JP2013239507A - 基板収納容器 - Google Patents

Abstract

【課題】 レチクルと半導体ウェーハを共に同じ容器に収納でき、搬送効率を向上させ、搬送ラインを統一して設備やコスト、スペース等を削減できる基板収納容器を提供する。
【解決手段】 複数枚の半導体ウェーハＷを上下方向に並べて整列収納可能なフロントオープンボックスの容器本体１と、この容器本体１の開口した正面を着脱自在に開閉する体１０と、容器本体１に収納されるレチクル収容容器３０用のカセット５１とを備え、容器本体１の天井に自動搬送用のロボティックフランジ４を装着した基板収納容器であり、容器本体１の内部両側に、半導体ウェーハＷを略水平に支持する一対の支持片２を対設し、この一対の支持片２を上下方向に所定の間隔で複数配列し、一対の支持片２にカセット５１の両側からそれぞれ突出した被支持片６３を支持させる。
【選択図】 図２

Description

本発明は、半導体ウェーハの他、レチクル用のレチクル収容容器を収納可能な基板収納容器に関するものである。

半導体製造ラインのリソグラフィ工程で使用される従来のレチクルは、図示しない５インチ角あるいは６インチ角に形成され、専用の収容容器に収容されてストッカーに保管されたり、必要に応じて露光装置まで搬送されたりした後、半導体ウェーハに露光処理して電子回路を形成する作業に使用される(特許文献１、２参照)。

レチクル専用の収容容器は、１枚のレチクルを収容可能な背の低い角形に主に形成されるが、自動搬送用の手段を有していないので、搬送時には、別体の収納容器に収納され、台車等に載置して搬送される。この収容容器には、搬送時の便宜を図るため、何らかの搬送手段を設置することが可能ではあるが、外形寸法や保管スペースの拡大を招くおそれがあるので、省略されている。

収容容器にレチクルが収容される場合、１枚のレチクルのみが収容されるが、半導体ウェーハに電子回路が形成される場合、一般的には複数枚のレチクルが使用される。このため、レチクルは、電子回路の形成作業に支障を来さないよう、収容容器に収容され、露光装置まで何回も搬送される。

一方、露光処理される半導体ウェーハは、生産性の向上に資する大口径のφ３００ｍｍタイプが主流であり、工程内の基板収納容器(例えば、ＳＥＭＩ規格で標準化されたＦＯＵＰ)に２５枚が上下に並べて整列収納され、使用されている。基板収納容器は、所定の材料により正面が閉口した背の高いフロントオープンボックスに形成され、天井に搬送用のフランジが装着されており、このフランジが天井搬送装置に吊持された後、半導体の製造ラインを搬送される。

レチクルと半導体ウェーハとは、以上のように一度に搬送できる枚数が異なり、電子回路形成のためには、複数枚のレチクルが必要であり、レチクルを何回も搬送しなければならないので、これが律速となって半導体ウェーハの搬送効率の悪化を招くこととなる。また、レチクル用の収容容器と半導体ウェーハ用の基板収納容器とは、大きさや搬送形態が相違し、別々の搬送ラインが要求されるので、複数の搬送ラインを設置しなければならず、設備やコスト、スペースの占有等の点で問題がある。

これらの問題を解消するため、従来においては、基板収納容器にレチクルを治具を介して収納し、一種類の基板収納容器を用いて搬送する半導体製造ラインが提案されている(特許文献３参照)。

特開平７‐５８１９２号公報 特開２０１１‐３７２３号公報 特許第３６８２１７０号

しかしながら、半導体ウェーハ用の基板収納容器にレチクルを治具を介して収納しようとする場合、レチクル用の治具と基板収納容器とでは重量や重心の位置が大きく異なるので、同じように高速搬送することは振動によりレチクルがダメージを受ける等、非常に困難である。

本発明は上記に鑑みなされたもので、レチクルと半導体ウェーハとを共に同じ容器に収納することができ、搬送効率を向上させ、搬送ラインを統一して設備やコスト、スペース等の削減を図ることのできる基板収納容器を提供することを目的としている。

本発明においては上記課題を解決するため、複数枚の半導体ウェーハを上下方向に並べて収納可能なフロントオープンボックスの容器本体と、この容器本体の開口した正面を着脱自在に開閉する蓋体と、容器本体に収納されるレチクル収容容器用の収容治具とを備え、容器本体に自動搬送用の搬送具を取り付けたものであって、
容器本体の内部両側に、半導体ウェーハを略水平に支持する一対の支持片を対向させて設け、この一対の支持片に収容治具の両側部を支持させるようにしたことを特徴としている。

