KR20230011304A - 기판수납용기 - Google Patents

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KR20230011304A
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고지 구보타
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Abstract

기판수납용기는, 뚜껑체에 의해 폐쇄되어 있을 때에 기판(W)의 가장자리부를 지지할 수 있는 뚜껑체측 기판지지부(73)와, 이것과 쌍을 이루도록 배치되어 기판(W)의 가장자리부를 지지할 수 있고, 폐쇄되어 있을 때에 뚜껑체측 기판지지부(73)와 협동하여 기판(W)의 가장자리부를 병렬시킨 상태로 기판(W)을 지지하는 후방측 기판지지부와, 폐쇄되어 있을 때에 기판수납공간과 대향하는 부분에 배치되어 기판(W)의 가장자리부를 삽입할 수 있도록 기판(W)의 가장자리부의 두께보다 넓은 개구를 구비하는 복수의 보조홈(76)이 형성된 기판가장자리부 보조부(75)를 구비한다. 보조홈(76)은, 대향하는 홈형성면(761, 762)을 구비하여, 폐쇄되어 있을 때에 복수의 기판(W)의 가장자리부가 1개씩 삽입되어 있다. 기판(W)의 가장자리부는, 폐쇄되어 있을 때에 기판(W)의 가장자리부와 홈형성면(761, 762) 사이에 공간이 형성되어, 기판(W)의 가장자리부가 홈형성면(761, 762)에 접촉하지 않는 비접촉의 상태로 보조홈(76)에 삽입된다.

Description

기판수납용기
본 발명은, 반도체 웨이퍼(半導體 wafer) 등으로 이루어지는 기판(基板)을 수납(收納), 보관(保管), 반송(搬送), 수송(輸送) 등을 할 때에 사용되는 기판수납용기(基板收納容器)에 관한 것이다.
반도체 웨이퍼로 이루어지는 기판을 수납해서 반송하기 위한 기판수납용기로서는, 용기본체와 뚜껑체를 구비하는 구성의 것이 종래부터 알려져 있다.
용기본체는, 일단부(一端部)에 용기본체 개구부가 형성되고, 타단부(他端部)가 폐쇄된 통모양의 벽부(壁部)를 구비한다. 용기본체 내에는 기판수납공간이 형성되어 있다. 기판수납공간은, 벽부에 의해 둘러싸여져 형성되어 있고, 복수의 기판을 수납할 수 있다. 뚜껑체는, 용기본체 개구부(容器本體 開口部)에 대하여 착탈 가능하며 용기본체 개구부를 폐쇄할 수 있다.
뚜껑체의 부분으로서 용기본체 개구부를 폐쇄하고 있을 때에 기판수납공간과 대향하는 부분에는, 프론트 리테이너(front retainer)가 설치되어 있다. 프론트 리테이너는, 뚜껑체(蓋體)에 의해 용기본체 개구부가 폐쇄되어 있을 때에, 복수의 기판의 가장자리부를 지지할 수 있다. 또한, 프론트 리테이너와 쌍을 이루도록 하여, 리어 리테이너(rear retainer)가 벽부에 설치되어 있다. 리어 리테이너는 복수의 기판의 가장자리부를 지지할 수 있다. 리어 리테이너는, 뚜껑체에 의해 용기본체 개구부가 폐쇄되어 있을 때에, 프론트 리테이너와 협동하여 복수의 기판을 지지함으로써, 인접하는 기판 상호간를 소정의 간격으로 이간(離間)시켜서 병렬시킨 상태로 복수의 기판을 지지한다.
프론트 리테이너는, 기판수납공간으로부터 이간하는 방향으로 오목하게 들어간 복수의 홈을 구비하고 있다(예를 들면, 특허문헌1, 2, 3을 참조). 상기 공보 기재의 종래의 기판수납용기에 있어서는, 뚜껑체에 의해 용기본체 개구부가 폐쇄되어서, 기판수납공간에 수납되어 있는 기판이 반송되고 있을 때에는, 기판의 단부(端部)는 항상 프론트 리테이너에 접하고 있다. 이 때문에, 기판수납용기에 의한 기판의 반송시에, 기판수납용기가 충격을 받았을 때에, 프론트 리테이너에 있어서 기판이 파손되기 쉽다.
특허문헌1 : 일본국 특허제4903893호 공보 특허문헌2 : 일본국 특허제4412235호 공보 특허문헌3 : 일본국 특허제5483351호 공보
최근에는, 기판수납용기에 작용하는 충격에 대한 기판의 보호가 더욱 요구되고 있다. 또한, 기판수납용기에 작용하는 충격에 의하여, 프론트 리테이너의 소정의 위치에 지지되어 있는 기판이, 상기 소정의 위치로부터 벗어나 상기 소정의 위치에 인접하는 위치로 이동하여 삽입되어서 배치되어버리는, 소위 크로스 슬롯의 발생 억제에 관해서도 높은 요구가 있다.
본 발명은, 프론트 리테이너에 있어서, 기판수납용기에 작용하는 충격에 대하여 기판의 보호가 가능하고, 크로스 슬롯의 발생을 억제할 수 있는 기판수납용기를 제공하는 것을 목적으로 한다.
본 발명은, 일단부에 용기본체 개구부가 형성되고 타단부가 폐쇄된 통모양의 벽부를 구비하고, 상기 벽부의 내면에 의하여, 복수의 기판을 수납할 수 있고 상기 용기본체 개구부와 연통하는 기판수납공간이 형성된 용기본체와,
상기 용기본체 개구부에 대하여 착탈 가능하며, 상기 용기본체 개구부를 폐쇄할 수 있는 뚜껑체와,
상기 뚜껑체의 부분으로서, 상기 뚜껑체에 의해 상기 용기본체 개구부가 폐쇄되어 있을 때에 상기 기판수납공간과 대향하는 부분에 배치되고, 상기 뚜껑체에 의해 상기 용기본체 개구부가 폐쇄되어 있을 때에 상기 복수의 기판의 가장자리부를 지지할 수 있는 뚜껑체측 기판지지부와,
상기 기판수납공간 내에 있어서 상기 뚜껑체측 기판지지부와 쌍을 이루도록 배치되어, 상기 복수의 기판의 가장자리부를 지지할 수 있고, 상기 뚜껑체에 의해 상기 용기본체 개구부가 폐쇄되어 있을 때에 상기 뚜껑체측 기판지지부와 협동하여, 상기 복수의 기판의 가장자리부를 병렬시킨 상태로, 상기 복수의 기판을 지지하는 후방측 기판지지부와,
상기 뚜껑체의 부분으로서, 상기 뚜껑체에 의해 상기 용기본체 개구부가 폐쇄되어 있을 때에 상기 기판수납공간과 대향하는 부분에 배치되어, 상기 기판의 가장자리부를 삽입할 수 있도록 상기 기판의 가장자리부의 두께보다 넓은 개구를 구비하는 복수의 보조홈이 형성된 기판가장자리부 보조부(基板緣部 補助部)를
구비하고,
상기 복수의 보조홈은, 대향하는 홈형성면을 구비하고, 적어도 상기 뚜껑체에 의해 상기 용기본체 개구부가 폐쇄되어 있을 때에, 상기 복수의 기판의 가장자리부가 1개씩 삽입되고, 또한 통모양의 벽부의 중심축에 대하여, 상기 뚜껑체측 기판지지부보다 상기 기판의 가장자리부의 원주방향의 외측 또는 내측에 배치되어 있고,
상기 기판의 가장자리부는, 상기 뚜껑체에 의해 상기 용기본체 개구부가 폐쇄되어 있을 때에, 상기 기판의 가장자리부와 상기 홈형성면 사이에 공간이 형성되어서 상기 기판의 가장자리부가 상기 홈형성면에 접촉하지 않는 비접촉의 상태로, 상기 보조홈에 삽입되는,
기판수납용기에 관한 것이다.
