JPH10154646A - 搬送装置 - Google Patents
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- JPH10154646A JPH10154646A JP8311518A JP31151896A JPH10154646A JP H10154646 A JPH10154646 A JP H10154646A JP 8311518 A JP8311518 A JP 8311518A JP 31151896 A JP31151896 A JP 31151896A JP H10154646 A JPH10154646 A JP H10154646A
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- H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
- H01L21/04—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof the devices having at least one potential-jump barrier or surface barrier, e.g. PN junction, depletion layer or carrier concentration layer
- H01L21/18—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof the devices having at least one potential-jump barrier or surface barrier, e.g. PN junction, depletion layer or carrier concentration layer the devices having semiconductor bodies comprising elements of Group IV of the Periodic System or AIIIBV compounds with or without impurities, e.g. doping materials
- H01L21/30—Treatment of semiconductor bodies using processes or apparatus not provided for in groups H01L21/20 - H01L21/26
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- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
- G03F1/00—Originals for photomechanical production of textured or patterned surfaces, e.g., masks, photo-masks, reticles; Mask blanks or pellicles therefor; Containers specially adapted therefor; Preparation thereof
- G03F1/66—Containers specially adapted for masks, mask blanks or pellicles; Preparation thereof
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- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
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- G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
- G03F7/70—Microphotolithographic exposure; Apparatus therefor
- G03F7/70483—Information management; Active and passive control; Testing; Wafer monitoring, e.g. pattern monitoring
- G03F7/70491—Information management, e.g. software; Active and passive control, e.g. details of controlling exposure processes or exposure tool monitoring processes
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- G—PHYSICS
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- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
- G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
- G03F7/70—Microphotolithographic exposure; Apparatus therefor
- G03F7/70691—Handling of masks or workpieces
- G03F7/70733—Handling masks and workpieces, e.g. exchange of workpiece or mask, transport of workpiece or mask
- G03F7/70741—Handling masks outside exposure position, e.g. reticle libraries
Abstract
(57)【要約】
【課題】 原板収納容器内における原板の有無や、その
収納位置の検出、並びに収納容器の種類の判別を自動的
に行い、搬送ミスなく自動搬送を行う。 【解決手段】 一枚もしくは複数枚のレチクルＲを収納
可能な収納容器３０，３５を半導体製造装置内に配設
し、この収納容器内におけるレチクルＲの有無およびそ
の位置をレチクル収納判別センサ１５により検出（判
別）し、この判別結果に基づいてレチクル搬送系５０に
よるレチクルＲの搬送を制御し、半導体製造装置内にお
ける収納容器内へのレチクルの出し入れおよび搬送を行
う。このように、収納容器３０，３５内のレチクルＲの
有無および位置がレチクル収納判別センサ１５により検
出されるため、間違いのない確実なレチクルの自動搬送
が可能である。
収納位置の検出、並びに収納容器の種類の判別を自動的
に行い、搬送ミスなく自動搬送を行う。 【解決手段】 一枚もしくは複数枚のレチクルＲを収納
可能な収納容器３０，３５を半導体製造装置内に配設
し、この収納容器内におけるレチクルＲの有無およびそ
の位置をレチクル収納判別センサ１５により検出（判
別）し、この判別結果に基づいてレチクル搬送系５０に
よるレチクルＲの搬送を制御し、半導体製造装置内にお
ける収納容器内へのレチクルの出し入れおよび搬送を行
う。このように、収納容器３０，３５内のレチクルＲの
有無および位置がレチクル収納判別センサ１５により検
出されるため、間違いのない確実なレチクルの自動搬送
が可能である。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、搬送装置に関し、
特に、レチクル、フォトマスク等の原板（露光原板）を
搬送する搬送装置に関する。
特に、レチクル、フォトマスク等の原板（露光原板）を
搬送する搬送装置に関する。
【０００２】露光装置（ステッパー）においては、レチ
クルの表面に形成されたパターンを、フォトレジストが