なお、レチクル収容容器は、レチクルを収容する底板と、この底板に回転可能に支持され、底板の開口した上面を開閉する上蓋と、この上蓋の前部に回転可能に支持されて底板の開口した前面を開閉する前蓋とを含み、
上蓋と前蓋との間にバネを架設し、上蓋の底板に対向する対向面に、レチクル用の押さえ部材を軸受を介し回転可能に支持させるとともに、この押さえ部材と軸受のいずれかにバネの一部を連結し、前蓋が底板の前面を閉じた場合に押さえ部材を連動させ、この押さえ部材によりレチクルを押さえることができる。

また、収容治具を、複数のレチクル収容容器を上下方向に並べて収納可能なカセットとし、このカセットを、対向してレチクル収容容器を挟む一対のサイドパネルと、この一対のサイドパネルを連結する連結部材と、各サイドパネルから突出して容器本体の支持片に支持される複数の被支持部材とから構成することができる。
また、一対のサイドパネルのうち、少なくとも一方のサイドパネルに、容器本体の内面とレチクル収容容器の前蓋の少なくともいずれかに接触する規制保護部材を設けることもできる。

また、一対のサイドパネルの少なくとも対向面に、レチクル収容容器の側部に嵌合する一対の収納溝を対向させて形成し、収納溝の上面を、サイドパネルの前部からサイドパネルの後部下方向に傾斜しながら伸びる第一の傾斜面と、第一の傾斜面からサイドパネルの後部下方向に傾斜しながら伸びる第二の傾斜面とから形成し、収納溝の下面を、サイドパネルの前部からサイドパネルの後部方向に伸びる第一の下面と、この第一の下面の端部に形成される段差溝と、この段差溝からサイドパネルの後部方向に伸びる第二の下面とから形成し、第二の下面を第一の下面よりも低位に位置させることが可能である。

また、レチクル収容容器の底板の両側壁に、横方向に張り出すガイド部材をそれぞれ設け、一対のサイドパネルの対向面に、レチクル収容容器のガイド部材を支持する搭載片を対向させて設けることが可能である。
また、収容治具を、レチクル収容容器を搭載可能なアダプタとし、このアダプタを板形に形成してその上面にはレチクル収容容器用の位置決め部材を設け、アダプタの両側部を容器本体の一対の支持片に支持させることも可能である。

さらに、アダプタに、容器本体の内面とレチクル収容容器の前蓋の少なくともいずれか一方に接触する規制保護部材を設けることもできる。

ここで、特許請求の範囲における半導体ウェーハには、少なくともφ３００ｍｍや４５０ｍｍタイプのシリコンウェーハが含まれる。搬送具は、自動搬送用の自動機に対応可能であれば、フランジでも良いし、レール等でも良い。また、「回転」という用語には、回動や揺動が含まれる。カセットのサイドパネルと被支持部材とは、一体でも良いし、別体でも良い。さらに、アダプタは、平面円形、楕円形、正方形や長方形等の矩形、多角形等に形成することができる。このアダプタは、例えば半導体ウェーハと略同じ大きさに形成することができる。

本発明によれば、レチクルと半導体ウェーハを共に同じ容器に収納することができ、搬送効率を向上させ、搬送ラインを統一して設備やコスト等の削減を図ることができるという効果がある。また、設備投資や搬送ライン用の設置スペースを低減することができる。

また、請求項２記載の発明によれば、複数のレチクルを一度にまとめて安定した姿勢で搬送することができる。
また、請求項３又は７記載の発明によれば、容器本体内の背面や側面等の内面に規制保護部材が接触する場合、カセット又はアダプタが容器本体の前後方向に位置ずれするのを防止することが可能となる。また、レチクル収容容器の前蓋に規制保護部材が接触する場合、衝撃等が加わることで前蓋が回転し、底板の前面が開放してレチクルの汚染等を招くのを防ぐことが可能となる。

また、請求項４記載の発明によれば、収納溝の上面における第二の傾斜面がレチクル収容容器の側部と接触することにより、レチクル収容容器のがたつき防止が期待できる。また、収納溝の下面における段差溝がレチクル収容容器の側部と接触するので、レチクル収容容器の前後方向への位置ずれ防止が期待できる。

また、請求項５記載の発明によれば、一対のサイドパネルの対向する内面に収納溝を形成することができない場合にも、カセットを製造することができ、カセットの構成の多様化を図ることができる。
さらに、請求項６記載の発明によれば、一対のサイドパネルの間にレチクル収容容器を挟む構成ではないので、底板の開口を上蓋と前蓋とで開閉するレチクル収容容器の他、別タイプのレチクル収容容器をも搭載して搬送することができる。