또한, 동일한 상기 기판에 대응하는 상기 뚜껑체측 기판지지부와 상기 기판가장자리부 보조부는 연결되어 있는 것이 바람직하다.
또한, 상기 홈형성면은, 대략 직평면모양으로서, 상기 기판의 표면 또는 이면과 상기 홈형성면과 이루는 각도는 30도이하인 것이 바람직하다.
또한, 상기 기판수납공간 내에 있어서 쌍을 이루도록 배치되고, 상기 뚜껑체에 의해 상기 용기본체 개구부가 폐쇄되어 있지 않을 때에, 상기 복수의 기판 중에서 인접하는 기판 상호간를 소정의 간격으로 이간시켜서 병렬시킨 상태로, 상기 복수의 기판의 가장자리부를 지지할 수 있는 측방 기판지지부를 구비하고,
상기 보조홈은, 상기 뚜껑체에 의해 상기 용기본체 개구부가 폐쇄되어 있지 않고 상기 측방 기판지지부에 의해 상기 복수의 기판의 가장자리부가 지지되어 있을 때에는, 상기 보조홈에 상기 기판의 가장자리부가 삽입되지 않고, 상기 뚜껑체에 의해 상기 용기본체 개구부가 폐쇄되어 있을 때에는, 상기 보조홈에 상기 기판의 가장자리부가 삽입되는 깊이를 구비하는 것이 바람직하다.
또한, 상기 뚜껑체측 기판지지부는, 상기 뚜껑체에 의해 상기 용기본체 개구부가 폐쇄되어 있을 때에, 상기 용기본체의 타단부로부터 일단부를 향하는 방향으로 제1변위량으로 탄성적으로 변위될 수 있고,
상기 기판가장자리부 보조부는, 상기 뚜껑체에 의해 상기 용기본체 개구부가 폐쇄되어 있을 때에, 상기 용기본체의 타단부로부터 일단부를 향하는 방향으로 상기 제1변위량보다 작은 제2변위량으로 탄성적으로 변위될 수 있는 것이 바람직하다.
본 발명에 의하면, 프론트 리테이너에 있어서, 기판수납용기에 작용하는 충격에 대하여 기판의 보호가 가능하며, 크로스 슬롯의 발생을 억제할 수 있는 기판수납용기를 제공할 수 있다.
[도1]본 발명의 제1실시형태에 관한 기판수납용기(1)에 복수의 기판(W)이 수납된 상태를 나타내는 분해사시도이다.
[도2]본 발명의 제1실시형태에 관한 기판수납용기(1)의 용기본체(2)를 나타내는 사시도이다.
[도3]본 발명의 제1실시형태에 관한 기판수납용기(1)의 뚜껑체(3)를 나타내는 사시도이다.
[도4]본 발명의 제1실시형태에 관한 기판수납용기(1)의 프론트 리테이너(7)를 나타내는 사시도이다.
[도5]본 발명의 제1실시형태에 관한 기판수납용기(1)의 프론트 리테이너(7)를 나타내는 부분정면도이다.
[도6]도5에 나타내는 A-A선 단면도이다.
[도7a]도6에 나타내는 B-B선 단면도이다.
[도7b]도6에 나타내는 C-C선 단면도이다.
[도8]뚜껑체폐쇄상태에 있어서의 기판수납용기(1)와 기판(W)의 위치관계를 나타내는 평면단면도이다.
[도9]도8의 부분확대도이다(도6 대응도).
[도10a]도9에 나타내는 D-D선 단면도이다.
[도10b]도9에 나타내는 E-E선 단면도이다.
[도11]뚜껑체개방상태와 뚜껑체폐쇄상태에 있어서의, 뚜껑체측 기판지지부 및 기판가장자리부 보조부 각각의 변위량을 나타내는 부분확대도이다.
[도12]본 발명의 제2실시형태에 관한 프론트 리테이너(7A)의 단면도(도6 대응도)이다.
[도13]본 발명의 제3실시형태에 관한 프론트 리테이너(7B)의 단면도(도6 대응도)이다.
[도14]본 발명의 제4실시형태에 관한 프론트 리테이너(7C)의 단면도(도6 대응도)이다.
〔제1실시형태〕
이하에서, 제1실시형태에 의한 기판수납용기(1)에 대해서 도면을 참조하면서 설명한다.
도1은, 본 발명의 제1실시형태에 관한 기판수납용기(1)에 복수의 기판(W)이 수납된 상태를 나타내는 분해사시도이다. 도2는, 본 발명의 제1실시형태에 관한 기판수납용기(1)의 용기본체(2)를 나타내는 사시도이다.
여기에서, 설명의 편의상, 후술하는 용기본체(2)로부터 뚜껑체(3)를 향하는 방향(도1에 있어서 우상으로부터 좌하를 향하는 방향)을 전방향(D11)으로 정의하고, 그 반대의 방향을 후방향(D12)으로 정의하고, 이들을 합쳐서 전후방향(D1)으로 정의한다. 또한, 후술하는 하벽(下壁)(24)으로부터 상벽(23)을 향하는 방향(도1에 있어서 상측방향)을 상측방향(D21)으로 정의하고, 그 반대의 방향을 하측방향(D22)으로 정의하고, 이들을 합쳐서 상하방향(D2)으로 정의한다. 또한, 후술하는 제2측벽(26)으로부터 제1측벽(25)을 향하는 방향(도1에 있어서 우하로부터 좌상을 향하는 방향)을 좌측방향(D31)으로 정의하고, 그 반대의 방향을 우측방향(D32)으로 정의하고, 이들을 합쳐서 좌우방향(D3)으로 정의한다. 주요한 도면에는 이들의 방향을 나타내는 화살표를 도면에 나타내고 있다.
또한, 기판수납용기(1)에 수납되는 기판(W)(도1 참조)은, 원반모양의 실리콘 웨이퍼(silicon wafer), 글라스 웨이퍼(glass wafer), 사파이어 웨이퍼(sapphire wafer) 등으로서, 산업에 사용되는 얇은 것이다. 본 실시형태에 있어서의 기판(W)은 직경 300mm의 실리콘 웨이퍼이다.
도1 및 도2에 나타나 있는 바와 같이, 기판수납용기(1)는, 상술한 바와 같은 실리콘 웨이퍼로 이루어지는 기판(W)을 수납하여 육상 운송수단·항공 운송수단·해상 운송수단 등의 수송수단에 의해 기판(W)을 수송하기 위한 출하용기로서 사용되기도 하는 것으로서, 용기본체(2)와 뚜껑체(3)로 구성된다. 용기본체(2)는, 측방 기판지지부로서의 기판지지 판상부(基板支持 板狀部)(5)와 리어 리테이너라고도 불리는 후방측 기판지지부(6)를 구비하고 있다. 뚜껑체(3)는, 뚜껑체측 기판지지부(73)와 기판가장자리부 보조부(75)를 구비하는 프론트 리테이너(7)(도3∼도6 참조)를 구비하고 있다.
