TWI436932B - 大型前開式晶圓盒之限制件 - Google Patents

Description

大型前開式晶圓盒之限制件

本發明係有關於一種前開式晶圓盒，特別是有關於一種配置於大型之前開式晶圓盒門體之限制件模組。於本發明之大型前開式晶圓盒之限制件模組中，門體是由一殼體及一封板所形成，在殼體的外表面進一步形成複數個具有彈性之限制件模組，每一限制件模組係相對於每一支撐件模組，使大型前開式晶圓盒在搬運時能夠更穩固且讓晶圓具有彈性空間。

半導體晶圓在製造程序中會有許多的程序或步驟，而晶圓則會因這些程序或步驟，需要置放於不同的位置以及不同的機器中，因此於製程中晶圓必須從一處運送至另一處，甚至必須儲存一段時間，以配合必要的製程。其中，晶圓承載裝置(Cassette)同時具備儲存及運送功能，並且需適用於各種型式的運輸及傳送裝置，因此在半導體晶圓在製造程序中扮演了極為重要的角色。

如圖1所示，圖1為一般前開式晶圓盒(Front Opening Unified Pod；FOUP)，晶圓盒通常為一體射出成型，具有一盒體A，並且在盒體A之內側配置複數個晶圓支撐件B，晶圓支撐件B可為與盒體A一體射出成型，或者在盒體A一體射出成型時，同時形成複數個卡槽，再將晶圓支撐件B卡入一體射出成型之卡槽中。

然而，當晶圓越大時，例如：當晶圓尺寸超過300mm時，所需的晶圓盒亦需增大，但大型的晶圓盒使用高分子材料射出成型時，其盒體成型時，可能會有高分子材料所產生的應力而造成盒體扭曲，因此可能導致一體射出成型的晶圓支撐件或者卡槽扭曲；而晶圓支撐件或卡槽為左右兩邊對齊(以使放置的晶圓片保持水平)，些微的扭曲可能會產生歪斜，導致放置的晶 圓片無法保持水平，進而影響製程，更甚者可能造成晶圓破裂而導致嚴重的損失。

一般在門體上，皆會配置相對於支撐件的限制件，限制件配合支撐件可將晶圓穩固於晶圓盒中；但一般限制件皆是固定於門體上，對於大型晶圓來說，由於尺寸關係，在搬運時，其晃動程度更為劇烈，因此固定的限制件可能會造成晶圓在晶圓盒中缺乏彈性，導致破裂，造成更大的成本損失。

另外，一般前開式晶圓盒在運送晶圓盒時，會採用頂式升降搬運系統(OHT)，因此，均會在前開式晶圓盒上方配置一個頂式升降搬運頭C(如圖1所示)，以供機械手臂(Robot)抓取吊掛至別的製程工作站；而一般頂式升降搬運頭C多以中央處複數個鎖固件鎖固。

大型的前開式晶圓盒，因其中搭載大型晶圓片，在總重量上會比一般小型晶圓盒沉重，如以一般頂式升降搬運頭C，在中央處以複數個鎖固件鎖固，頂式升降搬運頭C因負荷大型前開式晶圓盒及其內晶圓片重量，容易使該前開式晶圓盒頂面變形甚至發生頂面破損，使頂式升降搬運頭C與大型前開式晶圓盒分離摔落損毀，造成更大的成本損失。

另外，人工搬運大型的前開式晶圓盒時，以開口朝上方式移動前開式晶圓盒，當前開式晶圓盒放置在平面過程中，因其內搭載大型晶圓片的重量，容易使前開式晶圓盒與平面產生相當衝擊，導致大型晶圓片因衝擊而裂損或產生缺角。

為了解決上述問題，本發明之一主要目的在於提供一種前開式晶圓盒，其晶圓支撐件是使用經由校正後的定位柱來固定至前開式晶圓盒上，使位於前開式晶圓盒內部之支撐件可相互對稱，使放置的晶圓可水平放置，並於門體之殼體的外表面進一步形成複數個具有彈性之限制件模組， 每一限制件模組係相對於每一支撐件模組，使大型前開式晶圓盒在搬運時能夠更穩固且讓晶圓具有彈性空間。