本発明に係る基板収納容器の実施形態を模式的に示す全体斜視図である。 本発明に係る基板収納容器の実施形態における容器本体にカセットを収納する状態を模式的に示す全体斜視図である。 図２の容器本体にカセットを収納した状態を模式的に示す斜視図である。 図３のＩＶ‐ＩＶ線断面図である。 本発明に係る基板収納容器の実施形態におけるカセットを模式的に示す斜視図である。 本発明に係る基板収納容器の実施形態における開放状態のレチクル収容容器を模式的に示す斜視図である。 本発明に係る基板収納容器の実施形態におけるカセットの収納溝にレチクル収容容器のガイドグリップを挿入する途中の状態を模式的に示す要部斜視図である。 図７の収納溝にガイドグリップを完全に挿入した状態を模式的に示す要部斜視図である。 本発明に係る基板収納容器の第２の実施形態を模式的に示す斜視図である。 本発明に係る基板収納容器の第３の実施形態におけるカセットを模式的に示す斜視図である。 本発明に係る基板収納容器の第４の実施形態を模式的に示す全体斜視図である。 本発明に係る基板収納容器の第４の実施形態における容器本体に複数枚のアダプタを収納した状態を模式的に示す全体斜視図である。 本発明に係る基板収納容器の第５の実施形態におけるアダプタを模式的に示す斜視説明図である。 本発明に係る基板収納容器の第５の実施形態を模式的に示す全体斜視図である。

以下、図面を参照して本発明の実施形態を説明すると、本実施形態における基板収納容器は、図１ないし図８に示すように、複数枚の半導体ウェーハＷを収納可能な容器本体１と、この容器本体１の開口した正面を着脱自在に開閉する蓋体１０とを備え、容器本体１に、複数枚の半導体ウェーハＷの代わりにレチクル収容容器３０用の収容治具５０を正面側から着脱自在に収納するようにしている。

容器本体１と蓋体１０とは、所定の樹脂を含有する成形材料により複数の部品がそれぞれ射出成形され、この複数の部品の組み合わせで構成される。この成形材料の樹脂としては、例えばポリカーボネート、シクロオレフィンポリマー、ポリエーテルイミド、ポリエーテルケトン、ポリエーテルエーテルケトン、ポリブチレンテレフタレート、ポリアセタール、液晶ポリマーといった熱可塑性樹脂やこれらのアロイ等があげられる。熱可塑性樹脂には、導電性を付与するために、適量のカーボンブラック、カーボン繊維、カーボンナノファイバー、カーボンナノチューブ、導電性高分子、金属繊維、金属酸化物等が添加される。

容器本体１は、図１や図２に示すように、正面が横長に開口した背の高いフロントオープンボックスに成形され、内部の両側、換言すれば、左右両側壁の内面に、φ３００ｍｍの半導体ウェーハＷの側部周縁を下方から水平に支持する一対の支持片２が対設されており、この一対の支持片２が上下方向に所定の間隔で複数配列される。

容器本体１は、例えば２５枚や２６枚の半導体ウェーハＷを上下方向に並べて整列収納可能な大きさに形成される。また、各支持片２は、例えば容器本体１の前後方向に伸びる平坦な棚板に形成され、表面の前後部のうち、少なくとも前部に、収納された半導体ウェーハＷが正面方向に位置ずれするのを防止するストッパ３が隆起して一体形成される。

容器本体１の底板下面には図示しないボトムプレートが選択的に装着され、容器本体１の天井中央部には、自動搬送用の搬送具である平面矩形のロボティックフランジ４が着脱自在に装着されており、このロボティックフランジ４が工場の天井搬送装置に把持して吊持された後、半導体の製造ラインを搬送される。また、容器本体１の内部背面には、非常時に半導体ウェーハＷの後部周縁を挟持可能な複数のリアサポートが並設され、容器本体１の正面周縁部は幅方向外側に屈曲して膨出形成されており、この正面周縁部の内面における上部両側と下部両側とには、蓋体１０用の施錠穴５がそれぞれ凹み形成される。

容器本体１の両側壁の外面には、手動操作用の操作ハンドル６がそれぞれ着脱自在に装着され、各側壁の下部には、自動搬送具である搬送レール７が必要に応じ着脱自在に装着されて前後方向に水平に指向する。

蓋体１０は、図１や図２に示すように、容器本体１の正面に着脱自在に嵌合される断面略皿形の蓋本体１１と、この蓋本体１１の開口した表面を覆うカバープレート１５とを備え、これら蓋本体１１とカバープレート１５との間に施錠機構１７が内蔵される。蓋本体１１は、横長の略矩形に形成され、裏面の中央部に、半導体ウェーハＷの前部周縁を弾性片で弾発的に保持するフロントリテーナ１２が着脱自在に装着される。

蓋本体１１の周壁には、容器本体１の正面内周面に圧接変形する枠形のガスケット１３が嵌合され、蓋本体１１の周壁における上部両側と下部両側とには、施錠機構１７用の出没孔１４がそれぞれ貫通して穿孔される。また、カバープレート１５は、透明、半透明、あるいは不透明の板に形成され、両側部に、施錠機構１７用の操作孔１６がそれぞれ貫通して穿孔されており、各操作孔１６を蓋体開閉装置の回転可能な操作キーが外部から貫通する。