용기본체(2)는, 도1 등에 나타나 있는 바와 같이, 일단부에 용기본체 개구부(21)가 형성되고, 타단부가 폐쇄된 통모양의 벽부(20)를 구비한다. 용기본체(2) 내에는 기판수납공간(27)이 형성되어 있다. 기판수납공간(27)은 벽부(20)에 의해 둘러싸여져 형성되어 있다. 벽부(20)의 부분으로서 기판수납공간(27)을 형성하고 있는 부분에는, 도2에 나타나 있는 바와 같이, 기판지지 판상부(5)가 배치되어 있다. 기판수납공간(27)에는, 도1에 나타나 있는 바와 같이, 복수의 기판(W)을 수납할 수 있다.
기판지지 판상부(5)는, 기판수납공간(27) 내에 있어서 쌍을 이루도록 벽부(20)에 설치되어 있다. 기판지지 판상부(5)는, 뚜껑체(3)에 의해 용기본체 개구부(21)가 폐쇄되어 있지 않을 때에(뚜껑체개방상태의 때에), 복수의 기판(W)의 가장자리부에 접함으로써, 인접하는 기판(Ｗ) 상호간을 소정의 간격으로 이간시켜서 병렬시킨 상태로, 복수의 기판(W)의 가장자리부를 지지할 수 있다. 용기본체(2)의 벽부(20)의 후방벽(22)(후술)에는 후방측 기판지지부(6)가 설치되어 있다.
후방측 기판지지부(6)(도2 등 참조)는, 기판수납공간(27) 내에 있어서 후술하는 프론트 리테이너(7)(도8 등 참조)와 쌍을 이루도록 벽부(20)에 설치되어 있다. 후방측 기판지지부(6)는, 뚜껑체(3)에 의해 용기본체 개구부(21)가 폐쇄되어 있을 때에(뚜껑체폐쇄상태의 때에), 복수의 기판(W)의 가장자리부에 접함으로써, 복수의 기판(W)의 가장자리부의 후부(後部)를 지지할 수 있다.
뚜껑체(3)는, 용기본체 개구부(21)를 형성하는 개구둘레 가장자리부(開口周緣部)(28)(도1 등)에 대하여 착탈 가능하여 용기본체 개구부(21)를 폐쇄할 수 있다. 프론트 리테이너(7)는, 뚜껑체(3)의 부분으로서 뚜껑체(3)에 의해 용기본체 개구부(21)가 폐쇄되어 있을 때에 기판수납공간(27)과 대향하는 부분에 설치되어 있다. 프론트 리테이너(7)는, 기판수납공간(27)의 내부에 있어서 후방측 기판지지부(6)와 쌍을 이루도록 배치되어 있다.
프론트 리테이너(7)는, 뚜껑체(3)에 의해 용기본체 개구부(21)가 폐쇄되어 있을 때에 복수의 기판(W)의 가장자리부에 접함으로써 복수의 기판(W)의 가장자리부의 전부(前部)를 지지할 수 있다. 프론트 리테이너(7)는, 뚜껑체(3)에 의해 용기본체 개구부(21)가 폐쇄되어 있을 때에, 후방측 기판지지부(6)와 협동하여 복수의 기판(W)을 지지함으로써, 인접하는 기판(Ｗ) 상호간을 소정의 간격으로 이간시켜서 병렬시킨 상태로 지지한다.
기판수납용기(1)는, 플라스틱재 등의 수지(樹脂)로 구성되어 있고, 그 재료의 수지로서는, 예를 들면, 폴리카보네이트, 시클로올레핀폴리머, 폴리에테르이미드, 폴리에테르케톤, 폴리부틸렌테레프탈레이트, 폴리에테르에테르케톤, 액정 폴리머와 같은 열가소성 수지나 이들의 알로이 등을 들 수 있다. 이들의 성형재료(成形材料)의 수지에는, 도전성(導電性)을 부여하는 경우에는 카본 섬유, 카본파우더, 카본나노튜브, 도전성 폴리머 등의 도전성 물질이 선택적으로 첨가된다. 또한, 강성(剛性)을 증가시키키 위하여 유리섬유나 탄소섬유 등을 첨가할 수도 있다.
이하에서, 각 부(部)에 대하여 상세하게 설명한다. 도1에 나타나 있는 바와 같이, 용기본체(2)의 벽부(20)는, 후방벽(22)과 상벽(23)과 하벽(24)과 제1측벽(25)과 제2측벽(26)을 구비한다. 후방벽(22), 상벽(23), 하벽(24), 제1측벽(25) 및 제2측벽(26)은, 상기한 재료에 의해 구성되어 있고, 일체(一體)로 성형(成形)되어서 구성되어 있다.
제1측벽(25)과 제2측벽(26)은 대향하고 있고, 상벽(23)과 하벽(24)은 대향하고 있다. 상벽(23)의 후단(後端), 하벽(24)의 후단, 제1측벽(25)의 후단 및 제2측벽(26)의 후단은, 모두 후방벽(22)에 접속되어 있다. 상벽(23)의 전단(前端), 하벽(24)의 전단, 제1측벽(25)의 전단 및 제2측벽(26)의 전단은, 후방벽(22)과 대향하는 위치관계를 구비하고, 대략 직4각형모양을 한 용기본체 개구부(21)를 형성하는 개구둘레 가장자리부(28)를 구성한다.
개구둘레 가장자리부(28)는 용기본체(2)의 일단부에 설치되어 있고, 후방벽(22)은 용기본체(2)의 타단부에 위치하고 있다. 벽부(20)의 외면에 의하여 형성되는 용기본체(2)의 외형은 상자모양이다. 벽부(20)의 내면, 즉 후방벽(22)의 내면, 상벽(23)의 내면, 하벽(24)의 내면, 제1측벽(25)의 내면 및 제2측벽(26)의 내면은, 이들에 의해 둘러싸여진 기판수납공간(27)을 형성하고 있다. 개구둘레 가장자리부(28)에 형성된 용기본체 개구부(21)는, 벽부(20)에 의해 둘러싸여져 용기본체(2)의 내부에 형성된 기판수납공간(27)과 연통하고 있다. 기판수납공간(27)에는 최대로 25매의 기판(W)을 수납할 수 있다.
도1에 나타나 있는 바와 같이, 상벽(23) 및 하벽(24)의 부분으로서 개구둘레 가장자리부(28)의 근방 부분에는, 기판수납공간(27)의 외방을 향해서 오목하게 들어간 래치결합 오목부(latch 結合 凹部)(231A, 231B, 241A, 241B)가 형성되어 있다. 래치결합 오목부(231A, 231B, 241A, 241B)는, 상벽(23) 및 하벽(24)의 좌우 양단부 근방에 1개씩, 합계 4개가 형성되어 있다.
도1에 나타나 있는 바와 같이, 상벽(23)의 중앙부에는 톱플랜지(top flange)(236)가 고정된다. 톱플랜지(236)는, ＡＭＨＳ(자동 웨이퍼 반송시스템), ＰＧＶ(웨이퍼 기판반송 대차) 등에 있어서 기판수납용기(1)를 매어달 때에, 기판수납용기(1)에 있어서 걸어서 매어달 수 있는 부분이 되는 부재이다.
