JP2014096440A - 基板収納容器 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】基板収納容器1は、奥壁22、上壁23、下壁24、及び一対の側壁25、26を有する壁部20を備え、複数の基板Wを収納可能であり容器本体開口部21に連通する基板収納空間27が形成された容器本体2と、容器本体開口部21に対して着脱可能であり、容器本体開口部21を閉塞可能な蓋体3と、を備える。上壁23の外面は、一方の側壁25から他方の側壁26へ向かう開口部幅方向D3における両端部分に位置する内方指向外面端部233Bであって、開口部幅方向D3における中央部分に近づくにつれて基板収納空間27の内方へ向かう内方指向外面端部233Bと、開口部幅方向D3における中央部分に位置し、上壁23の外面の両端よりも基板収納空間27の内方寄りに位置する外面中央低部232Bと、を有する。
【選択図】図3A
Description
奥側基板支持部は、フロントリテーナと対をなすように壁部に設けられている。奥側基板支持部は、複数の基板の縁部を支持可能である。奥側基板支持部は、蓋体によって容器本体開口部が閉塞されているときに、フロントリテーナと協働して複数の基板を支持することにより、隣接する基板同士を所定の間隔で離間させて並列させた状態で、複数の基板を保持する。
なお、奥側基板支持部は、基板支持板状部と一体に形成されていてもよく、あるいは、基板支持板状部とは別体で構成されていてもよい。
中央低部232は、上壁23の一部であって、左右方向D3の中央部分、即ち、長方形状の容器本体開口部21の上側の長辺の延びる方向(以下、「開口部幅方向」とする)の中央部分を構成しており、下方向D22へ下がった位置にある。即ち、中央低部232は、左右方向D3において上壁23を略3等分したときの中央の部分により構成されている。左右方向D3における容器本体2の幅は、略500mm程度であるのに対して、左右方向D3における中央低部232の幅は、250mm程度である。中央低部232の前端部は、開口周縁部28の一部を構成して容器本体開口部21を形成している。中央低部232の後端部は、奥壁22に接続されている。
また、内面中央低部232Aと外面中央低部232Bとは、互いに一致した位置関係の長方形状を有しており、長方形状の一辺は、開口周縁部28の一部を構成して容器本体開口部21を形成している。
従って、図5Bに示すように、正面から見た上壁23の前端部分により構成される開口周縁部28の部分であって、後述の蓋体3のシール部材が当接する部分281は、中央低部232が最も下方に突出するように下方へ突出した形状を有している。
フランジ固定部234は、上壁23の中央部に配置されている。フランジ固定部234には、図1に示すように、被係止部としてのトップフランジ236が固定される。従って、トップフランジ236は、上壁23の中央部に配置されている。トップフランジ236は、図2Cに示すように、フランジ固定部234に固定される被固定部236Aと、被固定部236Aに接続され、上壁23の外面に対向するフランジ部236Bとを有している。トップフランジ236は、AMHS(自動ウェーハ搬送システム)、PGV(ウェーハ基板搬送台車)等において基板収納容器1を吊り下げる際に、吊り上げ部材としてのこれらの機械のアーム(図示せず)に掛けられ、これにより基板収納容器1は、アームに吊り下げられる。
このような構成の基板支持板状部5により、複数の基板Wのうちの隣接する基板W同士を、所定の間隔で離間した状態で且つ互いに平行な位置関係とした状態で、複数の基板Wの縁部を支持可能である。
なお、奥側基板支持部6は、基板支持板状部5とは別体、即ち、壁部基板支持部60は、基板支持板状部5の板部51とは別体で構成されていてもよい。
上壁23の外面は、一方の側壁から他方の側壁へ向かう開口部幅方向、即ち、左右方向D3における両端部分に位置する内方指向外面端部233Bであって、開口部幅方向における中央部分に近づくにつれて基板収納空間27の内方へ向かう内方指向外面端部233Bと、開口部幅方向における中央部分に位置し、上壁23の外面の両端よりも基板収納空間27の内方寄りに位置する外面中央低部232Bと、を有する。
このため、吊り上げ部材によって容器本体2が持ち上げられたときに、上壁23が上方へ引かれるように変形した場合であっても、容器本体開口部21を形成する上壁23の一端部の一部281が蓋体3の縁部に対向しなくなることを防止することができ、常に蓋体3のシール部材が上壁23の一端部分に接触することができる。これにより、容器本体開口部21を形成する上壁23の一端部の一部281と、蓋体3の縁部との間のシール性を維持することができる。
