SU1642326A1 - Способ исследовани распределени параметров рассеивающих частиц - Google Patents

Способ исследовани распределени параметров рассеивающих частиц Download PDF

Info

Publication number
SU1642326A1
SU1642326A1 SU894652274A SU4652274A SU1642326A1 SU 1642326 A1 SU1642326 A1 SU 1642326A1 SU 894652274 A SU894652274 A SU 894652274A SU 4652274 A SU4652274 A SU 4652274A SU 1642326 A1 SU1642326 A1 SU 1642326A1
Authority
SU
USSR - Soviet Union
Prior art keywords
radiation
scattering
distribution
illuminated
power
Prior art date
Application number
SU894652274A
Other languages
English (en)
Inventor
Евгений Викторович Гуменник
Бронюс Симович Ринкевичюс
Original Assignee
Институт Проблем Механики Ан Ссср
Московский энергетический институт
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Институт Проблем Механики Ан Ссср, Московский энергетический институт filed Critical Институт Проблем Механики Ан Ссср
Priority to SU894652274A priority Critical patent/SU1642326A1/ru
Application granted granted Critical
Publication of SU1642326A1 publication Critical patent/SU1642326A1/ru

Links

Landscapes

  • Investigating Or Analysing Materials By Optical Means (AREA)

Abstract

Изобретение относитс  к технике определени  оптическими методами распределени  параметров рассеивающих частиц в объекте и может быть использовано в различных отрасл х промышленности . Цель изобретени  - повышение точности измерений. Дл  этого исследуемый объект освещают сканирующим пучком известной мощностиt фиксируют координату освещаемой точки- объекта в плоскости, обращенной к источнику света, и регистрируют рассе нное измерение от соответствующего данной точке элемента объема объекта с одновременным измерением мощности прошедшего сквозь объект излучени  По зарегистрированному рассе нному излучению суд т о распределении рассеиваю- щих центров в элементе объема, а по мощности прошедшего излучени  - о рассеивающей способности каждого из центров. 1 ил. 2 уг (f, С

