JPS58153328A - イメ−ジセンサの受光感度不均一補正方式 - Google Patents
イメ−ジセンサの受光感度不均一補正方式Info
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- JPS58153328A JPS58153328A JP57035721A JP3572182A JPS58153328A JP S58153328 A JPS58153328 A JP S58153328A JP 57035721 A JP57035721 A JP 57035721A JP 3572182 A JP3572182 A JP 3572182A JP S58153328 A JPS58153328 A JP S58153328A
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- pattern
- signal
- mask
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- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
- G03F1/00—Originals for photomechanical production of textured or patterned surfaces, e.g., masks, photo-masks, reticles; Mask blanks or pellicles therefor; Containers specially adapted therefor; Preparation thereof
- G03F1/68—Preparation processes not covered by groups G03F1/20 - G03F1/50
- G03F1/82—Auxiliary processes, e.g. cleaning or inspecting
- G03F1/84—Inspecting
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- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
- Preparing Plates And Mask In Photomechanical Process (AREA)
- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
- Image Input (AREA)
- Picture Signal Circuits (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は、イメージセンサの受光感度不均一補正方式、
特にフォトマスクパターン等の撮像、検出を行ない、得
られる映像信号を処理することによりパターンの認識、
処理を行なう装置において、光学レンズ系の特性や、イ
メージセンナ上の受光絵素間の特性の不均一によって生
じるイメージセンサの受光感度の不均一を補正する補正
方式に関する。
特にフォトマスクパターン等の撮像、検出を行ない、得
られる映像信号を処理することによりパターンの認識、
処理を行なう装置において、光学レンズ系の特性や、イ
メージセンナ上の受光絵素間の特性の不均一によって生
じるイメージセンサの受光感度の不均一を補正する補正
方式に関する。
一般に、半導体ＩＣ，）ランジスタ等の製造に用いるフ
ォトマスク等のパターンの検査、計測システムにおいて
は、フォトマスク等のパターンをイメージセンサ上に光
学的に投影し、パターン検出用の該イメージセンサから
出力されるｖｈｅｍ号を量子化し、この量子化された映
像信号の処理を行なうことにより、フォトマスク等のパ
ターンの欠陥判定等を行な５方式が用いられている。
ォトマスク等のパターンの検査、計測システムにおいて
は、フォトマスク等のパターンをイメージセンサ上に光
学的に投影し、パターン検出用の該イメージセンサから
出力されるｖｈｅｍ号を量子化し、この量子化された映