기판지지 판상부(5)는, 제1측벽(25) 및 제2측벽(26)에 각각 일체로 성형되어서 형성되어 있고, 좌우방향(D3)에 있어서 쌍을 이루도록 하여 배치되어 있다. 또한, 기판지지 판상부(5)는, 제1측벽(25) 및 제2측벽(26)과 별체(別體)이더라도 좋다.
기판지지 판상부(5)는, 판모양의 대략 활모양을 구비하고 있다. 기판지지 판상부(5)는, 제1측벽(25), 제2측벽(26) 각각에 상하방향(D2)으로 25매씩 합계 50매가 형성되어 있다. 인접하는 기판지지 판상부(5)는, 상하방향(D2)에 있어서 10mm∼12mm 간격으로 서로 이간하여 평행한 위치관계로 배치되어 있다. 또한, 가장 위에 위치하는 기판지지 판상부(5)의 상방(上方)에는, 기판지지 판상부(5)와 평행하게 판모양의 부재가 한장 더 배치되어 있다. 이것은, 가장 위에 위치하여 기판수납공간(27) 내에 삽입되는 기판(W)에 대하여, 그 삽입시의 가이드의 역할을 하는 부재이다.
또한, 제1측벽(25)에 형성된 25매의 기판지지 판상부(5)와 제2측벽(26)에 형성된 25매의 기판지지 판상부(5)는, 서로 좌우방향(D3)에 있어서 대향하는 위치관계를 구비하고 있다. 또한, 50매의 기판지지 판상부(5) 및, 기판지지 판상부(5)와 평행한 판모양의 가이드의 역할을 하는 부재는, 하벽(24)의 내면과 평행한 위치관계를 구비하고 있다. 도2 등에 나타나 있는 바와 같이, 기판지지 판상부(5)의 상면(上面)에는, 볼록부가 형성되어 있다. 기판지지 판상부(5)에 지지된 기판(W)은, 볼록부의 돌출단(突出端)에만 접촉되고, 면모양으로는 기판지지 판상부(5)에 접촉되지 않는다.
기판지지 판상부(5)는, 복수의 기판(W) 중에서 인접하는 기판(Ｗ) 상호간을 소정의 간격으로 이간한 상태로 또한 서로 평행한 위치관계로 한 상태로, 복수의 기판(W)의 가장자리부를 지지할 수 있다.
후방측 기판지지부(6)는, 후방벽(22)에 설치되고, 기판수납공간(27) 내에 배치된 내장부품이다. 후방측 기판지지부(6)의 구성에 대해서는 간단하게 설명한다. 후방측 기판지지부(6)는, 적어도 하측 경사면과 상측 경사면을 구비하고 있다.
하측 경사면은, 상측방향(D21)으로 진행함에 따라서 기판수납공간(27)의 중심으로부터 이간하도록 경사지게 연장되는 경사면으로 구성되어 있다. 하측 경사면에는, 기판(W)의 이면의 단부가 슬라이딩한다. 상측 경사면은, 상측방향(D21)으로 진행함에 따라서 기판수납공간(27)의 중심으로 접근하도록 경사지게 연장되는 경사면으로 구성되어 있다.
하측 경사면 및 상측 경사면은, 기판(W)의 단부가 결합 가능한 기판수납공간(27)의 중심으로부터 이간하도록 오목하게 들어간 오목홈인 V자 모양홈을 형성한다. 뚜껑체(3)에 의해 용기본체 개구부(21)를 폐쇄하였을 때에, 기판(W)이 하측 경사면에 대하여 슬라이딩하여 상승하고, 기판(W)이 V자 모양홈의 정점의 위치에 이르렀을 때에, V자 모양홈은 기판(W)의 가장자리부를 지지한다. 또한, V자 모양홈은, 전체적으로 대략 V자 모양이면 좋고, 추가적으로, D1-D3 평면과 대략 평행한 면이거나, D2-D3평면과 대략 평행한 면 등을 구비하고 있어도 좋다. 후방측 기판지지부(6)는 후방벽(22)과 일체이더라도 좋다.
다음에서, 뚜껑체(3) 및 프론트 리테이너(7)에 대하여 상세하게 설명한다. 도3은, 본 발명의 제1실시형태에 관한 기판수납용기(1)의 뚜껑체(3)를 나타내는 사시도이다. 도4는, 본 발명의 제1실시형태에 관한 기판수납용기(1)의 프론트 리테이너(7)를 나타내는 사시도이다. 도5는, 본 발명의 제1실시형태에 관한 기판수납용기(1)의 프론트 리테이너(7)를 나타내는 부분정면도이다.
뚜껑체(3)는, 도1 등에 나타나 있는 바와 같이, 용기본체(2)의 개구둘레 가장자리부(28)의 형상과 대략 일치하는 대략 직4각형모양을 구비하고 있다. 뚜껑체(3)는, 용기본체(2)의 개구둘레 가장자리부(28)에 대하여 착탈 가능하고, 개구둘레 가장자리부(28)에 뚜껑체(3)가 장착됨으로써, 뚜껑체(3)는 용기본체 개구부(21)를 폐쇄할 수 있다. 뚜껑체(3)의 내면(도1에 나타내는 뚜껑체(3)의 뒷편의 면)에는, 환상(環狀)의 밀봉부재(4)가 부착되어 있다. 밀봉부재(4)는, 탄성적으로 변형 가능한 폴리에스테르계, 폴리올레핀계 등 각종 열가소성 엘라스토머, 불소 고무제, 실리콘 고무제 등으로 구성되어 있다. 밀봉부재(4)는, 뚜껑체(3)의 외주 가장자리부를 일주(一周)하도록 배치되어 있다.
뚜껑체(3)가 개구둘레 가장자리부(28)에 장착되었을 때에, 밀봉부재(4)는 개구둘레 가장자리부(28)와 뚜껑체(3)의 내면에 의하여 끼워져 있어서 탄성적으로 변형하고, 뚜껑체(3)는 용기본체 개구부(21)를 밀폐한 상태로 폐쇄한다. 개구둘레 가장자리부(28)로부터 뚜껑체(3)가 분리됨으로써, 용기본체(2) 내의 기판수납공간(27)에 대하여 기판(W)을 출납할 수 있게 된다.
뚜껑체(3)는 뚜껑체(3)의 외형을 이루는 뚜껑체 본체를 구비하고 있고, 뚜껑체 본체에는 래치기구(latch 機構)가 설치되어 있다. 래치기구는, 뚜껑체 본체의 좌우 양단부 근방에 설치되어 있고, 도1에 나타나 있는 바와 같이, 뚜껑체 본체의 상변(上邊)으로부터 상측방향(D21)으로 돌출될 수 있는 2개의 상측 래치부(32A)와, 뚜껑체 본체의 하변(下邊)으로부터 하측방향(D22)으로 돌출될 수 있는 2개의 하측 래치부(32B)를 구비하고 있다. 2개의 상측 래치부(32A)는 뚜껑체 본체의 상변의 좌우 양단부 근방에 배치되어 있고, 2개의 하측 래치부(32B)는 뚜껑체 본체의 하변의 좌우 양단부 근방에 배치되어 있다.
뚜껑체 본체의 외면측에는 조작부(33)가 설치되어 있다. 조작부(33)를 뚜껑체 본체의 앞측에서 조작함으로써, 상측 래치부(32A), 하측 래치부(32B)를 뚜껑체 본체의 상변, 하변으로부터 돌출시킬 수 있거나, 또는 상변, 하변으로부터 돌출시키지 않는 상태로 할 수 있다.
