は、白黒パターンから成っておｔす、パターンの
白あるいは黒の部分の濃度は、１Ｉｉ２図に示すように
一様な濃度を有するものである。
は１ハーフ鷹ラー４により反射された照明光５により落
射照明され、そのパターン像がハーフ鷹う−４、レンズ
３を介して一次元光学検出器２上に結像される。・なお
パターン１の照明は、パターン１が印刷されたプリント
板が透明材料め場合、ハーフミラ−を用いることなくプ
リント板下部から透過形式で行なってもよい。−次元光
学検出器２は、リニアイメージセンサ−のような自己走
査型の一次元光学センサであり、パターン１のＸ軸方向
に沿ったパターンの検出信号を時系列信号として出力端
子ｏ ｕ ｔ 、より出力する。パターンｌの全平面に
ついて検出信号を得る必要がある場合は、パターン１を
Ｘ軸方向に順次移動させることによって行い得る。パタ
ーン１は、白黒パターンから成っておｔす、パターンの
白あるいは黒の部分の濃度は、１Ｉｉ２図に示すように
一様な濃度を有するものである。
このようなパターン１の像を第１図に示す光学系により
一次元光学検出器２上に投影したとき、該検出器２の出
力端子ｏｕｔ、から得られる検出信号は、ｌ を図に示
す濃度図と同じ波形となるはずである。しかしながら実
際には、ｗ４１図に示す光学系ではパターン１を一様に
照明することが困■であること、レンズ３の一般的な性
質として画像の脣辺部が中心部に比べて暗くなること噂
の理由により為出力端子Ｏｕ １１からの検出信号は、
ｊｌ！３図に示した検出波ｖｅＡに示すようにパターン
１の中央部に相当する部分で比較的大きいレベルを有す
るものとなる。
一次元光学検出器２上に投影したとき、該検出器２の出
力端子ｏｕｔ、から得られる検出信号は、ｌ を図に示
す濃度図と同じ波形となるはずである。しかしながら実
際には、ｗ４１図に示す光学系ではパターン１を一様に
照明することが困■であること、レンズ３の一般的な性
質として画像の脣辺部が中心部に比べて暗くなること噂
の理由により為出力端子Ｏｕ １１からの検出信号は、
ｊｌ！３図に示した検出波ｖｅＡに示すようにパターン
１の中央部に相当する部分で比較的大きいレベルを有す
るものとなる。
この検出信号波形ムを第３Ｆｌ！Ｊに示す一定レベルの
２値化レベル信号Ｂと比較し公知の方法で２値化すると
、その２値化信号は＃１４図に示すようになる。
２値化レベル信号Ｂと比較し公知の方法で２値化すると
、その２値化信号は＃１４図に示すようになる。
この２値化信号は、第３図に示すような中央部と萄辺部
で検出レベルの異なる検出信号波形Ａを一定レベルの２
値化レベル信号Ｂと比較して得ているため、パターン１
の中央部のパターンと周辺部のパターンに対する２値化
信号幅が興なるものとなり、パターン１のパターン太さ
を正確に示すことができず、また、検出信号波形ムに含
まれるノイズ成分Ｎと２値化レベル信号Ｂとの間のクリ
アランスが少なく、ノイズ成分Ｎをも含んだものとなる
。このため、従来技術による信号の２値化方式は、パタ
ーン１の正確な検査、計測を行なうことが困−であると
いう欠点があった。
で検出レベルの異なる検出信号波形Ａを一定レベルの２
値化レベル信号Ｂと比較して得ているため、パターン１
の中央部のパターンと周辺部のパターンに対する２値化
信号幅が興なるものとなり、パターン１のパターン太さ
を正確に示すことができず、また、検出信号波形ムに含
まれるノイズ成分Ｎと２値化レベル信号Ｂとの間のクリ
アランスが少なく、ノイズ成分Ｎをも含んだものとなる
。このため、従来技術による信号の２値化方式は、パタ
ーン１の正確な検査、計測を行なうことが困−であると
いう欠点があった。
本発明の目的は、前述した従来技術の欠点を除去し、プ
リン）基板等に印刷されたパターンの像を光学検出器上
に結像させる光学系の性能にかかわらず、常にバター／
を正確に検出し２値化することができるパターン信号の
浮動２値化力式を得るにある。
リン）基板等に印刷されたパターンの像を光学検出器上
に結像させる光学系の性能にかかわらず、常にバター／
を正確に検出し２値化することができるパターン信号の
