SU1642326A1 - Способ исследовани распределени параметров рассеивающих частиц - Google Patents
Способ исследовани распределени параметров рассеивающих частиц Download PDFInfo
- Publication number
- SU1642326A1 SU1642326A1 SU894652274A SU4652274A SU1642326A1 SU 1642326 A1 SU1642326 A1 SU 1642326A1 SU 894652274 A SU894652274 A SU 894652274A SU 4652274 A SU4652274 A SU 4652274A SU 1642326 A1 SU1642326 A1 SU 1642326A1
- Authority
- SU
- USSR - Soviet Union
- Prior art keywords
- radiation
- scattering
- distribution
- illuminated
- power
- Prior art date
Links
Landscapes
- Investigating Or Analysing Materials By Optical Means (AREA)
Abstract
Изобретение относитс к технике определени оптическими методами распределени параметров рассеивающих частиц в объекте и может быть использовано в различных отрасл х промышленности . Цель изобретени - повышение точности измерений. Дл этого исследуемый объект освещают сканирующим пучком известной мощностиt фиксируют координату освещаемой точки- объекта в плоскости, обращенной к источнику света, и регистрируют рассе нное измерение от соответствующего данной точке элемента объема объекта с одновременным измерением мощности прошедшего сквозь объект излучени По зарегистрированному рассе нному излучению суд т о распределении рассеиваю- щих центров в элементе объема, а по мощности прошедшего излучени - о рассеивающей способности каждого из центров. 1 ил. 2 уг (f, С
Description
Изобретение относитс к определению оптическими методами распределени параметров рассеивающих частиц в исследуемом объеме и может быть использовано в различных отрасл х народного хоз йства, например в химической , электронной, оптико-механической , а также в гидродинамике, теплофизике и физике плазмы.
Причем под термином частицы понимаютс как непрозрачные дл света включени , содержащиес в исследуемом объекте, так и прозрачные локальные области, имеющие показатель преломлени , отличный от показател преломлени излучаемого объекта.
Целью изобретени вл етс повышение точности измерений параметров рассеивающих центров.
Сущность предложенного способа заключаетс в том, что исследуемый объект освещают пучком известной мощностей, который сканируют по траектории, параметры которой выбирают -исход из особенностей решаемой задачи. Это может быть, например, плоскость, сфера, (часть сферы) или поверхность (часть поверхности) более сложной формы. ПоС5 -U 1C
оэ
1C
3
ложение сканируемого светового пучка по отношению к объекту регистрируют в каждый фиксированный момент времени, одновременно регистрируют излучение, рассе нное частицами (рассеивающими центрами), содержащимис в элементе объекта, который освещаетс в данный фиксированный момент времени. Одновре- менно измер ют интенсивность света, прошедшего через соответствующую область объекта. Но зарегистрированному рассе нному излучению суд т о распределении рассеивающих центров (частиц) в соответствующем элементе объекта. Измерение интенсивности света, прошедшего через этот элемент, позвол ет определить рассеивающую способность каждой из частиц.
На чертеже представлена блок-схе- ма устройства, реализующего предложенный способ.
Устройство содержит лазер 1, измеритель 2 мощности лазерного излучени , сканер 3, осветительный 4 и при- емный 5 объективы, исследуемый объект 6, размещенный между объективами 4 и 5, фотоприемник 7, вычислительно- управл ющии блок 8,св занный с измерителем 2 мощности, сканером 3 и фото- кинорегистрирующим устройством 9, причем сканер 3 согласован с объективом 4, а фотоприемнйк 7 - с объективом 5.
Устройство работает следующим об- разом.
Свет, генерируемый лазером 1, посл измерени его мощности измерителем 2 попадает на сканер 3, который представл ет собой зеркало, управл емое по углу наклона с помощью электрического сигнала и расположенное в фокальной плоскости объектива 4, Таким образом, сканирование по. углу трансформируетс в плоскопараллельное перемещение лазерного пучка в области исследуемого объекта 6. На чертеже пунктирными лини ми обозначены крайние положени сканируемого пучка, а двойной линией - положение зондирую- щего лазерного пучка в фиксированный момент времени. Прошедший через объек 6 лазерный пучок попадает на фотоприемник 7, расположенный в фокальной плоскости объектива 5. Таким образом, лазерные пучки, проход щие в различчные моменты времени через разные области исследуемого объекта, попадают в одну и ту же область фотоприемника
7, что позвол ет исключить вли ние на результаты измерений разЬроса параметров фотоприемника по светочувствительной поверхности и дополнительно повысить точность измерений. Одновременно с регистрацией интенсивности прошедшего через объект света осуществл етс (с помощью фотокинорегист- рирующего устройства 9) регистрации- картины освещаемого участка объекта в свете, рассе нном частицами. Фиксирование координаты сканирующего пучка в плоскости, перпендикул рной оптической оси объективов 4 и 5, осуществл етс путем регистрации и запоминани в вычислительно-управл ющем блоке 8 уровн напр жений, управл ющих сканером 3. При этом идентификаци информации , зарегистрированной устройством 9 и фотоприемником 7, осуществл етс путем синхронизации их работы с помощью вычислительно-управл ющего блока 8.