상측 래치부(32A)가 뚜껑체 본체의 상변으로부터 상측방향(D21)으로 돌출되어 용기본체(2)의 래치결합 오목부(231A, 231B)에 결합하고, 또한 하측 래치부(32B)가 뚜껑체 본체의 하변으로부터 하측방향(D22)으로 돌출되어 용기본체(2)의 래치결합 오목부(241A, 241B)에 결합함으로써, 뚜껑체(3)는 용기본체(2)의 개구둘레 가장자리부(28)에 고정된다.
도3에 나타나 있는 바와 같이, 뚜껑체(3)를 구성하는 뚜껑체 본체의 내측에 있어서는, 기판수납공간(27)의 외방(外方)(전방향(D11))으로 오목하게 들어간 오목부(34)가 형성되어 있다. 오목부(34) 내측의 뚜껑체 본체의 부분에는 프론트 리테이너(7)가 고정되어서 설치되어 있다.
도6은 도5에 나타내는 A-A선 단면도이다. 도7a는 도6에 나타내는 B-B선 단면도이다. 도7b는 도6에 나타내는 C-C선 단면도이다. 도8은, 뚜껑체폐쇄상태에 있어서의 기판수납용기(1)와 기판(W)의 위치관계를 나타내는 평면단면도이다. 도9는 도8의 부분확대도이다(도6 대응도). 도10a는 도9에 나타내는 D-D선 단면도이다. 도10b는 도9에 나타내는 E-E선 단면도이다. 도11은, 뚜껑체개방상태와 뚜껑체폐쇄상태에 있어서 뚜껑체측 기판지지부 및 기판가장자리부 보조부 각각의 변위량을 나타내는 부분확대도이다.
프론트 리테이너(7)는, 도4∼도11에 나타나 있는 바와 같이, 뚜껑체측 기판지지부(73)와 기판가장자리부 보조부(75)와 다리부(脚部)(72)와 세로 프레임체(71)를 구비하고 있다. 동일한 기판(W)에 대응하는 뚜껑체측 기판지지부(73)와 기판가장자리부 보조부(75)는, 다리부(72)를 통하여 연결되어 있다.
뚜껑체측 기판지지부(73)는, 좌우방향(D3)으로 소정의 간격으로 이간하여 쌍을 이루도록 하여 2개가 배치되어 있다. 이와 같이 쌍을 이루도록 하여 2개가 배치된 뚜껑체측 기판지지부(73)는, 상하방향(D2)으로 25쌍이 병렬된 상태로 설치되어 있고, 각각 탄성적으로 변형 가능한 다리부(72)에 의해 지지되어 있다. 다리부(72)는, 2개씩 배치된 뚜껑체측 기판지지부(73)로부터 각각 서로 이간하도록 좌우방향(D3)으로 연장되고, 각각 전방향(D11)으로 절곡(折曲)된다. 그리고, 도4, 도5에 나타나 있는 바와 같이, 다리부(72)의 단부(端部)에는, 상하방향(D2)을 따라 평행하게 연장되고 있는 세로 프레임체(71)가 다리부(72)에 일체로 성형되어서 설치되어 있다. 기판수납공간(27) 내에 기판(W)이 수납되고 뚜껑체(3)가 폐쇄됨으로써, 뚜껑체측 기판지지부(73)는, 다리부(72)의 탄성력에 의하여 기판(W)의 가장자리부의 가장자리끝를 기판수납공간(27)의 중심으로 가압한 상태로 협지(挾持)하여 지지한다.
뚜껑체측 기판지지부(73)는, 도면7a 및 도10a에 나타나 있는 바와 같이, 상측 경사면(731)과 하측 경사면(732)을 구비하고 있다.
상측 경사면(731)은, 뚜껑체(3)에 의해 용기본체 개구부(21)가 폐쇄되어 있을 때에, 기판(W)의 표면(상면(上面))의 가장자리끝에 접한다. 하측 경사면(732)은 기판(W)의 이면(하면(下面))의 가장자리끝에 접한다. 구체적으로는, 상측 경사면(731)은, 상측방향(D21)으로 진행함에 따라서 전후방향(D1)에 있어서 기판수납공간(27)의 중심으로 접근하도록 경사지게 연장되는 경사면으로 구성되어 있다. 하측 경사면(732)은, 상측방향(D21)으로 진행함에 따라서 전후방향(D1)에 있어서 기판수납공간(27)의 중심으로부터 이간하도록 경사지게 연장되는 경사면으로 구성되어 있다. 상측 경사면(731), 하측 경사면(732)은, 기판수납공간(27)의 중심으로부터 이간되도록 오목하게 들어간 오목홈인 V자 모양홈(74)을 형성한다. 상측 경사면(731), 하측 경사면(732)에는, 뚜껑체(3)에 의해 용기본체 개구부(21)가 폐쇄되어 있을 때에, 각각 기판(W)의 표면의 가장자리끝, 기판(W)의 이면의 가장자리끝이 접한다.
기판가장자리부 보조부(75)는, 좌우방향(D3)으로 소정의 간격으로 이간하여 쌍을 이루도록 하여 2개 배치되어 있다. 이와 같이 쌍을 이루도록 하여 2개 배치된 기판가장자리부 보조부(75)는, 상하방향(D2)으로 25쌍이 병렬된 상태로 설치되어 있고, 각각 다리부(72)에 의해 지지되어 있다. 본 실시형태에 있어서는, 기판가장자리부 보조부(75)는, 좌우방향(D3)에 있어서 뚜껑체측 기판지지부(73)와 세로 프레임체(71) 사이에 배치되어 있다.
기판가장자리부 보조부(75)는, 뚜껑체(3)의 부분으로서 뚜껑체(3)에 의해 용기본체 개구부(21)가 폐쇄되어 있을 때에 기판수납공간(27)과 대향하는 부분에 배치되어 있다. 기판가장자리부 보조부(75)에는, 기판(W)의 가장자리부를 삽입할 수 있도록 기판(W)의 가장자리부의 두께보다 넓은 개구를 구비하는 복수의 보조홈(76)이 형성되어 있다. 보조홈(76)을 형성하고 있는 홈형성면은, 표면 대향면부(761)와, 이면 대향면부(762)와, 바닥면부(763)를 구비하고 있다.
기판(W)의 가장자리부는, 뚜껑체(3)에 의해 용기본체 개구부(21)가 폐쇄되어 있을 때에, 도10b에 나타나 있는 바와 같이, 기판(W)의 가장자리부와 보조홈(76)의 홈형성면(표면 대향면부(761), 이면 대향면부(762), 바닥면부(763)) 사이에 공간이 형성되어서 기판(W)의 가장자리부가 홈형성면에 접촉하지 않는 비접촉의 상태로, 보조홈(76)에 삽입된다.
도7b 및 도10b에 나타나 있는 바와 같이, 보조홈(76)은 단면(斷面)에서 볼 때에 대략 4각형상을 구비하고 있다. 보조홈(76)은 대향하는 홈형성면(표면 대향면부(761), 이면 대향면부(762))을 구비하고 있다. 보조홈(76)에는, 적어도 뚜껑체(3)에 의해 용기본체 개구부(21)가 폐쇄되어 있을 때에 복수의 기판(W)의 가장자리부가 1개씩 삽입된다. 또한, 도6에 나타나 있는 바와 같이, 보조홈(76)은, 통모양의 벽부(20)의 중심축(J20)에 대하여, 뚜껑체측 기판지지부(73)보다 기판(W)의 가장자리부의 원주방향(DC)의 외측에 배치되어 있다.