塗布されたウエハ上に露光してウエハに回路パターンを
形成する作業が行われる。ところで、このような装置に
おいては、ウエハ上に何層にも重ねて回路パターンが露
光形成されるものであり、複数種類のレチクルを用いて
複数種類のパターンを形成する必要があり、複数種類の
レチクルを順次交換しながら露光を行うようになってい
る。
クルの表面に形成されたパターンを、フォトレジストが
塗布されたウエハ上に露光してウエハに回路パターンを
形成する作業が行われる。ところで、このような装置に
おいては、ウエハ上に何層にも重ねて回路パターンが露
光形成されるものであり、複数種類のレチクルを用いて
複数種類のパターンを形成する必要があり、複数種類の
レチクルを順次交換しながら露光を行うようになってい
る。
【０００３】このように複数種類のレチクルを効率良く
交換しながら使用するために、従来から原板（レチクル
等）を効率良く搬送する搬送装置が種々提案されてい
る。一例を挙げれば、特開平７−３２１１７９号に開示
の搬送装置があり、この搬送装置は、露光装置内に配設
されて一枚もしくは複数枚の原板を収納した収納容器か
らの原板の搬出入を行うとともに、このように搬出入さ
れた原板を露光処理ステージとの間で搬送するようにな
っている。
交換しながら使用するために、従来から原板（レチクル
等）を効率良く搬送する搬送装置が種々提案されてい
る。一例を挙げれば、特開平７−３２１１７９号に開示
の搬送装置があり、この搬送装置は、露光装置内に配設
されて一枚もしくは複数枚の原板を収納した収納容器か
らの原板の搬出入を行うとともに、このように搬出入さ
れた原板を露光処理ステージとの間で搬送するようにな
っている。
【０００４】但し、このような搬送装置においては、原
板（基板）を収納する収納容器内に原板が収納されてい
ることが予め分かっており、且つ複数の原板収納が可能
な収納容器の場合にはどの位置に原板が収納されている
かが予め分かっている状態でないと原板の搬送ができな
い。このため、従来では、オペレータが収納容器内にお
ける原板の有無および位置や、収納容器の種類（何枚の
原板が収容可能な容器であるか）等を予め確認してお
き、自動搬送に際してはオペレータが原板の位置等を指
定して原板の搬送指示を行うようになっていた。
板（基板）を収納する収納容器内に原板が収納されてい
ることが予め分かっており、且つ複数の原板収納が可能
な収納容器の場合にはどの位置に原板が収納されている
かが予め分かっている状態でないと原板の搬送ができな
い。このため、従来では、オペレータが収納容器内にお
ける原板の有無および位置や、収納容器の種類（何枚の
原板が収容可能な容器であるか）等を予め確認してお
き、自動搬送に際してはオペレータが原板の位置等を指
定して原板の搬送指示を行うようになっていた。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、例えば
オペレータのミスにより実際には空の位置から原板を搬
出するような指示を行うと、搬送装置は空の位置から原
板の搬出を行おうとして搬送エラーとなり、装置の作動
が停止し、生産工程が止まる等といった問題が生じるお
それがある。逆に、実際には原板が入っている位置を空
であると判断してこの位置に原板を搬入させるような指
示を行うと、既に入っている原板に搬入しようとした原
板が衝突して、高価な原板が損傷するという問題が生じ
る。
オペレータのミスにより実際には空の位置から原板を搬
出するような指示を行うと、搬送装置は空の位置から原
板の搬出を行おうとして搬送エラーとなり、装置の作動
が停止し、生産工程が止まる等といった問題が生じるお
それがある。逆に、実際には原板が入っている位置を空
であると判断してこの位置に原板を搬入させるような指
示を行うと、既に入っている原板に搬入しようとした原
板が衝突して、高価な原板が損傷するという問題が生じ
る。
【０００６】さらに、自動搬送を開始した後に、オペレ
ータが原板収納容器を交換したような場合に、交換前の
収納容器では空であった位置に交換後の容器では原板が
収納されているにも拘わらず、原板搬入先としてこの収
納位置（元は空であった位置）を指定したままである
と、既に収納されている原板と搬入されてきた原板とが
衝突してこれら原板が損傷するという問題が生じる。
ータが原板収納容器を交換したような場合に、交換前の
収納容器では空であった位置に交換後の容器では原板が
収納されているにも拘わらず、原板搬入先としてこの収
納位置（元は空であった位置）を指定したままである
と、既に収納されている原板と搬入されてきた原板とが
衝突してこれら原板が損傷するという問題が生じる。
【０００７】なお、このようにオペレータが原板の有無
等を確認する代わりに、容器内に原板が存在するか否か
を判別する光センサを取り付けて自動確認する等といっ
た方法が考えられるが、原板となるレチクルはクォーツ
等の透明な材質の平板状部材（石英ガラス板）であるた
め、レチクル内を光が透過するため、透過型光センサを
用いても原板の有無の判別が難しいという問題もある。
等を確認する代わりに、容器内に原板が存在するか否か
を判別する光センサを取り付けて自動確認する等といっ
た方法が考えられるが、原板となるレチクルはクォーツ
等の透明な材質の平板状部材（石英ガラス板）であるた
め、レチクル内を光が透過するため、透過型光センサを
用いても原板の有無の判別が難しいという問題もある。
【０００８】また、原板収納容器は、一枚の原板を収納
するものや、複数枚の原板を収納するものなどいくつか
の種類があるが、これら収納容器の種類が判断できない
と、自動搬送ができないという問題もある。このため、
例えば、一枚の原板を収納する容器が取り付けられてい
るにも拘わらず、複数枚の原板を収納する容器が取り付
けられているという指定の下で原板の搬送を行うと、搬
送エラーや、原板同士の衝突による損傷という問題が生
じるおそれがある。
するものや、複数枚の原板を収納するものなどいくつか
の種類があるが、これら収納容器の種類が判断できない
と、自動搬送ができないという問題もある。このため、
例えば、一枚の原板を収納する容器が取り付けられてい
るにも拘わらず、複数枚の原板を収納する容器が取り付
けられているという指定の下で原板の搬送を行うと、搬
送エラーや、原板同士の衝突による損傷という問題が生
じるおそれがある。
【０００９】本発明はこのような問題に鑑み、収納容器
内における原板の有無や、その収納位置の検出、並びに
収納容器の種類の判別を自動的に行い、オペレータ等に
よる原板の確認等を行わなくても、搬送が可能な搬送装
置を提供することを目的とする。
内における原板の有無や、その収納位置の検出、並びに
収納容器の種類の判別を自動的に行い、オペレータ等に
よる原板の確認等を行わなくても、搬送が可能な搬送装
置を提供することを目的とする。
【００１０】本発明は特に、露光装置用のレチクルのよ
うな透明原板を収納容器内に収納した場合でも、この原
板の有無および位置の検出を確実に行って正確な搬送が
可能となる搬送装置を提供することを目的とする。
うな透明原板を収納容器内に収納した場合でも、この原
板の有無および位置の検出を確実に行って正確な搬送が
可能となる搬送装置を提供することを目的とする。
【００１１】
【課題を解決するための手段および作用】このような目
的達成のため、実施例を表す図１〜図５に対応付けて説
明すると、本発明の原板搬送装置は、原板（Ｒ）を収納
可能な原板収納容器（３０，３５）とこの原板を用いて
所定の処理を施す処理装置（９０）との間で原板を搬送
するように構成され、原板収納容器に収納されている原
板の端面を検出する端面検出手段（１５，１００）を備
えている。このように端面検出手段は原板の端面を検出
して原板収納容器内の原板の有無等を検出するので、原
板収納容器内に原板が重なるように収納されている場合
でもそのままの状態で原板の有無を確実に検出すること
ができ、原板の搬送をスムーズに行うことができる。