Description

Изобретение относитс  к определению оптическими методами распределени  параметров рассеивающих частиц в исследуемом объеме и может быть использовано в различных отрасл х народного хоз йства, например в химической , электронной, оптико-механической , а также в гидродинамике, теплофизике и физике плазмы.
Причем под термином частицы понимаютс  как непрозрачные дл  света включени , содержащиес  в исследуемом объекте, так и прозрачные локальные области, имеющие показатель преломлени , отличный от показател  преломлени  излучаемого объекта.
Целью изобретени   вл етс  повышение точности измерений параметров рассеивающих центров.
Сущность предложенного способа заключаетс  в том, что исследуемый объект освещают пучком известной мощностей, который сканируют по траектории, параметры которой выбирают -исход  из особенностей решаемой задачи. Это может быть, например, плоскость, сфера, (часть сферы) или поверхность (часть поверхности) более сложной формы. ПоС5 -U 1C
оэ
1C
3
ложение сканируемого светового пучка по отношению к объекту регистрируют в каждый фиксированный момент времени, одновременно регистрируют излучение, рассе нное частицами (рассеивающими центрами), содержащимис  в элементе объекта, который освещаетс  в данный фиксированный момент времени. Одновре- менно измер ют интенсивность света, прошедшего через соответствующую область объекта. Но зарегистрированному рассе нному излучению суд т о распределении рассеивающих центров (частиц) в соответствующем элементе объекта. Измерение интенсивности света, прошедшего через этот элемент, позвол ет определить рассеивающую способность каждой из частиц.
На чертеже представлена блок-схе- ма устройства, реализующего предложенный способ.
Устройство содержит лазер 1, измеритель 2 мощности лазерного излучени , сканер 3, осветительный 4 и при- емный 5 объективы, исследуемый объект 6, размещенный между объективами 4 и 5, фотоприемник 7, вычислительно- управл ющии блок 8,св занный с измерителем 2 мощности, сканером 3 и фото- кинорегистрирующим устройством 9, причем сканер 3 согласован с объективом 4, а фотоприемнйк 7 - с объективом 5.
Устройство работает следующим об- разом.
Свет, генерируемый лазером 1, посл измерени  его мощности измерителем 2 попадает на сканер 3, который представл ет собой зеркало, управл емое по углу наклона с помощью электрического сигнала и расположенное в фокальной плоскости объектива 4, Таким образом, сканирование по. углу трансформируетс  в плоскопараллельное перемещение лазерного пучка в области исследуемого объекта 6. На чертеже пунктирными лини ми обозначены крайние положени  сканируемого пучка, а двойной линией - положение зондирую- щего лазерного пучка в фиксированный момент времени. Прошедший через объек 6 лазерный пучок попадает на фотоприемник 7, расположенный в фокальной плоскости объектива 5. Таким образом, лазерные пучки, проход щие в различчные моменты времени через разные области исследуемого объекта, попадают в одну и ту же область фотоприемника
7, что позвол ет исключить вли ние на результаты измерений разЬроса параметров фотоприемника по светочувствительной поверхности и дополнительно повысить точность измерений. Одновременно с регистрацией интенсивности прошедшего через объект света осуществл етс  (с помощью фотокинорегист- рирующего устройства 9) регистрации- картины освещаемого участка объекта в свете, рассе нном частицами. Фиксирование координаты сканирующего пучка в плоскости, перпендикул рной оптической оси объективов 4 и 5, осуществл етс  путем регистрации и запоминани  в вычислительно-управл ющем блоке 8 уровн  напр жений, управл ющих сканером 3. При этом идентификаци  информации , зарегистрированной устройством 9 и фотоприемником 7, осуществл етс  путем синхронизации их работы с помощью вычислительно-управл ющего блока 8.
Повышение точности измерени  распределени  параметров рассеивающих центров (частиц) обеспечиваетс  тем, что в каждый фиксированный момент времени освещаетс  лишь узка  область изучаемого объема, причем положение этой области фиксируетс , а интенсивность освещаемого потока известна. В этот фиксированный момент времени свет рассеивают лишь те частицы, которые наход тс  в освещаемой узкой области объекта.
Зарегистрированна  в рассе нном свете картина объекта в фиксированный момент времени дает информацию о распределении рассеивающих центров в освещаемой области и соотношении рассеивающих способностей этих частиц. Одновременное измерение абсолютного значени  суммарной рассе нной освещаемыми частицами интенсивности света позвол ет (с учетом данных о распределении параметров частиц) измерить абсолютные значени  параметров рассеивающих центров, исключив вли ние на результаты этих измерении эффектов многократного рассе ни . Кроме того, снижаютс  требовани  к мощности источника света, упрощаетс  процесс получени  количественной информации о параметрах исследуемых частиц.
Часть пучка светаf генерируемого лазером ЛГ-52-3, направл етс  с помощью зеркала, имеющего коэффициент отражени  20%, на измеритель мощное;ти , состо щий из калибровочного фото- диода и микроамперметра. Прошедший через зеркало световой пучок, имеющий
мощность (где 1цзм измеренна  интенсивность), направл етс  на магнитоэлектрический сканер, представл ющий собой гальванометр типа М017, помещенный в поле посто нного магнита . В качестве объективов используют- с  телескопические объективы типа ТАИР-3, в качестве фотоприемника - фотодиод ФД-24К, а в качестве фото- кинорегистрирующего устройства - регистрирующа  фотокамера типа РФК-5.
Вычислительно-управл ющий блок представл ет собой измерительно-вычислительный комплекс на базе мик- роЭВМ Электроника-60 и аппаратуры КАМАК, в состав которой входит анало- го-цифровой преобразователь (АЦП) дл  приема информации с ФД-24К и два циф- роаналоговых преобразовател  (ЦАП) дл  управлени  сканером и РФК-5. Дл  кинор егистрации картины объекта в рассе нном свете используетс  кинопленка КН-3 (режим ее химической обработки - стандартный).
При подаче управл ющего посто нного напр жени  от ЭВМ через первый ЦАП на сканер положение лазерного пучка фиксируетс  в пространстве. Он освещает фрагмент измерительного объема. Синхронно с освещением происходит ввод в ЭВМ сигнала с ФД-24К че- рез АЦП и вырабатываетс  сигнал, поступающий через второй ЦАП на реле, управл ющее работой РФК-5.
Пусть в конкретный момент времени получено, что в освещенном фрагменте элемента объекта имеетс  п ть рассеивающих частиц (определено по фотографии этого фрагмента, полученной с помощью РФК-5) и имеетс  ослабление интенсивности света, прошедшего через фрагмент объекта, на величину Д1
I0- L I, где Ig - известна  интенсивность зондирующего пучка; I( - зарегистрированна  с помощью ФД-24К интенсивность прошедшего света. При фо- тометрировании пленки с изображением освещаемого фрагмента в рассе нном свете получены относительные величины рассеивающих способностей освещенных частиц, которые соотнос тс  как 1:2: :3:5:8. Тогда абсолютные значени  рассеивающих способностей зарегистрированных частиц равны: Д1/19; 2Д1/19; 341/19; 5&I/19; 8Д1/19. Причем на результаты этих измерений не оказывает вли ни  свет, рассе нный частицами, наход щимис  в област х объекта, прилегающих к освещаемому фрагменту. Данные о параметрах рассеивающих частиц во всем объекте получают путем суммировани  результатов измерений по каждому фрагменту в отдельности.
Оормула изобретени 
Способ исследовани  распределени  параметров рассеивающих частиц в объек те, включающий освещенное объекта и регистрацию рассе нного им излучени , отличающийс  тем, что, с целью повышени  точности измерений, объект освещают сканируемым пучком известной мощности, фиксируют координату освещаемой точки объекта в плоскости , обращенной к источнику излучени , регистрируют рассе нное излучени от соответствующего Данной точке элемента объема, одновременно измер ют мощность прошедшего сквозь него излучени  и по зарегистрированному рассе нному излучению суд т о распределении рассеивающих центров в элементе объема, а по мощности прошедшего излучени  - о рассеивающей способности каждого из центров.
Редактор А. Маковска 
Составитель Н. Грищенко
Техред Л.Олийнык Корректор М. Максимишинец
Заказ
Тираж 390
ВНИИПИ Государственного комитета по изобретени м и открыти м при ГКНТ СССР 113035, Москва, Ж-35, Раушска  наб., д. 4/5
Производственно-издательский комбинат Патент, г. Ужгород, ул. Гагарина, 101
Подписное