依據上述目的，本發明提供一種前開式晶圓盒，主要包括一盒體，盒體內部係設有複數個插槽以容置複數個晶圓，且在盒體之一側面係形成一開口可供複數個晶圓之輸入及輸出，而盒體開口處之一相對邊緣各配置至少一對插孔，一門體，係由一殼體及一封板組合而成，且於門體之一相對邊緣各配置至少一對與對插孔相應之閂孔，以及一門閂結構，係配置於門體之殼體內，門體係以殼體之外表面與盒體之開口相結合，並以門閂結構由閂孔伸出並插入插孔，使門體與盒體鎖固，以保護盒體內部之複數個晶圓，其中前開式晶圓盒之特徵在於：門體之殼體外表面的兩側配置一對斜面，該對斜面係朝向殼體外表面的中央區域相對傾斜，該對斜面之間具有一距離，且該對斜面與殼體外表面的中央區域形成一弧型結構，並於每一斜面上配置一彈性限制結構，彈性限制結構包括：一第一卡條，係配置於斜面靠近中央區域之底端，且第一卡條具有複數個第一插槽；一第二卡條，係配置於斜面靠近殼體外表面一側之頂端，且第二卡條具有複數個第二插槽；以及至少一限制件，係配置於斜面上，限制件包括：一長條型彈片，具有一第一端及相對於第一端之第二端，一V型長條片，以及一S型彈片，分別與長條型彈片及V型長條片相連接；藉由長條型彈片之第一端及第二端，分別插入第一插槽及第二插槽，使限制件固定於門體之殼體外表面之斜面上。經由本發明所提供之設計，使得大型前開式晶圓盒始終能確保其內部之支撐件及門體之限制件可相互對稱，使在搬運大型晶圓的過程中，大型晶圓可保持水平，不致損壞，並且讓晶圓具有彈性空件，使晶圓於搬運時更安全。

由於本發明係揭露一種晶圓盒，特別是具有校正過之支撐件的晶圓 盒；其中所利用到的一些關於晶圓盒製作、晶圓盒材質、貫穿孔校正方法，係利用現有技術來達成，故在下述說明中，並不作完整描述。此外，於下述內文中之圖式，亦並未依據實際之相關尺寸完整繪製，其作用僅在表達與本發明特徵有關之示意圖。

首先，請參閱圖2，係為本發明之前開式晶圓盒之盒體示意圖。如圖2所示，前開式晶圓盒1，包括一個與後側面14連接成一體的左側面13，右側面12，上側面10及下側面11所組成之盒體2，故可以提供一個容置物體的空間；而相對於後側面14另一側為一開口15；以及一個門體3，係與盒體2之開口15大小相符，用以封閉盒體2之開口15。

接著，請參閱圖3，係為本發明之前開式晶圓盒之開孔示意圖。如圖3所示，由於在射出成型製作大型前開式晶圓盒(例如：450mm以上)時，其盒體形狀較難以控制，可能會發生扭曲變形。而為防止變形導致晶圓盒兩側面之支撐件(一體成型或卡固結構)不對稱，因此，本發明是在射出成型時，並不先射出一體成型之支撐件(或支撐件卡固結構)，而是在晶圓盒射出成型之後，利用另外的校正系統，如：雷射或其他精密加工車床裝置，標示出盒體2的右側面12及左側面13的對稱位置，並於右側面12的前端121與後端123的附近處，及左側面13的前端131與後端133的附近處，各鑽出複數個第一貫穿孔1211、1231、1311及1331。本發明之一實施例為在右側面12的前端121與後端123的附近處，及左側面13的前端131與後端133的附近處，各鑽出十三個第一貫穿孔1211、1231、1311及1331，且每一側面上的鑽孔數量是精確地對應(如橫向虛線所示)，在後述會加以詳細說明。在此要特別強調，本發明並不限定其鑽孔數量，所述之十三個第一貫穿孔為一實施例，用以具體說明本發明之技術特徵。

接著，請參閱圖4A，係為本發明之支撐件安裝示意圖。如圖4A所示，右側面12的前端121與後端123，及左側面13的前端131與後端133，其第一貫穿孔1211、1231、1311及1331及安裝支撐件30的方法及結構均相 同，因此，在下列之說明中，以左側面13的前端131來作為說明，其它端便不再贅述之。

請再參考圖4A所示，在盒體2之左側面13的前端131附近處具有複數個第一貫穿孔1311，其中，本發明之實施例是以具有十三個第一貫穿孔1311來說明。如圖4A所示，一定位柱20(Frame)，其上形成有複數個第二貫穿孔201，其每一第二貫穿孔201的貫穿孔位置是經過精密加工所形成；例如：在本發明之實施例中，此定位柱20上形成有十三個第二貫穿孔201，而第二貫穿孔201與第一貫穿孔1311相對應地配置。每一定位柱20經由第一鎖固件50來將第二貫穿孔201及第一貫穿孔1311接合，使得定位柱20被鎖固於盒體2之左側面13外側面的前端131附近處；在一實施例中，上述之第一貫穿孔1311共有十三個，其中位於上、中、下的三個第一貫穿孔1311'，是給第一鎖固件50鎖固用。此外，本發明之定位柱20的材質可以是金屬或是工程塑膠等。

接著，請參閱圖4B，係為本發明之支撐件模組示意圖。如圖4B所示，複數個支撐件模組30，其一側面上形成有複數個凸出的鎖固孔301，而另一側面形成有多個呈橫向且間隔排列的肋303，且每一支撐件模組30經由凸出的鎖固孔301通過每一定位柱20上其餘的第二貫穿孔201及盒體2之左側面13的前端131其餘的第一貫穿孔1311後，再由多個第二鎖固件52將支撐件模組30固定於左側面13的前端131的內側面上；另外支撐件模組30的鎖固孔301上，可進一步配置一氣密墊圈40，以使前開式晶圓盒1達到氣密狀態。