的達成のため、実施例を表す図１〜図５に対応付けて説
明すると、本発明の原板搬送装置は、原板（Ｒ）を収納
可能な原板収納容器（３０，３５）とこの原板を用いて
所定の処理を施す処理装置（９０）との間で原板を搬送
するように構成され、原板収納容器に収納されている原
板の端面を検出する端面検出手段（１５，１００）を備
えている。このように端面検出手段は原板の端面を検出
して原板収納容器内の原板の有無等を検出するので、原
板収納容器内に原板が重なるように収納されている場合
でもそのままの状態で原板の有無を確実に検出すること
ができ、原板の搬送をスムーズに行うことができる。
【００１２】なお、端面検出手段は、光を照射する照射
系（１５）と、前記原板の端面で反射された反射光を受
光する受光系（１５）と、受光系が反射光を受光したと
きに原板収納容器に原板が収納されていると判定する判
定装置（１００）とを備えて構成されるのが好ましい。
この場合には、原板が露光装置用のレチクルのように透
明ガラス板等のような場合でもその有無を確実に検出す
ることができる。
系（１５）と、前記原板の端面で反射された反射光を受
光する受光系（１５）と、受光系が反射光を受光したと
きに原板収納容器に原板が収納されていると判定する判
定装置（１００）とを備えて構成されるのが好ましい。
この場合には、原板が露光装置用のレチクルのように透
明ガラス板等のような場合でもその有無を確実に検出す
ることができる。
【００１３】原板収納容器に上下に重なるようにして原
板を複数収納する場合には、原板の上下方向に関する位
置を検出する位置検出手段（１５，１００）を備えるこ
とが望ましい。これにより、端面検出手段により原板の
有無を検出したときの位置を検出することができ、原板
の有無のみならず原板の位置も正確に求めることができ
る。
板を複数収納する場合には、原板の上下方向に関する位
置を検出する位置検出手段（１５，１００）を備えるこ
とが望ましい。これにより、端面検出手段により原板の
有無を検出したときの位置を検出することができ、原板
の有無のみならず原板の位置も正確に求めることができ
る。
【００１４】以上の構成の搬送装置においては、端面検
出手段の検出結果に応じて搬送を制御する制御手段が設
けられ、これにより搬送エラーのない正確な原板搬送を
行わせることができる。
出手段の検出結果に応じて搬送を制御する制御手段が設
けられ、これにより搬送エラーのない正確な原板搬送を
行わせることができる。
【００１５】このような搬送に用いられる上記原板とし
てはその表面にパターンが形成されたレチクルがあり、
この場合に処理装置はレチクルのパターンの像を基板に
露光する露光装置（９０）からなる。
てはその表面にパターンが形成されたレチクルがあり、
この場合に処理装置はレチクルのパターンの像を基板に
露光する露光装置（９０）からなる。
【００１６】また、上記とは異なる本発明に係る搬送装
置は、原板（Ｒ）を収納可能な原板収納容器（３０，３
５）とこの原板を用いて所定の処理を施す処理装置（９
０）との間で原板を搬送するように構成され、原板収納
容器は原板の収納枚数に応じて大きさが異なっており、
原板収納容器の大きさの違いを検出する検出手段（１７
ａ，１７ｂ）を有する。これにより、使用される原板収
納容器の大きさに応じた搬送制御が可能となる。
置は、原板（Ｒ）を収納可能な原板収納容器（３０，３
５）とこの原板を用いて所定の処理を施す処理装置（９
０）との間で原板を搬送するように構成され、原板収納
容器は原板の収納枚数に応じて大きさが異なっており、
原板収納容器の大きさの違いを検出する検出手段（１７
ａ，１７ｂ）を有する。これにより、使用される原板収
納容器の大きさに応じた搬送制御が可能となる。
【００１７】原板収納容器は原板の収納枚数に応じて鉛
直方向の長さが異なる構成である場合には、検出手段は
鉛直方向の長さの違いに基づいて原板収納容器の大きさ
を検出する。これは原板収納容器に鉛直方向に重なるよ
うに原板を収納する場合には、収納原板枚数に応じて収
納容器の高さが異なるためである。
直方向の長さが異なる構成である場合には、検出手段は
鉛直方向の長さの違いに基づいて原板収納容器の大きさ
を検出する。これは原板収納容器に鉛直方向に重なるよ
うに原板を収納する場合には、収納原板枚数に応じて収
納容器の高さが異なるためである。
【００１８】
【発明の実施の形態】以下、図面を参照して本発明の好
ましい実施形態について説明する。図１に、本発明に係
る搬送装置を備えた露光装置（ステッパー）の内部構造
を示しており、ここに示される装置構成全体が、清浄な
雰囲気状態が保持されたチャンバー（図示せず）内に配
設されている。なお、この図において矢印Ｘ，Ｙ，Ｚで
示す方向を、それぞれＸ方向、Ｙ方向、Ｚ方向として説
明する。
ましい実施形態について説明する。図１に、本発明に係
る搬送装置を備えた露光装置（ステッパー）の内部構造
を示しており、ここに示される装置構成全体が、清浄な
雰囲気状態が保持されたチャンバー（図示せず）内に配
設されている。なお、この図において矢印Ｘ，Ｙ，Ｚで
示す方向を、それぞれＸ方向、Ｙ方向、Ｚ方向として説
明する。
【００１９】この露光装置は、基本的には、ベース１の
上に設置されたレチクル収納系１０と、レチクル搬送系
５０と、露光系９０とを、図示しない防振台上に設置し
て構成される。
上に設置されたレチクル収納系１０と、レチクル搬送系
５０と、露光系９０とを、図示しない防振台上に設置し
て構成される。
【００２０】図５は、本露光装置の構成を示すブロック
図である。制御装置１００は、本露光装置全体を制御す
るものであり、特に、露光系９０とレチクル搬送系５０
とレチクル収納系１０とを制御している。また、レチク
ル収納系１０は、後述の上下移動機構１２とレチクル収
納判別センサ１５と容器サイズ検出センサ１７ａ，１７
ｂの出力を制御装置１００に供給している。
図である。制御装置１００は、本露光装置全体を制御す
るものであり、特に、露光系９０とレチクル搬送系５０
とレチクル収納系１０とを制御している。また、レチク
ル収納系１０は、後述の上下移動機構１２とレチクル収
納判別センサ１５と容器サイズ検出センサ１７ａ，１７
ｂの出力を制御装置１００に供給している。
【００２１】図１に戻って、レチクル収納系１０は、ベ
ース１の上にＸ方向に所定間隔を有して並んで配設され
た３個の収納分離ユニット１１と、このユニット１１の
上にそれぞれ着脱自在に取り付けられた収納容器３０，
３５とを有する。なお、図において最も手前側の収納分
離ユニット１１は、レチクルＲ上の異物を検出する異物
検査装置４０の上に配設されている。
ース１の上にＸ方向に所定間隔を有して並んで配設され
た３個の収納分離ユニット１１と、このユニット１１の
上にそれぞれ着脱自在に取り付けられた収納容器３０，
３５とを有する。なお、図において最も手前側の収納分
離ユニット１１は、レチクルＲ上の異物を検出する異物
検査装置４０の上に配設されている。
【００２２】収納容器３０，３５は、表面に所定パター
ンが形成された透明ガラス板からなるレチクルＲを一枚
もしくは複数枚収容可能な容器であり、本例では、６枚
のレチクルＲを収容可能な収納容器３０と、１枚のレチ
クルＲを収容可能な収納容器３５との２種類の収納容器
が用いられる。なお、収納容器３０，３５は、レチクル
Ｒを一枚ずつ密封するケース（いわゆるレチクルケー
ス）を介在させることなく、レチクルＲをそのまま収納
するものである。また、いずれの収納容器３０，３５も
全ての収納分離ユニット１１に対して着脱自在に取付可
能である。
ンが形成された透明ガラス板からなるレチクルＲを一枚
もしくは複数枚収容可能な容器であり、本例では、６枚
のレチクルＲを収容可能な収納容器３０と、１枚のレチ
クルＲを収容可能な収納容器３５との２種類の収納容器
が用いられる。なお、収納容器３０，３５は、レチクル
Ｒを一枚ずつ密封するケース（いわゆるレチクルケー
ス）を介在させることなく、レチクルＲをそのまま収納