표면 대향면부(761)는, 뚜껑체(3)에 의해 용기본체 개구부(21)가 폐쇄되어 있을 때에, 기판(W)의 표면(W1)과 대략 평행한 위치관계를 구비하고 있고, 표면 대향면부(761)의 일부는 표면(W1)과 이면(W2)을 연결하는 방향인 상하방향(D2)에 있어서 표면(W1)과 대향한다. 이면 대향면부(762)는, 뚜껑체(3)에 의해 용기본체 개구부(21)가 폐쇄되어 있을 때에, 기판(W)의 이면(W2)과 대략 평행한 위치관계를 구비하고 있고, 이면 대향면부(762)의 일부는 표면(W1)과 이면(W2)을 연결하는 방향인 상하방향(D2)에 있어서 이면(W2)과 대향한다. 바닥면부(763)는, 보조홈(76)의 바닥부를 형성하고, 표면 대향면부(761)와 이면 대향면부(762)에 각각 접속되어 있다.
표면 대향면부(761) 및 이면 대향면부(762)는, 대략 직평면모양(直平面模樣)이다. 표면 대향면부(761)와 이면 대향면부(762)는, 보조홈(76)의 바닥부로부터 보조홈(76)의 개구(764)에 근접함에 따라서 개구(764)가 약간 넓어지도록 약간 경사지는 한 쌍의 경사면을 구성한다. 기판(W)의 표면(W1)과 표면 대향면부(761)가 이루는 각도(θ1) 및/또는 이면(W2)과 이면 대향면부(762)가 이루는 각도(θ2)는, 예를 들어 30도 이하이며, 바람직하게는 15도 이하이다.
보조홈(76)은, 뚜껑체(3)에 의해 용기본체 개구부(21)가 폐쇄되어 있지 않고 측방 기판지지부인 기판지지 판상부(5)에 의해 복수의 기판(W)의 가장자리부가 지지되어 있을 때에는, 보조홈(76)에 기판(W)의 가장자리부가 삽입되지 않고(도7b 참조), 한편, 뚜껑체(3)에 의해 용기본체 개구부(21)가 폐쇄되어 있을 때에는 보조홈(76)에 기판(W)의 가장자리부가 삽입되는 깊이(H76)(도7b 참조)를 구비한다.
도11에 나타나 있는 바와 같이, 프론트 리테이너(7)의 뚜껑체측 기판지지부(73)는, 뚜껑체(3)에 의해 용기본체 개구부(21)가 폐쇄되어 있을 때에, 용기본체(2)의 타단부로부터 일단부를 향하는 방향(전방향(D11))으로 제1변위량(H73)으로 탄성적으로 변위될 수 있다. 기판가장자리부 보조부(75)는, 뚜껑체(3)에 의해 용기본체 개구부(21)가 폐쇄되어 있을 때에, 용기본체(2)의 타단부로부터 일단부를 향하는 방향(전방향(D11))으로, 제1변위량(H73)보다 작은 제2변위량(H75)으로 탄성적으로 변위될 수 있다.
다음에, 상기한 기판수납용기(1)에 있어서, 기판(W)을 기판수납공간(27)에 수납하고, 뚜껑체(3)에 의해 용기본체 개구부(21)를 폐쇄할 때의 동작에 대해서 설명한다.
우선, 도1에 나타나 있는 바와 같이, 전후방향(D1) 및 좌우방향(D3)이 수평면과 평행의 위치관계가 되도록 용기본체(2)를 배치시킨다. 다음에, 복수매의 기판(W)을 기판지지 판상부(5) 및 후방측 기판지지부(6)의 하측 경사면에 재치(載置)한다. 이 때, 기판(W)은, 도6∼도7b에 나타나 있는 바와 같이, 뚜껑체측 기판지지부(73)의 V자 모양홈(74) 및 기판가장자리부 보조부(75)의 보조홈(76) 안에 위치하고 있지 않다(평면에서 볼 때에 있어서 겹치고 있지 않다).
다음에, 뚜껑체(3)를 용기본체 개구부(21)에 접근시켜 가서, 도8∼도10a에 나타나 있는 바와 같이, 프론트 리테이너(7)의 하측 경사면(732)에 기판(W)의 이면(하면)의 가장자리끝을 접하게 함과 아울러, 프론트 리테이너(7)의 상측 경사면(731)에 기판(W)의 표면의 가장자리끝을 접하게 한다. 그리고, 뚜껑체(3)를 용기본체 개구부(21)에 더 접근시켜 가면, 기판(W)은, 전부에 있어서 프론트 리테이너(7)의 하측 경사면(732) 및 상측 경사면(731)에 의해 후방향(D12)으로 가압되고, 또한 후부에 있어서 후방측 기판지지부(6)에 접하여 전방향(D11)으로 가압되어, 전방향(D11)과 후방향(D12)으로부터 협지되도록 지지되어 있다. 기판(W)은, 그 후방측(후방향(D12)측)의 부분에 있어서는 상하방향(D2)으로 이동하고, 한편, 그 개구측(전방향(D11)측)의 부분에 있어서는 상하방향(D2)으로 이동하지 않는다. 이 때, 도10b에 나타나 있는 바와 같이, 기판(W)은 기판가장자리부 보조부(75)의 보조홈(76) 안에 위치하고 있다(평면에서 볼 때에 있어서 겹치고 있다).
그 후에, 기판수납용기(1)는, 90° 회전되어 용기본체 개구부(21)가 연직상측방향을 향한 상태로 되어 반송되거나, 또는 90° 회전되지 않고 용기본체 개구부(21)가 수평방향을 향한 상태 그대로 반송된다.
기판(W)이 수납된 상태의 기판수납용기(1)의 반송중에, 기판수납용기(1)에 기판수납용기(1)의 외부로부터 충격이 작용하면, 뚜껑체측 기판지지부(73)의 V자 모양홈(74)에 접하고 있었던 기판(W)이 V자 모양홈(74)으로부터 벗어질 수 있게 되는 경우가 있다. 이러한 경우이더라도 기판(W)은, 기판가장자리부 보조부(75)의 보조홈(76)에 접하고 있지 않기 때문에, 기판가장자리부 보조부?*(75)의 보조홈(76) 안으로부터 벗어나기 어렵다. 그 때문에, 기판(W)이 뚜껑체측 기판지지부(73)로부터 벗어나는 것, 즉, 크로스 슬롯의 발생은 억제된다.
상기 구성을 구비하는 제1실시형태에 관한 기판수납용기(1)에 의하면, 이하와 같은 효과를 얻을 수 있다.