Повышение точности измерени распределени параметров рассеивающих центров (частиц) обеспечиваетс тем, что в каждый фиксированный момент времени освещаетс лишь узка область изучаемого объема, причем положение этой области фиксируетс , а интенсивность освещаемого потока известна. В этот фиксированный момент времени свет рассеивают лишь те частицы, которые наход тс в освещаемой узкой области объекта.
Зарегистрированна в рассе нном свете картина объекта в фиксированный момент времени дает информацию о распределении рассеивающих центров в освещаемой области и соотношении рассеивающих способностей этих частиц. Одновременное измерение абсолютного значени суммарной рассе нной освещаемыми частицами интенсивности света позвол ет (с учетом данных о распределении параметров частиц) измерить абсолютные значени параметров рассеивающих центров, исключив вли ние на результаты этих измерении эффектов многократного рассе ни . Кроме того, снижаютс требовани к мощности источника света, упрощаетс процесс получени количественной информации о параметрах исследуемых частиц.
Часть пучка светаf генерируемого лазером ЛГ-52-3, направл етс с помощью зеркала, имеющего коэффициент отражени 20%, на измеритель мощное;ти , состо щий из калибровочного фото- диода и микроамперметра. Прошедший через зеркало световой пучок, имеющий
мощность (где 1цзм измеренна интенсивность), направл етс на магнитоэлектрический сканер, представл ющий собой гальванометр типа М017, помещенный в поле посто нного магнита . В качестве объективов используют- с телескопические объективы типа ТАИР-3, в качестве фотоприемника - фотодиод ФД-24К, а в качестве фото- кинорегистрирующего устройства - регистрирующа фотокамера типа РФК-5.
Вычислительно-управл ющий блок представл ет собой измерительно-вычислительный комплекс на базе мик- роЭВМ Электроника-60 и аппаратуры КАМАК, в состав которой входит анало- го-цифровой преобразователь (АЦП) дл приема информации с ФД-24К и два циф- роаналоговых преобразовател (ЦАП) дл управлени сканером и РФК-5. Дл кинор егистрации картины объекта в рассе нном свете используетс кинопленка КН-3 (режим ее химической обработки - стандартный).
При подаче управл ющего посто нного напр жени от ЭВМ через первый ЦАП на сканер положение лазерного пучка фиксируетс в пространстве. Он освещает фрагмент измерительного объема. Синхронно с освещением происходит ввод в ЭВМ сигнала с ФД-24К че- рез АЦП и вырабатываетс сигнал, поступающий через второй ЦАП на реле, управл ющее работой РФК-5.
Пусть в конкретный момент времени получено, что в освещенном фрагменте элемента объекта имеетс п ть рассеивающих частиц (определено по фотографии этого фрагмента, полученной с помощью РФК-5) и имеетс ослабление интенсивности света, прошедшего через фрагмент объекта, на величину Д1
I0- L I, где Ig - известна интенсивность зондирующего пучка; I( - зарегистрированна с помощью ФД-24К интенсивность прошедшего света. При фо- тометрировании пленки с изображением освещаемого фрагмента в рассе нном свете получены относительные величины рассеивающих способностей освещенных частиц, которые соотнос тс как 1:2: :3:5:8. Тогда абсолютные значени рассеивающих способностей зарегистрированных частиц равны: Д1/19; 2Д1/19; 341/19; 5&I/19; 8Д1/19. Причем на результаты этих измерений не оказывает вли ни свет, рассе нный частицами, наход щимис в област х объекта, прилегающих к освещаемому фрагменту. Данные о параметрах рассеивающих частиц во всем объекте получают путем суммировани результатов измерений по каждому фрагменту в отдельности.
Оормула изобретени
Способ исследовани распределени параметров рассеивающих частиц в объек те, включающий освещенное объекта и регистрацию рассе нного им излучени , отличающийс тем, что, с целью повышени точности измерений, объект освещают сканируемым пучком известной мощности, фиксируют координату освещаемой точки объекта в плоскости , обращенной к источнику излучени , регистрируют рассе нное излучени от соответствующего Данной точке элемента объема, одновременно измер ют мощность прошедшего сквозь него излучени и по зарегистрированному рассе нному излучению суд т о распределении рассеивающих центров в элементе объема, а по мощности прошедшего излучени - о рассеивающей способности каждого из центров.