像信号の処理を行なうことにより、フォトマスク等のパ
ターンの欠陥判定等を行な５方式が用いられている。
以下、このような従来技術によるフォトマスク等のパタ
ーンの認識、処理を行なう装置を図面について説明する
。
ーンの認識、処理を行なう装置を図面について説明する
。
第１図は従来技術によるフォトマスク等のパタ−ンの認
識、処理を行なう装置の一例を示すブロック図、第２図
、第３図（Ａ）及び（Ｂ）は第１図の動作を説明するた
めの波形図及びフォトマスク等のパターン図である。第
１図において、ｌはイメージセンナ、２は増幅器、３は
Ａ／Ｄ変換器、４は映像信号処理部、５はクロック信号
発生器、６は対物レンズ、７はフォトマスク、８は集光
レンズ、９は照明用光源である。
識、処理を行なう装置の一例を示すブロック図、第２図
、第３図（Ａ）及び（Ｂ）は第１図の動作を説明するた
めの波形図及びフォトマスク等のパターン図である。第
１図において、ｌはイメージセンナ、２は増幅器、３は
Ａ／Ｄ変換器、４は映像信号処理部、５はクロック信号
発生器、６は対物レンズ、７はフォトマスク、８は集光
レンズ、９は照明用光源である。
第１図において、検査対象であるフォトマスク７は、集
光レンズ８を介した照明用光源９で照明され、骸フォト
マスク７上のパターンは、対物レンズ６を介してイメー
ジセンサ１上に投影される。
光レンズ８を介した照明用光源９で照明され、骸フォト
マスク７上のパターンは、対物レンズ６を介してイメー
ジセンサ１上に投影される。
イメージセンサ１は、投影されたフォトマスク７上のパ
ターンの画像をイメージセンサ１の各絵素毎にその明暗
を電気信号に変換し、その映像出方信号をクーツク信号
発生器５からのり四ツク信号にしたがい、順次出力して
増幅器２に印加する。
ターンの画像をイメージセンサ１の各絵素毎にその明暗
を電気信号に変換し、その映像出方信号をクーツク信号
発生器５からのり四ツク信号にしたがい、順次出力して
増幅器２に印加する。
増幅器２により所定のレベルまで増幅されたイメージセ
ンｔ１からの映像出力信号ｖｏ１は、 Ａ／Ｄ変換器３
に印加され、クロック信号発生器５からのクロック信号
に基づいて、イメージセンサ１の各絵素毎にディジタル
信号■ｏ、に変換され、映像信号処理部４に入力される
。映像信号処理部４は、このディジタル信号化されたイ
メージセンサ１の映像出力信号■。。を処理し、パター
ン幅の針側、パターンの欠陥の判定等を行なう。
ンｔ１からの映像出力信号ｖｏ１は、 Ａ／Ｄ変換器３
に印加され、クロック信号発生器５からのクロック信号
に基づいて、イメージセンサ１の各絵素毎にディジタル
信号■ｏ、に変換され、映像信号処理部４に入力される
。映像信号処理部４は、このディジタル信号化されたイ
メージセンサ１の映像出力信号■。。を処理し、パター
ン幅の針側、パターンの欠陥の判定等を行なう。
なお、第１図に示す装置は、−次元のイメージセンサを
用いたもので、一度にフォトマスク７上の全パターンを
処理することはできないが、フォトマスク７を前後及び
左右に順次移動して、前述と同様な処理な繰返えすこと
により、フォトマスク７上の全パターンについての処理
を行なうことが可能である。
用いたもので、一度にフォトマスク７上の全パターンを
処理することはできないが、フォトマスク７を前後及び
左右に順次移動して、前述と同様な処理な繰返えすこと
により、フォトマスク７上の全パターンについての処理
を行なうことが可能である。
前述したような従来技術においては、集光レンズ８及び
照明用光源９によるフォトマスク７上の照明を完全に均
一にすることが困難であること、対物レンズ６がパター
ン像をイメージセンナ１上に投影する際、対物レンズ６
０周辺減光作用により、イメージセンサ１上の各受光絵
素における投影１隊の明るさを均一にすることが困難で
あること、イメージセンサ１上の各受光絵素間に４Ｉ性
の不均一があること、などの理由により、イメージセン
サ１の受光面全域すなわちイメージセンサ１上の全受光
絵素において均一な受光感度特性を得ることができない
という欠点があった。このため、例えば検査対象である
フォトマスク７のパターンが無い部分をイメージセンサ