施錠機構１７は、同図に示すように、カバープレート１５の操作孔１６を貫通した蓋体開閉装置の操作キーに回転操作される左右一対の回転プレート１８と、各回転プレート１８の回転に応じて上下方向にスライドする複数のスライドバー１９と、各スライドバー１９の先端部に連結軸支され、蓋本体１１周壁の出没孔１４を貫通して容器本体１の施錠穴５に嵌合係止する出没可能な複数の施錠爪２０とを備えて構成される。

施錠機構１７は、容器本体１や蓋体１０と同様の成形材料により成形される。複数の回転プレート１８とスライドバー１９とは、蓋本体１１内に設けられる支持リブを介して軸支されたり、支持されたりし、各回転プレート１８の周縁部寄りの一対の円弧溝孔２１にスライドバー１９の末端部がピンを介しそれぞれ遊嵌される。また、各施錠爪２０は、例えば断面略Ｌ字形に屈曲形成され、自由端部に摩擦軽減用のローラが回転可能に軸支される。

このような基板収納容器は、容器本体１内に複数枚の半導体ウェーハＷが順次収納され、容器本体１の正面に蓋体１０が蓋体開閉装置により圧入して嵌合されるとともに、各半導体ウェーハＷの前部周縁をフロントリテーナ１２が保持し、施錠機構１７が蓋体開閉装置に施錠操作されて蓋体１０を強固に固定する。蓋体１０が強固に固定されると、容器本体１のロボティックフランジ４が工場の天井搬送装置に吊持され、次の加工処理工程に搬送されて各半導体ウェーハＷに加工と処理とが順次施され、半導体ウェーハＷの表面に電子回路が形成されることとなる。

レチクル収容容器３０は、図３、図４、図６〜図８に示すように、レチクルを１枚収容する平面矩形の底板３１と、この底板３１の開口した上面を開閉する上蓋３９と、この上蓋３９に回転可能に軸支されて底板３１の開口した前面を開閉する前蓋４４とを備えて構成される。このレチクル収容容器３０の底板３１は、背の低い正面視略チャネル形に形成され、板体の後部周縁にブロック形の後部壁３２が立設されるとともに、板体の両側部周縁にブロック形の側壁３３がそれぞれ立設されており、これら後部壁３２と一対の側壁３３とが一体的に連設される。

底板３１の上面両側部には、１枚のレチクルを水平に搭載する左右一対の支持レール３４が配設される。各支持レール３４は、例えばレチクルとの接触面積の低減に資する断面略凸字形に形成され、レチクル収容容器３０の前後方向に直線的に指向する。また、底板３１の両側壁外面には、水平横方向に張り出すガイドグリップ３５がそれぞれ配設されている。

各ガイドグリップ３５は、基本的には握持操作可能な平面略溝形に屈曲形成され、前部に差し込み凹部３６が形成されており、この差し込み凹部３６に、固定用の押さえバネ３７の一端部が挿着される。この押さえバネ３７は、他端部側が略鉤形に屈曲形成され、この他端部側が側壁３３と上蓋３９の側部に係合して弾圧付勢することにより、底板３１に上蓋３９を固定するよう機能する。また、ガイドグリップ３５の後部３８は、他の部分よりも水平横方向に張り出し形成され、レチクル収容容器用の図示しない保管棚にレチクル収容容器３０が保管されたり、取り出されたりする際のガイドとなる。

上蓋３９は、底板３１の大きさに対応する平面矩形の板に形成され、底板３１の後部壁３２に上下方向に揺動可能に軸支される。この上蓋３９の底板上面に対向する対向面４０の両側部付近には、レチクルを上方から押さえる押さえ部材４１が軸受４２を介しそれぞれ揺動可能(起伏可能)に軸支され、各押さえ部材４１が直線的な短いバーに形成される。

上蓋３９の対向面４０の両側部付近には、押さえ部材４１の後方に位置するコイルバネ４３の一端部がそれぞれ装着され、各コイルバネ４３の中央部等の一部が軸受４２に連結されており、各コイルバネ４３の他端部が前蓋４４の内面に装着される。この一対のコイルバネ４３は、上蓋３９と前蓋４４との間に張架され、底板３１の開口した前面方向に前蓋４４を弾圧付勢することにより、底板３１の開口した前面を前蓋４４により閉塞するよう機能する。

前蓋４４は、底板３１の前面に対応する横長の板に形成され、上蓋３９の前端部に回転可能に軸支されており、回転して一対の押さえ部材４１を共に揺動させる。すなわち、前蓋４４が回転して底板３１の前面を開放する場合、押さえ部材４１は、軸受４２に連結されたコイルバネ４３の伸長動作により、前蓋４４に連動してレチクルから離れ、上蓋３９の対向面４０方向に揺動してレチクルの底板３１からの取り出しを許容する。