浮動２値化力式を得るにある。
この目的を達成するため、本発明は、照明光の分布、レ
ンズの投影特性等を考慮した２値化レベルを設定するこ
とを特徴とし、そのために、全面白のパターン及び全闇
黒のパターンの像を予め光学検出器上に投影し、その検
出信号に基づいて２値化レベル信号を演算しておく点を
特鍛とする。
ンズの投影特性等を考慮した２値化レベルを設定するこ
とを特徴とし、そのために、全面白のパターン及び全闇
黒のパターンの像を予め光学検出器上に投影し、その検
出信号に基づいて２値化レベル信号を演算しておく点を
特鍛とする。
以下、図面について本発明による信号の浮動２値化方式
の実施例を説明する。
の実施例を説明する。
＃ｌ５ｖｌＪ、＃！６１１、第７図、Ｍ ｌ 図及ｒ７
＄１１９ ｆｆｌハ本発明による信号の浮動２値化方式
を説明するための各種波形図で、第５図η）、ω）は全
、面白パターンの濃度とその検出信号の説明図、ｍ ａ
図（Ａ） ＃ （Ｂ）は全面黒パターンの濃度とその検
出信号の説明図、＃！７図は浮動２値化レベル信号の説
明図、＃１ＩＩＩ図は浮動２値化レベル信号を用いてパ
ターンの検出信号を２値化する説明図、＃Ｉ−図はパタ
ーンの検出信号の２値化信号の波Ｖｅ図であり、第１０
図は本発明による信号の浮動２値化方式を実施するだめ
の具体的な一実施例の回路図である。＃ＩｌＯ図におい
て、プリント基板等に印刷されたパターン１、−次元光
学検出器２、レンズ３はｗｉ１図の場合と同じであり、
６はサンプルホールド回路、７はアナ田グ／ディジタル
変換回路、８ｔ９＊１３及び１５はメモリ、１０は差分
器、１１はディジタル宕歇発生器、１２は乗算器、１４
は加算器、１６は比較器、１７は演算回路部である◇は
じめに、９８図乃至第９図を用いて本発明の詳細な説明
する。
＄１１９ ｆｆｌハ本発明による信号の浮動２値化方式
を説明するための各種波形図で、第５図η）、ω）は全
、面白パターンの濃度とその検出信号の説明図、ｍ ａ
図（Ａ） ＃ （Ｂ）は全面黒パターンの濃度とその検
出信号の説明図、＃！７図は浮動２値化レベル信号の説
明図、＃１ＩＩＩ図は浮動２値化レベル信号を用いてパ
ターンの検出信号を２値化する説明図、＃Ｉ−図はパタ
ーンの検出信号の２値化信号の波Ｖｅ図であり、第１０
図は本発明による信号の浮動２値化方式を実施するだめ
の具体的な一実施例の回路図である。＃ＩｌＯ図におい
て、プリント基板等に印刷されたパターン１、−次元光
学検出器２、レンズ３はｗｉ１図の場合と同じであり、
６はサンプルホールド回路、７はアナ田グ／ディジタル
変換回路、８ｔ９＊１３及び１５はメモリ、１０は差分
器、１１はディジタル宕歇発生器、１２は乗算器、１４
は加算器、１６は比較器、１７は演算回路部である◇は
じめに、９８図乃至第９図を用いて本発明の詳細な説明
する。
プリン）基板等に印刷されたパターンｌを検出するため
の光学系の構成は、第１図に示すものと全く同じでよい
。いま、第１図において、パターンｌとして＊Ｓｖ！Ｊ
囚に示すような一定の濃度を有する全面白のパターンを
図示の位置に置くと、レンズ３によりこのパターンの像
が一次元光学検出器２上に投影され、該検出器２からの
検出信号は、第Ｓ図（ロ）にＶｗ囚として示すパターン
位置によって検出信号レベルの異なる全面白パターン検
出信号となる。ま、た、同様にパターン１に代り第６Ｅ
（Ａ）に示すような一定の濃度を有する全面黒のパター
ンをｊｌ１ｍ図示の位置に置くと、検出１１２からの出
力信号は、１１ＩＩ６図（ロ）にＶｍＯＱとして示すよ
うな全面黒パターン検出信号となる。
の光学系の構成は、第１図に示すものと全く同じでよい
。いま、第１図において、パターンｌとして＊Ｓｖ！Ｊ
囚に示すような一定の濃度を有する全面白のパターンを
図示の位置に置くと、レンズ３によりこのパターンの像
が一次元光学検出器２上に投影され、該検出器２からの
検出信号は、第Ｓ図（ロ）にＶｗ囚として示すパターン
位置によって検出信号レベルの異なる全面白パターン検
出信号となる。ま、た、同様にパターン１に代り第６Ｅ