제1실시형태에 관한 기판수납용기(1)는,
일단부에 용기본체 개구부(21)가 형성되고 타단부가 폐쇄된 통모양의 벽부(20)를 구비하고, 벽부(20)의 내면에 의하여, 복수의 기판(W)을 수납할 수 있고 용기본체 개구부(21)와 연통하는 기판수납공간(27)이 형성된 용기본체(2)와,
용기본체 개구부(21)에 대하여 착탈 가능하여 용기본체 개구부(21)를 폐쇄할 수 있는 뚜껑체(3)와,
뚜껑체(3)의 부분으로서, 뚜껑체(3)에 의해 용기본체 개구부(21)가 폐쇄되어 있을 때에 기판수납공간(27)과 대향하는 부분에 배치되고, 뚜껑체(3)에 의해 용기본체 개구부(21)가 폐쇄되어 있을 때에 복수의 기판(W)의 가장자리부를 지지할 수 있는 뚜껑체측 기판지지부(73)와,
기판수납공간(27) 내에 있어서 뚜껑체측 기판지지부(73)와 쌍을 이루도록 배치되어, 복수의 기판(W)의 가장자리부를 지지할 수 있고, 뚜껑체(3)에 의해 용기본체 개구부(21)가 폐쇄되어 있을 때에 뚜껑체측 기판지지부(73)와 협동하여, 복수의 기판(W)의 가장자리부를 병렬시킨 상태로, 복수의 기판(W)을 지지하는 후방측 기판지지부(6)와,
뚜껑체(3)의 부분으로서, 뚜껑체(3)에 의해 용기본체 개구부(21)가 폐쇄되어 있을 때에 기판수납공간(27)과 대향하는 부분에 배치되어, 기판(W)의 가장자리부를 삽입할 수 있도록 기판(W)의 가장자리부의 두께보다 넓은 개구(開口)를 구비하는 복수의 보조홈(76)이 형성된 기판가장자리부 보조부(75)를 구비한다.
복수의 보조홈(76)은, 대향하는 홈형성면(761, 762)을 구비하고, 적어도 뚜껑체(3)에 의해 용기본체 개구부(21)가 폐쇄되어 있을 때에 복수의 기판(W)의 가장자리부가 1개씩 삽입되고, 또한 통모양의 벽부(20)의 중심축(J20)에 대하여, 뚜껑체측 기판지지부(73)보다 기판(W)의 가장자리부의 원주방향(DC)의 외측에 배치되어 있다.
기판(W)의 가장자리부는, 뚜껑체(3)에 의해 용기본체 개구부(21)가 폐쇄되어 있을 때에, 기판(W)의 가장자리부와 홈형성면(761, 762) 사이에 공간이 형성되어서 기판(W)의 가장자리부가 홈형성면(761, 762)에 접촉하지 않는 비접촉의 상태로, 보조홈(76)에 삽입된다.
상기 구성에 의하여, 기판(W)이 수납된 상태의 기판수납용기(1)의 반송중에, 기판수납용기(1)에 기판수납용기(1)의 외부로부터 충격이 작용하고, 뚜껑체측 기판지지부(73)에 접하고 있었던 기판(W)이 뚜껑체측 기판지지부(73)로부터 벗어나게 되었다 하더라도, 기판(W)은 기판가장자리부 보조부(75)의 보조홈(76)에 접하고 있지 않기 때문에, 기판가장자리부 보조부(75)의 보조홈(76) 안으로부터 벗어나기 어렵다. 그 때문에, 기판수납용기(1)에 작용하는 충격에 대하여 기판(W)의 보호가 가능함과 아울러, 기판(W)이 뚜껑체측 기판지지부(73)로부터 벗어나는 것, 즉 크로스 슬롯의 발생을 억제할 수 있다.
또한, 동일한 기판(W)에 대응하는 뚜껑체측 기판지지부(73)와 기판가장자리부 보조부(75)는 연결되어 있다.
상기 구성에 의하여, 동일한 기판(W)에 대응하는 뚜껑체측 기판지지부(73)와 기판가장자리부 보조부(75)는, 기판(W)이 뚜껑체측 기판지지부(73)를 가압하여 변위시키면, 연동하여 기판가장자리부 보조부(75)도 변위된다. 그 때문에, 뚜껑체측 기판지지부(73)와 기판가장자리부 보조부(75)는 연동하여 각각의 주요한 기능을 발휘하기에 적당한 위치에 배치된다.
또한, 제1실시형태에 관한 기판수납용기(1)는, 기판수납공간(27) 내에 있어서 쌍을 이루도록 배치되고, 뚜껑체(3)에 의해 용기본체 개구부(21)가 폐쇄되어 있지 않을 때에, 복수의 기판(W) 중에서 인접하는 기판(Ｗ) 상호간을 소정의 간격으로 이간시켜서 병렬시킨 상태로, 복수의 기판(W)의 가장자리부를 지지할 수 있는 측방 기판지지부(기판지지 판상부(5))를 구비한다. 보조홈(76)은, 뚜껑체(3)에 의해 용기본체 개구부(21)가 폐쇄되어 있지 않고 측방 기판지지부(기판지지 판상부(5))에 의해 복수의 기판(W)의 가장자리부가 지지되어 있을 때에는, 보조홈(76)에 기판(W)의 가장자리부가 삽입되지 않고, 뚜껑체(3)에 의해 용기본체 개구부(21)가 폐쇄되어 있을 때에는 보조홈(76)에 기판(W)의 가장자리부가 삽입되는 깊이(H76)를 구비한다.
상기 구성에 의하여, 측방 기판지지부(기판지지 판상부(5))에 의해 복수의 기판(W)의 가장자리부가 지지되어 있을 때에, 의도하지 않는 현상에 의해 기판(W)이 크게 이동하였다고 하더라도, 기판(W)의 가장자리부가 보조홈(76)에 접촉하는 것을 억제한다.
〔제2실시형태〕
다음에, 본 발명의 제2실시형태에 관한 기판수납용기에 대해서 도면을 참조하면서 설명한다. 도12는, 본 발명의 제2실시형태에 관한 프론트 리테이너(7A)의 단면도(도6 대응도)이다.
도12에 나타나 있는 바와 같이, 제2실시형태에서는, 제1실시형태와 비교하여 뚜껑체측 기판지지부(73)에 있어서 기판가장자리부 보조부(75)가 좌우방향(D3)의 내측(벽부(20)의 중심축(J20) 가까이)에 배치되어 있다. 제2실시형태에 있어서, 그 이외의 구성에 대해서는 제1실시형태와 동일하기 때문에, 동일한 부재에 대해서는 동일한 부호로 도면에 나타내어 설명을 생략한다.
〔제3실시형태〕
다음에, 본 발명의 제3실시형태에 관한 기판수납용기에 대해서 도면을 참조하면서 설명한다. 도13은, 본 발명의 제3실시형태에 관한 프론트 리테이너(7B)의 단면도(도6 대응도)이다.
도13에 나타나 있는 바와 같이, 제3실시형태에서는, 제1실시형태와 비교하여, 뚜껑체측 기판지지부(73)에 있어서 기판가장자리부 보조부(75)의 폭(좌우방향(D3)의 폭)이 넓게 되어 있다. 제3실시형태에 있어서, 그 이외의 구성에 대해서는 제1실시형태와 동일하기 때문에, 동일한 부재에 대해서는 동일한 부호로 도면에 나타내어 설명을 생략한다.
〔제4실시형태〕
다음에, 본 발명의 제4실시형태에 관한 기판수납용기에 대해서 도면을 참조하면서 설명한다. 도14는, 본 발명의 제4실시형태에 관한 프론트 리테이너(7C)의 단면도(도6 대응도)이다.