１上に投影した場合、増幅器２により増幅されたイメー
ジセンサ１の映像出力信号ｖ、１は、第２図に示すよう
な不均一なものとなる。
照明用光源９によるフォトマスク７上の照明を完全に均
一にすることが困難であること、対物レンズ６がパター
ン像をイメージセンナ１上に投影する際、対物レンズ６
０周辺減光作用により、イメージセンサ１上の各受光絵
素における投影１隊の明るさを均一にすることが困難で
あること、イメージセンサ１上の各受光絵素間に４Ｉ性
の不均一があること、などの理由により、イメージセン
サ１の受光面全域すなわちイメージセンサ１上の全受光
絵素において均一な受光感度特性を得ることができない
という欠点があった。このため、例えば検査対象である
フォトマスク７のパターンが無い部分をイメージセンサ
１上に投影した場合、増幅器２により増幅されたイメー
ジセンサ１の映像出力信号ｖ、１は、第２図に示すよう
な不均一なものとなる。
従って、第３図（Ａ） Ｋ示すようなフォトマスク７上
の欠陥部０）を有するラインパターンをイメージセンサ
ＩＫ投影した場合、増幅器２により増幅されたイメージ
センサ１の映像出方信号Ｖ・、は、第３図（Ｂ） Ｋ示
すようなものとなり、欠陥検出信号部分（ロ）と、受光
絵素感度が低い部分の出力信号部分（へ）と、レンズ等
による光学系の影響で受光量が少ないイメージセンｔ１
の両端部分における出力信号部分の出力信号Ｖ、ムのレ
ベルがほぼ同一レベルとなるような場合が生じる。この
ため、第１図に示す従来装置は、これらの信号部分を明
確に区別することが困難であり、特に微小欠陥を検出す
ることが困難であるという欠点があった。
の欠陥部０）を有するラインパターンをイメージセンサ
ＩＫ投影した場合、増幅器２により増幅されたイメージ
センサ１の映像出方信号Ｖ・、は、第３図（Ｂ） Ｋ示
すようなものとなり、欠陥検出信号部分（ロ）と、受光
絵素感度が低い部分の出力信号部分（へ）と、レンズ等
による光学系の影響で受光量が少ないイメージセンｔ１
の両端部分における出力信号部分の出力信号Ｖ、ムのレ
ベルがほぼ同一レベルとなるような場合が生じる。この
ため、第１図に示す従来装置は、これらの信号部分を明
確に区別することが困難であり、特に微小欠陥を検出す
ることが困難であるという欠点があった。
本発明の目的は、前述した従来技術の欠点を除去し、イ
メージセンサ上の各受光絵素の受光感度を自動的に補正
し、均一な感度特性でフォトマスク上のパターンの検出
を行なうことができるようにしたイメージセンサの受光
感度不均一補正方式を提供するＫある。
メージセンサ上の各受光絵素の受光感度を自動的に補正
し、均一な感度特性でフォトマスク上のパターンの検出
を行なうことができるようにしたイメージセンサの受光
感度不均一補正方式を提供するＫある。
この目的を達成するため、本発明は、パターンの検出を
実行する前に、予じめ検査対象となるフォトマスク上の
パターンの無い部分を照明し、イメージセンサの受光面
全域に透過照明光を照射し、このときに得られるイメー
ジセンサの各受光絵素毎の映像出力信号の量子化値を感
度補正値としてメモリに記憶しておき、その後、イメー
ジセンサによるフォトマスク上のパターンの検出時には
、前述の量子化値を用いてイメージセンサの各受光絵素
毎の映像出方信号の値をリアルタイムで補正するように
した点を特徴とする特 以下、本発明によるイメージセンナの受光感度不均一補
正方式の実施例を図面について説明する。
実行する前に、予じめ検査対象となるフォトマスク上の
パターンの無い部分を照明し、イメージセンサの受光面
全域に透過照明光を照射し、このときに得られるイメー
ジセンサの各受光絵素毎の映像出力信号の量子化値を感
度補正値としてメモリに記憶しておき、その後、イメー
ジセンサによるフォトマスク上のパターンの検出時には
、前述の量子化値を用いてイメージセンサの各受光絵素
毎の映像出方信号の値をリアルタイムで補正するように
した点を特徴とする特 以下、本発明によるイメージセンナの受光感度不均一補
正方式の実施例を図面について説明する。
第４図は本発明によるイメージセンサの受光感度不均一