Редактор А. Маковска
Составитель Н. Грищенко
Техред Л.Олийнык Корректор М. Максимишинец
Заказ
Тираж 390
ВНИИПИ Государственного комитета по изобретени м и открыти м при ГКНТ СССР 113035, Москва, Ж-35, Раушска наб., д. 4/5
Производственно-издательский комбинат Патент, г. Ужгород, ул. Гагарина, 101
Подписное
Claims (1)
- Формула изобретения/Способ исследования распределения параметров рассеивающих частиц в объект1 те, включающий освещение объекта и регистрацию рассеянного им излучения, отличающийся тем, что, с целью повышения точности измерений, объект освещают сканируемым пучком известной мощности, фиксируют координату освещаемой точки объекта в плоскости, обращенной к источнику.излучения, регистрируют рассеянное излучение от соответствующего Данной точке, элемента объема, одновременно измеряют мощность прошедшего сквозь него излучения и по зарегистрированному рассеянному излучению судят о распределении рассеивающих центров в элементе объема, а по мощности прошедшего излучения - о рассеивающей способности каждого из центров.
Составитель Н. Грищенко Редактор А. Маковская Техред .Л.Олийнык КорректорМ. Максимишинец Заказ 1142 Тираж 390 Подписное ВНИИПИ Государственного 113035, комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5 Производственно-издательский комбинат Патент, г. Ужгород, ул. Гагарина, 101
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
SU894652274A SU1642326A1 (ru) | 1989-02-21 | 1989-02-21 | Способ исследовани распределени параметров рассеивающих частиц |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
SU894652274A SU1642326A1 (ru) | 1989-02-21 | 1989-02-21 | Способ исследовани распределени параметров рассеивающих частиц |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
SU1642326A1 true SU1642326A1 (ru) | 1991-04-15 |
Family
ID=21429544
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
SU894652274A SU1642326A1 (ru) | 1989-02-21 | 1989-02-21 | Способ исследовани распределени параметров рассеивающих частиц |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
SU (1) | SU1642326A1 (ru) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE4215908A1 (de) * | 1992-05-14 | 1993-11-18 | Ubbo Prof Dr Ricklefs | Optische Einrichtung zur Bestimmung der Größe von Partikeln |
-
1989
- 1989-02-21 SU SU894652274A patent/SU1642326A1/ru active
Non-Patent Citations (1)
Title |
---|
Патент US № 4134679, кл. G 01 N 15/02, 1979. Боровой В.Я. и др. Визуализаци пространственного обтекани моделей с помощью лазерного ножа. - Ученые записки ЦАГИ, т. 4, 1973, № 5, с. 42-49. * |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE4215908A1 (de) * | 1992-05-14 | 1993-11-18 | Ubbo Prof Dr Ricklefs | Optische Einrichtung zur Bestimmung der Größe von Partikeln |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JPH03267745A (ja) | 表面性状検出方法 | |
JPS5999304A (ja) | 顕微鏡系のレーザ光による比較測長装置 | |
CN106767545A (zh) | 一种高精度高空间分辨角度测量仪及角度测量方法 | |
US4920273A (en) | Z-axis measurement system | |
CA2334225C (en) | Method and device for opto-electrical acquisition of shapes by axial illumination | |
JPH10311779A (ja) | レンズ特性測定装置 | |
Persson | Measurement of surface roughness on rough machined surfaces using spectral speckle correlation and image analysis | |
US5880843A (en) | Apparatus and method for determining the optical distortion of a transparent substrate | |
UST102104I4 (en) | Scanning optical system adapted for linewidth measurement in semiconductor devices | |
SU1642326A1 (ru) | Способ исследовани распределени параметров рассеивающих частиц | |
JP3417494B2 (ja) | 硝子基板の表面うねり検査方法及び装置 | |
US11231375B2 (en) | Apparatus for high-speed surface relief measurement | |
JP2987540B2 (ja) | 三次元スキャナー | |
JPH01145504A (ja) | 光学測定装置 | |
KR20010074256A (ko) | 레이저 위상차 해석과 가시광 영상 신호 해석 방식의조합에 의한 고속, 정밀 검사 시스템 | |
RU2156437C2 (ru) | Устройство для определения шероховатости поверхности | |
RU2535519C2 (ru) | Способ бесконтактного измерения параметров шероховатости поверхности | |
KR940002504B1 (ko) | 가는선의 미세결함 검출장치 | |
JPH01235807A (ja) | 深さ測定装置 | |
CN101320218A (zh) | 三扫描式硅片调焦调平测量装置、系统以及方法 | |
JPS61153501A (ja) | 位置検出装置 | |
JPS6177709A (ja) | 表面粗さ計測装置 | |
JPH0411422Y2 (ru) | ||
JPH09280830A (ja) | 間隙測定装置 | |
JPH1123229A (ja) | 膜厚測定方法 |