在本發明之一較佳實施例中，每一端所安裝的支撐件模組30各有五個，每個支撐件模組30各有兩個鎖固孔301及五個肋303，因此，共有十個鎖固孔301及二十五個肋303，此十個鎖固孔301便可以分別安裝進盒體2其餘的第一貫穿孔1311及定位柱20上其餘的第二貫穿孔201中；在此要強調的是，本發明並不限定第一貫穿孔1311及第二貫穿孔201之個數，其 個數由安裝支撐件模組30的數量及定位柱20需鎖固的數量而定。再接著，藉由右側面12的前端121與後端123，及左側面13的前端131與後端133等四端所安裝的支撐件模組30，四端所對應的每一支撐件模組30可搭載五個晶圓片；很明顯地，本發明之一較佳實施例中，其盒體2的容置空間中共有五組(四端為一組)支撐件模組30，因此，共可放置二十五片晶圓；然而要強調的是，本發明並不對盒體2的容置空間中所能放置的晶圓數加以限定。

接著，請參閱圖5A，係為本發明之頂式升降搬運墊及頂式升降搬運頭(Overhead Hoist Transport head；OHT head)之結構示意圖，而在如下之說明中，所述之頂式升降搬運墊(Overhead Hoist Transport pad；OHT pad)，將以OHT墊來取代；而頂式升降搬運頭(Overhead Hoist Transport head；OHT head)，將以OHT頭來取代。如圖5A所示，在盒體2之上側面10上形成一凸柱101，且於上側面10的凸柱101的周圍形成一個環狀卡扣槽103，並於卡扣槽103與凸柱101之間形成複數個第一螺柱105；再接著，於盒體2之上側面10上進一步配置一OHT墊60及一OHT頭62，其中：OHT墊60配置於盒體2之上側面10上，並且於OHT墊60之中央處形成一通孔601，並於通孔601周圍上形成多個凸出的第二螺柱603；第二螺柱603可為貫穿孔，本實施例並不加以限定。這些第二螺柱603是與複數個第一螺柱105相對應；且還可於OHT墊60的周圍形成對應於上側面10的卡扣槽103的卡扣件605；再者，在OHT頭62之中央處形成一圓形卡榫621，且於一側面上形成多個凸出的第三貫穿孔623，且第三貫穿孔623與第二螺柱603及第一螺柱105相應地配置；之後，將OHT頭62之圓形卡榫621通過OHT墊60之通孔601後，經由圓形卡榫621與凸柱101接合，同時再將OHT墊60的卡扣件605與上側面10的卡扣槽103卡扣在一起之後，將OHT墊60上的第二螺柱603與盒體2之上側面10之複數個第一螺柱105及OHT頭62上的第三貫穿孔623對齊後，再使用複數個第三鎖固件54，用以將第 二螺柱603及第三貫穿孔623與盒體2之上側面10的複數個第一螺柱105鎖固在一起，使得OHT墊60及OHT頭62與盒體2之上側面10接合成一體。

本發明增加OHT墊60之主要功用，是用以分散OHT頭62在被機械手臂搬運時的重量。一般前開式晶圓盒的OHT頭是以複數個鎖固件與盒體鎖固在一起，但對於較大型的前開式晶圓盒來說，只以複數個鎖固件與盒體鎖固時，在半導體廠之製程中進行前開式晶圓盒之吊掛時，會使OHT頭無法承受前開式晶圓盒及二十五片晶圓之重量；因此，本發明藉由配置一個OHT墊60之結構來分散OHT頭承載之前開式晶圓盒及二十五片晶圓之重量。很明顯地，本發明提供一種由OHT墊60的卡扣件605與上側面10的卡扣槽103卡扣，以將重量平均分散，同時還可藉由OHT墊60上的多個凸出的第二螺柱603與OHT頭62多個凸出的第三貫穿孔623以第三鎖固件54互相鎖固，使OHT頭更牢固地與盒體2之上側面10的複數個第一螺柱105鎖固在一起，再藉由OHT頭62的中心點圓形卡榫621配置於前開式晶圓盒1的重心後方，使得圓形卡榫621與盒體2之上側面10的凸柱101接合，可以使OHT頭62不致搖晃並保持平衡。此外，本發明之OHT墊60的材質可以是高硬度的工程塑膠等，特別是OHT墊60材質的硬度是大於該盒體材質的硬度。

再接著，請參閱圖5B，係本發明之OHT墊60的另一實施例之結構示意圖。如圖5B所示，OHT墊60是以埋入射出方式形成於盒體2之上側面10之上，並於OHT墊60之中央形成一凸柱607，並於凸柱607之周邊形成多個凸出的倒勾卡榫609；一OHT頭62，於中央處形成一圓形卡榫621，且於一側面上形成多個凸出的第三貫穿孔623，且第三貫穿孔623與倒勾卡榫609相應地配置；複數個第三鎖固件54，用以將倒勾卡榫609及第三貫穿孔623鎖固，使得OHT墊60及OHT頭62接合成一體；其中，OHT頭之圓形卡榫與凸柱接合。