（Ａ）に示すような一定の濃度を有する全面黒のパター
ンをｊｌ１ｍ図示の位置に置くと、検出１１２からの出
力信号は、１１ＩＩ６図（ロ）にＶｍＯＱとして示すよ
うな全面黒パターン検出信号となる。
この実施例は、第７図に示すように、全面白パターン検
出信号ＶＷＯＱと全面黒パターン検出信号Ｖｌ（Ｘ）ｆ
）ＩＳｆｌヲｋ ！ （１−ｋ）、（但り、 Ｏ＜ ｋ
＜ １）に分割して得ることができる信号Ｖ＊ｈ Ｏ
Ｑを浮動意値化レベル信号として用いるものである。
出信号ＶＷＯＱと全面黒パターン検出信号Ｖｌ（Ｘ）ｆ
）ＩＳｆｌヲｋ ！ （１−ｋ）、（但り、 Ｏ＜ ｋ
＜ １）に分割して得ることができる信号Ｖ＊ｈ Ｏ
Ｑを浮動意値化レベル信号として用いるものである。
この浮動２値化レベル信号Ｖｔｈ （ｇは、Ｖｔｈ□Ｑ
−ＶＢ ＜ＩＱ ＋ ｋ （Ｖｗ 内−ｖｌ ９Ｑ
）、（但しｋは０＜ｋ＜ｘの定数）として表わされる。
−ＶＢ ＜ＩＱ ＋ ｋ （Ｖｗ 内−ｖｌ ９Ｑ
）、（但しｋは０＜ｋ＜ｘの定数）として表わされる。
この浮動２値化レベル信号ＶｓｈＭを用いて、実際に検
査型たは計測すべきパターン１の検出信号ｖＱＱを２値
化する様子をＩＩｓ図により説明する。
査型たは計測すべきパターン１の検出信号ｖＱＱを２値
化する様子をＩＩｓ図により説明する。
＃１８図に示すように、浮動２値化レベル信号Ｖｔｋ（
Ｘｌは、実際に検査または計測すべきパターン１の検出
信号ｖ囚のレベルが、パターンの位置によって異なって
いても、常にパターン１の検出信号Ｖ（へ）の山と谷を
に！（１−ｋ）の割合で分割する曲線となっており、こ
れにより得られる２値化信号は、ＪｌｌｌＷＪに示すよ
うに、照明光５０分布の不均一やレンズ３の特性に依存
することなくパターン１のどの部分でも正確にパターン
の幅を表わしている。また、パターン１の検出信号ｖ囚
にノイズ成分Ｎがあっても、ノイズ成分Ｎと浮動２値化
レベル信号Ｖｓｈ ＯＱとの間のクリアランスが第３図
に示した従来例の場合に比べて充分に大きくなるので、
２値化信号中にノイズ成分が入り込むことが少なくなる
。
Ｘｌは、実際に検査または計測すべきパターン１の検出
信号ｖ囚のレベルが、パターンの位置によって異なって
いても、常にパターン１の検出信号Ｖ（へ）の山と谷を
に！（１−ｋ）の割合で分割する曲線となっており、こ
れにより得られる２値化信号は、ＪｌｌｌＷＪに示すよ
うに、照明光５０分布の不均一やレンズ３の特性に依存
することなくパターン１のどの部分でも正確にパターン
の幅を表わしている。また、パターン１の検出信号ｖ囚
にノイズ成分Ｎがあっても、ノイズ成分Ｎと浮動２値化
レベル信号Ｖｓｈ ＯＱとの間のクリアランスが第３図
に示した従来例の場合に比べて充分に大きくなるので、
２値化信号中にノイズ成分が入り込むことが少なくなる
。
次に、以上説明した本発明の原理を実現するための実際
の回路の一実施例を第１０図により説明する。
の回路の一実施例を第１０図により説明する。
第１０図において、差分ｉｌＩ Ｏ，ディジタル定数発
生−１１、乗算器１２、メモリ１３及び加算１１１４か
ら成る演算回路部１７は、検査または計測をすべきパタ
ーンｌの検出信号を妬理する前に、予め用意された全面
白及び黒のパターンの検出信号から前述した浮動２値化
レベル信号Ｖｔｂ（３）を演算するための回路であり、
メモリ８及び９と共にオフ・ライン状態で動作される。
生−１１、乗算器１２、メモリ１３及び加算１１１４か
ら成る演算回路部１７は、検査または計測をすべきパタ
ーンｌの検出信号を妬理する前に、予め用意された全面
白及び黒のパターンの検出信号から前述した浮動２値化
レベル信号Ｖｔｂ（３）を演算するための回路であり、
メモリ８及び９と共にオフ・ライン状態で動作される。
まず、パターン１として全面白のパターンを用意し、こ
のパターンをレンズ３を介して一次元光学検出器２上に
投影する。検出器２の出力信号は、＠８図に示した全面
白パターン検出信号ｖｗ〆）であり、この信号Ｖｗ （
Ｘ）は、サンプルホールド回路６、アナログ／ディジタ
ル（以下ムＤと略称する）変換器７を介して、所定局期