Claims (1)

  1. Формула изобретения/
    Способ исследования распределения параметров рассеивающих частиц в объект1 те, включающий освещение объекта и регистрацию рассеянного им излучения, отличающийся тем, что, с целью повышения точности измерений, объект освещают сканируемым пучком известной мощности, фиксируют координату освещаемой точки объекта в плоскости, обращенной к источнику.излучения, регистрируют рассеянное излучение от соответствующего Данной точке, элемента объема, одновременно измеряют мощность прошедшего сквозь него излучения и по зарегистрированному рассеянному излучению судят о распределении рассеивающих центров в элементе объема, а по мощности прошедшего излучения - о рассеивающей способности каждого из центров.
    Составитель Н. Грищенко Редактор А. Маковская Техред .Л.Олийнык КорректорМ. Максимишинец Заказ 1142 Тираж 390 Подписное ВНИИПИ Государственного 113035, комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5
    Производственно-издательский комбинат Патент, г. Ужгород, ул. Гагарина, 101
SU894652274A 1989-02-21 1989-02-21 Способ исследовани распределени параметров рассеивающих частиц SU1642326A1 (ru)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SU894652274A SU1642326A1 (ru) 1989-02-21 1989-02-21 Способ исследовани распределени параметров рассеивающих частиц

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SU894652274A SU1642326A1 (ru) 1989-02-21 1989-02-21 Способ исследовани распределени параметров рассеивающих частиц

Publications (1)

Publication Number Publication Date
SU1642326A1 true SU1642326A1 (ru) 1991-04-15

Family

ID=21429544

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
SU894652274A SU1642326A1 (ru) 1989-02-21 1989-02-21 Способ исследовани распределени параметров рассеивающих частиц

Country Status (1)

Country Link
SU (1) SU1642326A1 (ru)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE4215908A1 (de) * 1992-05-14 1993-11-18 Ubbo Prof Dr Ricklefs Optische Einrichtung zur Bestimmung der Größe von Partikeln

Non-Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
Патент US № 4134679, кл. G 01 N 15/02, 1979. Боровой В.Я. и др. Визуализаци пространственного обтекани моделей с помощью лазерного ножа. - Ученые записки ЦАГИ, т. 4, 1973, № 5, с. 42-49. *

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE4215908A1 (de) * 1992-05-14 1993-11-18 Ubbo Prof Dr Ricklefs Optische Einrichtung zur Bestimmung der Größe von Partikeln

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JPH03267745A (ja) 表面性状検出方法
JPS5999304A (ja) 顕微鏡系のレーザ光による比較測長装置
CN106767545A (zh) 一种高精度高空间分辨角度测量仪及角度测量方法
US4920273A (en) Z-axis measurement system
CA2334225C (en) Method and device for opto-electrical acquisition of shapes by axial illumination
JPH10311779A (ja) レンズ特性測定装置
Persson Measurement of surface roughness on rough machined surfaces using spectral speckle correlation and image analysis
US5880843A (en) Apparatus and method for determining the optical distortion of a transparent substrate
UST102104I4 (en) Scanning optical system adapted for linewidth measurement in semiconductor devices
SU1642326A1 (ru) Способ исследовани распределени параметров рассеивающих частиц
JP3417494B2 (ja) 硝子基板の表面うねり検査方法及び装置
US11231375B2 (en) Apparatus for high-speed surface relief measurement
JP2987540B2 (ja) 三次元スキャナー
JPH01145504A (ja) 光学測定装置
KR20010074256A (ko) 레이저 위상차 해석과 가시광 영상 신호 해석 방식의조합에 의한 고속, 정밀 검사 시스템
RU2156437C2 (ru) Устройство для определения шероховатости поверхности
RU2535519C2 (ru) Способ бесконтактного измерения параметров шероховатости поверхности
KR940002504B1 (ko) 가는선의 미세결함 검출장치
JPH01235807A (ja) 深さ測定装置
CN101320218A (zh) 三扫描式硅片调焦调平测量装置、系统以及方法
JPS61153501A (ja) 位置検出装置
JPS6177709A (ja) 表面粗さ計測装置
JPH0411422Y2 (ru)
JPH09280830A (ja) 間隙測定装置
JPH1123229A (ja) 膜厚測定方法