本實施例其OHT墊60，係以埋入射出方式形成於盒體2之上側面10之上，因此不需圖5A所述之卡扣件605與卡扣槽103之設計，且OHT墊60埋入射出在盒體2上，不僅可避免與盒體2之間可能產生的鬆脫，同時，此結構亦可更均勻分散OHT頭承載之前開式晶圓盒及二十五片晶圓時之重量。

請參閱圖6A，係為本發明之底座示意圖。如圖6A所示，在盒體2之下側面11之四個角落附近各形成一第一氣孔111，並於前開式晶圓盒1下方，進一步配置一底座70；其中，底座70上形成多個第二氣孔701，且每一第二氣孔701與下側面11上每一第一氣孔111相應地配置。

接著，請參閱圖6B，係為本發明之扣合組件示意圖。如圖6B所示，複數個扣合組件，是由具有內牙之第一組件80與一具有外牙之第二組件82接所組成，藉由每一第一組件80之內牙801通過些第一氣孔111，且於每一第二組件82之外牙821通過些第二氣孔701後，將第一組件80與第二組件82經由內牙801及外牙821的接合，使得底座70與盒體2之下側面11接合成一體。

本發明之扣合組件也可使用具有中空結構的卡扣元件，故於卡扣元件將底座70與盒體2之下側面11接合成一體後，於中空結構中配置一充氣閥(或排氣閥)，使得本發明之底座70與前開式晶圓盒之下側面11接合成一體後，亦可有充氣(或排氣)功能；且在第一組件80或第二組件82上，可進一步配置一氣密墊圈42，以使前開式晶圓盒1達到氣密狀態。

再請參閱圖7，係為本發明之後側面示意圖。如圖7所示，本發明在前開式晶圓盒之後側面14上，可以形成一相對於開口15之後開口141；形成此一後開口141之目的是可提供半導體製程設備調校及量測使用。而在後開口141處可以使用一個平板件90鑲嵌在後開口141中，此平板件90可以是透明的，其也可以是不透光的；而在本發明之一實施例中，此一平板件90係以超音波熔接之方式鑲嵌在合體2之後開口141上；然而，本發明 並不對平板件90之鑲嵌或接合方式加以限定。另外，本發明之平板件90之材質可以使用高潔淨及抗UV(紫外線)之工程塑膠材料，同樣地，本發明亦不對是否採用平板件90之材質加以限定。此外，本發明還可以在透明的平板件90上可註記尺規文字，例如：編號、製程階段或條碼等，以方便製程作業之需要。

請參閱圖8A，係為本發明之防震組件示意圖。如圖8A所示，在前開式晶圓盒1之盒體2後方，位於右側面12及左側面13，兩側面與後側面14連接之轉角處，分別設置一防震組件17。防震組件17由一銜接件171與一防震墊173組成，銜接件171以鎖固結構(未顯示於圖中)固定於盒體2上，而防震墊173則以卡固結構(未顯示於圖中)固定於銜接件171上；防震組件17主要為防止搬運過程之碰撞；另外，人工搬運大型的前開式晶圓盒時，以開口朝上方式移動前開式晶圓盒，所以防震墊173亦有防滑之功效，確保前開式晶圓盒1運送晶圓時，不受非水平之搬運動作而位移。

而防震組件17之防震墊173長期使用後，可能會導致磨損，因此以卡固結構(未顯示於圖中)固定於銜接件171上，可方便更換防震墊173；在此要強調，本實施例之銜接件171，是以鎖固結構(未顯示於圖中)固定於盒體2上，而防震墊173是以卡固結構(未顯示於圖中)固定於銜接件171，但本發明並不限定其結合方式。另外，本實施例之防震墊173之材質為彈性橡膠，但本發明亦不限定材質，只要符合其防碰撞及防滑之功效，皆為本發明實施之範圍。

接著，請參閱圖8B，係為本發明之防震組件組裝示意圖。如圖8B所示，在防震組件17組裝完成後，其防震組件17會凸出於盒體2，因此當盒體2與地面或牆壁發生碰撞時，可避免盒體2直接接觸於碰撞物，保護內部之晶圓。

再接著，請參閱圖9，係為本發明之側翼組裝示意圖。側翼結構為前開式晶圓盒在SEMI規範中標準結構之一，目的使機械手臂(Robot)藉該側 翼結構移動整個前開式晶圓盒。如圖9所示，在右側面12及左側面13的外側上，各配置一側翼16讓盒體2符合SEMI規範。側翼16為加強盒體2之結構，防止因盒體2一體射出成型，材料應力導致盒體2變形，因此位於右側面12及左側面13外側的側翼16，在盒體2成型後，在配置於盒體2上；本發明亦不限定側翼16與盒體2之結合方式。