でサンプリングされ、ディジタル化された多数のディジ
タル信号としてメモリ９に配憶される。次に、パターン
ｌとして全面黒のパターンが用意され、全面白パターン
の場合と同様に、検出器２からの１１１６図に示した全
面黒パターン検出信号ＶＢ（Ｘ）がディジタル化されメ
モリ８にε憧される。
のパターンをレンズ３を介して一次元光学検出器２上に
投影する。検出器２の出力信号は、＠８図に示した全面
白パターン検出信号ｖｗ〆）であり、この信号Ｖｗ （
Ｘ）は、サンプルホールド回路６、アナログ／ディジタ
ル（以下ムＤと略称する）変換器７を介して、所定局期
でサンプリングされ、ディジタル化された多数のディジ
タル信号としてメモリ９に配憶される。次に、パターン
ｌとして全面黒のパターンが用意され、全面白パターン
の場合と同様に、検出器２からの１１１６図に示した全
面黒パターン検出信号ＶＢ（Ｘ）がディジタル化されメ
モリ８にε憧される。
メモリ８．９は、その後同期的に順次読出されその内容
が差分器１０に入力されて、Ｖ、（Ｘ）−ＶＢ囚が演算
される。この差分信号は、乗算１ｉ１２に入力され、デ
ィジタルｔＦＷＩ発生器１１からの定数ｋが乗算される
。この結果得られる信号ｋ（Ｖ。
が差分器１０に入力されて、Ｖ、（Ｘ）−ＶＢ囚が演算
される。この差分信号は、乗算１ｉ１２に入力され、デ
ィジタルｔＦＷＩ発生器１１からの定数ｋが乗算される
。この結果得られる信号ｋ（Ｖ。
９Ｑ−ＶｍＯＱ）は、一旦メモリ１３に記憶される。
次に、メモリ８内のディジタル化された全面黒パターン
の検出信号ＶｍＱＱ 及びメモリ１３内の前記した信
号、ｋ （７ｗ９Ｑ −Ｖ！１内）は、同期的に読出さ
れ加算器１４に印加される。加算器１４の加ｍｌ 結果
ｊｊ、ＶｍＯＱ＋ ｋ （Ｖｗ（Ｘ） −Ｖ）ＯＱ
） トナｒ）、これはすでに第１図により説明した浮動
２値化レベル信号Ｖｔｈ ９Ｑであって、メモリ１５に
配憶される。
の検出信号ＶｍＱＱ 及びメモリ１３内の前記した信
号、ｋ （７ｗ９Ｑ −Ｖ！１内）は、同期的に読出さ
れ加算器１４に印加される。加算器１４の加ｍｌ 結果
ｊｊ、ＶｍＯＱ＋ ｋ （Ｖｗ（Ｘ） −Ｖ）ＯＱ
） トナｒ）、これはすでに第１図により説明した浮動
２値化レベル信号Ｖｔｈ ９Ｑであって、メモリ１５に
配憶される。
以上説明した動作がオフ番ライン処理として行なわれた
後、オン・ツイン動作として、実際に検査または計測す
べきパターン１の光学像がレンズ３を介して一次元光学
検出１１２上に投影される。
後、オン・ツイン動作として、実際に検査または計測す
べきパターン１の光学像がレンズ３を介して一次元光学
検出１１２上に投影される。
検出ｌ１２よりのバターｙ１の検出信号Ｖ（Ｘ）は、サ
ングルーホールド回Ｗｓ６、ムＤ変換器７により、前述
したオアーライン動作時と同−一期でサンプリングされ
、ディジタル化されて順次比較器１６に入力される０こ
のとき１メモリ１５内の浮動ｚ値化レベル信号Ｖｔｂに
）も同時に同期的に読出されて比較器１６に入力される
。
ングルーホールド回Ｗｓ６、ムＤ変換器７により、前述
したオアーライン動作時と同−一期でサンプリングされ
、ディジタル化されて順次比較器１６に入力される０こ
のとき１メモリ１５内の浮動ｚ値化レベル信号Ｖｔｂに
）も同時に同期的に読出されて比較器１６に入力される
。
比較、ｌｌ！１６は、第８図により説明したように、検
査または計測すべきパターン１の検出信号ｖ凶とメモリ
１５からの浮動２値化レベル信号Ｖｔｈ ００を比較し
、Ｖ 囚−Ｖｔｈ（イ）の正負に従って“ｌ”あるいは
′０ルベル信号を出力端子ｏｕｔ、に出力することによ
り、ｊｌ ｓ ｔｉ！Ｊで説明したようＱハｆｉ−ｙ幅
に正確に対応した２値化信号を出力する。
査または計測すべきパターン１の検出信号ｖ凶とメモリ
１５からの浮動２値化レベル信号Ｖｔｈ ００を比較し
、Ｖ 囚−Ｖｔｈ（イ）の正負に従って“ｌ”あるいは
′０ルベル信号を出力端子ｏｕｔ、に出力することによ
り、ｊｌ ｓ ｔｉ！Ｊで説明したようＱハｆｉ−ｙ幅
に正確に対応した２値化信号を出力する。
従って、この実施例によれば、鯖１図に説明したような