これに対し、前蓋４４が回転して底板３１の前面を閉塞する場合、押さえ部材４１は、軸受４２に連結されたコイルバネ４３の圧縮動作により、前蓋４４に連動して上蓋３９の対向面４０から離れ、レチクル方向に揺動して接触することにより、レチクルの底板３１からの取り出しやがたつきを規制することとなる。

収容治具５０は、図１、図３〜図５に示すように、複数のレチクル収容容器３０を上下方向に並べて整列収納可能な中空のカセット５１からなる。このカセット５１は、対向して水平状態のレチクル収容容器３０を左右から挟持する一対のサイドパネル５２と、この一対のサイドパネル５２の間に架設されて連結する複数本(例えば、２〜８本)の連結バー６２と、一対のサイドパネル５２の外面中央部付近からそれぞれ突出して容器本体１の支持片２に支持される一対の被支持片６３とから構成される。

カセット５１を構成するサイドパネル５２、連結バー６２、被支持片６３は、所定の成形材料、例えばポリカーボネート、ポリブチレンテレフタレート、ポリアセタール、ポリエーテルエーテルケトン等の各種合成樹脂、ポリエステル系、ポリスチレン系、ポリオレフィン系等の熱可塑性エラストマーにより成形される。これらの成形材料に導電性を付与したい場合等には、カーボンブラック、カーボン繊維、カーボンナノファイバー、カーボンナノチューブ、導電性高分子、金属繊維、金属酸化物等の導電性添加物が添加される。

一対のサイドパネル５２は、それぞれ矩形の板に形成され、四隅を含む周縁部に連結バー６２用の複数の螺子孔がそれぞれ貫通して穿孔される。この一対のサイドパネル５２の少なくとも相対向する内面には、レチクル収容容器３０の側部であるガイドグリップ３５に嵌挿される一対の収納溝５３が対向して切り欠かれ、この一対の収納溝５３が上下方向に所定のピッチで配列されており、各収納溝５３がサイドパネル５２の前部から後部方向に向かうにしたがい細くなる長い先細りの台形に形成される。

収納溝５３の上面は、図６や図７に示すように、サイドパネル５２の前端部からサイドパネル５２の中央部下方向に傾斜しながら伸びる第一の傾斜面５４と、この第一の傾斜面５４の端部から下方に僅かに伸びる段差面５５と、この段差面５５の端部からサイドパネル５２の後部下方向にやや傾斜しながら長く伸びる第二の傾斜面５６とを備えて一体形成される。

第一、第二の傾斜面５４、５６は、第一の傾斜面５４がレチクル収容容器３０のガイドグリップ３５との嵌合が容易になるよう大きく傾斜し、第二の傾斜面５６が第一の傾斜面５４よりも低く位置してガイドグリップ３５と接触することにより、レチクル収容容器３０のがたつきを有効に防止する。

収納溝５３の下面は、同図に示すように、サイドパネル５２の前端部からサイドパネル５２の中央部方向に伸びる第一の下面５７と、この第一の下面５７の端部から下方に僅かに伸びて上方に折り返される断面略J字形の段差溝５８と、この段差溝５８の折り返された短い端部からサイドパネル５２の後部方向に長く伸びる第二の下面５９とを備えて一体形成される。第一の下面５７と第一の傾斜面５４との間の長さ(高さ)は、第二の下面５９と第二の傾斜面５６との間の長さ(高さ)よりも長くなり、大きく開口するよう調整される。また、第二の下面５９は、第一の下面５７よりもやや下方に位置する。

段差溝５８は、例えば収納溝５３の段差面５５の直下やその付近に位置し、収納溝５３に収納されるガイドグリップ３５の後部３８と嵌合接触し、レチクル収容容器３０の前後方向への位置ずれを有効に防止する。この段差溝５８の湾曲した底は、ガイドグリップ３５の寸法誤差の悪影響を緩和できる回避部６０が選択的に深く下方に形成される。

各サイドパネル５２の後端部からは規制保護片６１が内方向に突出し、この規制保護片６１が上下方向に細長く伸長する。この規制保護片６１は、容器本体１内の背面や側面等からなる内面に接触してカセット５１が容器本体１の背面方向に位置ずれするのを規制したり、レチクル収容容器３０の前蓋側部に接触したりしてその回転を規制することにより、前蓋４４が衝撃等の作用で回転して底板３１の前面が不必要に開放するのを阻止する。

各連結バー６２は、例えば細長い円柱に形成され、両端部の周面に螺子溝がそれぞれ形成されており、この螺子溝がサイドパネル５２の螺子孔に螺嵌される。連結バー６２は、レチクル収容容器３０の幅を考慮して長さが設定され、レチクル収容容器３０の両側壁外面とサイドパネル５２の内面とを接触させ、レチクル収容容器３０が左右方向にがたつくのを防止する。このような連結バー６２は、各サイドパネル５２の螺子孔に端部が螺嵌され、螺子孔から露出した端部にボルトやビス等の締結具が外部から螺挿されることにより、一対のサイドパネル５２を強固に連結する。