接著，請參閱圖10，係為本發明之門體爆炸示意圖。如圖10所示，門體3由一殼體300及一封板外表面3101封板310所組成，殼體300具有一相對於開口15之殼體外表面3001，而封板310具有一面向外部之封板外表面3101；在殼體外表面3001上配置一對彈性限制結構100，彈性限制結構100為限制放置於晶圓盒內之晶圓，而其限制方式，後續會詳細說明；另外，在殼體300內，配置一對門閂結構500，並藉由殼體300與封板310之組合，將門閂結構500配置於門體3中；其中門閂結構500具有一插入閂60031，插入閂60031對應殼體300上之閂孔3002及盒體2之插孔107(請參考圖2)。

請參閱圖11，係為本發明之門體之殼體外表面示意圖。如圖11所示，在殼體外表面3001的兩側配置一對斜面3003，該對斜面3003朝向殼體外表面3001的中央區域3005相對傾斜，相對之斜面之間具有一距離，且該對斜面3003與殼體外表面3001的中央區域3005形成一弧型結構，並於每一斜面上配置一彈性限制結構100，彈性限制結構100包括：一第一卡條1001，係配置於斜面3003靠近中央區域3005之底端30031，且第一卡條1001具有複數個第一插槽10011；一第二卡條1003，係配置於斜面3003靠近殼體外表面3001一側之頂端30033，且第二卡條1003具有複數個第二插槽10031；以及一限制件200，安裝於第一卡條1001及第二卡條1003之間；另外，在中央區域3005內加入複數個肋板30051，肋板30051可強化門體3的結構。

接著，請參閱圖12，係為本發明之限制件示意圖。如圖12所示，限制件200包括：一長條型彈片2001，具有第一端20011及相對於第一端20011 之第二端20013，一V型長條片2005，以及一S型彈片2003，分別與長條型彈片2001及V型長條片2005相連接；本發明之最佳實施例，其限制件200為5個組合為一限制件模組，共有五組，其與盒體2中之支撐件模組30相對，但本發明並不限制限制件200之組合數。

再接著，請參閱圖13，係為本發明之限制件安裝示意圖。如圖13所示，將限制件200安裝於第一卡條1001及第二卡條1003之間時，其長條型彈片2001之第一端20011，插入第一卡條1001之第一插槽10011；而長條型彈片2001之第二端20013，插入第二卡條1003之第二插槽10031，即完成安裝。

當晶圓4安置於盒體2中並蓋上門體3時，配置於門體2之殼體外表面3001上之限制件200便會卡固晶圓4，限制件200之V型長條片2005會將晶圓4卡固在V型結構中，使盒中各個晶圓4能相隔分開；而在晶圓4放置在蓋上門體3之盒體2中時，晶圓4會壓縮限制件200，而因長條型彈片2001及S型彈片2003為一彈性結構，因此可給與晶圓4一定的夾持力，且配合S型彈片2003，限制件200在搖晃中(例如：搬運中)可左右偏擺，提供垂直及左右的夾持力，並且可防止晶圓4旋轉，確保晶圓4的穩固及安全；另外，斜面3003與殼體外表面3001的中央區域3005所形成的弧型結構，可幫助晶圓4在壓縮限制件200時，有一個容置空間，此種弧型結構可幫助縮小門體3的體積及減少門體3的重量。

再接著，請參閱圖14，係為本發明之定位條示意圖。如圖14所示，在殼體外表面3001之相對之斜面3003之底端30031連接中央區域3005之交接處，各配置一定位條400，定位條400上具有相對於V型長條片2005之V型結構之缺口4001；因此當晶圓放置在V型長條片2005之V型結構中時，亦會插入在定位條400之缺口4001中；由於在搬運時，晶圓可能在盒體2內上下震動，定位條400之缺口4001便可限制晶圓在搬運時之上下跳動，增加晶圓放置的穩定性；而本發明實施例之定位條400為5個組合為 一定位條模組，共有五組，其與門體3上之限制件模組相對，但本發明並不限制定位條400之組合數。

請參閱圖15，係為本發明之門閂結構示意圖。如圖15所示，在殼體300內，具有一相對之凹陷區域3007，並在每一凹陷區域3007內部配置一門閂結構500，該門閂結構500包括：一圓形轉盤5001，具有一面向殼體300內部之第一表面50011及一面向該封板310之第二表面50013，於第一表面50011上配置一轉動部5002；於第二表面50013之中央位置配置一制動部5003；一對牽動件5004，形成於圓形轉盤5001之邊緣上的相對兩端；一對滑動裝置600，分別配置於圓形轉盤5001之邊緣的相對兩側，每一滑動裝置600具有靠近圓形轉盤5001之第一端6001以及與該第一端6001相對之第二端6003，並於第一端6001形成一勾狀嵌合部60011及一滑動部60013，以及在第二端6003形成插入閂60031，且插入閂60031係與門體3之閂孔3002相對應，其中，勾狀嵌合部60011勾制住牽動件5004，使滑動裝置600嵌設於圓形轉盤5001上；其中牽動件5004可為一軸承裝置，但本發明並不加以限定，並可於牽動件5004上外加一扣環5005，可限制住牽動件5004，使牽動件5004不致於鬆脫。

