JP4918495B2 - 二次ウェハ拘束システムを備えたウェハ容器 - Google Patents
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Description
本発明の実施形態の別の目的及び効果は、ウェハ容器に生じる物理的衝撃に起因して、ウェハ拘束体から押しのけられるウェハを再度位置決めすることである。
本発明の付加的な目的、効果及び新規な特徴は、一部は以下の説明に記載され、また一部は以下を検討した時に当該技術分野に属する通常の知識を有する者に理解され、或いは本発明の実施によって学ばれる。
支持構造体32は、略平行軸方向整列配列で間隔があけられた複数の半導体ウェは又は基板(図示なし)を受け入れるために、外枠14の内部に位置決めされる。自動操縦装置での容器の搬送及び使用を可能にするために、キネマティックカップリング36及びロボット操縦フランジ38が、底面18及び上面20夫々の外面に位置決めされてよい。ウェハ容器及び支持手段の構成並びに使用法の詳細については、本発明の所有者によって全て所有されている米国特許第5788082号明細書、第5915562号明細書、第6010008号明細書、第6216874号明細書、第6267245号明細書、第6464081号明細書、及び第6644477号明細書に開示されており、これら特許全てはここに開示されたものとする。
、PEEK、PEI、又は所望の特性を有する他の熱可塑性材料等、ウェハ容器での使用に適当な材料から形成されてよく、また帯電防止性又は導電性を得るために、カーボン又は他の充填材を含んでもよい。
Claims (16)
- 複数のウェハ及び該ウェハを軸方向において平行になるように離間して配列した状態で保持する容器であって、
上面、底面、一対の対向側面、背面及びドア枠によって画定される対向開放前面を有する外枠部と、
前記開放前面を閉鎖するために、前記ドア枠に密封的に受入れ可能なドアと、
前記外枠部に形成される少なくとも1個のウェハ支持構造体と、前記ウェハを係合及び拘束するためにドアに設けられるウェハ拘束構造体を含むウェハ拘束システムとを含み、該少なくとも1個のウェハ支持構造体は、複数の長溝を画定する複数のウェハ支持棚を含み、各長溝は複数のウェハの夫々一つを受け入れるように適応されており、該ドアに設けられたウェハ拘束構造体は、一次拘束構造体及び二次拘束構造体を含み、該一次拘束構造体は、複数の第1ウェハ係合部材が複数の第2ウェハ係合部材に対して離間及び対向するように配置される複数の弾性ウェハ係合部材を含み、該二次拘束構造体は該複数の第1及び第2ウェハ係合部材の間に位置決めされると共に、複数の切欠を画定し、該切欠は、前記ドアが前記ドア枠に係合された時に、複数のウェハの夫々一つが各切欠に受け入れられるように配置され、
前記一次拘束構造体は中心孔を画定すると共に一対の横レールを有する外周枠を含み、前記弾性ウェハ係合部材は該横レールから該中心孔まで突出し、
前記弾性ウェハ係合部材各々は、第1長手状部及び第1向斜形状ウェハ受入れ部を含み、該第1向斜形状ウェハ受入れ部は該第1長手状部の第1端部に位置決めされ、該第1長手状部の第2端部は前記ドアに連結され、
各弾性ウェハ係合部材は更に、第2長手状部及び第2向斜形状ウェハ受入れ部を含み、該第2長手状部の第1端部は前記第1向斜形状ウェハ受入れ部において前記第1長手状部に連結され、該第2向斜形状ウェハ受入れ部は該第1向斜形状ウェハ受入れ部から離れた位置で前記第2長手状部に位置決めされることを特徴とする容器。 - 前記ウェハ拘束構造体は、一対の対向側部及び中心部を有する本体部を含み、前記一次拘束構造体の弾性ウェハ係合部材は該対向側部各々から該中心部へ向けて内方に突出することを特徴とする請求項1に記載の容器。
- 前記ウェハ拘束構造体の本体部は中心付近に隆起部を有し、該隆起部は前記二次拘束構造体の切欠を画定することを特徴とする請求項2に記載の容器。
- 前記切欠は交点で交わる一対の収束縁によって画定され、前記ドアが前記ドア枠に完全に受け入れられた時に、各ウェハが該交点の夫々一つと接触するように、該交点は位置決めされることを特徴とする請求項1に記載の容器。
- 前記ドアは内側を有し、前記二次拘束構造体は該ドアの内側と一体的に形成されると共に、該内側から外方に突出することを特徴とする請求項1に記載の容器。
- 複数のウェハ及び該ウェハを軸方向において平行に整列させた状態で保持する容器であって、
上面、底面、一対の対向側面、背面、及びドア枠によって画定される対向開放前面を有する外枠部と、
前記開放前面を閉鎖するために前記ドア枠に密封的に受け入れ可能なドアと、