補正方式の一実施例を示すブロック図であって、１０は
補正演算装置、 １１は比較回路、丘は、）’モ！Ｊ、
１３はアドレス発生器、１４はシーケンスコア ） ”
−ル部テあり、＃Ｉ１図に対応する部分ニハ同一符号を
つけて説明を一部省略する。
補正方式の一実施例を示すブロック図であって、１０は
補正演算装置、 １１は比較回路、丘は、）’モ！Ｊ、
１３はアドレス発生器、１４はシーケンスコア ） ”
−ル部テあり、＃Ｉ１図に対応する部分ニハ同一符号を
つけて説明を一部省略する。
次に、この実施例の動作について説明する。
第４図において、Ａ／Ｄ変換器３は、イメージセンサ１
の受光ＩＩｉ！素毎のこの映像出方信号■ｏムを量子化
した４ビツトのディジタル信号Ｖｏｗ Ｋ変換して補正
演算装置１０に人力する。補正演算装置１０は、このデ
ィジタル化された映像出方信号ｖ、■と、クロック発生
器５のり曹ツク信号によって制御されるアドレス発生４
１１３からのアドレス信号に基づいて読出される、メモ
リ化内に予め記憶されているイメージセンサ１の各受光
絵素毎の４ビツトの感度補正値ｖ關と、予め設定した定
数Ｋを用い、” Ｌｓ ／ Ｖｍｍなる演算を各受光絵
素毎の映像出方信号■・０として映像信号処理部４に入
力する。
の受光ＩＩｉ！素毎のこの映像出方信号■ｏムを量子化
した４ビツトのディジタル信号Ｖｏｗ Ｋ変換して補正
演算装置１０に人力する。補正演算装置１０は、このデ
ィジタル化された映像出方信号ｖ、■と、クロック発生
器５のり曹ツク信号によって制御されるアドレス発生４
１１３からのアドレス信号に基づいて読出される、メモ
リ化内に予め記憶されているイメージセンサ１の各受光
絵素毎の４ビツトの感度補正値ｖ關と、予め設定した定
数Ｋを用い、” Ｌｓ ／ Ｖｍｍなる演算を各受光絵
素毎の映像出方信号■・０として映像信号処理部４に入
力する。
映像信号処理部４は、ジ−タンスコントロール部１４で
制御され、第１図で説明した場合と同様に、この補正信
号Ｖａｃを処理し、パターン幅の針側、パターンの欠陥
の判定等の処理を実行する。また、フォトマスク７を前
後及び左右に順次移動して前述と同様な処理を繰返すこ
とにより、検査対象であるフォトマスク７上の全パター
ンについての処理を行ない得ることは、第１図に示した
従来技術の場合と同様である。
制御され、第１図で説明した場合と同様に、この補正信
号Ｖａｃを処理し、パターン幅の針側、パターンの欠陥
の判定等の処理を実行する。また、フォトマスク７を前
後及び左右に順次移動して前述と同様な処理を繰返すこ
とにより、検査対象であるフォトマスク７上の全パター
ンについての処理を行ない得ることは、第１図に示した
従来技術の場合と同様である。
次に、メモリ１２内に記憶されている感度補正櫨Ｖ□を
どのように設定するかｋついて説明する。
どのように設定するかｋついて説明する。
前述したフォトマスク７上のパターンの検査動作に先立
って、イメージセンサ１は、検査対象であるフォトマス
ク７のパターンの無い部分が集光レンズ８、対物レンズ
６を介して照明用光源９により投影される。イメージセ
ンサ１は、その全面に受けるフォトマスク７の透過照明
光を各受光絵素毎に電気信号に変換して出方する。その
出方映像信号は、前述したフォトマスク７上のパターン
の検査の場合と同様にしてＡ／Ｄ変換器３により量子化
した４ビツトのディジタル信号に変換される。このディ
ジタル信号は、１０２４個の各受光絵素毎にメモリ化の
所定の領域に記憶される。従って、メモリ１２は各４ビ
ツトの１０２４個のメモリ領域を有するものが必要であ
る。次に、フォトマスク７を前後又は左右に移動させ、
フォトマスク７Ｆ）パターンの無い別の部分について、
今度は一部メモリ１２に格納された前述したディジタル
信号を読出しながら前述と同様にして、イメージセンサ
１の各受光絵素毎の映像出力信号なＡ／Ｄ変換器３によ
りディジタル信号に変換する。このディジタル信号とメ
モリ化より読出されたディジタル信号とは、イメージセ
ンサ１の同一の受光絵素に対応するものとなるように制
御されており、これらは比較回路１１の入力端千人及び
Ｂにそれぞれ入力される。比較回路１１は、これらのデ