プリント板等に印刷されたパターンを落射照明し、反５
射光を検出器上に結像させる比較的簡単な構成の光学系
を用いて得たパターンの検出信号を２値化する場合にも
、その検出信号レベルが一様でないにもかかわらず正確
な信号の２値化を行なうことができ、また、パターン上
のしみ、ごみなどによって生じる検出信号内のノイズに
対しても強く、光学系におけるパターン検出視野を大き
くすることができるという効果がある。
プリント板等に印刷されたパターンを落射照明し、反５
射光を検出器上に結像させる比較的簡単な構成の光学系
を用いて得たパターンの検出信号を２値化する場合にも
、その検出信号レベルが一様でないにもかかわらず正確
な信号の２値化を行なうことができ、また、パターン上
のしみ、ごみなどによって生じる検出信号内のノイズに
対しても強く、光学系におけるパターン検出視野を大き
くすることができるという効果がある。
以上説明したように、本発明によれば、照明光の分布、
レンズの投影特性等を考慮し、予め検出した全面白及び
全固態のパターンの検出信号に基づいて信号の２値化レ
ベルを設定しているから、従来技術の欠点を除き、パタ
ーン像を検８＄器上に投影する光学系の性能にかかわら
ず、常に正確なバタニン検出信号の２値化を行なうこと
ができる信号の浮動２値化方式を提供することができる
。
レンズの投影特性等を考慮し、予め検出した全面白及び
全固態のパターンの検出信号に基づいて信号の２値化レ
ベルを設定しているから、従来技術の欠点を除き、パタ
ーン像を検８＄器上に投影する光学系の性能にかかわら
ず、常に正確なバタニン検出信号の２値化を行なうこと
ができる信号の浮動２値化方式を提供することができる
。
第１［、＃！２図、第３図及び第４図は、従来技術によ
る信号の２値化方式を説明するためのもので一＃１１図
はプリント基板等に印刷されたパターンを検出器上に投
影する光学系の構成図、第２図はパターンの濃度を示す
説明図、＃１３図は検出器よりの検出信号の波形と一定
レベルの２値化レベル信号の説明図、＃１４図は第３図
に示す検出信号から得た２値化信号の波形図である。＃
！５図（Ａ）。 （Ｂ）、鯖６図（Ａ） 、 （Ｈ）、１１７６Ｍ、ｍ
ｓ ｔｍ及Ｕｍ ｅ 図Ｇ；Ｊ、本発明による信号の浮
動２値化方式を説明するための各Ｗ波形図で、鯖１１Ｗ
Ｊ（＾） ｔ （ＩＩ）は金ｌ由パターンの濃度とその
検出信号の説明図、ＩＦＩ６１Ａ（Ａ）ｌ（Ｂ）は全面
黒パターンの濃度とその検出信号の説明図、第７ｒＩ！
Ｊは浮動２値化レベル信号０説明図、１１１８図は浮動
２値化レベル信号を用いてパターンの検出信号を２値化
する説明図、ｗ！Ｊ９図はパターンの検出信号の２値化
信号の波形図であり、＃Ｉｌｏ図は本発明による信号の
浮動２値化方式を実施するための具体的な一実施例の回
路図である。 １・・・・・・プリント基板等に印刷されたパターン、
２・・自・・−次元光学検出器、３・・・・・・レンズ
、４・・・・・・ハーフミラ−１５・・・・・・照明光
、６・・・・・・サンプル・ホールド回路、７・・・・
・・ＡＤ変換回路％ ８ ｒ ９＋ＩＬ１５・・・・・
・メモリ、１０・・・・・・差分器、１１００００６．
ディジタル定数発生器、１２・・・・・・乗算器、１４
・・・・・・加算器、１６・・・・・・比較器、１７・
・・・・・演算回路部。 代理人 弁理士 武 顯次部 （ほか１４：６ｉ’、パ 第１図 ２ Ｘ 第２図 イｉ夏−Ｘ 第３図 第４図 □Ｘ 第５図 （Ａ） □Ｘ （Ｂ） （Ａ） Ｘ 第７図 第８図 第９図 Ｘ
る信号の２値化方式を説明するためのもので一＃１１図
はプリント基板等に印刷されたパターンを検出器上に投
影する光学系の構成図、第２図はパターンの濃度を示す
説明図、＃１３図は検出器よりの検出信号の波形と一定
レベルの２値化レベル信号の説明図、＃１４図は第３図
に示す検出信号から得た２値化信号の波形図である。＃
！５図（Ａ）。 （Ｂ）、鯖６図（Ａ） 、 （Ｈ）、１１７６Ｍ、ｍ
ｓ ｔｍ及Ｕｍ ｅ 図Ｇ；Ｊ、本発明による信号の浮
動２値化方式を説明するための各Ｗ波形図で、鯖１１Ｗ