例えば、容器本体及び蓋体の形状や、容器本体に収納可能な基板Wの枚数、寸法は、本実施形態における容器本体2及び蓋体3の形状や、容器本体2に収納可能な基板Wの枚数、寸法に限定されない。
2 容器本体
3 蓋体
20 壁部
21 容器本体開口部
22 奥壁
23 上壁
24 下壁
25 第1側壁
26 第2側壁
27 基板収納空間
28 開口周縁部
232A 内面中央低部
232B 外面中央低部
235A、235B リブ
236B フランジ部
Claims (6)
- 一端部に容器本体開口部が形成され他端部が閉塞された筒状の壁部であって、奥壁、上壁、下壁、及び一対の側壁を有し前記上壁の一端部、前記下壁の一端部、及び前記側壁の一端部によって前記容器本体開口部が形成された壁部を備え、前記上壁の内面、前記下壁の内面、前記側壁の内面、及び前記奥壁の内面によって、複数の基板を収納可能であり前記容器本体開口部に連通する基板収納空間が形成された容器本体と、
前記容器本体開口部に対して着脱可能であり、前記容器本体開口部を閉塞可能な蓋体と、を備え、
前記上壁は、前記上壁の中央部に配置された被係止部であって、前記容器本体を吊り上げ可能な吊り上げ部材に係止される被係止部を有し、
前記上壁の外面は、一方の前記側壁から他方の前記側壁へ向かう開口部幅方向における両端部分に位置する内方指向外面端部であって、前記開口部幅方向における中央部分に近づくにつれて前記基板収納空間の内方へ向かう内方指向外面端部と、前記開口部幅方向における中央部分に位置し、前記上壁の外面の両端よりも前記基板収納空間の内方寄りに位置する外面中央低部と、を有する基板収納容器。 - 前記上壁の内面における少なくとも前記上壁の前記一端部に相当する部分は、前記開口部幅方向における両端部分に位置する内方指向内面端部であって、前記開口部幅方向における中央部分に近づくにつれて、前記基板収納空間の内方へ向かう内方指向内面端部と、前記開口部幅方向における中央部分に位置し、前記上壁の内面の両端よりも前記基板収納空間の内方寄りに位置する内面中央低部と、を有する請求項1に記載の基板収納容器。
- 前記外面中央低部と前記内面中央低部とは、互いに一致した位置関係の長方形状を有し、前記長方形状の一辺は、前記容器本体開口部を形成する前記上壁の一端部の一部を構成する請求項2に記載の基板収納容器。
- 前記内方指向外面端部は、前記被係止部に近づく方向へ延びるリブを有する請求項1〜請求項3のいずれかに記載の基板収納容器。
- 前記上壁の外面は、前記被係止部を中心とした放射状に延びるリブを有する請求項1〜請求項3のいずれかに記載の基板収納容器。
- 前記被係止部は、前記上壁の外面に対向するフランジ部を有する請求項1〜請求項5のいずれかに記載の基板収納容器。
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Citations (3)
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JP2003174080A (ja) * | 2001-12-04 | 2003-06-20 | Kakizaki Mamufacuturing Co Ltd | 薄板用収納・保管容器 |
JP2008198693A (ja) * | 2007-02-09 | 2008-08-28 | Shin Etsu Polymer Co Ltd | ティース体及び基板収納容器 |
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2012
- 2012-11-08 JP JP2012246374A patent/JP6000075B2/ja active Active
Patent Citations (3)
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WO1999039994A1 (en) * | 1998-02-06 | 1999-08-12 | Sumitomo Metal Industries, Ltd. | Sheet support container |
JP2003174080A (ja) * | 2001-12-04 | 2003-06-20 | Kakizaki Mamufacuturing Co Ltd | 薄板用収納・保管容器 |
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JP6000075B2 (ja) | 2016-09-28 |
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