ィジタル信号の大小を比較して、その値の大きい方のデ
ィジタル信号をメモリｎの所定領域に畳込むようにメモ
リ１２を制御する。この動作は、フォトマスク７のパタ
ーンが存在しない部分について複数回実行され、その結
果、メモリ１２には、フォトマスク７のパターンの存在
しない部分にゴミや欠陥パターンが存在した場合でも、
それらの影響を除いた、イメージセンサ上で最大照度を
得たときの各受光絵素におけるディジタル信号が感度補
正値■工として舊己憶されることになる。
って、イメージセンサ１は、検査対象であるフォトマス
ク７のパターンの無い部分が集光レンズ８、対物レンズ
６を介して照明用光源９により投影される。イメージセ
ンサ１は、その全面に受けるフォトマスク７の透過照明
光を各受光絵素毎に電気信号に変換して出方する。その
出方映像信号は、前述したフォトマスク７上のパターン
の検査の場合と同様にしてＡ／Ｄ変換器３により量子化
した４ビツトのディジタル信号に変換される。このディ
ジタル信号は、１０２４個の各受光絵素毎にメモリ化の
所定の領域に記憶される。従って、メモリ１２は各４ビ
ツトの１０２４個のメモリ領域を有するものが必要であ
る。次に、フォトマスク７を前後又は左右に移動させ、
フォトマスク７Ｆ）パターンの無い別の部分について、
今度は一部メモリ１２に格納された前述したディジタル
信号を読出しながら前述と同様にして、イメージセンサ
１の各受光絵素毎の映像出力信号なＡ／Ｄ変換器３によ
りディジタル信号に変換する。このディジタル信号とメ
モリ化より読出されたディジタル信号とは、イメージセ
ンサ１の同一の受光絵素に対応するものとなるように制
御されており、これらは比較回路１１の入力端千人及び
Ｂにそれぞれ入力される。比較回路１１は、これらのデ
ィジタル信号の大小を比較して、その値の大きい方のデ
ィジタル信号をメモリｎの所定領域に畳込むようにメモ
リ１２を制御する。この動作は、フォトマスク７のパタ
ーンが存在しない部分について複数回実行され、その結
果、メモリ１２には、フォトマスク７のパターンの存在
しない部分にゴミや欠陥パターンが存在した場合でも、
それらの影響を除いた、イメージセンサ上で最大照度を
得たときの各受光絵素におけるディジタル信号が感度補
正値■工として舊己憶されることになる。
この結果、前述したフォトマスク７上のパターンの検査
動作時に、補正演算装置１０がイメージセンサｌの各転
累毎にＫ −Ｖ、。／Ｖ、、の演算を実行すると、該補
正ｍｘｉ直１０より出力される各受光組木毎のパターン
の補正映像信号ＶＯＣは、各受光組木で最大照度を得た
ときの各受光絵素の出力信号との比に予じめ定めた定数
Ｋを乗じた値として得られ、対物レンズ６、集光レンズ
８、照明用光源９等の光学的な影響や、イメージセンサ
１の各受光絵素間の感度の不均一が補正されたものとな
る。
動作時に、補正演算装置１０がイメージセンサｌの各転
累毎にＫ −Ｖ、。／Ｖ、、の演算を実行すると、該補
正ｍｘｉ直１０より出力される各受光組木毎のパターン
の補正映像信号ＶＯＣは、各受光組木で最大照度を得た
ときの各受光絵素の出力信号との比に予じめ定めた定数
Ｋを乗じた値として得られ、対物レンズ６、集光レンズ
８、照明用光源９等の光学的な影響や、イメージセンサ
１の各受光絵素間の感度の不均一が補正されたものとな
る。
□また、定数には、Ａ／Ｄ変換器１０が出力する４ビツ
トのディジタル信号と同一ビット数の７／Ｌ／スケ−ル
値（本夾施例の場合、１６進の値Ｆ）Ｋ設定さレル。定
数Ｋをこりよ５に設定すると、パターンの検出動作時に
最大照度を得ればＶ、。／Ｖ工の値はｌとなり、そのと
きの補正演算装置１０より出カサレルハターンの補正映
像信号ｖ、ｃは、フルスケール値のディジタル信号とな
って、同一ビット長で最大階調を得ることができる。
トのディジタル信号と同一ビット数の７／Ｌ／スケ−ル
値（本夾施例の場合、１６進の値Ｆ）Ｋ設定さレル。定
数Ｋをこりよ５に設定すると、パターンの検出動作時に
最大照度を得ればＶ、。／Ｖ工の値はｌとなり、そのと
きの補正演算装置１０より出カサレルハターンの補正映
像信号ｖ、ｃは、フルスケール値のディジタル信号とな