도14에 나타나 있는 바와 같이, 제4실시형태에서는, 제1실시형태와 비교하여, 뚜껑체측 기판지지부(73)에 있어서 기판가장자리부 보조부(75)가 좌우방향(D3)의 내측(벽부(20)의 중심축(J20) 가까이)에 배치되고, 뚜껑체측 기판지지부(73)가 좌우방향(D3)의 외측에 배치되어 있다. 다른 관점으로 보면, 기판가장자리부 보조부(75)의 복수의 보조홈(76)은, 벽부(20)의 중심축(J20)에 대하여, 뚜껑체측 기판지지부(73)보다 기판(W)의 가장자리부의 원주방향(DC)의 내측에 배치되어 있다. 제4실시형태에 있어서, 그 이외의 구성에 대해서는 제1실시형태와 동일하기 때문에, 동일한 부재에 대해서는 동일한 부호로 도면에 나타내어 설명을 생략한다.
본 발명은, 상기한 실시형태에 한정되지 않고, 특허청구범위에 기재된 기술적 범위에 있어서 변형이 가능하다.
예를 들면, 용기본체 및 뚜껑체의 형상, 용기본체에 수납 가능한 기판(W)의 매수(枚數)나 치수는, 본 실시형태에 있어서의 용기본체(2) 및 뚜껑체(3)의 형상, 용기본체(2)에 수납 가능한 기판(W)의 매수나 치수에 한정되지 않는다. 즉, 측방 기판지지부(기판지지 판상부(5))나, 프론트 리테이너(7)나, 후방측 기판지지부(6)의 구성은, 실시형태의 구성에 한정되지 않는다. 또한, 본 실시형태에 있어서의 기판(W)은, 직경 300mm의 실리콘 웨이퍼이었지만, 이 치수로 한정되지 않는다.
1 기판수납용기
2 용기본체
3 뚜껑체
5 기판지지 판상부(측방 기판지지부)
6 후방측 기판지지부
21 용기본체 개구부
27 기판수납공간
28 개구둘레 가장자리부
73 뚜껑체측 기판지지부
75 기판가장자리부 보조부
76 보조홈
761 표면 대향면부(홈형성면)
762 이면 대향면부(홈형성면)
ＤＣ 원주방향
H73 제1변위량
H75 제2변위량
H76 깊이
J20 중심축
W 기판
θ1 각도
θ2 각도

Claims (5)

  1. 일단부(一端部)에 용기본체 개구부가 형성되고 타단부(他端部)가 폐쇄된 통모양의 벽부를 구비하고, 상기 벽부의 내면에 의하여, 복수의 기판을 수납할 수 있고 상기 용기본체 개구부(容器本體 開口部)와 연통하는 기판수납공간(基板收納空間)이 형성된 용기본체와,
    상기 용기본체 개구부에 대하여 착탈 가능하며, 상기 용기본체 개구부를 폐쇄할 수 있는 뚜껑체(蓋體)와,
    상기 뚜껑체의 부분으로서, 상기 뚜껑체에 의해 상기 용기본체 개구부가 폐쇄되어 있을 때에 상기 기판수납공간과 대향하는 부분에 배치되고, 상기 뚜껑체에 의해 상기 용기본체 개구부가 폐쇄되어 있을 때에 상기 복수의 기판의 가장자리부를 지지할 수 있는 뚜껑체측 기판지지부와,
    상기 기판수납공간 내에 있어서 상기 뚜껑체측 기판지지부와 쌍을 이루도록 배치되어, 상기 복수의 기판의 가장자리부를 지지할 수 있고, 상기 뚜껑체에 의해 상기 용기본체 개구부가 폐쇄되어 있을 때에 상기 뚜껑체측 기판지지부와 협동하여, 상기 복수의 기판의 가장자리부를 병렬시킨 상태로, 상기 복수의 기판을 지지하는 후방측 기판지지부(後方側 基板支持部)와,
    상기 뚜껑체의 부분으로서, 상기 뚜껑체에 의해 상기 용기본체 개구부가 폐쇄되어 있을 때에 상기 기판수납공간과 대향하는 부분에 배치되어, 상기 기판의 가장자리부를 삽입할 수 있도록 상기 기판의 가장자리부의 두께보다 넓은 개구(開口)를 구비하는 복수의 보조홈이 형성된 기판가장자리부 보조부(基板緣部 補助部)를
    구비하고,
    상기 복수의 보조홈은, 대향하는 홈형성면을 구비하고, 적어도 상기 뚜껑체에 의해 상기 용기본체 개구부가 폐쇄되어 있을 때에, 상기 복수의 기판의 가장자리부가 1개씩 삽입되고, 또한 통모양의 벽부의 중심축에 대하여, 상기 뚜껑체측 기판지지부보다 상기 기판의 가장자리부의 원주방향의 외측 또는 내측에 배치되어 있고,
    상기 기판의 가장자리부는, 상기 뚜껑체에 의해 상기 용기본체 개구부가 폐쇄되어 있을 때에, 상기 기판의 가장자리부와 상기 홈형성면 사이에 공간이 형성되어서 상기 기판의 가장자리부가 상기 홈형성면에 접촉하지 않는 비접촉의 상태로, 상기 보조홈에 삽입되는
    기판수납용기.
  2. 제1항에 있어서,
    동일한 상기 기판에 대응하는 상기 뚜껑체측 기판지지부와 상기 기판가장자리부 보조부는 연결되어 있는 기판수납용기.
  3. 제1항 또는 제2항에 있어서,
    상기 홈형성면은, 대략 직평면모양(直平面模樣)으로서, 상기 기판의 표면 또는 이면(裏面)과 상기 홈형성면과 이루는 각도는 30도 이하인 기판수납용기.
  4. 제1항 내지 제3항 중 어느 하나의 항에 있어서,
    상기 기판수납공간 내에 있어서 쌍을 이루도록 배치되고, 상기 뚜껑체에 의해 상기 용기본체 개구부가 폐쇄되어 있지 않을 때에, 상기 복수의 기판 중에서 인접하는 기판 상호간를 소정의 간격으로 이간(離間)시켜서 병렬시킨 상태로, 상기 복수의 기판의 가장자리부를 지지할 수 있는 측방 기판지지부를 구비하고,
    상기 보조홈은, 상기 뚜껑체에 의해 상기 용기본체 개구부가 폐쇄되어 있지 않고 상기 측방 기판지지부에 의해 상기 복수의 기판의 가장자리부가 지지되어 있을 때에는, 상기 보조홈에 상기 기판의 가장자리부가 삽입되지 않고, 상기 뚜껑체에 의해 상기 용기본체 개구부가 폐쇄되어 있을 때에는, 상기 보조홈에 상기 기판의 가장자리부가 삽입되는 깊이를 구비하는
    기판수납용기.
  5. 제1항 내지 제4항 중 어느 하나의 항에 있어서,
    상기 뚜껑체측 기판지지부는, 상기 뚜껑체에 의해 상기 용기본체 개구부가 폐쇄되어 있을 때에, 상기 용기본체의 타단부로부터 일단부를 향하는 방향으로 제1변위량으로 탄성적으로 변위될 수 있고,
    상기 기판가장자리부 보조부는, 상기 뚜껑체에 의해 상기 용기본체 개구부가 폐쇄되어 있을 때에, 상기 용기본체의 타단부로부터 일단부를 향하는 방향으로 상기 제1변위량보다 작은 제2변위량으로 탄성적으로 변위될 수 있는
    기판수납용기.
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