在插入閂60031末端，配置複數個閂滾輪60033，可在插入閂60031插入盒體2之插孔107時，可藉由滾輪滑入，避免卡住；另外，在滑動裝置600上配置第一滑動滾輪6005及第二滑動滾輪6007；在此要強調，本發明實施例在滑動裝置600上配置第一滑動滾輪6005及第二滑動滾輪6007，但本發明並不加以限定滑動滾輪之數量；在第一滑動滾輪6005之位置上，配置一第一導正結構700，而在第二滑動滾輪6007之位置上，配置一第二導正結構710，第一導正結構700及第二導正結構710設於凹陷區域3007內部，用以將每一滑動裝置600框設於該凹陷區域3007，使滑動裝置600不致左右偏擺，而導正結構之材質為耐磨之材質。

接著，請參閱圖16，係為本發明之導正結構示意圖。如圖16所示，第 一導正結構700下方設有一第一軌道7001，而相對於第一軌道7001上方設有一第一夾持板7003，第一夾持板7003將第一滑動滾輪6005夾持在第一軌道7001上，使第一滑動滾輪6005不致左右偏擺；第二導正結構710上方設有一第二軌道7101，而相對於第二軌道7101下方設有一第二夾持板7103，第二夾持板7103將第二滑動滾輪6007夾持在第二軌道7101上，使第二滑動滾輪6007不致左右偏擺；在此要強調，本發明是以第一導正結構700下方的第一軌道7001及第二導正結構710上方的第二軌道7101來限制滑動裝置600不致左右偏擺，但本發明並不對軌道數及位置加以限定，第一導正結構700及第二導正結構710上下方皆配置軌道亦為本發明之實施例。

接著，請參閱圖17，係為本發明之限制結構示意圖。如圖17所示，在門閂結構500上進一步配置一限制結構800，包括：一對限制軸8001，分別配置於圓形轉盤5001之制動部5003兩側；及一彈性限制框8003，具有一對位於相對兩端之固定部80031及一對分別與固定部80031連接之限制框80033，該對固定部80031固定於殼體300之凹陷區域3007上，該對限制框8003將該對限制軸8001限制在限制框8003內，其中限制框8003為一彎曲彈性結構；另外，可於限制軸8001上外加一扣環8005，可限制住限制軸8001，使限制軸8001不致於鬆脫。

再接著，請參閱圖18A至圖18C，係為本發明之門閂結構作動示意圖。首先，如圖18A所示，當門體3上鎖於盒體2時，滑動裝置600之插入閂60031經由殼體300上之閂孔3002插入盒體2之插孔107，此時，牽動件5004位於滑動部60013之位置，牽動件5004推壓著滑動部60013，使滑動裝置600穩固卡進插孔107，而限制軸8001則卡固於限制框8003之彎曲彈性結構之位置X。

接著，如圖18B所示，當要開啟門體3時，開鎖件(未顯示於圖中)，插入圓形轉盤5001之制動部5003以順時針轉動，此時位於圓形轉盤5001上 之限制軸8001會一起轉動，而在位置Y時會撐開限制框8003；限制框8003本身具有一定的彈性，但亦有一定的堅固性，因此當限制軸8001卡固於前述位置X，限制軸8001會因為限制框8003本身的堅固性而不致偏移，但當以開鎖件(未顯示於圖中)轉動圓形轉盤5001時，限制軸8001會因為外力而撐開具有彈性的限制框8003，但並不會損毀限制框8003。

再接著，如圖18C所示，當開啟門體3時，圓形轉盤5001順時針轉動45°，牽動件5004沿著滑動部60013滑入勾狀嵌合部60011之位置，相對牽動滑動裝置600往內縮，使插入閂60031滑出盒體2之插孔107，使門體3之門閂結構500與盒體2分離；而限制軸8001由位置X經由位置Y移動到位置Z，限制框8003彈回至原來限制之大小，限制軸8001卡固於位置Z之位置。

請參閱圖19，係為本發明之膠條配置示意圖。如圖19所示，在殼體300之凹陷區域3007的外圍，配置一環繞於凹陷區域3007之膠條30071；在殼體300與封板310相互結合後，配至於凹陷區域3007的外圍之膠條30071會緊貼於封板310上，因此凹陷區域3007會與殼體300其它部位隔離，形成一封閉區域，僅有殼體300上之閂孔3002未封閉。