するものである。また、いずれの収納容器３０，３５も
全ての収納分離ユニット１１に対して着脱自在に取付可
能である。
【００２３】図４に示すように、収納容器３０は、底板
３１と、この底板３１の上に配設された保持棚３３と、
この保持棚３３を覆って底板３１に着脱自在に取り付け
られたカバー３２とを有して構成される。カバー３２は
図示しないロック機構により底板３１とロック係合可能
である。保持棚３３には、六段の棚が設けられており、
各棚に図示のようにレチクルＲを挿入保持可能となって
いる。
３１と、この底板３１の上に配設された保持棚３３と、
この保持棚３３を覆って底板３１に着脱自在に取り付け
られたカバー３２とを有して構成される。カバー３２は
図示しないロック機構により底板３１とロック係合可能
である。保持棚３３には、六段の棚が設けられており、
各棚に図示のようにレチクルＲを挿入保持可能となって
いる。
【００２４】収納容器３５も収納容器３０と同一の構成
であるが、この容器の保持棚には一段の棚が設けられて
おり、１枚のレチクルＲのみが保持可能である。このた
め、収納容器３５の全高は収納容器３０より低い。な
お、本例では１枚用および６枚用の収納容器のみを使用
するが、これ以外の枚数のレチクルを収容する容器を用
いてもよく、その場合には、収容レチクル枚数に応じて
その全高が異なる。
であるが、この容器の保持棚には一段の棚が設けられて
おり、１枚のレチクルＲのみが保持可能である。このた
め、収納容器３５の全高は収納容器３０より低い。な
お、本例では１枚用および６枚用の収納容器のみを使用
するが、これ以外の枚数のレチクルを収容する容器を用
いてもよく、その場合には、収容レチクル枚数に応じて
その全高が異なる。
【００２５】収納分離ユニット１１は、上面に収納容器
３０，３５を受容保持する取付部が設けられており、こ
の取付部には底板３１および保持棚３３を内部に受容す
るための開口が設けられている。取付部は、ここに取り
付けられた収納容器におけるカバーと底板とのロックを
解除する機構を有している。さらに、ユニット１１内に
は、図２（ユニット１１の内部構造のみを示す平面図）
に示すように、上下移動機構１２が後部側に立設されて
おり、この上下移動機構１２により、カバーと底板との
ロックが解除された底板３１とその上の保持棚３３とを
支持して、図３に示すように、ユニット１１内に移動
（下動）させることができる。なお、このとき、カバー
３２は取付部に取り付けた状態のまま残される。
３０，３５を受容保持する取付部が設けられており、こ
の取付部には底板３１および保持棚３３を内部に受容す
るための開口が設けられている。取付部は、ここに取り
付けられた収納容器におけるカバーと底板とのロックを
解除する機構を有している。さらに、ユニット１１内に
は、図２（ユニット１１の内部構造のみを示す平面図）
に示すように、上下移動機構１２が後部側に立設されて
おり、この上下移動機構１２により、カバーと底板との
ロックが解除された底板３１とその上の保持棚３３とを
支持して、図３に示すように、ユニット１１内に移動
（下動）させることができる。なお、このとき、カバー
３２は取付部に取り付けた状態のまま残される。
【００２６】収納分離ユニット１１の前面側は開放され
ており、図２および図３に示すように、レチクル収納判
別センサ１５が配設されている。レチクル収納判別セン
サ１５は検出光を照射する照射系と反射光を検出する受
光系とを有して構成され、照射系から対象物に検出光を
照射してこの対象物から反射する反射光を受光系におい
て受光する。制御装置１００は、受光系からの信号の有
無に基づいて対象物の有無を検出する。
ており、図２および図３に示すように、レチクル収納判
別センサ１５が配設されている。レチクル収納判別セン
サ１５は検出光を照射する照射系と反射光を検出する受
光系とを有して構成され、照射系から対象物に検出光を
照射してこの対象物から反射する反射光を受光系におい
て受光する。制御装置１００は、受光系からの信号の有
無に基づいて対象物の有無を検出する。
【００２７】レチクルＲは、例えば、５インチサイズの
ものでは約３ｍｍ程度の厚さを有しており、６インチサ
イズのものでは約６ｍｍ程度の厚さを有している。この
ため、レチクルの端面の厚さを利用して、照射系がレチ
クルＲの端面に斜め方向から光を照射し、受光系がレチ
クルＲの端面から反射した光を受光している。
ものでは約３ｍｍ程度の厚さを有しており、６インチサ
イズのものでは約６ｍｍ程度の厚さを有している。この
ため、レチクルの端面の厚さを利用して、照射系がレチ
クルＲの端面に斜め方向から光を照射し、受光系がレチ
クルＲの端面から反射した光を受光している。
【００２８】レチクル収納判別センサ１５は、上下移動
機構１２によりユニット１１内に移動される保持棚３３
と対向する位置に配設されており、前述のように、保持
棚３３に受容保持されたレチクルＲの前端面に検出光を
照射して保持棚３３にレチクルＲが受容されているか否
かの検出を行う。
機構１２によりユニット１１内に移動される保持棚３３
と対向する位置に配設されており、前述のように、保持
棚３３に受容保持されたレチクルＲの前端面に検出光を
照射して保持棚３３にレチクルＲが受容されているか否
かの検出を行う。
【００２９】レチクルＲは石英ガラス板等からなる透明
な部材であり、光を透過させるため、光透過型センサで
はレチクルの有無を検出するのが難しいのであるが、こ
こでは光反射型センサを用いてレチクル端面からの反射
光の有無を検出するため、透明なレチクルＲの有無を確
実に検出できる。なお、このレチクル収納判別センサ１
５は、保持棚３３の移動経路の途中に配設されており、
上下移動機構１２により保持棚３３が完全に下動された
とき（図３に示す位置にあるとき）には、レチクル収納
判別センサ１５は保持棚３３より上側に位置し、保持棚
３３の前面側は完全に開放した状態となる。
な部材であり、光を透過させるため、光透過型センサで
はレチクルの有無を検出するのが難しいのであるが、こ
こでは光反射型センサを用いてレチクル端面からの反射
光の有無を検出するため、透明なレチクルＲの有無を確
実に検出できる。なお、このレチクル収納判別センサ１
５は、保持棚３３の移動経路の途中に配設されており、
上下移動機構１２により保持棚３３が完全に下動された
とき（図３に示す位置にあるとき）には、レチクル収納
判別センサ１５は保持棚３３より上側に位置し、保持棚
３３の前面側は完全に開放した状態となる。
【００３０】制御装置１００は、上下移動機構１２から
の上下位置に関する信号と、レチクル収納判別センサ１
５からの出力信号とに基づいて、保持棚３３のどの棚に
レチクルＲが収納されており、どの棚が空であるかを判
別することができる。
の上下位置に関する信号と、レチクル収納判別センサ１
５からの出力信号とに基づいて、保持棚３３のどの棚に
レチクルＲが収納されており、どの棚が空であるかを判
別することができる。
【００３１】なお、本実施形態では、各収納容器３０，
３５に対して、一つのレチクル収納判別センサ１５を設
けたが、鉛直（上下）方向に沿って複数のレチクル収納
判別センサ１５を設けてもいい。この場合には、制御装
置１００は、複数のレチクル収納判別センサ１５の出力
のみで保持棚のどの棚にレチクルＲが収納されており、
どの棚が空であるかを判別することができる。また、レ
チクル収納判別センサ１５を可動方式にして、レチクル
搬送アーム５２が保持棚３３に入り込むときに、レチク
ル収納判別センサ１５を邪魔にならない位置に退避させ
てもいい。
３５に対して、一つのレチクル収納判別センサ１５を設
けたが、鉛直（上下）方向に沿って複数のレチクル収納
判別センサ１５を設けてもいい。この場合には、制御装
置１００は、複数のレチクル収納判別センサ１５の出力
のみで保持棚のどの棚にレチクルＲが収納されており、
どの棚が空であるかを判別することができる。また、レ
チクル収納判別センサ１５を可動方式にして、レチクル
搬送アーム５２が保持棚３３に入り込むときに、レチク