って、同一ビット長で最大階調を得ることができる。
第５図は第４図の補正演算装置１ｏの一興体例を示すブ
ロック図である。
ロック図である。
第５図において、補正演算装置は２５６ Ｘ ４ビツト
の不揮発性メモＩＪ Ｐ −ＲＯＭで構成され、８ビツ
トのアドレスにより指定される２５６のメモリ領域より
４ビツトのデータを読出し得るように構成されている。
の不揮発性メモＩＪ Ｐ −ＲＯＭで構成され、８ビツ
トのアドレスにより指定される２５６のメモリ領域より
４ビツトのデータを読出し得るように構成されている。
この不揮発性メモＩＪＰ−ｋＬＯＭを読出すための８ビ
ツトのアドレス２°〜２７のうち、上位４ビツト２４〜
２７は、フォトマスク７上のパターン検出動作時に、Ａ
／Ｄ変換器３より得られるイメージ七ン−ｔ１の各受光
絵素毎のディジタル信号化されたパターンの補正映像信
号Ｖｌｌ１１がアドレスＡ、として用いられ、また、下
位４ビツト２°〜２ａは、メモリ１２から続出された感
度補正値Ｖ工がアドレスＡＬとして用いられる。このよ
うな８ビツトのアドレス２°〜２７で指定される不揮発
性メモリＰ−，ＲＯＭのメモリ領域には、第６図に示す
ように、Ｋ−Ｖ、、／Ｖ□なる演算結果に相当する４ビ
ツトの補正された各受光絵素毎のパターンの補正映像信
号■。Ｃが格納されている。このように、不揮発性メモ
リＰ−ＲＯＭで構成された補正演算装置１０は、入力さ
れるディジタル化されたパターンの映像出力信号■。つ
と感度補正値■１Ｍナアドレスとして不揮発性メモＩＪ
Ｐ−ＲＯＭを続出すだけで、演算結果を出力することが
できる。
ツトのアドレス２°〜２７のうち、上位４ビツト２４〜
２７は、フォトマスク７上のパターン検出動作時に、Ａ
／Ｄ変換器３より得られるイメージ七ン−ｔ１の各受光
絵素毎のディジタル信号化されたパターンの補正映像信
号Ｖｌｌ１１がアドレスＡ、として用いられ、また、下
位４ビツト２°〜２ａは、メモリ１２から続出された感
度補正値Ｖ工がアドレスＡＬとして用いられる。このよ
うな８ビツトのアドレス２°〜２７で指定される不揮発
性メモリＰ−，ＲＯＭのメモリ領域には、第６図に示す
ように、Ｋ−Ｖ、、／Ｖ□なる演算結果に相当する４ビ
ツトの補正された各受光絵素毎のパターンの補正映像信
号■。Ｃが格納されている。このように、不揮発性メモ
リＰ−ＲＯＭで構成された補正演算装置１０は、入力さ
れるディジタル化されたパターンの映像出力信号■。つ
と感度補正値■１Ｍナアドレスとして不揮発性メモＩＪ
Ｐ−ＲＯＭを続出すだけで、演算結果を出力することが
できる。
以上のように、この実施例においては、フォトマスク７
のパターンの検出動作時に、第７図（Ａ）に示すような
ラインパターンを検出すると、感度補正後のパターンの
補正映像信号として第７図（ハ）に示すような波形を出
力することができる。また、この実施例は、イメージセ
ンサからのパターンの映像出力信号の感度補正演算が、
単に不揮発性メモリ及び感度補正値が格納されているメ
モリの絖出し動作のみで実行できるので、補正演算時間
が短かく、パターンの映像出力信号の高速実時間補正を
行なうことができる。なお、前述の実施例では、イメー
ジセンサの映像出力信号を４ビツトでディジタル信号化
したが、４ビツト以上でディジタル化してもよいことは
いうまでもない。
のパターンの検出動作時に、第７図（Ａ）に示すような
ラインパターンを検出すると、感度補正後のパターンの
補正映像信号として第７図（ハ）に示すような波形を出
力することができる。また、この実施例は、イメージセ
ンサからのパターンの映像出力信号の感度補正演算が、
単に不揮発性メモリ及び感度補正値が格納されているメ
モリの絖出し動作のみで実行できるので、補正演算時間
が短かく、パターンの映像出力信号の高速実時間補正を
行なうことができる。なお、前述の実施例では、イメー
ジセンサの映像出力信号を４ビツトでディジタル信号化
したが、４ビツト以上でディジタル化してもよいことは
いうまでもない。
以上説明したように、本発明によれば、予めメモリ内に
設定された、イメージセンサの各受光絵素毎の感度補正
値を用いることにより、照明光及びレンズ系の光学的影
替や、イメージセンサ上の各受光絵素間の特性の不均一