在前開式晶圓盒1使用時，因會不斷的開啟及關閉門體3，雖然門體3內之導正結構採用耐磨之材質，但滑動裝置600多次滑動後，還是會產生磨損的微粒或粉塵，因此內部之門閂結構500需要清洗；藉由上述所形成之封閉區域，清洗溶劑(例如：水)由上方閂孔3002灌入，並由下方閂孔3002排出，而灌入的清洗溶劑因膠條30071所形成之封閉區域，並不會滲入門體3其它區域，藉此可提高門體3清洗後之乾燥速度，也亦較方便清洗。

接著，請參閱圖20，係為本發明之封板示意圖。如圖20所示，在封板310的邊緣上，配置複數個門邊滾輪900，並於門邊滾輪900後方配置一卡勾910；而在殼體300之邊緣，配置複數個相對於門邊滾輪900之滾輪槽3009，並於滾輪槽3009下方配置相對於卡勾910之卡溝槽30091；在封板 310與殼體300結合時，門邊滾輪900置入在滾輪槽3009中，而卡勾910則嵌入卡溝槽30091內，將封板310與殼體300嵌合在一起；而門邊滾輪900的作用，則是在盒體2蓋上門體3時，可幫助門體3滑順的滑入盒體2中，避免不必要的碰撞；另外，封板310上具有一對與門閂結構500之制動部5003相對之鎖孔3103，當封板310與殼體300嵌合在一起時，開鎖件(未顯示於圖中)可由鎖孔3103插入圓形轉盤5001之制動部5003來開鎖。

雖然本發明以前述之較佳實施例揭露如上，然其並非用以限定本發明，任何熟習相像技藝者，在不脫離本發明之精神和範圍內，當可作些許之更動與潤飾，因此本發明之專利保護範圍須視本說明書所附之申請專利範圍所界定者為準。

A‧‧‧盒體(先前技術)

B‧‧‧晶圓支撐件(先前技術)

C‧‧‧OHT頭(先前技術)