Ｊ（＾） ｔ （ＩＩ）は金ｌ由パターンの濃度とその
検出信号の説明図、ＩＦＩ６１Ａ（Ａ）ｌ（Ｂ）は全面
黒パターンの濃度とその検出信号の説明図、第７ｒＩ！
Ｊは浮動２値化レベル信号０説明図、１１１８図は浮動
２値化レベル信号を用いてパターンの検出信号を２値化
する説明図、ｗ！Ｊ９図はパターンの検出信号の２値化
信号の波形図であり、＃Ｉｌｏ図は本発明による信号の
浮動２値化方式を実施するための具体的な一実施例の回
路図である。 １・・・・・・プリント基板等に印刷されたパターン、
２・・自・・−次元光学検出器、３・・・・・・レンズ
、４・・・・・・ハーフミラ−１５・・・・・・照明光
、６・・・・・・サンプル・ホールド回路、７・・・・
・・ＡＤ変換回路％ ８ ｒ ９＋ＩＬ１５・・・・・
・メモリ、１０・・・・・・差分器、１１００００６．
ディジタル定数発生器、１２・・・・・・乗算器、１４
・・・・・・加算器、１６・・・・・・比較器、１７・
・・・・・演算回路部。 代理人 弁理士 武 顯次部 （ほか１４：６ｉ’、パ 第１図 ２ Ｘ 第２図 イｉ夏−Ｘ 第３図 第４図 □Ｘ 第５図 （Ａ） □Ｘ （Ｂ） （Ａ） Ｘ 第７図 第８図 第９図 Ｘ
Claims (2)
- （１） 検査すべきパターンを光学的に検出器上に投
影し、該検出器による検出信号を２値化するための信号
の浮動２値化方式において、上記検出器により検出した
全面白のパターンからの検出信号を記憶する＃１１のメ
モリと、上記検出器により検出した全面黒のパターンか
らの検出信号を記憶する第２のメモリと、これら第１と
第２のメモリから読み出した全面白のパターンの検出信
号と全面黒のパターンの検出信号の演算により浮動２値
化レベル信号を発生する演算回路部と、該浮動２値化レ
ベル信号を記憶する＃Ｉ３のメモリとを設け、検査すべ
きパターンの検出信号と上記ｔＩＩ４３のメモリから読
み出した浮動２値化レベル信号を比較して検査すべきパ
ターンの検出信号を２値化することにより、検出信号の
パターン位置による検出レベル変化の影警を受けること
なく検出信号の２値化を可能に構成したことを特徴とす
る信号の浮動２値化方式。 - （２） 特許請求の範囲第１項において、上記演算回
路部を、全面白パターンの検出信号をＶ、内、全面黒パ
ターンの検出信号をＶ＋□Ｑとしたとき、浮動２値化レ
ベル信号Ｖｔｈ（３）を、ＶｔｈＯＱ−ＶＢＯＱ＋ ｋ
（Ｖｗ（Ｘ） −ＶＢＯＱ ）（但しｋは、Ｏ＜ｋ＜
１である定数）として演算するように構成したことを特
徴とする信号の浮動２値化方式。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP56157547A JPS5858404A (ja) | 1981-10-05 | 1981-10-05 | 信号の浮動２値方式 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP56157547A JPS5858404A (ja) | 1981-10-05 | 1981-10-05 | 信号の浮動２値方式 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5858404A true JPS5858404A (ja) | 1983-04-07 |
Family
ID=15652059
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP56157547A Pending JPS5858404A (ja) | 1981-10-05 | 1981-10-05 | 信号の浮動２値方式 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5858404A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63295906A (ja) * | 1987-01-13 | 1988-12-02 | Hitachi Electronics Eng Co Ltd | 紙葉類の測長方式 |