による、イメージセンナの感度不均一を、パターン検出
時に実時間で高速に補正することができ、これによりフ
ォトマスク上のパターンの微小欠陥のようにコントラス
トの低い部分をも明確に検出でき、また照明用光源の経
時的な輝度低下に対しても安定したパターンの検出を実
行することができるイメージセンサの受光感度補正方式
を提供することができる。
設定された、イメージセンサの各受光絵素毎の感度補正
値を用いることにより、照明光及びレンズ系の光学的影
替や、イメージセンサ上の各受光絵素間の特性の不均一
による、イメージセンナの感度不均一を、パターン検出
時に実時間で高速に補正することができ、これによりフ
ォトマスク上のパターンの微小欠陥のようにコントラス
トの低い部分をも明確に検出でき、また照明用光源の経
時的な輝度低下に対しても安定したパターンの検出を実
行することができるイメージセンサの受光感度補正方式
を提供することができる。
第１図は従来技術によるフォトマスク等のパターンの認
識、処理を行なう装置の一例を示すブロック図、第２図
は第１図のイメージセンサから得られる信号を示す波形
図、第３図（Ａ）及び（Ｂ）はフォトマスクのパターン
図及び該フォトマスクによるイメージセンサから得られ
る信号を示す成形図、第４図は本発明によるイメージセ
ンサの受光６図は第５図の書込みデータの内容の一例を
示す図、第７図（Ａ）及び（Ｂ）は第４図の動作を説明
するためのパターン図とその検出波形図である。 １・・・・・・イメージセンサ、２・・・・・・増幅器
、３・・・・・・Ａ／Ｄ変換器、４・・・・・・吠鐵信
号処理部、５・・・・・・クロックイｄ号発生器、６・
・・・・・対物レンズ、７・・・・・・フォトマスク、
８・・・・・・集光レンズ、９・・・・・・照明用光源
、１０・・・・・・補正演算装置、１１・・・・・・比
較回路、１２・・・・・・メモリ、１３・・・・・・ア
ドレス発生器、１４・・・・・・シーケンスコントロー
ル部。 第２図 第３図
識、処理を行なう装置の一例を示すブロック図、第２図
は第１図のイメージセンサから得られる信号を示す波形
図、第３図（Ａ）及び（Ｂ）はフォトマスクのパターン
図及び該フォトマスクによるイメージセンサから得られ
る信号を示す成形図、第４図は本発明によるイメージセ
ンサの受光６図は第５図の書込みデータの内容の一例を
示す図、第７図（Ａ）及び（Ｂ）は第４図の動作を説明
するためのパターン図とその検出波形図である。 １・・・・・・イメージセンサ、２・・・・・・増幅器
、３・・・・・・Ａ／Ｄ変換器、４・・・・・・吠鐵信
号処理部、５・・・・・・クロックイｄ号発生器、６・
・・・・・対物レンズ、７・・・・・・フォトマスク、
８・・・・・・集光レンズ、９・・・・・・照明用光源
、１０・・・・・・補正演算装置、１１・・・・・・比
較回路、１２・・・・・・メモリ、１３・・・・・・ア
ドレス発生器、１４・・・・・・シーケンスコントロー
ル部。 第２図 第３図
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 フォトマスクパターンの認識、処理を行なうために、皺
フォトマスクパターンを検出走査し【映像信号を得るよ
５Ｋしたイメージセンナの受光感度不均一補正方式にお
いて、該イメージセンナにより前記フォトマスクパター
ンの明るい部分を検出走査し、各絵素毎の出力値を得て
メモリに記憶し、前記イメージセンサにより前記フォト
マスクパターンの全体を検出走査して得られる映像信号
を各絵素毎に前記メモ９に記憶された前記最大の出力値
を除数とし【演算補正することＫより、前記フォトマス
クパターンの全体を検出走査して得られる前記映像信号
の前記イメージセンナの受光感度の不均一性にともなう
振幅変動を除去することができるよ５Ｋｔ、、たことを