前記外枠部に形成される少なくとも1個のウェハ支持構造体と、前記ウェハを係合及び拘束するために前記ドアに設けられるウェハ拘束構造体を含むウェハ拘束システムとを含み、該少なくとも1個のウェハ支持構造体は複数の長溝を画定する複数のウェハ支持棚を含み、各長溝は複数のウェハの夫々一つを受け入れるように適応され、該ドアに設けられるウェハ拘束構造体は、複数の第1ウェハ係合部材が複数の第2ウェハ係合部材に対して離間し且つ対向するように配置される複数の弾性ウェハ係合部材を含み、該ウェハ拘束構造体は更に、前記複数の第1及び第2ウェハ係合部材の間に位置する二次拘束構造体を含み、前記二次拘束構造体は複数の切欠を含み、各切欠は交点で交わる一対の収束面によって画定され、前記ドアが前記ドア枠に完全に受け入れられた時に、各ウェハが該交点の夫々一つと接触するように、該交点が位置され、
前記弾性ウェハ係合部材各々は第1長手状部及び第1向斜形状ウェハ受入れ部を含み、該第1向斜形状ウェハ受入れ部は該第1長手状部の第1端部に位置決めされ、該第1連結部の第2端部は前記ドアと作動的に結合に連結され、
更に、各弾性ウェハ係合部材は更に、第2長手状部及び第2向斜形状ウェハ受入れ部を含み、該第2長手状部の第1端部は前記第1向斜形状ウェハ受入れ部において前記第1長手状部と連結され、該第2向斜形状ウェハ受入れ部は前記第1向斜形状ウェハ受入れ部から離れた位置において、前記第2長手状部に位置決めされることを特徴とする容器。 - 前記一次拘束構造体は中心孔を画定すると共に一対の横レールを有する外周枠を含み、前記弾性ウェハ係合部材は該横レールから該中心孔へ向けて突出することを特徴とする請求項6に記載の容器。
- 前記ウェハ拘束構造体は一対の対向側部及び中心部を有する本体部を含み、前記拘束構造体の弾性ウェハ係合部材は、該対向側部各々から該中心部へ向けて内方に突出することを特徴とする請求項6に記載の容器。
- 前記ウェハ拘束構造体の本体部は前記中心部の付近に隆起部を有し、該隆起部には複数の切欠が形成されていることを特徴とする請求項8に記載の容器。
- 複数のウェハを軸方向において平行になるように整列した状態で保持する容器であって、
上面、底面、一対の対向側面、背面、及び対向開放前面を有する外枠部と、
前記開放前面を密封閉鎖するドアと、
前記外枠部に形成される少なくとも1個のウェハ支持構造体と、前記ウェハを係合及び拘束するために前記ドアに設けられるウェハ拘束構造体を含むウェハ拘束システムとを含み、該少なくとも1個のウェハ支持構造体は複数の長溝を画定する複数のウェハ支持棚を含み、各長溝は複数のウェハの夫々一つを受け入れるように適応されており、該ドアに設けられるウェハ拘束構造体は一次拘束構造体及び二次拘束構造体を含み、該一次拘束構造体は、ウェハ係合部材の複数の第1ウェハ係合部材が該ウェハ係合部材の複数の第2ウェハ係合部材に対して及び離間及び対向するように配置される複数の弾性ウェハ係合部材を含み、該二次拘束構造体は該複数の第1及び第2ウェハ係合部材の間に位置決めされ、
前記弾性ウェハ係合部材各々は第1長手状部及び第1向斜形状ウェハ受入れ部を含み、該第1向斜形状ウェハ受入れ部は該第1長手状部の第1端部に位置決めされ、該第1長手状部の第2端部は前記ドアと連結され、
各弾性ウェハ係合部材は更に、第2長手状部及び第2向斜形状ウェハ受入れ部を含み、該第2長手状部の第1端部は前記第1向斜形状ウェハ受入れ部において前記第1長手状部と連結され、該第2向斜形状ウェハ受入れ部は該第1向斜形状ウェハ受入れ部から離れた位置で、前記第2長手状部に位置決めされることを特徴とする容器。 - 前記一次拘束構造体は中心孔を画定すると共に一対の横レールを有する外周枠を含み、前記弾性ウェハ係合部材は該横レールから該中心孔へ突出することを特徴とする請求項10に記載の容器。
- 前記二次拘束構造体は複数の切欠を画定し、前記ドアが前記ドア枠に係合された時に、前記複数のウェハの夫々一つが各切欠に受け入れられるように、該切欠は配置されることを特徴とする請求項10に記載の容器。
- 前記ウェハ拘束構造体は、一対の対向側部及び中心部を有する本体部を含み、前記一次拘束構造体の弾性ウェハ係合部材は、該対向側部各々から該中心部へ向けて内方に突出することを特徴とする請求項12に記載の容器。
- 前記ウェハ拘束構造体の本体部は、中心付近に隆起部を有し、該隆起部は前記二次拘束構造体の切欠を画定することを特徴とする請求項13に記載の容器。
- 前記切欠は交点で交わる一対の収束縁によって画定され、前記ドアが前記ドア枠に完全に受け入れられた時に、各ウェハが該交点の夫々一つと接触するように、該交点は位置決めされることを特徴とする請求項12に記載の容器。
- 前記ドアは内側を有しており、前記二次拘束構造体は該ドアの内側と一体的に形成されると共に該内側から外方に突出することを特徴とする請求項10に記載の容器。
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