| JPS63307304A (ja) * | 1987-06-09 | 1988-12-15 | Nireko:Kk | 高精度スリット型一次元端部検出装置 |
| JPH0449479A (ja) * | 1990-06-19 | 1992-02-18 | Nippon Avionics Co Ltd | トークンカード読取装置 |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5317034A (en) * | 1976-07-30 | 1978-02-16 | Sharp Corp | Image sensor output correcting system |
-
1981
- 1981-10-05 JP JP56157547A patent/JPS5858404A/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5317034A (en) * | 1976-07-30 | 1978-02-16 | Sharp Corp | Image sensor output correcting system |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63295906A (ja) * | 1987-01-13 | 1988-12-02 | Hitachi Electronics Eng Co Ltd | 紙葉類の測長方式 |
| JPS63307304A (ja) * | 1987-06-09 | 1988-12-15 | Nireko:Kk | 高精度スリット型一次元端部検出装置 |
| JPH0449479A (ja) * | 1990-06-19 | 1992-02-18 | Nippon Avionics Co Ltd | トークンカード読取装置 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JPS5858404A (ja) | 信号の浮動２値方式 | |
| JP2533610B2 (ja) | 異物検査装置 | |
| US6211505B1 (en) | Method and apparatus for checking shape | |
| JP3262924B2 (ja) | ２値化法 | |
| JPH08247722A (ja) | 寸法測定装置 | |
| JPH0749930B2 (ja) | 実装基板検査装置 | |
| JPS62298705A (ja) | リニアセンサ光源制御方式 | |
| JPS591978B2 (ja) | 物体状態検査装置 | |
| JPS58153328A (ja) | イメ−ジセンサの受光感度不均一補正方式 | |
| JP2556180B2 (ja) | はんだブリッジ検査装置 | |
| JP2803427B2 (ja) | 表面実装ｉｃリードずれ検査装置 | |
| JPH03220406A (ja) | Ｆｉｃリード曲がり検査装置 | |
| JPS6319793Y2 (ja) | ||
| JPS61225604A (ja) | 寸法測定方法 | |
| JP3197040B2 (ja) | 外観検査方法 | |
| JPS5887819A (ja) | マスクパタ−ン欠陥検査装置 | |
| JPH08247723A (ja) | 寸法測定装置 | |
| JPS63106510A (ja) | 光学式傷変位計測装置 | |
| JPS61288145A (ja) | 表面検査装置 | |
| JPH01210853A (ja) | パターン高さ検知装置 | |
| JPH03162611A (ja) | はんだ付検査装置 | |
| JPH0325739B2 (ja) | ||
| JPS592188A (ja) | 紙葉類認識方法 | |
| JPH0618441A (ja) | 異物検査装置 | |
| JPH04311277A (ja) | チップ部品の実装ずれ検査装置 |