JP2008021743A - 半導体ウェーハ収納容器 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】複数枚の半導体ウェーハWを整列収納するフロントオープンボックスタイプの容器本体1と、容器本体1の開口正面部を密封閉鎖用のシールガスケットを介して開閉する蓋体とを備え、容器本体1の半導体ウェーハWとの接触領域20にダイヤモンドライクカーボンを被覆して耐汚染性と導電性とを付与する。容器本体1の半導体ウェーハWとの接触領域20をダイヤモンドライクカーボンにより被覆して表面改質し、耐汚染性、導電性、耐磨耗性等を付与するので、最近の回路の微細化要求を満たしながら半導体ウェーハWの汚染を有効に抑制することができる。また、導電化による帯電防止により、静電気破壊やスパークを防止したり、パーティクルの発生を有効に防止できる。
【選択図】図2
Description
そこで、近年においては、容器本体と各支持片とを、異なる材料特性の成形材料により別々に成形し、各支持片に耐汚染性を付与する方法が提案されている(特許文献1、2参照)。
容器本体と蓋体のうち、少なくとも容器本体の半導体ウェーハとの接触領域をダイヤモンドライクカーボンにより被覆して耐汚染性と導電性とを付与するようにしたことを特徴としている。
また、容器本体を正面の開口したフロントオープンボックスに形成してその両側壁の内面には、半導体ウェーハを略水平に支持するティースをそれぞれ形成し、各ティースを半導体ウェーハとの接触領域とすることができる。
容器本体と蓋体のうち、少なくとも容器本体の半導体ウェーハとの接触領域をダイヤモンドライクカーボンにより被覆して耐汚染性と導電性とを付与するようにしたことを特徴としても良い。
また、容器本体の半導体ウェーハとの接触領域を、容器本体の内面全体とすれば、半導体ウェーハと必ず接触する部分のみならず、半導体ウェーハとの接触が考えられる部分をも改質し、半導体ウェーハ収納容器の耐汚染性、導電性、耐磨耗性等を高めることができる。
なお、容器本体1の両側壁の内面には、容器本体1と同質の成形材料により成形したティース2を接続補助片3を介することなく一体化することもできる。
複数のティース2と屈曲した支持板35とは、耐汚染性の成形材料により一体成形され、半導体ウェーハWとの接触領域20としてそれぞれ薄膜のダイヤモンドライクカーボンが生成される。
本実施形態においても上記実施形態と同様の作用効果が期待でき、しかも、半導体ウェーハ収納容器の構成の多様化を図ることができるのは明白である。
1A 容器本体
2 ティース
4 リヤリテーナ
10 蓋体
10A 蓋体
12 フロントリテーナ
20 接触領域
30 薄肉領域
31 前部中肉領域
32 前部厚肉領域
33 後部中肉領域
34 後部厚肉領域
35 支持板
40 施錠機構
41 操作プレート
42 往復プレート
43 貫通口
44 係止爪
W 半導体ウェーハ
Claims (3)
- 半導体ウェーハを収納する容器本体と、この容器本体の開口部を開閉する蓋体とを備えた半導体ウェーハ収納容器であって、
容器本体と蓋体のうち、少なくとも容器本体の半導体ウェーハとの接触領域をダイヤモンドライクカーボンにより被覆して耐汚染性と導電性とを付与するようにしたことを特徴とする半導体ウェーハ収納容器。 - 容器本体の半導体ウェーハとの接触領域を、容器本体の内面全体とした請求項1記載の半導体ウェーハ収納容器。
- 容器本体を正面の開口したフロントオープンボックスに形成してその両側壁の内面には、半導体ウェーハを略水平に支持するティースをそれぞれ形成し、各ティースを半導体ウェーハとの接触領域とした請求項1記載の半導体ウェーハ収納容器。
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JP2006190760A JP2008021743A (ja) | 2006-07-11 | 2006-07-11 | 半導体ウェーハ収納容器 |
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Family Applications (1)
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---|---|
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2006
- 2006-07-11 JP JP2006190760A patent/JP2008021743A/ja active Pending
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