ル収納判別センサ１５を邪魔にならない位置に退避させ
てもいい。
【００３２】また、収納分離ユニット１１の上面側に
は、発光器１７ａおよび受光器１７ｂからなる容器サイ
ズ検出センサが取り付けられている。この容器サイズ検
出センサは、発光器１７ａから受光器１７ｂに検出光を
照射し、受光器１７ｂによる受光の有無を検出する光透
過型センサであり、取付部を挟むように取り付けられて
いる。さらに、この容器サイズ検出センサは、収納容器
３０が取り付けられたときには発光器１７ａから受光器
１７ｂに至る光路１８が遮られるが収納容器３５が取り
付けられても光路１８が遮られることがない高さ位置に
配設されている。このため、制御装置１００は、受光器
１７ｂにより発光器１７ａからの光が受光できないとき
に、収納容器３０が取り付けられており、発光器１７ａ
からの光を受光できるときに、収納容器３５が取り付け
られていると判断できる。
は、発光器１７ａおよび受光器１７ｂからなる容器サイ
ズ検出センサが取り付けられている。この容器サイズ検
出センサは、発光器１７ａから受光器１７ｂに検出光を
照射し、受光器１７ｂによる受光の有無を検出する光透
過型センサであり、取付部を挟むように取り付けられて
いる。さらに、この容器サイズ検出センサは、収納容器
３０が取り付けられたときには発光器１７ａから受光器
１７ｂに至る光路１８が遮られるが収納容器３５が取り
付けられても光路１８が遮られることがない高さ位置に
配設されている。このため、制御装置１００は、受光器
１７ｂにより発光器１７ａからの光が受光できないとき
に、収納容器３０が取り付けられており、発光器１７ａ
からの光を受光できるときに、収納容器３５が取り付け
られていると判断できる。
【００３３】なお、本例では収納容器３０，３５のみが
用いられるため、容器サイズ検出センサは一組しか設け
られていないが、収納容器の種類が多いときには、各容
器の高さに対応した複数組のセンサが用いられる。な
お、高さ方向に連続した幅を持つ光センサを用いても良
い。また、上記のような光透過型センサに代えて、光反
射型センサを用いても良い。
用いられるため、容器サイズ検出センサは一組しか設け
られていないが、収納容器の種類が多いときには、各容
器の高さに対応した複数組のセンサが用いられる。な
お、高さ方向に連続した幅を持つ光センサを用いても良
い。また、上記のような光透過型センサに代えて、光反
射型センサを用いても良い。
【００３４】レチクル搬送系５０は、レチクル搬送アー
ム５２を有した第１搬送系５１と、レチクル搬送ユニッ
ト５６を有した第２搬送系５５と、ロードアーム６１お
よびアンロードアーム６２を有した第３搬送系６０とを
有して構成される。
ム５２を有した第１搬送系５１と、レチクル搬送ユニッ
ト５６を有した第２搬送系５５と、ロードアーム６１お
よびアンロードアーム６２を有した第３搬送系６０とを
有して構成される。
【００３５】第１搬送系５１は、各収納分離ユニット１
１に対応して合計３組配設されており、それぞれレチク
ル搬送アーム５２と、このアーム５２を矢印Ａで示すよ
うにＹ方向（前後）に移動させるとともに矢印Ｂで示す
ようにＺ方向（上下）に移動させる第１移動機構を有し
ている。なお、このような移動経路の途中に、レチクル
位置補正ユニット５３と、レチクルＲに設けられたバー
コードを読み取る第１バーコードリーダ５４とが設けら
れている。
１に対応して合計３組配設されており、それぞれレチク
ル搬送アーム５２と、このアーム５２を矢印Ａで示すよ
うにＹ方向（前後）に移動させるとともに矢印Ｂで示す
ようにＺ方向（上下）に移動させる第１移動機構を有し
ている。なお、このような移動経路の途中に、レチクル
位置補正ユニット５３と、レチクルＲに設けられたバー
コードを読み取る第１バーコードリーダ５４とが設けら
れている。
【００３６】第２搬送系５５は、レチクル搬送ユニット
５６をチャンバー内上部において矢印Ｃで示すようにＸ
方向（左右方向）に移動させる第２移動機構を有してい
る。また、レチクル搬送ユニット５６は真空吸着機構を
有しており、真空吸着機構によりレチクルＲを吸着して
保持可能である。
５６をチャンバー内上部において矢印Ｃで示すようにＸ
方向（左右方向）に移動させる第２移動機構を有してい
る。また、レチクル搬送ユニット５６は真空吸着機構を
有しており、真空吸着機構によりレチクルＲを吸着して
保持可能である。
【００３７】第３搬送系６０は、上下に重なるように位
置するロードアーム６１およびアンロードアーム６２を
それぞれ独立して、矢印Ｄで示すようにＺ方向に移動さ
せ、矢印Ｅで示すようにＹ方向に移動させ、さらに矢印
Ｆで示すようにＺ方向に移動させる第３移動機構を有し
ている。なお、矢印Ｅで示す移動経路中に、この経路に
沿って搬送されるレチクルＲのバーコードを読み取る第
２バーコードリーダ６５が設けられている。
置するロードアーム６１およびアンロードアーム６２を
それぞれ独立して、矢印Ｄで示すようにＺ方向に移動さ
せ、矢印Ｅで示すようにＹ方向に移動させ、さらに矢印
Ｆで示すようにＺ方向に移動させる第３移動機構を有し
ている。なお、矢印Ｅで示す移動経路中に、この経路に
沿って搬送されるレチクルＲのバーコードを読み取る第
２バーコードリーダ６５が設けられている。
【００３８】露光系９０は、図示しない照明系と、レチ
クルＲを載置するレチクルステージ９１と、投影レンズ
系９２と、ウエハＷを載置するウエハステージとを有し
て構成される。ここでは、レチクルステージ９１に位置
決めされて載置されたレチクルＲに照明系からの光を照
射し、レチクルＲのパターンを投影レンズ系９２を介し
て縮小してウエハＷの所定位置に照射する。なお、この
露光系９０の作動は本願発明とは直接関連しないので、
詳細説明は省略する。
クルＲを載置するレチクルステージ９１と、投影レンズ
系９２と、ウエハＷを載置するウエハステージとを有し
て構成される。ここでは、レチクルステージ９１に位置
決めされて載置されたレチクルＲに照明系からの光を照
射し、レチクルＲのパターンを投影レンズ系９２を介し
て縮小してウエハＷの所定位置に照射する。なお、この
露光系９０の作動は本願発明とは直接関連しないので、
詳細説明は省略する。
【００３９】以上の構成の露光装置の作動を以下に説明
する。まず、保持棚３３に所定のレチクルＲを収納して
底板とカバーとをロックさせた状態の収納容器３０，３
５を、オペレータが収納分離ユニット１１の取付部に取
り付ける。なお、このとき、ユニット１１が取り付けら
れたことを検出するセンサ、スイッチ等を設けておき、
収納容器の取付の有無を検出するのが望ましい。ここま
でがオペレータのチャンバー内での作業であり、このチ
ャンバーのドアが閉じられて密閉状態となり、以後はオ
ペレータは外部から指令を出すだけで、この指令に基づ
いてチャンバー内において制御装置１００による自動的
な搬送および露光作業が行われる。
する。まず、保持棚３３に所定のレチクルＲを収納して
底板とカバーとをロックさせた状態の収納容器３０，３
５を、オペレータが収納分離ユニット１１の取付部に取
り付ける。なお、このとき、ユニット１１が取り付けら
れたことを検出するセンサ、スイッチ等を設けておき、
収納容器の取付の有無を検出するのが望ましい。ここま
でがオペレータのチャンバー内での作業であり、このチ
ャンバーのドアが閉じられて密閉状態となり、以後はオ
ペレータは外部から指令を出すだけで、この指令に基づ
いてチャンバー内において制御装置１００による自動的
な搬送および露光作業が行われる。
【００４０】作業を開始する指令が、チャンバー外部の
オペレータのスイッチ操作等により出されると、制御装
置１００は、容器サイズ検出センサ１７ａ，１７ｂによ
り各収納分離ユニット１１に取り付けられた収納容器の
サイズを検出して、この容器が収納容器３０であるか収
納容器３５であるかを判別する。
オペレータのスイッチ操作等により出されると、制御装
置１００は、容器サイズ検出センサ１７ａ，１７ｂによ
