JP2006332261A - 基板収納容器 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】開口部を有し、基板支持部と、基板支持部よりもリア側に位置する位置規制部とが設けられた容器本体と、蓋体とを有する基板収納容器であって、前記蓋体閉鎖時に、リテーナの保持溝25が基板13の1端側を基板支持部から浮かせて保持し、基板13の他端側は、基板支持部の支持面より下方の位置で位置規制部の側壁と接触して支持するものであって、前記リテーナは、蓋体内面に取り付け可能な係止部(取り付け部)を有するベース部材(枠体部)と、基板13のそれぞれと当接するようにベース部材(枠体部)の向き合う側壁から延びる1又は複数列の弾性片と保持溝25とを有するとともに、保持溝25の最深部28の下側の傾斜面26を上側の傾斜面27よりも急傾斜で長くなるように設定する。
【選択図】図9
Description
また、自動機で基板を容器から取り出したり、再挿入する際のエラーを防ぐために、基板の載置位置の安定性も求められている。
また、基板をリア側のV溝の側壁面(斜面)を移動させる際の基板と側壁面との摩擦によるパーティクルの発生や、基板端面の傷つきが問題となっていた。
蓋体を開けるときには、持上げられていた開口側の基板の高さが徐々に低くなり基板支持部上へ移動するだけなので、基板が基板支持部に位置精度良く搭載される。また、従来のように、蓋を閉めるときに基板はリア側の壁面を競りあがり、蓋体を開けるときには元に戻る動作を繰り返すことがないので、基板の位置ずれを低減でき、基板の取り出しエラー、工程トラブルを効果的に防止できる。
さらに、リア側の位置規制部を容器本体の側壁内に部分的にポリブチレンテレフタレートで形成しておくと、耐摩擦性に優れるので、基板の接触部を傷つけることがなくなり、また、磨耗粉が発生することを防止できるのでより好ましい。
本発明では、基板の一端を弾力片で構成されるリテーナで支え、基板の他端はクッション性材料からなる位置規制部によって支えられ、かつ、基板の一端部のみを基板支持部から持上げるので、基板の両端部を弾性部材で保持することに比べて、共振するのを防止でき、基板を破損無く保持できる。
図1は、本発明の基板収納容器の全体斜視図であり、図2は、その基板収納容器の水平方向の断面図であり、図3は、基板収納容器の側壁の内側壁面に形成されている基板支持部の斜視図である。
図4は、本発明の一実施形態である基板収納容器の内側壁面の、位置規制部近傍の詳細を示す部分断面説明図である。
図5は、本発明の一実施形態である蓋体の背面図である。
図6は、本発明の一実施形態であるリテーナを示す平面説明図である。
図7は、リテーナ側保持部を示す図6のB−B断面図である。
図9は、本発明の一実施形態であるリテーナ側保持部の拡大断面説明図である。
図10(a)〜(c)は、本発明の一実施形態において、溶器本体に蓋板が取り付けられるときに、リテーナが、基板支持部上に載置された基板の開口側部分を持上げ、基板を斜めに保持する様子を模式的に示している説明図である。
図11は、本発明の他の実施形態である基板支持部の場合において、蓋体が開いた状態から蓋体が閉じた状態でのリテーナ保持部と基板支持部に搭載される基板の位置関係を、(a)〜(c)に順次模式的に示す説明図である。
図13は、蓋体内側に設けられているリテーナのさらに別の弾性体の実施の形態を示す説明図である。
図14は、フロント側のリテーナの取り付け構造の変形例を示す説明図であり、図15は、図14の蓋体内側に設けられているリテーナを蓋体に取り付けた状態を示す説明図である。
容器本体2は、正面に開口を有し、正面開口周縁にはフランジ部8と、蓋体がはまり込む凹部9が形成されていて、蓋体側壁10に設けられたシール部材(図示せず)によってシールを形成して開口部を密閉状態に閉鎖する。
容器本体2の相対向する側壁11の内側壁面には、図2〜図3に示すように、基板を支持するための向き合う1対の基板支持部12が内側壁面から突出するように棚状に一定間隔で形成されていて、1又は複数枚の基板13を水平状態で保持可能となっている。基板支持部12の開口に近い部分には、基板の移動を禁止するための段差14が設けられている。
位置規制部は、容器本体を形成する材質よりも低摩耗性の材料であることが望ましい。
蓋体3には、蓋体3の開閉に用いられる操作キー孔6が設けられており、操作キー孔6を介して、外部から自動操作可能なラッチ機構7を操作して蓋体3を係止したり解錠したりできるようになっている。なお、蓋体の係止はこれに限らず、容器本体に係止するための係合片が左右の側壁に設けられているものも使用できる。
リテーナ18は、図6〜図9に詳細を示すように、リテーナ18を固定するための複数の取り付け部(係止部)19を間隔をあけて有する略矩形をした枠体部(ベース部材)20と、枠体部(ベース部材)20の左右の側壁から中央に向かって張り出す弾性片22と、弾性片22の先端に位置するリテーナ側保持部23とからなる。取り付け部(係止部)19が蓋体3の裏面に設けられている係合部24に係合されて取り付けられている。