一対の被支持片６３は、容器本体１の支持片２間に挿入可能な厚さと長さを有する板にそれぞれ形成され、被支持片６３と被支持片６３との間の最大幅寸法Ｂ１が容器本体１の一対の支持片２が形成する支持溝の最大幅寸法Ｂ２よりも小さくなるよう、それぞれの幅寸法が設定される（図４、図５参照）。各被支持片６３は、カセット５１の前後方向に伸びる平面矩形に形成され、下面の前部先端に位置決め用の切り欠き６４が形成されており、この切り欠き６４が支持片２のストッパ３と支持片２の奥側壁との間に嵌合支持されることにより、容器本体１の正面方向、奥側方向にカセット５１が位置ずれするのを有効に防止する。

基板収納容器は、複数のレチクル収容容器３０を整列収納したカセット５１を容器本体１に収納した場合の重心位置が複数枚の半導体ウェーハＷを整列収納した場合の重心位置と０〜±１．０ｍｍの範囲内に調整される。この範囲内の調整により、複数のレチクル収容容器３０を収納したカセット５１を容器本体１に収納した場合にも、工場の天井搬送装置により搬送することが可能となる。

上記構成において、レチクル収容容器３０に１枚のレチクルを収容する場合には、開放した底板３１の一対の支持レール３４上にレチクルを水平に支持させ、開放した上蓋３９を閉じるとともに、底板３１に上蓋３９を押さえバネ３７により固定し、前端部の前蓋４４を閉じることにより、レチクルに一対の押さえ部材４１を回転させて位置決め接触させれば、レチクル収容容器３０に１枚のレチクルを収容することができる。

次に、カセット５１にレチクル収容容器３０を収納する場合には、一対のサイドパネル５２間にレチクル収容容器３０を挿入してそのガイドグリップ３５を収納溝５３に嵌入(図７参照)し、サイドパネル５２の前部から後部方向にレチクル収容容器３０をスライドさせてその前蓋４４の両側部を一対の規制保護片６１に接触させ、各収納溝５３の第二の傾斜面５６にガイドグリップ３５を接触させるとともに、各収納溝５３の段差面５５にガイドグリップ３５を嵌合してがたつきを未然に防止する(図８参照)ようにすれば、カセット５１にレチクル収容容器３０を収納することができる。

次に、基板収納容器にカセット５１を収納する場合には、空の容器本体１内にカセット５１を収納し、容器本体１の対向する一対の支持片２にカセット５１の被支持片６３をそれぞれ支持させ、位置や姿勢を安定させた後、容器本体１の開口した正面に蓋体１０を圧入して嵌合すれば、基板収納容器にカセット５１を収納することができる。

上記構成によれば、半導体ウェーハＷを収納した基板収納容器の重心位置と、カセット５１を収納したときの基板収納容器の重心位置とが略一致するよう調整しているので、収納する物品により、重心の位置が大きく相違するのを防ぐことができる。したがって、半導体ウェーハＷを収納した基板収納容器と、レチクル収容容器３０を収納した基板収納容器とを高速搬送しても、同じように安全に搬送することができる。

また、基板収納容器とカセット５１とを使用すれば、一度に複数枚のレチクルを搬送することができるので、半導体ウェーハＷの搬送効率の悪化を有効に防止することができる。また、複数の搬送ラインを設置する必要がないので、設備やコスト、スペース等を大幅に削減することが可能になる。

次に、図９は本発明の第２の実施形態を示すもので、この場合には、各サイドパネル５２に、収納溝５３の近傍に位置する係止バネ６５を支持するためにその一端部を軸止し、係止バネ６５が傾くように配設して、この係止バネ６５を収納溝５３に完全に嵌合したガイドグリップ３５に弾接するようにしている。

収納溝５３の上面は、サイドパネル５２の前端部からサイドパネル５２の中央部下方向に傾斜しながら伸びる第一の傾斜面５４と、この第一の傾斜面５４の端部から上方に緩やかに湾曲しながら伸びて下方に折り返される略逆Ｖ字形の段差面５５Ａと、この段差面５５Ａの折り返された端部からサイドパネル５２の後部下方向にやや傾斜しながら伸びる第二の傾斜面５６とを備えて一体形成される。また、係止バネ６５は、例えば細長い板バネ等からなり、略へ字形に屈曲形成されてその短い先端部６６がガイドグリップ３５に上方から圧接する。その他の部分については、上記実施形態と略同様であるので説明を省略する。

本実施形態においても上記実施形態と同様の作用効果が期待でき、しかも、簡易な構成でレチクル収容容器３０が上下方向にがたつくのをさらに有効に防止することができるのは明らかである。