り各収納分離ユニット１１に取り付けられた収納容器の
サイズを検出して、この容器が収納容器３０であるか収
納容器３５であるかを判別する。
【００４１】次に、オペレータが収納容器の収納位置
（保持棚３３の棚位置）を指定してそこに受容されたレ
チクルＲを搬送する指令を出す。これに応じて、制御装
置１００は、指定された収納容器におけるカバー３２と
底板３１とのロックを解除し、上下移動機構１２により
底板３１および保持棚３３を支持して下動させ、これら
をユニット１１内に移動させる。
（保持棚３３の棚位置）を指定してそこに受容されたレ
チクルＲを搬送する指令を出す。これに応じて、制御装
置１００は、指定された収納容器におけるカバー３２と
底板３１とのロックを解除し、上下移動機構１２により
底板３１および保持棚３３を支持して下動させ、これら
をユニット１１内に移動させる。
【００４２】制御装置１００は、上下移動機構１２によ
り保持棚３３が下動されるときに、レチクル収納判別セ
ンサ１５により保持棚３３におけるレチクルＲの有無を
検出する。また、制御装置１００は、上下移動機構１２
の出力を受けて保持棚３３の位置を検出しており、何段
の棚を有する保持棚が用いられておりその保持棚３３の
どの棚にレチクルＲが受容されているかを判別する。こ
のとき制御装置１００は、オペレータが指定した棚位置
にレチクルＲがないと判別したときに、これを不図示の
モニター上に表示して作業を停止し、オペレータの指示
を待つ。
り保持棚３３が下動されるときに、レチクル収納判別セ
ンサ１５により保持棚３３におけるレチクルＲの有無を
検出する。また、制御装置１００は、上下移動機構１２
の出力を受けて保持棚３３の位置を検出しており、何段
の棚を有する保持棚が用いられておりその保持棚３３の
どの棚にレチクルＲが受容されているかを判別する。こ
のとき制御装置１００は、オペレータが指定した棚位置
にレチクルＲがないと判別したときに、これを不図示の
モニター上に表示して作業を停止し、オペレータの指示
を待つ。
【００４３】制御装置１００は、オペレータが指定した
棚位置にレチクルＲが受容されていると判別されたとき
には、搬送作業をこのまま継続する。図３に示すよう
に、上下移動機構１２により底板３１および保持棚３３
が完全に下動されたときには、保持棚３３の前面は開放
して第１搬送系５１と対向する。この状態で、レチクル
搬送アーム５２が第１移動機構により前方に移動されて
保持棚３３内の指定された棚位置に入り込み、アーム５
２上にレチクルＲを受容保持する。そして、アーム５２
はレチクルＲを受容保持したまま後方に移動されて、レ
チクル位置補正ユニット５３の上まで移動される。
棚位置にレチクルＲが受容されていると判別されたとき
には、搬送作業をこのまま継続する。図３に示すよう
に、上下移動機構１２により底板３１および保持棚３３
が完全に下動されたときには、保持棚３３の前面は開放
して第１搬送系５１と対向する。この状態で、レチクル
搬送アーム５２が第１移動機構により前方に移動されて
保持棚３３内の指定された棚位置に入り込み、アーム５
２上にレチクルＲを受容保持する。そして、アーム５２
はレチクルＲを受容保持したまま後方に移動されて、レ
チクル位置補正ユニット５３の上まで移動される。
【００４４】このとき、第１バーコードリーダ５４によ
りレチクルＲのバーコードが読み取られ、搬送されるレ
チクルＲの種類の確認および登録が行われる。なお、レ
チクル位置補正ユニット５３は、レチクル搬送アーム５
２に保持されたレチクルＲの保持位置を補正する装置で
あり、ここでアーム５２に対するレチクルＲの保持位置
の位置合わせ（プリアラインメント）がなされる。
りレチクルＲのバーコードが読み取られ、搬送されるレ
チクルＲの種類の確認および登録が行われる。なお、レ
チクル位置補正ユニット５３は、レチクル搬送アーム５
２に保持されたレチクルＲの保持位置を補正する装置で
あり、ここでアーム５２に対するレチクルＲの保持位置
の位置合わせ（プリアラインメント）がなされる。
【００４５】保持位置のプリアラインメントがなされた
後、アーム５２はレチクルＲを保持したまま矢印Ｂ方向
に上動されて第２搬送系５５を構成するレチクル搬送ユ
ニット５６に近づき、レチクルＲはレチクル搬送ユニッ
ト５６に受け渡される。レチクル搬送ユニット５６は真
空吸着機構を有しており、レチクル搬送アーム５２から
レチクル搬送ユニット５６に受け渡されたレチクルＲ
は、真空吸着機構により吸着されてレチクル搬送ユニッ
ト５６に保持される。
後、アーム５２はレチクルＲを保持したまま矢印Ｂ方向
に上動されて第２搬送系５５を構成するレチクル搬送ユ
ニット５６に近づき、レチクルＲはレチクル搬送ユニッ
ト５６に受け渡される。レチクル搬送ユニット５６は真
空吸着機構を有しており、レチクル搬送アーム５２から
レチクル搬送ユニット５６に受け渡されたレチクルＲ
は、真空吸着機構により吸着されてレチクル搬送ユニッ
ト５６に保持される。
【００４６】第２搬送系５５は、レチクル搬送ユニット
５６をチャンバー内上部において矢印Ｃで示すようにＸ
方向（左右方向）に移動させ、所定中間位置まで移動さ
せる。そして、このように所定中間位置に位置したレチ
クル搬送ユニット５６と上下に対向する位置まで、第３
搬送系６０のロードアーム６１およびアンロードアーム
６２が移動される。
５６をチャンバー内上部において矢印Ｃで示すようにＸ
方向（左右方向）に移動させ、所定中間位置まで移動さ
せる。そして、このように所定中間位置に位置したレチ
クル搬送ユニット５６と上下に対向する位置まで、第３
搬送系６０のロードアーム６１およびアンロードアーム
６２が移動される。
【００４７】次に、このように上下に対向する位置に移
動されたロードアーム６１が第３移動機構により上動さ
れてレチクル搬送ユニット５６に近づき、レチクルＲを
受け取る。なお、このユニット５６には、レチクルＲを
ロードアーム６１に載せた状態でレチクルＲの載置位置
をプリアラインメントする機構が設けられており、ここ
でもプリアラインメントが行われる。
動されたロードアーム６１が第３移動機構により上動さ
れてレチクル搬送ユニット５６に近づき、レチクルＲを
受け取る。なお、このユニット５６には、レチクルＲを
ロードアーム６１に載せた状態でレチクルＲの載置位置
をプリアラインメントする機構が設けられており、ここ
でもプリアラインメントが行われる。
【００４８】このようにしてレチクルＲはロードアーム
６１の上に受容された後、ロードアーム６１は矢印Ｄ，
Ｅ，Ｆの方向に順次移動されて、レチクルＲは露光系９
０のレチクルステージ９１の上に載置される。このと
き、第２バーコードリーダ６５によりレチクルＲのバー
コードが読み取られ、正しいレチクルＲが搬送されてい
るかの照合が行われる。なお、上述のようにユニット５
６によりレチクルのプリアラインメントが行われている
ので、レチクルＲのバーコードを第２バーコードリーダ
６５により読み取り可能な位置をずれなく通過させるこ
とができ、正確な読み取りが可能である。
６１の上に受容された後、ロードアーム６１は矢印Ｄ，
Ｅ，Ｆの方向に順次移動されて、レチクルＲは露光系９
０のレチクルステージ９１の上に載置される。このと
き、第２バーコードリーダ６５によりレチクルＲのバー
コードが読み取られ、正しいレチクルＲが搬送されてい
るかの照合が行われる。なお、上述のようにユニット５
６によりレチクルのプリアラインメントが行われている
ので、レチクルＲのバーコードを第２バーコードリーダ
６５により読み取り可能な位置をずれなく通過させるこ
とができ、正確な読み取りが可能である。
【００４９】レチクルステージ９１にレチクルＲを載置
した後、ロードアーム６１は退避する。この後、レチク
ルステージ９１においてレチクルＲの正確なアラインメ
ントがなされた後、図示しない照明系から露光用光がレ
チクルＲに照射され、この光が投影レンズ系９２を介し
てウエハＷに照射され、レチクルＲのパターンが縮小さ
れてウエハＷ上の所定位置に露光される。