X‧‧‧位置

Y‧‧‧位置

Z‧‧‧位置

1‧‧‧前開式晶圓盒

2‧‧‧盒體

3‧‧‧門體

4‧‧‧晶圓

10‧‧‧上側面

101‧‧‧凸柱

103‧‧‧卡扣槽

105‧‧‧第一螺柱

107‧‧‧插孔

11‧‧‧下側面

111‧‧‧第一氣孔

12‧‧‧右側面

121‧‧‧前端

1211‧‧‧第一貫穿孔

123‧‧‧後端

1231‧‧‧第一貫穿孔

13‧‧‧左側面

131‧‧‧前端

1311/1311'‧‧‧第一貫穿孔

133‧‧‧後端

1331‧‧‧第一貫穿孔

14‧‧‧後側面

141‧‧‧後開口

15‧‧‧開口

16‧‧‧側翼

17‧‧‧防震組件

171‧‧‧銜接件

173‧‧‧防震墊

20‧‧‧定位柱

201‧‧‧第二貫穿孔

30‧‧‧支撐件模組

301‧‧‧鎖固孔

303‧‧‧肋

40‧‧‧氣密墊圈

42‧‧‧氣密墊圈

50‧‧‧第一鎖固件

52‧‧‧第二鎖固件

54‧‧‧第三鎖固件

60‧‧‧OHT墊

601‧‧‧通孔

603‧‧‧第二螺柱

605‧‧‧卡扣件

607‧‧‧凸柱

609‧‧‧倒勾卡榫

62‧‧‧OHT頭

621‧‧‧圓形卡榫

623‧‧‧第三貫穿孔

70‧‧‧底座

701‧‧‧第二氣孔

80‧‧‧第一組件

801‧‧‧內牙

82‧‧‧第二組件

821‧‧‧外牙

90‧‧‧平板件

100‧‧‧彈性限制結構

1001‧‧‧第一卡條

10011‧‧‧第一插槽

1003‧‧‧第二卡條

10031‧‧‧第二插槽

200‧‧‧限制件

2001‧‧‧長條型彈片

20011‧‧‧第一端

20013‧‧‧第二端

2003‧‧‧S型彈片

2005‧‧‧V型長條片

300‧‧‧殼體

3001‧‧‧內表面

3002‧‧‧閂孔

3003‧‧‧斜面

3005‧‧‧平面

30051‧‧‧肋板

3007‧‧‧凹陷區域

30071‧‧‧膠條

3009‧‧‧滾輪槽

30091‧‧‧卡溝槽

310‧‧‧封板

3101‧‧‧外表面

3103‧‧‧鎖孔

400‧‧‧定位條

4001‧‧‧缺口

500‧‧‧門閂結構

5001‧‧‧圓形轉盤

50011‧‧‧第一表面

50013‧‧‧第二表面

5002‧‧‧轉動部

5003‧‧‧制動部

5004‧‧‧牽動件

5005‧‧‧扣環

600‧‧‧滑動裝置

6001‧‧‧第一端

60011‧‧‧勾狀嵌合部

60013‧‧‧滑動部

6003‧‧‧第二端

60031‧‧‧插入閂

60033‧‧‧閂滾輪

6005‧‧‧第一滑動滾輪

6007‧‧‧第二滑動滾輪

700‧‧‧第一導正結構

7001‧‧‧第一軌道

7003‧‧‧第一夾持板

710‧‧‧第二導正結構

7101‧‧‧第二軌道

7103‧‧‧第二夾持板

800‧‧‧限制結構

8001‧‧‧限制軸

8003‧‧‧彈性限制框

80031‧‧‧固定部

80033‧‧‧限制框

8005‧‧‧扣環

900‧‧‧門邊滾輪

910‧‧‧卡勾

圖1 係為習知前開式晶圓盒示意圖；圖2 係為本發明之前開式晶圓盒之盒體示意圖；圖3 係為本發明之前開式晶圓盒開孔示意圖；圖4A 係為本發明之支撐件安裝示意圖；圖4B 係為本發明之支撐件模組示意圖；圖5A 係為本發明之頂式升降搬運墊及頂式升降搬運頭之結構示意圖；圖5B 係為本發明之頂式升降搬運墊之另一實施例之結構示意圖；圖6A 係為本發明之底座示意圖；圖6B 係為本發明之扣合組件示意圖；圖7 係為本發明之後側面示意圖；圖8A 係為本發明之防震組件示意圖；圖8B 係為本發明之防震組件組裝示意圖；圖9 係為本發明之側翼組裝示意圖；圖10 係為本發明之門體爆炸示意圖；圖11 係為本發明之門體之殼體外表面示意圖；圖12 係為本發明之限制件示意圖；圖13 係為本發明之限制件安裝示意圖；圖14 係為本發明之定位條示意圖；圖15 係為本發明之門閂結構示意圖；圖16 係為本發明之導正結構示意圖；圖17 係為本發明之限制結構示意圖；圖18A 係為本發明之門閂結構上鎖示意圖；圖18B 係為本發明之門閂結構解鎖作動示意圖；圖18C 係為本發明之門閂結構開鎖示意圖； 圖19 係為本發明之膠條配置示意圖；圖20 係為本發明之封板示意圖。

200‧‧‧限制件

2001‧‧‧長條型彈片

20011‧‧‧第一端

20013‧‧‧第二端

2003‧‧‧S型彈片

2005‧‧‧V型長條片

Claims (8)

1. 一種前開式晶圓盒，主要包括一盒體，該盒體內部係設有複數個插槽以容置複數個晶圓，且在該盒體之一側面係形成一開口可供該複數個晶圓之輸入及輸出，而該盒體開口處之一相對邊緣各配置至少一對插孔，一門體，係由一殼體及一封板組合而成，且於該門體之一相對邊緣各配置至少一對與該對插孔相應之閂孔，以及一門閂結構，係配置於該門體之殼體內，該門體係以該殼體之外表面與該盒體之該開口相結合，並以該門閂結構由該閂孔伸出並插入該插孔，使該門體與該盒體鎖固，以保護該盒體內部之該複數個晶圓，其中該前開式晶圓盒之特徵在於：該門體之該殼體外表面的兩側配置一對斜面，該對斜面係朝向該殼體外表面的中央區域相對傾斜，該對斜面之間具有一距離，且該對斜面與該殼體外表面的中央區域形成一弧型結構，並於每一該斜面上配置一彈性限制結構，該彈性限制結構包括：一第一卡條，係配置於該斜面靠近中央區域之底端，且該第一卡條具有複數個第一插槽；一第二卡條，係配置於該斜面靠近該殼體外表面一側之頂端，且該第二卡條具有複數個第二插槽；以及至少一限制件，係配置於該斜面上，該限制件包括：一長條型彈片，具有一第一端及相對於該第一端之第二端，一V型長條片，以及一S型彈片，分別與該長條型彈片及該V型長條片相連接；藉由該長條型彈片之該第一端及該第二端，分別插入該第一插槽及該第二插槽，使該限制件固定於該門體之殼體外表面之該斜面上。
2. 根據申請專利範圍第1項所述之前開式晶圓盒，其中由複數個該限制件可組合為一限制件模組。
3. 根據申請專利範圍第1項所述之前開式晶圓盒，在該斜面與該殼體外表面之中央區域交接處，進一步配置至少一定位條，該定位條具有至少一個相對於該V型長條片之缺口。
4. 根據申請專利範圍第3項所述之前開式晶圓盒，其中由複數個該定位條可組合為一定位條模組。
5. 根據申請專利範圍第1項所述之前開式晶圓盒，其中該限制件之材質為一耐磨材料。
6. 一種用於前開式晶圓盒之限制件結構，包括一長條型彈片，及一V型長條片，其中該限制件結構之特徵在於：該長條型彈片及該V型長條片係由一S型彈片連接而成。
7. 根據申請專利範圍第1項所述之用於前開式晶圓盒之限制件結構，其中由複數個該限制件結構可組合為一限制件結構模組。
8. 根據申請專利範圍第1項所述之用於前開式晶圓盒之限制件結構，其中該限制件結構之材質為一耐磨材料。