次に、図１０は本発明の第３の実施形態を示すもので、この場合には、一対のサイドパネル５２の相対向する内面に、レチクル収容容器３０のガイドグリップ３５を支持する搭載片６７を対設し、この一対の搭載片６７を上下方向に所定のピッチで配列するようにしている。

一対の搭載片６７の寸法は、その根元部間の最大間隔Ｂ３がレチクル収容容器３０の最大幅寸法Ｂよりも僅かに大きく設定される(この点については、図６参照)。また、一対の搭載片６７の先端部間の間隔Ｂ４は、レチクル収容容器３０の最大幅寸法Ｂよりも小さく設定(この点についても、図６参照)され、好ましくはガイドグリップ３５を確実に支持する観点から、底板３１の側壁幅よりも僅かに大きく設定される。これらの寸法は、連結バー６２や搭載片６７の長さの調整により実現される。

各搭載片６７は、カセット５１の前後方向に伸びる平面矩形の細長い板に形成される。この搭載片６７の上面は、例えばサイドパネル５２の前端部からサイドパネル５２の中央部方向に伸びる第一の上面６８と、この第一の上面６８の端部から下方に僅かに伸びる段差面と、この段差面の短い端部からサイドパネル５２の後部方向に伸びる第二の上面６９とから一体形成される。第二の上面６９は、第一の上面６８よりもやや下方に位置する。その他の部分については、上記実施形態と略同様であるので説明を省略する。

本実施形態においても上記実施形態と同様の作用効果が期待でき、しかも、カセット５１の製造の際、一対のサイドパネル５２の対向する内面に収納溝５３をそれぞれ高精度に切り欠くことができない場合に実に有意義である。

次に、図１１と図１２は本発明の第４の実施形態を示すもので、この場合には、収容治具５０を中空のカセット５１とするのではなく、１個のレチクル収容容器３０を搭載するアダプタ７０とし、このアダプタ７０を容器本体１内の上下方向に間隔を空けて必要枚数収納するようにしている。

レチクル収容容器３０は、上記実施形態で説明した容器でも良いが、別のタイプ３０Ａでも良い(例えば、レチクルＳＭＩＦ ＰＯＤ１４と呼ばれる収容容器等)。この別のレチクル収容容器３０Ａは、例えばレチクルを１枚水平に収容する平面矩形で箱形の底板と、この底板の開口した上面に着脱自在に嵌合する平面矩形の上蓋とを備えて構成される。

アダプタ７０は、例えばカセット５１と同様の成形材料により、容器本体１の隣接する支持片２間に挿入可能な厚さと大きさを有する円板に成形され、両側部の周縁が容器本体１の一対の支持片２に支持される。このアダプタ７０の上面周縁部付近には、レチクル収容容器３０・３０Ａに前後左右、前後、又は左右から接触して位置決めする複数の位置決めバー７１が間隔をおいて配設され、各位置決めバー７１が直線的な略Ｉ字形等に形成される。アダプタ７０の上面には、レチクル収容容器３０・３０Ａ用の収容穴等を選択的に設けることができる。その他の部分については、上記実施形態と略同様であるので説明を省略する。

本実施形態においても上記実施形態と同様の作用効果が期待でき、設備投資の削減や省スペース化を図り、生産効率を向上させることもできる。また、アダプタ７０の上方や左右に余裕のスペースが存在するので、別タイプのレチクル収容容器３０Ａをも簡易に収容することができる。

次に、図１３と図１４は本発明の第５の実施形態を示すもので、この場合には、アダプタ７０を横長の平面矩形に形成し、このアダプタ７０の上面に、レチクル収容容器３０に四隅、斜め二隅、又は二隅から接触して位置決めする複数の位置決めバー７１Ａを間隔をおいて配設し、各位置決めバー７１Ａを平面略Ｌ字形に屈曲形成するようにしている。

アダプタ７０は、その上面の後端部に、容器本体１の内面とレチクル収容容器３０の前蓋４４のうち、少なくとも前蓋４４の下部に接触してその回転を規制する規制保護片６１Ａが左右方向に細長く一体形成され、両側部から薄肉の張出片７２がそれぞれ水平横方向に突出しており、この一対の張出片７２が容器本体１の支持片２に着脱自在に支持される。その他の部分については、上記実施形態と略同様であるので説明を省略する。

本実施形態においても上記実施形態と同様、設備投資の削減や省スペース化を図ることができ、生産効率の向上も期待できる。

なお、上記実施形態ではコイルバネ４３の一部と押さえ部材４１の軸受４２とを連結したが、前蓋４４と押さえ部材４１とを連動させることができるのであれば、押さえ部材４１とコイルバネ４３の一部とを連結しても良い。また、上記実施形態ではサイドパネル５２の内面のみに収納溝５３を切り欠いたが、サイドパネル５２に収納溝５３を貫通して切り欠いても良い。また、各サイドパネル５２やアダプタ７０の後端部に規制保護片６１を一体形成したが、少なくとも一方のサイドパネル５２の後部に規制保護片６１を形成しても良いし、別体の規制保護片６１を後付けしても良い。