した後、ロードアーム６１は退避する。この後、レチク
ルステージ９１においてレチクルＲの正確なアラインメ
ントがなされた後、図示しない照明系から露光用光がレ
チクルＲに照射され、この光が投影レンズ系９２を介し
てウエハＷに照射され、レチクルＲのパターンが縮小さ
れてウエハＷ上の所定位置に露光される。
【００５０】露光が終了すると、レチクルステージ９１
にアンロードアーム６２が移動してきて、レチクルステ
ージ９１の上に載置されたレチクルＲがアンロードアー
ム６２に受け渡され、上記ロードアーム６１の移動と逆
の移動経路をたどってレチクル搬送ユニット５６に受け
渡され、さらに、レチクル搬送ユニット５６からレチク
ル搬送アーム５２に受け渡される。
にアンロードアーム６２が移動してきて、レチクルステ
ージ９１の上に載置されたレチクルＲがアンロードアー
ム６２に受け渡され、上記ロードアーム６１の移動と逆
の移動経路をたどってレチクル搬送ユニット５６に受け
渡され、さらに、レチクル搬送ユニット５６からレチク
ル搬送アーム５２に受け渡される。
【００５１】ここでオペレータはこのレチクルＲの返却
先として収納容器の保持棚の所定棚位置を指定し、これ
に応じてレチクル搬送アーム５２は指定された位置にレ
チクルＲを搬送して返却する。このとき、オペレータが
誤って既に別の基板が入っている棚位置を返却先として
指定したとしても、前述のようにレチクル収納判別セン
サ１５によりこの指定された返却先にはレチクルＲが受
容されていることが検出されているため、この返却先に
は返却不可能であることが不図示のモニターに表示さ
れ、返却先の訂正指令を待つ。これにより既にレチクル
が受容されている棚に別のレチクルを収納しようとし
て、レチクル同士を衝突させて高価なレチクルを損傷さ
せるというおそれはなくなる。
先として収納容器の保持棚の所定棚位置を指定し、これ
に応じてレチクル搬送アーム５２は指定された位置にレ
チクルＲを搬送して返却する。このとき、オペレータが
誤って既に別の基板が入っている棚位置を返却先として
指定したとしても、前述のようにレチクル収納判別セン
サ１５によりこの指定された返却先にはレチクルＲが受
容されていることが検出されているため、この返却先に
は返却不可能であることが不図示のモニターに表示さ
れ、返却先の訂正指令を待つ。これにより既にレチクル
が受容されている棚に別のレチクルを収納しようとし
て、レチクル同士を衝突させて高価なレチクルを損傷さ
せるというおそれはなくなる。
【００５２】以上説明した本例の装置では、複数の収納
容器と複数の第１搬送系５１とを設けているため、半導
体（ＩＣ等）の製造に必要とされる複数のレチクル（原
板）を予め半導体製造装置内にセットしておくことがで
きるので、製造工程の途中で収納容器の交換等が不要と
なり、オペレータの作業負担が軽減され、製造工程の自
動化を一層進めることができる。
容器と複数の第１搬送系５１とを設けているため、半導
体（ＩＣ等）の製造に必要とされる複数のレチクル（原
板）を予め半導体製造装置内にセットしておくことがで
きるので、製造工程の途中で収納容器の交換等が不要と
なり、オペレータの作業負担が軽減され、製造工程の自
動化を一層進めることができる。
【００５３】また、本例では、最も手前側の収納分離ユ
ニット１１の下側に異物検査装置４０を設けているた
め、レチクルＲをレチクルステージ９１に搬送する前に
レチクル表面に付着した異物（ゴミ）の検査を行うこと
がで、生産性を向上させることができる。なお、レチク
ル搬送アーム５２により収納分離ユニット１１から取り
出されたレチクルＲはレチクル搬送アーム５２に保持さ
れて異物検査装置４０内に搬送され、ここでゴミ検査が
行われる。このように、第１搬送系５１によるレチクル
Ｒの搬送の途中でゴミ検査を行うことができるので生産
性が高い。なお、ゴミ検査装置４０は全ての収納分離ユ
ニット１１の下側にそれぞれ配設しても良い。
ニット１１の下側に異物検査装置４０を設けているた
め、レチクルＲをレチクルステージ９１に搬送する前に
レチクル表面に付着した異物（ゴミ）の検査を行うこと
がで、生産性を向上させることができる。なお、レチク
ル搬送アーム５２により収納分離ユニット１１から取り
出されたレチクルＲはレチクル搬送アーム５２に保持さ
れて異物検査装置４０内に搬送され、ここでゴミ検査が
行われる。このように、第１搬送系５１によるレチクル
Ｒの搬送の途中でゴミ検査を行うことができるので生産
性が高い。なお、ゴミ検査装置４０は全ての収納分離ユ
ニット１１の下側にそれぞれ配設しても良い。
【００５４】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
原板収納容器に収納されている原板の端面を検出する端
面検出手段を備えており、この端面検出手段は原板の端
面を検出して原板収納容器内の原板の有無等を検出する
ので、原板収納容器内に原板が重なるように収納されて
いる場合でもそのままの状態で原板の有無を確実に検出
することができ、原板の搬送をスムーズに行うことがで
きる。
原板収納容器に収納されている原板の端面を検出する端
面検出手段を備えており、この端面検出手段は原板の端
面を検出して原板収納容器内の原板の有無等を検出する
ので、原板収納容器内に原板が重なるように収納されて
いる場合でもそのままの状態で原板の有無を確実に検出
することができ、原板の搬送をスムーズに行うことがで
きる。
【００５５】端面検出手段が、照射系から照射されて原
板の端面で反射された反射光を受光系が受光したときに
原板収納容器に原板が収納されていると判定する判定装
置とを備えて構成される場合には、原板が露光装置用の
レチクルのように透明ガラス板等のような場合でもその
有無を確実に検出することができる。
板の端面で反射された反射光を受光系が受光したときに
原板収納容器に原板が収納されていると判定する判定装
置とを備えて構成される場合には、原板が露光装置用の
レチクルのように透明ガラス板等のような場合でもその
有無を確実に検出することができる。
【００５６】原板収納容器に鉛直方向に沿って原板を複
数収納する場合には、原板の鉛直方向に関する位置を検
出する位置検出手段を備えることが望ましく、これによ
り、端面検出手段により原板の有無を検出したときの位
置を検出することができ、原板の有無のみならず原板の
位置も正確に求めることができる。
数収納する場合には、原板の鉛直方向に関する位置を検
出する位置検出手段を備えることが望ましく、これによ
り、端面検出手段により原板の有無を検出したときの位
置を検出することができ、原板の有無のみならず原板の
位置も正確に求めることができる。
【００５７】以上の構成の搬送装置においては、端面検
出手段の検出結果に応じて搬送を制御する制御手段が設
けられ、これにより搬送エラーのない正確な原板搬送を
行わせることができる。なお、このような搬送に用いら
れる上記原板としてはその表面にパターンが形成された
レチクルがあり、この場合に処理装置はレチクルのパタ
ーンの像を基板に露光する露光装置からなる。
出手段の検出結果に応じて搬送を制御する制御手段が設
けられ、これにより搬送エラーのない正確な原板搬送を
行わせることができる。なお、このような搬送に用いら
れる上記原板としてはその表面にパターンが形成された
レチクルがあり、この場合に処理装置はレチクルのパタ
ーンの像を基板に露光する露光装置からなる。
【００５８】また、上記とし異なる別の本発明に係る搬
送装置においては、原板収納容器は原板の収納枚数に応
じて大きさが異なっており、原板収納容器の大きさの違
いを検出する検出手段を有するので、使用される原板収
納容器の大きさに応じた搬送制御が可能となる。
送装置においては、原板収納容器は原板の収納枚数に応
じて大きさが異なっており、原板収納容器の大きさの違
いを検出する検出手段を有するので、使用される原板収
納容器の大きさに応じた搬送制御が可能となる。
【００５９】原板収納容器は原板の収納枚数に応じて鉛