特徴とするイメージセンナの受光感度不均一補正方式。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57035721A JPS58153328A (ja) | 1982-03-09 | 1982-03-09 | イメ−ジセンサの受光感度不均一補正方式 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57035721A JPS58153328A (ja) | 1982-03-09 | 1982-03-09 | イメ−ジセンサの受光感度不均一補正方式 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS58153328A true JPS58153328A (ja) | 1983-09-12 |
Family
ID=12449712
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP57035721A Pending JPS58153328A (ja) | 1982-03-09 | 1982-03-09 | イメ−ジセンサの受光感度不均一補正方式 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS58153328A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5015097A (en) * | 1988-10-07 | 1991-05-14 | Hitachi, Ltd. | Method for inspecting filled state of via-holes filled with fillers and apparatus for carrying out the method |
| US5861944A (en) * | 1994-04-14 | 1999-01-19 | Nikon Corporation | Exposure apparatus |
| JP2012242325A (ja) * | 2011-05-23 | 2012-12-10 | Tdk Corp | グリーンシートの膜厚測定装置 |
| US8384903B2 (en) | 1998-11-18 | 2013-02-26 | Kla-Tencor Corporation | Detection system for nanometer scale topographic measurements of reflective surfaces |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS50126133A (ja) * | 1974-03-23 | 1975-10-03 | ||
| JPS5494836A (en) * | 1978-01-12 | 1979-07-26 | Oki Electric Ind Co Ltd | Pattern input unit |
-
1982
- 1982-03-09 JP JP57035721A patent/JPS58153328A/ja active Pending
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS50126133A (ja) * | 1974-03-23 | 1975-10-03 | ||
| JPS5494836A (en) * | 1978-01-12 | 1979-07-26 | Oki Electric Ind Co Ltd | Pattern input unit |
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| US8384903B2 (en) | 1998-11-18 | 2013-02-26 | Kla-Tencor Corporation | Detection system for nanometer scale topographic measurements of reflective surfaces |
| JP2012242325A (ja) * | 2011-05-23 | 2012-12-10 | Tdk Corp | グリーンシートの膜厚測定装置 |
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