また、規制保護片６１を上下方向に細長く連続的に伸ばしたが、サイドパネル５２の後部上下方向に複数の規制保護片６１を間隔をおいて並べ設け、各規制保護片６１をレチクル収容容器３０の前蓋４４側部に接触させることもできる。また、上記実施形態ではサイドパネル５２の螺子孔に連結バー６２の端部を螺嵌したが、熱溶着法、超音波溶着法、高周波溶着法、レーザ溶着法等により、サイドパネル５２に連結バー６２を連結することもできる。

また、サイドパネル５２と連結バー６２のいずれか一方に凹部を、他方には凸部をそれぞれ形成し、これら凹部と凸部とを摩擦係合等させることにより、サイドパネル５２と連結バー６２とを連結することもできる。さらに、連結部材は、円柱の連結バー６２に何ら限定されるものではなく、例えば一対のサイドパネル５２の間に架設される単数複数の連結板等でも良い。

本発明に係る基板収納容器は、半導体やレチクルを取り扱う分野で使用することができる。

１ 容器本体
２ 支持片
３ ストッパ
４ ロボティックフランジ(搬送具)
１０ 蓋体
１７ 施錠機構
３０ レチクル収容容器
３０Ａ レチクル収容容器
３１ 底板
３３ 側壁
３５ ガイドグリップ(側部)
３９ 上蓋
４０ 対向面
４１ 押さえ部材
４２ 軸受
４３ コイルバネ(バネ)
４４ 前蓋
５０ 収容治具
５１ カセット
５２ サイドパネル
５４ 第一の傾斜面
５５ 段差面
５５Ａ 段差面
５６ 第二の傾斜面
５７ 第一の下面
５８ 段差溝
５９ 第二の下面
６１ 規制保護片(規制保護部材)
６１Ａ 規制保護片(規制保護部材)
６２ 連結バー(連結部材)
６３ 被支持片(被支持部材)
６４ 切り欠き
６７ 搭載片
７０ アダプタ
７０Ａ アダプタ
７１ 位置決めバー(位置決め部材)
７１Ａ 位置決めバー(位置決め部材)
Ｗ 半導体ウェーハ

Claims (7)

1. 複数枚の半導体ウェーハを上下方向に並べて収納可能なフロントオープンボックスの容器本体と、この容器本体の開口した正面を着脱自在に開閉する蓋体と、容器本体に収納されるレチクル収容容器用の収容治具とを備え、容器本体に自動搬送用の搬送具を取り付けた基板収納容器であって、
   容器本体の内部両側に、半導体ウェーハを略水平に支持する一対の支持片を対向させて設け、この一対の支持片に収容治具の両側部を支持させるようにしたことを特徴とする基板収納容器。
2. 収容治具を、複数のレチクル収容容器を上下方向に並べて収納可能なカセットとし、このカセットを、対向してレチクル収容容器を挟む一対のサイドパネルと、この一対のサイドパネルを連結する連結部材と、各サイドパネルから突出して容器本体の支持片に支持される複数の被支持部材とから構成した請求項１記載の基板収納容器。
3. 一対のサイドパネルのうち、少なくとも一方のサイドパネルに、容器本体の内面とレチクル収容容器の前蓋の少なくともいずれかに接触する規制保護部材を設けた請求項２記載の基板収納容器。
4. 一対のサイドパネルの少なくとも対向面に、レチクル収容容器の側部に嵌合する一対の収納溝を対向させて形成し、収納溝の上面を、サイドパネルの前部からサイドパネルの後部下方向に傾斜しながら伸びる第一の傾斜面と、第一の傾斜面からサイドパネルの後部下方向に傾斜しながら伸びる第二の傾斜面とから形成し、収納溝の下面を、サイドパネルの前部からサイドパネルの後部方向に伸びる第一の下面と、この第一の下面の端部に形成される段差溝と、この段差溝からサイドパネルの後部方向に伸びる第二の下面とから形成し、第二の下面を第一の下面よりも低位に位置させた請求項２又は３記載の基板収納容器。
5. レチクル収容容器の底板の両側壁に、横方向に張り出すガイド部材をそれぞれ設け、一対のサイドパネルの対向面に、レチクル収容容器のガイド部材を支持する搭載片を対向させて設けた請求項２、３、又は４記載の基板収納容器。
6. 収容治具を、レチクル収容容器を搭載可能なアダプタとし、このアダプタを板形に形成してその上面にはレチクル収容容器用の位置決め部材を設け、アダプタの両側部を容器本体の一対の支持片に支持させるようにした請求項１記載の基板収納容器。
7. アダプタに、容器本体の内面とレチクル収容容器の前蓋の少なくともいずれか一方に接触する規制保護部材を設けた請求項６記載の基板収納容器。

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