持ち上がり量を1.5mm以上とすると、前記した基板中心線上で最大撓み寸法に安全率(1.5)を乗じた値以上の(約0.5mm)の十分な空間が確保できるので、より安全に基板を保持できる。
図10(a)〜(c)には、容器本体に蓋板が取り付けられるときに、リテーナ側保持部23が、基板支持部12上に載置された基板13の開口側部分を持上げ、基板13を斜めに保持する様子を順を追って模式的に示している。
容器本体は、ポリカーボネート、シクロオレフィンポリマー、ボリエーテルイミド、ポリエーテルエーテルケトンなどの樹脂、あるいは、これらの樹脂やアロイ樹脂に、カーボン、炭素繊維、カーボンナノチューブ、金属繊維、金属酸化物、導電性高分子などを添加して導電性を付与された樹脂から選択されたものを使用することができる。特には、透明性の良好なポリカーボネートで形成することが好ましい。
次に、本発明の容器本体2の形成について、順を追って説明する。素材については、上で好ましいとした素材を例として説明するが、これらに限られるものではない。
先ず、基板支持部のベースとなる、容器本体2の側壁11の一部分をポリカーボネート樹脂によって形成する。引き続いて、容器本体2の側壁11に形成された注入口16(図4)を利用して基板支持部12の裏面側から、例えば低摩耗性のポリブチレンテレフタレート樹脂を注入して位置規制部分を形成する。
できあがった容器本体2の側壁11の一部分を容器本体形成用の金型ヘインサートして、容器本体と一体化するように形成する。こうして、基板13と接触する位置規制部15が低摩擦性の樹脂から形成された容器本体2が形成される。
そのために、取り付けに使われる枠体部(ベース部材)を上下非対称となるような形状とする。枠体部(ベース部材)の左右の側壁の上部に(ポカよけ)突起(1)31を形成し、枠体部(ベース部材)の上辺にも(ポカよけ)突起(2)を形成し、蓋体内面の取り付け部(係止部)19にも上部だけにこれらの突起を挿入可能な凹部を形成して、正しい方向にしかリテーナが取り付けられないようにする。
本発明の実施形態のリテーナとして、対をなす弾性片が枠体部(ベース部材)の左右の側壁から伸びる片持ち構造で、それぞれの弾性片の端部に保持溝を形成されて複数列をなすように設けられる例を示したが、これに限らず、例えば図12に示すように、左右の側壁から交互に伸びる片持ちの弾性片構造で保持溝が一線をなすように形成されるものであっても良い。また、左右の側壁から延びる弾性片を連結して両持ち構造としても良い。この場合保持溝は、1又は複数個形成できる。
2:容器本体
3:蓋体
4:ロボティックフランジ
5:マニュアルハンドル
6:操作キー孔
7:ラッチ機構
8:フランジ部
9:(蓋体がはまり込む)凹部
10:蓋体側壁
11:(容器本体の)側壁
12:基板支持部
13:基板
14:段差
15:位置規制部
16:注入口
17:位置規制フランジ
18:リテーナ
19:取り付け部(係止部)
20:枠体部(ベース部材)
21:(ベース部材の)側壁
22:弾性片
23:リテーナ側保持部
24:係合部
25:保持溝(基板収納溝)
26:(下側の)傾斜面
27:(上側の)傾斜面
28:最深部
29:基板受け突起
30:V溝
31:(ポカよけ)突起(1)
32:(ポカよけ)突起(2)
Claims (3)
- 開口部を有し、相対向する容器本体の側壁の内壁に1又は複数枚の基板を水平に支持する支持面を有する基板支持部と、基板支持部よりもリア側に位置する位置規制部とが設けられた容器本体と、前記開口部をシール可能に閉鎖しその内面に基板の端面に当接するリテーナが取り付けられた蓋体とを有する基板収納容器であって、前記蓋体で容器本体の開口部を閉鎖するときに、リテーナの保持溝が基板の開口側端部を基板支持部から浮かせて保持し、リア側の基板の他端部は位置規制部の側壁と前記基板支持部の支持面より下方の位置で接触して支持するものであって、前記リテーナは、蓋体内面に取り付け可能な係止部(取り付け部)を有するベース部材(枠体部)と、基板のそれぞれと当接するようにベース部材(枠体部)の向き合う側壁から延びる1又は複数列の弾性片と保持溝とを有するとともに、保持溝の最深部の下側の傾斜面を上側の傾斜面よりも急傾斜で長くなるように設定したことを特徴とする基板収納容器。
- 前記リテーナが、基板の一部を基板支持部から浮かせて保持するときの保持溝の最深部から基板支持部上面までの鉛直距離が1.0mm以上とした請求項1に記載の基板収納容器。
- 基板のリア側を支える前記基板支持部よりリア側の位置規制部が、基板支持部を形成する樹脂よりも低摩擦係数を有する樹脂から形成されている請求項1または請求項2に記載の基板収納容器。
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