直方向の長さが異なる構成である場合には、検出手段は
鉛直方向の長さの違いに基づいて原板収納容器の大きさ
を検出するが、これは原板収納容器に鉛直方向に重なる
ように原板を収納する場合には、収納原板枚数に応じて
収納容器の高さが異なるためである。
直方向の長さが異なる構成である場合には、検出手段は
鉛直方向の長さの違いに基づいて原板収納容器の大きさ
を検出するが、これは原板収納容器に鉛直方向に重なる
ように原板を収納する場合には、収納原板枚数に応じて
収納容器の高さが異なるためである。
【図１】原板搬送装置を有した露光装置のチャンバー内
部構造を示す斜視図である。
部構造を示す斜視図である。
【図２】図１の収納分離ユニットの内部構造を示す平面
図である。
図である。
【図３】収納分離ユニットの背面図である。
【図４】レチクルを収納可能な収納容器を示す正面断面
図である。
図である。
【図５】露光装置の制御系を示すブロック図である。
【符号の説明】 １０ レチクル収納系 １１ 収納分離ユニット １５ レチクル収納判別センサ １７ａ，１７ｂ 容器サイズ検出センサ ３０，３５ 収納容器 ３１ 底板 ３２ カバー ３３ 保持棚 ４０ 異物検査装置 ５０ レチクル搬送系 ５１ 第１搬送系 ５２ レチクル搬送アーム ５５ 第２搬送系 ５６ レチクル搬送ユニット ６０ 第３搬送系 ６１ ロードアーム ６２ アンロードアーム ９０ 露光系 ９１ レチクルステージ ９２ 投影レンズ系 Ｒ レチクル Ｗ ウエハ
Claims (8)
- 【請求項１】 原板を収納可能な原板収納容器と、前記
原板を用いて所定の処理を施す処理装置との間で前記原
板を搬送する搬送装置において、 前記原板収納容器に収納されている前記原板の端面を検
出する端面検出手段を備えたことを特徴とする搬送装
置。 - 【請求項２】 前記端面検出手段は、光を照射する照射
系と、前記原板の端面で反射された反射光を受光する受
光系と、前記受光系が前記反射光を受光したときに前記
原板収納容器に前記原板が収納されていると判定する判
定装置とを備えていることを特徴とする請求項１に記載
の搬送装置。 - 【請求項３】 前記原板収納容器は、鉛直方向に沿って
原板を複数収納しており、 前記原板の前記鉛直方向に関する位置を検出する位置検
出手段を備えたことを特徴とする請求項１もしくは２に
記載の搬送装置。 - 【請求項４】 前記端面検出手段の検出結果に応じて前
記搬送を制御する制御手段を備えたことを特徴とする請
求項１に記載の搬送装置。 - 【請求項５】 前記原板はパターンが形成されたレチク
ルであり、前記処理装置は、前記レチクルのパターンの
像を基板に露光する露光装置であることを特徴とする請
求項１〜４のいずれかに記載の搬送装置。 - 【請求項６】 原板を収納可能な原板収納容器と、前記
原板を用いて所定の処理を施す処理装置との間で前記原
板を搬送する搬送装置において、 前記原板収納容器は、前記原板の収納枚数に応じて大き
さが異なっており、 前記原板収納容器の大きさの違いを検出する検出手段を
設けたことを特徴とする搬送装置。 - 【請求項７】 前記原板収納容器は、前記原板の収納枚
数に応じて鉛直方向の長さが異なっており、 前記検出手段は、前記鉛直方向の長さの違いに基づいて
前記原板収納容器の大きさを検出することを特徴とする
請求項６に記載の搬送装置。 - 【請求項８】 前記検出手段の検出結果に応じて前記搬
送を制御する制御手段を備えたことを特徴とする請求項
６もしくは７に記載の搬送装置。
Priority Applications (5)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8311518A JPH10154646A (ja) | 1996-11-22 | 1996-11-22 | 搬送装置 |
| TW086111424A TW393695B (en) | 1996-11-22 | 1997-08-09 | A transporting device |
| KR1019970050760A KR19980041917A (ko) | 1996-11-22 | 1997-10-01 | 반송 장치 |
| US08/955,949 US6184970B1 (en) | 1996-11-22 | 1997-10-22 | Master plate transporting system |
| EP97308895A EP0844531A3 (en) | 1996-11-22 | 1997-11-05 | Master plate transporting system |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8311518A JPH10154646A (ja) | 1996-11-22 | 1996-11-22 | 搬送装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH10154646A true JPH10154646A (ja) | 1998-06-09 |
Family
ID=18018210
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8311518A Pending JPH10154646A (ja) | 1996-11-22 | 1996-11-22 | 搬送装置 |
Country Status (5)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US6184970B1 (ja) |
| EP (1) | EP0844531A3 (ja) |
| JP (1) | JPH10154646A (ja) |
| KR (1) | KR19980041917A (ja) |
| TW (1) | TW393695B (ja) |
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| KR20160097132A (ko) * | 2015-02-06 | 2016-08-17 | 가부시기가이샤 디스코 | 절삭 장치 |
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1996
- 1996-11-22 JP JP8311518A patent/JPH10154646A/ja active Pending
-
1997
- 1997-08-09 TW TW086111424A patent/TW393695B/zh not_active IP Right Cessation
- 1997-10-01 KR KR1019970050760A patent/KR19980041917A/ko not_active Application Discontinuation
- 1997-10-22 US US08/955,949 patent/US6184970B1/en not_active Expired - Fee Related
- 1997-11-05 EP EP97308895A patent/EP0844531A3/en not_active Withdrawn
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Also Published As
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| EP0844531A2 (en) | 1998-05-27 |
| KR19980041917A (ko) | 1998-08-17 |
| TW393695B (en) | 2000-06-11 |
| EP0844531A3 (en) | 2000-01-05 |
| US6184970B1 (en) | 2001-02-06 |
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