JP4668053B2 - リテーナ及び基板収納容器 - Google Patents
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Description
弾性保持片を、弾性片と、この弾性片に設けられて相互に対向し、基板周縁部用の保持溝を区画形成する一対の保持片とから形成し、操作体を略U字形に形成して基板方向に向けたことを特徴としている。
また、基板を保持するスタッキング可能なものであって、ベース体と、このベース体に設けられて基板の周縁部を保持する弾性保持片と、ベース体に設けられる脱着用の操作体とを含んでなることを特徴とすることができる。
なお、スタッキング時に他のリテーナとの接触を制限する接触制限体を含むと良い。
また、ベース体を、一対の側壁の両端部間に対向壁がそれぞれ架設された略枠形に形成して板体に装着し、一対の対向壁の間にリブ片を架設し、このリブ片とベース体の側壁との間に弾性保持片を架設することができる。
また、ベース体の対向壁からフランジを張り出し、これら対向壁とフランジの少なくともいずれか一方に接触制限体を設けることが可能である。
また、弾性保持片の弾性片を、ベース体の側壁とリブ片との間に架設することが可能である。
また、ベース体の側壁、対向壁、あるいは一対のリブ片に操作体を形成することも可能である。
また、ベース体の対向壁に操作体を形成し、この操作体を基板方向とベース体の外方向のうち、少なくともベース体の外方向に向けることもできる。
蓋体の内面に請求項1ないし6いずれかに記載のリテーナを取り付けたことを特徴としている。
また、スタッキング時に他のリテーナとの接触を制限する接触制限体を利用すれば、複数のリテーナにおける弾性保持片や操作体同士の干渉等を防ぐことができるので、弾性保持片の変形等を防止することができる。
2 ベース体
3 側壁
4 対向壁
5 リブ片
6 フランジ
10 弾性保持片
12 弾性片
13 保持片
14 保持溝
15 直線部分
20 操作体
30 接触制限体
40 基板収納容器
41 容器本体
42 整列カセット
44 蓋体
W 半導体ウェーハ(基板)
Claims (7)
- 基板を保持するリテーナであって、一対の側壁の両端部間に対向壁がそれぞれ架設された略枠形のベース体と、このベース体に設けられて基板の周縁部を保持する弾性保持片と、ベース体に設けられる脱着用の操作体とを含み、
弾性保持片を、弾性片と、この弾性片に設けられて相互に対向し、基板周縁部用の保持溝を区画形成する一対の保持片とから形成し、操作体を略U字形に形成して基板方向に向けたことを特徴とするリテーナ。 - スタッキング時に他のリテーナとの接触を制限する接触制限体を含んでなる請求項1記載のリテーナ。
- ベース体の一対の対向壁の間に一対のリブ片を架設し、各リブ片とベース体の側壁との間に弾性保持片を架設した請求項1又は2記載のリテーナ。
- 弾性保持片の弾性片を、ベース体の側壁とリブ片との間に架設した請求項3記載のリテーナ。
- ベース体の側壁、対向壁、あるいは一対のリブ片に操作体を形成した請求項3又は4記載のリテーナ。
- ベース体の対向壁に操作体を形成し、この操作体を基板方向とベース体の外方向のうち、少なくともベース体の外方向に向けた請求項3又は4記載のリテーナ。
- 基板を収納する容器本体の開口部を着脱自在の蓋体により開閉する基板収納容器であって、
蓋体の内面に請求項1ないし6いずれかに記載のリテーナを取り付けたことを特徴とする基板収納容器。
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---|---|---|---|---|
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JPH10189704A (ja) * | 1996-12-27 | 1998-07-21 | Komatsu Kasei Kk | 半導体ウェハ包装容器 |
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